JP7397782B2 - センサ及び電子装置 - Google Patents

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Description

本発明の実施形態は、センサ及び電子装置に関する。
例えば、ＭＥＭＳ構造を利用したセンサがある。センサにおいて、検出精度の向上が望まれる。
特開平４－１１５１６５号公報
実施形態は、検出精度を向上できるセンサ及び電子装置を提供する。
実施形態によれば、センサは、第１検出素子と、処理部と、を含む。前記第１検出素子は、基体と、前記基体に固定された第１支持部と、第１可動部と、第１対向導電部と、第２対向導電部と、を含む。前記第１可動部は、前記第１支持部に支持され前記基体から離れる。前記第１可動部は、前記第１支持部に支持された第１可動基部と、前記第１可動基部と接続された第２可動基部と、第１梁を含む第１可動梁と、第２梁を含む第２可動梁と、を含む。前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１他端部は前記第２可動基部と接続される。前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２他端部は前記第２可動基部と接続される。前記第１対向導電部は、前記第１可動梁と対向する。前記第２対向導電部は、前記第２可動梁と対向する。前記処理部は、前記第１対向導電部から得られる第１信号、及び、前記第２対向導電部から得られる第２信号に基づいて、前記第１検出素子に加わる加速度、及び、前記第１検出素子の温度に関する情報を出力する第１動作を実施可能である。
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図３（ａ）～図３（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図４は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図５は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図６は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図７は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図８は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図９は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図１０は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図１１は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図１２は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。 図１３は、第３実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。 図１４（ａ）～図１４（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
（第１実施形態）
図１（ａ）、図１（ｂ）、図２、図３（ａ）～図３（ｃ）は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図１（ａ）は、平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＸ１－Ｘ２線断面図である。図２は、図１（ａ）の一部を拡大した平面図である。図３（ａ）は、図２のＡ１－Ａ２線断面図である。図３（ｂ）は、図２のＢ１－Ｂ２線断面図である。図３（ｃ）は、図２のＣ１－Ｃ２線断面図である。
図２に示すように、実施形態に係るセンサ１１０は、第１検出素子１０Ｕと、処理部７０と、を含む。
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、第１検出素子１０Ｕは、基体５０Ｓと、第１支持部５０Ａと、第１可動部１０と、第１対向導電部５１と、第２対向導電部５２と、を含む。第１支持部５０Ａは、基体５０Ｓに固定される。
図１（ｂ）に示すように、第１可動部１０は、第１支持部５０Ａに支持される。第１可動部１０は、基体５０Ｓから離れる。例えば、基体５０Ｓと第１可動部１０との間には、間隙１０Ｚが設けられている。例えば、基体５０Ｓは、第１面５０Ｓｆを含む。第１面５０Ｓｆと第１可動部１０との間に、間隙１０Ｚがある。
基体５０Ｓから第１可動部１０への第１方向をＺ軸方向とする。Ｚ軸方向は、第１面５０Ｓｆに対して実質的に垂直である。Ｚ軸方向に対して垂直な１つの方向をＸ軸方向とする。Ｚ軸方向及びＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。
第１可動部１０は、第１可動基部１０Ａと、第２可動基部１０Ｂと、第１可動梁１１Ｍと、第２可動梁１２Ｍと、を含む。第１可動基部１０Ａは、第１支持部５０Ａに支持される。第２可動基部１０Ｂは、第１可動基部１０Ａと接続される。後述するように、この例では、第２可動基部１０Ｂは、接続基部１０Ｐにより第１可動基部１０Ａと接続される。
図１（ａ）及び図２に示すように、第１可動梁１１Ｍは、第１梁１１を含む。第２可動梁１２Ｍは、第２梁１２を含む。第１梁１１は、第１端部１１ｅ及び第１他端部１１ｆを含む。第１端部１１ｅは、第１可動基部１０Ａと接続される。第１他端部１１ｆは、第２可動基部１０Ｂと接続される。第２梁１２は、第２端部１２ｅ及び第２他端部１２ｆを含む。第２端部１２ｅは、第１可動基部１０Ａと接続される。第２他端部１２ｆは、第２可動基部１０Ｂと接続される。
第１対向導電部５１は、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２対向導電部５２は、第２可動梁１２Ｍと対向する。
図１（ａ）に示すように、周辺部５９が設けられても良い。Ｘ－Ｙ平面において、第１支持部５０Ａ、第１可動部１０、第１対向導電部５１及び第２対向導電部５２の周りに周辺部が設けられる。
第１可動部１０は、導電性である。基体５０Ｓは、例えば、シリコンなどを含む。基体５０Ｓは、絶縁性でも良い。例えば、第１支持部５０Ａは、絶縁部材を含んでも良い。
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、電極１０Ｅが設けられても良い。電極１０Ｅは、第１可動部１０と電気的に接続される。
処理部７０（図２参照）は、第１動作を実施可能である。第１動作において、処理部７０は、第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度、及び、第１検出素子１０Ｕの温度に関する情報を出力する。後述するように、第１動作は、温度補償した加速度を出力することを含んでも良い。実施形態によれば、検出精度を向上できるセンサを提供できる。第１動作の例については、後述する。
図３（ｃ）に示すように、第１対向導電部５１は、第１対向支持部５１Ａを介して、基体５０Ｓに固定される。第２対向導電部５２は、第２対向支持部５２Ａを介して、基体５０Ｓに固定される。例えば、第１対向支持部５１Ａ及び第２対向支持部５２Ａは、絶縁部材を含んでも良い。第１対向導電部５１及び第２対向導電部５２は、基体５０Ｓから電気的に絶縁される。
第１信号ｓｉｇ１は、第１可動部１０と第１対向導電部５１との間に生じる第１電気信号に対応する。第２信号ｓｉｇ２は、第１可動部１０と第２対向導電部５２との間に生じる第２電気信号に対応する。
基体５０Ｓから第１可動部１０への第１方向（Ｚ軸方向、図１（ｂ）参照）は、第１梁１１の第１端部１１ｅから第１他端部１１ｆへの第２方向（図２参照）と交差する。第２方向は、例えば、Ｘ軸方向である。第２端部１２ｅから第２他端部１２ｆへの方向は、第２方向（例えばＸ軸方向）に沿う。
図２に示すように、第１可動部１０は、接続基部１０Ｐを含む。接続基部１０Ｐは、第１可動基部１０Ａと第２可動基部１０Ｂとの間に設けられる。接続基部１０Ｐは、第１可動基部１０Ａ及び第２可動基部１０Ｂを互いに接続する。
図２に示すように、第１可動基部１０Ａの第３方向に沿う長さを第１長さＬ１とする。第３方向は、第１方向及び第２方向を含む平面と交差する。第３方向は、例えば、Ｙ軸方向である。第２可動基部１０Ｂの第３方向に沿う長さを第２長さＬ２とする。接続基部１０Ｐの第３方向に沿う長さを第３長さＬ３とする。第３長さＬ３は、第１長さＬ１よりも短く、第２長さＬ２よりも短い。接続基部１０Ｐは、第３方向（例えばＹ軸方向）において、第１梁１１と第２梁１２との間にある。接続基部１０Ｐは、第３方向において、第１可動梁１１Ｍと第２可動梁１２Ｍとの間にある。接続基部１０Ｐは、例えば、ピポット部またはヒンジ部である。
接続基部１０Ｐが設けられることで、第２可動基部１０Ｂは動き易くなる。例えば、第２可動基部１０Ｂが加速度に応じて、Ｙ軸方向を含む方向に沿って変位し易くなる。これにより、第１梁１１及び第２梁１２に応力が加わりやすくなる。例えば、第１梁１１に圧縮応力及び引張応力の一方が加わる。例えば、第２梁１２に圧縮応力及び引張応力の他方が加わる。
例えば、応力に応じて、梁の共振周波数が変化する。応力の極性に応じて、梁の共振周波数の増減の方向が変化する。接続基部１０Ｐが設けられることで、２つの梁における共振周波数の変化を大きくできる。より高精度の検出が可能になる。
図１（ａ）に示すように、第１可動部１０は、可動部材１０Ｘをさらに含む。第２方向（例えばＸ軸方向）において、第２可動基部１０Ｂは、接続基部１０Ｐと可動部材１０Ｘとの間にある。可動部材１０Ｘは、第２可動基部１０Ｂと接続される。可動部材１０Ｘの第３方向（例えばＹ軸方向）に沿う長さを長さＬＸとする。長さＬＸは、第２可動基部１０Ｂの第３方向に沿う長さ（第２長さＬ２）よりも長い。可動部材１０Ｘは、加速度により変位する。可動部材１０Ｘは、例えば、可動質量である。可動部材１０Ｘが設けられることで、より高い感度が得られる。第２可動基部１０Ｂが可動部材１０Ｘと接続されることで、第２可動基部１０Ｂは動き易くなる。
図２に示すように、この例では、第１可動梁１１Ｍは、第１可動導電部２１と、第１接続領域１１Ｃと、を含む。第１梁１１は、第１端部１１ｅと第１他端部１１ｆとの間の第１中間領域１１ｇを含む。第１接続領域１１Ｃは、第１中間領域１１ｇと第１可動導電部２１とを接続する。第１可動導電部２１の第２方向（例えばＸ軸方向）に沿う長さＬ２１は、第１接続領域１１Ｃの第２方向に沿う長さＬ１１Ｃよりも長い。第１可動導電部２１は、例えば、Ｘ軸方向に沿って延びる。
図２に示すように、第２可動梁１２Ｍは、第２可動導電部２２と、第２接続領域１２Ｃと、を含む。第２梁１２は、第２端部１２ｅと第２他端部１２ｆとの間の第２中間領域１２ｇを含む、第２接続領域１２Ｃは、第２中間領域１２ｇと第２可動導電部２２とを接続する。第２可動導電部２２の第２方向（例えばＸ軸方向）に沿う長さＬ２２は、第２接続領域１２Ｃの第２方向に沿う長さＬ１２Ｃよりも長い。第２可動導電部２２は、例えば、Ｘ軸方向に沿って延びる。
第１可動導電部２１が設けられることで、第１可動梁１１Ｍと第１対向導電部５１とが互いに対向する面積を大きくできる。例えば、第１梁１１が振動して第１梁１１がＹ軸方向に曲がったときにおいても、第１可動導電部２１は、第１対向導電部５１に対して平行の状態を維持しつつ、Ｙ軸方向に沿って変位できる。例えば、高い容量感度が得易い。
第２可動導電部２２が設けられることで、第２可動梁１２Ｍと第２対向導電部５２とが互いに対向する面積を大きくできる。例えば、第２梁１２が振動して第２梁１２がＹ軸方向に曲がったときにおいても、第２可動導電部２２は、第２対向導電部５２に対して平行の状態を維持しつつ、Ｙ軸方向に沿って変位できる。例えば、高い容量感度が得易い。
図２に示すように、この例では、第１検出素子１０Ｕは、第１駆動導電部６１及び第２駆動導電部６２を含む。第１駆動導電部６１は、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２駆動導電部６２は、第２可動梁１２Ｍと対向する。処理部７０は、第１駆動導電部６１に電圧（第１電圧Ｖ１）を印加可能である。処理部７０は、第２駆動導電部６２に電圧（第２電圧Ｖ２）を印加可能である。これらの電圧は、例えば、駆動／調整電圧である。
図２に示す例では、第１駆動導電部６１に加えて、別の第１駆動導電部６１Ａが設けられる。別の第１駆動導電部６１Ａは、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２駆動導電部６２に加えて、別の第２駆動導電部６２Ａが設けられる。別の第２駆動導電部６２Ａは、第２可動梁１２Ｍと対向する。処理部７０は、別の第１駆動導電部６１Ａに電圧（第１電圧Ｖ１）を印加可能である。処理部７０は、別の第２駆動導電部６２Ａに電圧（第２電圧Ｖ２）を印加可能である。
図２に示すように、処理部７０は、配線７０ａにより、電極５１Ｅを介して、第１対向導電部５１と電気的に接続される。処理部７０は、配線７０ｂにより、電極５２Ｅを介して、第２対向導電部５２と電気的に接続される。処理部７０は、配線７０ｃにより、電極６１Ｅを介して、第１駆動導電部６１と電気的に接続される。処理部７０は、配線７０ｄにより、電極６１ＡＥを介して、別の第１駆動導電部６１Ａと電気的に接続される。処理部７０は、配線７０ｅにより、電極６２Ｅを介して、第２駆動導電部６２と電気的に接続される。処理部７０は、配線７０ｆにより、電極６２ＡＥを介して、別の第２駆動導電部６２Ａと電気的に接続される。処理部７０は、第１可動部１０と電気的に接続される。例えば、処理部７０は、配線７０ｇ（図２参照）により、電極１０Ｅ（図１（ｂ）参照）を介して、第１可動部１０と電気的に接続される。
以下、実施形態に係るセンサ１１０における、動作の例について説明する。既に説明したように、処理部７０は、第１動作の実施が可能である。第１動作は、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数と、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数と、の差及び和に基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含む。第１共振周波数は、第１信号ｓｉｇ１（図２参照）から得られる。第２共振周波数は、第２信号ｓｉｇ２から得られる。
例えば信号をＰＬＬ（phase locked loop）回路により処理することで、共振周波数が得られる。例えば、ＰＬＬ回路は、処理部７０に含まれても良い。ＰＬＬ回路は、処理部７０とは別に設けられても良い。
例えば、第１動作は、第１共振周波数及び第２共振周波数と、複数の加速度及び複数の温度と、の関係に関するデータに基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含んでもよい。このデータは、例えば、記憶部７０Ｍ（図２参照）に記憶される。処理部７０は、データを記憶する記憶部７０Ｍから、データを取得する。例えば、第１動作は、取得されたデータに基づいて、加速度及び温度に関する情報を導出することを含んでも良い。実施形態に係るセンサ１１０は、記憶部７０Ｍをさらに含んでも良い。
例えば、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度、及び、第１検出素子１０Ｕの温度は、第１共振周波数及び第２共振周波数の関数である。
１つの例において、加速度Ｇ（ｆ１，ｆ２）、及び、温度Ｔ（ｆ１，ｆ２）は、以下の第１式及び第２式で表される。
Ｇ（ｆ１，ｆ２）＝ａ１ｆ１＋ｂ１ｆ２＋ｃ１ …（１）
Ｔ（ｆ１，ｆ２）＝ａ２ｆ１＋ｂ２ｆ２＋ｃ２ …（２）
「Ｇ」は、加速度である。「Ｔ」は温度である。「ｆ１」は、第１共振周波数である。「ｆ２」は、第２共振周波数である。「ａ１」、「ｂ１」、「ｃ１」、「ａ２」、「ｂ２」、及び、「ｃ２」は、係数である。記憶部７０Ｍに記憶されるデータは、「ａ１」、「ｂ１」、「ｃ１」、「ａ２」、「ｂ２」、及び、「ｃ２」の少なくともいずれかの値を含む。記憶部７０Ｍに記憶されるデータは、上記の式の情報（例えば、関数）を含む。これらのデータは、例えば、予め行われる測定により得られる。予め行われる測定において、加速度Ｇ及び温度Ｔが管理される。
加速度Ｇ（ｆ１，ｆ２）、及び、温度Ｔ（ｆ１，ｆ２）は、以下の第３式及び第４式で表されても良い。
Ｇ（ｆ１，ｆ２）＝ａ１１ｆ１ ＋ａ １２ｆ１ ２＋ｂ１１ｆ２ ＋ｂ １２ｆ２ ２＋ｃ１１ …（３）
Ｔ（ｆ１，ｆ２）＝ａ２１ｆ１ ＋ａ ２２ｆ１ ２＋ｂ２１ｆ２ ＋ｂ ２２ｆ２ ２＋ｃ２１ …（４）
第３式及び第４式において、「ａ１１」、「ａ１２」、「ｂ１１」、「ｂ１２」、「ｃ１１」、「ａ２１」、「ａ２２」、「ｂ２１」、「ｂ２２」、及び、「ｃ２１」は、係数である。
第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２の関数は、第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２の３次以上の関数を含んでも良い。第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２の関数は、第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２の交互作用項を含んでも良い。
第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２から、加速度「Ｇ」及び温度「Ｔ」が算出（例えば推定）できる。係数の算出は、例えば、最小二乗法などにより行われても良い。例えば、上記の式などに基づいて、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差及び和に基づいて、加速度及び温度に関する情報が導出可能である。例えば、加速度「Ｇ」に関して、第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２とは、互いに逆方向（逆極性）で変化する。例えば、温度「Ｔ」に関して、第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２とは、互いに同方向（同極性）で変化する。
図４は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図４に示す動作の少なくとも一部は、処理部７０で行われる。
図４に示すように、共振周波数（第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２）、加速度Ｇ、及び、温度Ｔの関係に関するデータが取得される（ステップＳ１０５）。既に説明したように、このデータは、予め取得される。例えば、記憶部７０Ｍに記憶されたデータを、処理部７０が取得しても良い。
図４に示すように、処理部７０は、第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ１１０）。
処理部７０は、第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１を導出し、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２を算出する（ステップＳ１２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
処理部７０は、第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２に基づいて、加速度Ｇ及び温度Ｔを推定する（ステップＳ１３０）。例えば、上記の第１式及び第２式が用いられる。例えば、上記の第３式及び第４式が用いられても良い。
処理部７０は、推定した加速度Ｇ及び温度Ｔに関する情報を出力する（ステップＳ１５０）。
このようにして、実施形態においては、加速度Ｇ及び温度Ｔを出力できる。実施形態においては、第１梁１１及び第２梁１２が設けられる。これらの梁において、加速度Ｇ及び温度Ｔに応じて共振周波数の変化が生じる。上記の第１共振周波数及び第２共振周波数と、加速度及び温度との関係式を利用することで、高い精度の検出が可能である。
図５は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図５に示す動作の少なくとも一部は、処理部７０で行われても良い。別の処理部により図５に示す動作が行われ、得られたデータが記憶部７０Ｍなどに記憶されても良い。
図５に示すように、加速度Ｇを設定する（ステップＳ２０５）。例えば、最初の動作では、加速度Ｇが０とされる。
温度Ｔを設定する（ステップＳ２０６）。例えば、第１検出素子１０Ｕの温度が、対象温度範囲内のいくつかの温度の１つに設定される。対象温度範囲は、例えば、センサの使用温度範囲である。対象温度範囲は、例えば、－２０℃以上８０℃以下である。
第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ２１０）。
第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１が算出され、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２が算出される（ステップＳ２２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
対象温度範囲内の測定が終了しているかどうかが判断される（ステップＳ２４０）。対象温度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２４５に進む。ステップＳ２４５において、第１検出素子１０Ｕの温度が変更され、ステップＳ２１０に戻る。
対象温度範囲内の測定が終了している場合は、ステップＳ２５０に進む。ステップＳ２５０では、対象加速度範囲内の測定が終了したかどうかが判断される。対象加速度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２５５に進む。ステップＳ２５５において加速度が変更される。その後、ステップＳ２０５に戻る。
対象加速度範囲内の測定が終了した場合は、測定結果を記憶する（ステップＳ２６０）
例えば、－１Ｇ、０Ｇ、及び＋１Ｇの３種類の加速度Ｇと、－２０℃、＋２０℃及び＋８０℃の３種類の温度Ｔと、９種類の条件において、図５の動作が行われても良い。例えば、最小二乗法などにより、上記の第１共振周波数及び第２共振周波数と、加速度及び温度との関係式の係数が求められる。
このような動作により、例えば、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔの関係に関するデータが取得され、記憶される。取得され記憶されたデータを用いて、図４に関して説明した動作が実施される。
図２に関して既に説明したように、この例では、第１検出素子１０Ｕは、第１駆動導電部６１及び第２駆動導電部６２を含む。
第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１は、第１駆動導電部６１に印加される第１電圧Ｖ１により、変化する。第１共振周波数ｆ１の変化は、例えば、静電バネによるソフトスプリング効果と、大変形での幾何学的非線形によるハードスプリング効果と、に基づく。第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２は、第２駆動導電部６２に印加される第２電圧Ｖ２により、変化する。第２共振周波数ｆ２の変化は、例えば、静電バネによるソフトスプリング効果と、大変形での幾何学的非線形によるハードスプリング効果と、に基づく。実施形態において、これらの電圧を印加したときの第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差を制御して、加速度及び温度を検出しても良い。
図２に示す例では、第１駆動導電部６１に加えて、別の第１駆動導電部６１Ａが設けられる。第２駆動導電部６２に加えて、別の第２駆動導電部６２Ａが設けられる。処理部７０は、別の第１駆動導電部６１Ａに電圧（第１電圧Ｖ１）を印加可能である。処理部７０は、別の第２駆動導電部６２Ａに電圧（第２電圧Ｖ２）を印加可能である。
図６は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図６に示す動作の少なくとも一部は、処理部７０で行われる。
図６に示すように、共振周波数（第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２）、加速度Ｇ、及び、温度Ｔの関係に関するデータが取得される（ステップＳ１０５）。既に説明したように、このデータは、予め取得される。例えば、記憶部７０Ｍに記憶されたデータを、処理部７０が取得しても良い。
図６に示すように、処理部７０は、第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ１１０）。
処理部７０は、第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１を導出し、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２を算出する（ステップＳ１２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
処理部７０は、第１共振周波数ｆ１、及び、第２共振周波数ｆ２に基づいて、加速度Ｇ及び温度Ｔを推定する（ステップＳ１３０）。例えば、上記の第１式及び第２式が用いられる。上記の第３式及び第４式が用いられも良い。
処理部７０は、最新のステップＳ１３０で行われた推定による温度の推定値と、前回のステップＳ１３０で行われた推定による温度の推定値 と、の差が基準値以下ではない場合、ステップＳ１４５の処理を行う。
ステップＳ１４５では、処理部７０は、最新の温度の推定値に応じた駆動／調整電圧（上記の第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２）に変更する。この後、ステップＳ１１０に戻る。ステップＳ１１０～ステップＳ１４５が、最新の温度の推定値と前回の温度の推定値 との差が基準値以下になるまで繰り返される。
ステップＳ１４０において、最新の温度の推定値と前回の温度の推定値 との差が基準値以下の場合、処理部７０は、加速度Ｇ及び温度Ｔに関する情報を出力する（ステップＳ１５０）。
このようにして、実施形態においては、加速度Ｇ及び温度Ｔを出力できる。実施形態においては、第１梁１１及び第２梁１２が設けられる。これらの梁において、加速度Ｇ及び温度Ｔに応じて共振周波数の変化が生じる。上記の第１共振周波数及び第２共振周波数と、加速度及び温度と、の関係式を利用することで、高い精度の検出が可能である。さらに、温度Ｔに応じた駆動／調整電圧を印加することで、例えば、温度Ｔの依存性を補正した加速度Ｇを出力可能である。
上記のように、第１動作は、第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２の少なくともいずれか（すなわち、駆動／調整電圧）を変化させて、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差の温度依存性を小さくすることを含んでも良い。例えば、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差の温度依存性が実質的に０になるような駆動／調整電圧が第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）に印加されても良い。この状態における、駆動／調整電圧と、温度Ｔと、の関係に関するデータが予め取得されても良い。予め取得されたデータが、例えば記憶部７０Ｍなどに記憶される。
上記のように、第１動作において、処理部７０は、最新の温度の推定値と前回の温度の推定値との差が基準値よりも小さくなったときの加速度Ｇ及び温度Ｔを、第１検出素子１０Ｕに加わる加速度Ｇ及び第１検出素子１０Ｕの温度Ｔとして、出力することが可能である。
駆動／調整電圧（第１電圧Ｖ１及び第２電圧Ｖ２）は、交流成分と直流成分を含んでも良い。交流成分に基づいて、第１可動梁１１Ｍ及び第２可動梁１２Ｍが振動する。交流成分と直流成分とに基づいて、振動が調整される。振動の調整は、例えば、静電バネによるソフトスプリング効果と、大変形での幾何学的非線形によるハードスプリング効果と、に基づく。
例えば、第１検出素子１０Ｕが第１駆動導電部６１及び第１駆動導電部６２を含む場合において、第１動作は、第１駆動導電部６１に交流成分を含む第１電圧Ｖ１を印加して、第１可動梁１１Ｍを振動させ、第２駆動導電部６２に交流成分を含む第２電圧Ｖ２を印加して、第２可動梁１２Ｍを振動させることを含む。既に説明したように、第１駆動導電部６１は、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２駆動導電部６２は、第２可動梁１２Ｍと対向する。第１電圧Ｖ１の直流成分は、第２電圧Ｖ２の直流成分とは異なっても良い。例えば、第１共振周波数ｆ１と第２共振周波数ｆ２との差の温度依存性が実質的に０になるように、電圧が調整されても良い。
後述するように、駆動用の電圧が印加される導電部と、調整用の電圧が印加される導電部と、が別に設けられても良い。
以下、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔと、の関係に関するデータの取得の例について説明する。
図７は、第１実施形態に係るセンサにおける動作を例示するフローチャート図である。 図７に示す動作の少なくとも一部は、処理部７０で行われても良い。別の処理部により図７に示す動作が行われ、得られたデータが記憶部７０Ｍなどに記憶されても良い。
図７に示すように、加速度Ｇを設定する（ステップＳ２０５）。例えば、最初の動作では、加速度Ｇが０とされる。
温度Ｔを設定する（ステップＳ２０６）。例えば、第１検出素子１０Ｕの温度が、対象温度範囲内のいくつかの温度の１つに設定される。対象温度範囲は、例えば、センサの使用温度範囲である。対象温度範囲は、例えば、－２０℃以上８０℃以下である。
第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１、及び、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２を取得する（ステップＳ２１０）。
第１信号ｓｉｇ１に基づいて、第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１が算出され、第２信号ｓｉｇ２に基づいて、第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２が算出される（ステップＳ２２０）。既に説明したように、ＰＬＬ回路などによる処理が行われる。
第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、の差の温度依存性が基準値以下となる駆動／調整電圧と、加速度及び温度と、の関係が測定される（ステップＳ２３０）。
対象温度範囲内の測定が終了しているかどうかが判断される（ステップＳ２４０）。対象温度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２４５に進む。ステップＳ２４５において、第１検出素子１０Ｕの温度が変更され、ステップＳ２１０に戻る。
対象温度範囲内の測定が終了している場合は、ステップＳ２５０に進む。ステップＳ２５０では、対象加速度範囲内の測定が終了したかどうかが判断される。対象加速度範囲内の測定が終了していない場合は、ステップＳ２５５に進む。ステップＳ２５５において加速度が変更される。その後、ステップＳ２０５に戻る。
対象加速度範囲内の測定が終了した場合は、測定結果を記憶する（ステップＳ２６０）。
例えば、－１Ｇ、０Ｇ、及び＋１Ｇの３種類の加速度Ｇと、－２０℃、＋２０℃及び＋８０℃の３種類の温度Ｔと、９種類の条件において、図７の動作が行われても良い。例えば、最小二乗法などにより、上記の係数が求められる。例えば、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、の差の温度依存性が基準値以下となる駆動／調整電圧と、加速度及び温度と、の関係が求められる。例えば、最小二乗法などにより、上記の第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２と、加速度及び温度と、の関係式の係数が求められる。
このような動作により、例えば、第１共振周波数ｆ１と、第２共振周波数ｆ２と、加速度Ｇと、温度Ｔと、駆動／調整電圧の関係に関するデータが取得され、記憶される。取得され記憶されたデータを用いて、図６に関して説明した動作が実施される。
図８は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図８に示すように、実施形態に係るセンサ１１１においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）に加えて、第３駆動導電部６３、及び、第４駆動導電部６４を含む。この例では、別の第３駆動導電部６３Ａ、及び、別の第４駆動導電部６４Ａがさらに設けられている。
第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）は、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）は、第２可動梁１２Ｍと対向する。第３駆動導電部６３（及び別の第３駆動導電部６３Ａ）は、第１可動梁１１Ｍと対向する。第４駆動導電部６４（及び別の第４駆動導電部６４Ａ）は、第２可動梁１２Ｍと対向する。この例では、第１駆動導電部６１と第３駆動導電部６３との間に、第１可動梁１１Ｍの一部（第１可動導電部２１）がある。この例では、第２駆動導電部６２と第４駆動導電部６４との間に、第２可動梁１２Ｍの一部（第２可動導電部２２）がある。センサ１１１においては、第１駆動導電部６１は、第１梁１１と第１可動導電部２１との間にある。第２駆動導電部６２は、第２梁１２と第２可動導電部２２との間にある。
例えば、第１動作は、第１駆動導電部６１に交流成分を含む第１電圧Ｖ１を印加して、第１可動梁１１Ｍを振動させ、第２駆動導電部６２に交流成分を含む第２電圧Ｖ２を印加して、第２可動梁１２Ｍを振動させ、第３駆動導電部６３及び第４駆動導電部６４の少なくともいずれかに電圧を印加することを含む。例えば、第１駆動導電部６１及び第２駆動導電部６２に印加される電圧より、可動梁が振動する。第３駆動導電部６３及び第４駆動導電部６４に印加される電圧により、調整が行われる。第１動作は、これらの電圧を変化させることを含んでも良い。印加される電圧は、直流成分及び交流成分の少なくともいずれかを含んで良い。
図９は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図９に示すように、実施形態に係るセンサ１１２においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）に加えて、第３駆動導電部６３、及び、第４駆動導電部６４を含む。センサ１１２においては、第３駆動導電部６３は、第１梁１１と第１可動導電部２１との間にある。第３駆動導電部６４は、第２梁１２と第２可動導電部２２との間にある。センサ１１２において、センサ１１１に関して説明した動作が行われても良い。
図１０は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図１０に示すように、実施形態に係るセンサ１１３においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）を含む。センサ１１３においては、第１駆動導電部６１は、第１梁１１と第１可動導電部２１との間にある。第２駆動導電部６２は、第２梁１２と第２可動導電部２２との間にある。センサ１１３において、センサ１１１に関して説明した動作が行われても良い。
図１１は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図１１に示すように、実施形態に係るセンサ１１４においては、第１可動梁１１Ｍにおいて第１可動導電部２１が省略され、第２可動梁１２Ｍにおいて第２可動導電部２２が省略される。センサ１１４においても、上記の第１動作が実施できる。例えば、加速度Ｇと温度Ｔとが算出（例えば推定）され、出力可能である。検出精度を向上できる。
実施形態において、算出（推定）される温度Ｔ（出力される情報に含まれる温度Ｔ）は、第１可動梁１１Ｍ及び第２可動梁１２Ｍの温度に対応する。
実施形態において、温度Ｔが正確に検出される。温度Ｔを補正した加速度Ｇを出力しても良い。例えば、処理部７０は、以下の第１動作を実施する。第１動作は、第１対向導電部５１から得られる第１信号ｓｉｇ１に基づく第１可動梁１１Ｍの第１共振周波数ｆ１と、第２対向導電部５２から得られる第２信号ｓｉｇ２に基づく第２可動梁１２Ｍの第２共振周波数ｆ２と、第１共振周波数ｆ１及び第２共振周波数ｆ２と、複数の加速度Ｇ及び複数の温度Ｔと、の関係に関するデータと、に基づいて、温度Ｔを補正した加速度Ｇに関する情報を出力することを含む。
（第２実施形態）
図１２は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的断面図である。
図１２に示すように、実施形態に係るセンサ１２０は、第１実施形態に関して説明した第１検出素子１０Ｕに加えて、第２検出素子１０Ｖを含む。第２検出素子１０Ｖは、例えば、第２支持部５０Ｂ及び第２可動部１０Ｓを含む。第２支持部５０Ｂは、基体５０Ｓに固定される。第２可動部１０Ｓは、第２支持部５０Ｂに支持され、基体５０Ｓから離れている。センサ１２０は、第２可動部１０Ｓの動きに応じた信号により、センサ１２０の角度を検出可能である。例えば、第２可動部１０Ｓの少なくとも一部が、振動される。角度の変化に応じて変化する振動状態を検出することで、角度が検出できる。例えば、フーコーの振り子の原理に基づく角度の検出が行われる。第２可動部１０Ｓは、例えば、角度直接検出型ジャイロ（ＲＩＧ：Rate Integrating Gyroscope）である。センサ１２０は、例えば、慣性計測装置（ＩＭＵ：Inertial Measurement Unit）である。
センサ１２０において、基体５０Ｓ、第１支持部５０Ａ及び第１可動部１０などの構成は、第１実施形態に関して説明した構成が適用できる。
図１２に示すように、センサ１２０において、蓋部１０Ｒが設けられても良い。蓋部１０Ｒは、基体５０Ｓと接続される。基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとの間に、第１支持部５０Ａ、第１可動部１０、第２支持部５０Ｂ及び第２可動部１０Ｓがある。例えば、基体５０Ｓと蓋部１０Ｒとにより囲まれた空間ＳＰは、１気圧未満である。空間ＳＰが減圧されることで、より高精度の検出が実施できる。空間ＳＰは、例えば、０．１Ｐａ以下である。
図１２に示すように、第１可動部１０から得られる電気信号、及び、第２可動部１０Ｓから得られる電気信号が、処理回路７５に供給されても良い。例えば、配線７８ａにより、第１可動部１０と処理回路７５とが電気的に接続される。配線７８ｂにより、第２可動部１０Ｓと処理回路７５とが電気的に接続される。処理回路７５は、例えば、ＰＬＬ回路である。処理回路７５は、例えば、処理部７０に含まれる。処理回路７５により、第１可動部１０から得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、加速度及び温度が検出できる。処理回路７５により、第２可動部１０Ｓから得られる共振周波数の変化が検出できる。これにより、例えば、角度が検出できる。角速度が検出されても良い。小型のセンサが得られる。
（第３実施形態）
第３実施形態は、電子装置に係る。
図１３は、第３実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図１３に示すように、第３実施形態に係る電子装置３１０は、第１実施形態または第２実施形態に係るセンサと、回路処理部１７０と、を含む。図１３の例では、センサとして、センサ１１０が描かれている。回路処理部１７０は、センサから得られる信号Ｓ１に基づいて回路１８０を制御可能である。回路１８０は、例えば駆動装置１８５の制御回路などである。実施形態によれば、高精度の検出結果に基づいて、駆動装置１８５を制御するための回路１８０などを高精度で制御できる。
図１４（ａ）～図１４（ｈ）は、電子装置の応用を例示する模式図である。
図１４（ａ）に示すように、電子装置３１０は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図１４（ｂ）に示すように、電子装置３１０は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図１４（ｃ）に示すように、電子装置３１０は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図１４（ｄ）に示すように、電子装置３１０は、ドローン（無人航空機）の少なくとも一部でも良い。図１４（ｅ）に示すように、電子装置３１０は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図１４（ｆ）に示すように、電子装置３１０は、船舶の少なくとも一部でも良い。図１４（ｇ）に示すように、電子装置３１０は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図１４（ｈ）に示すように、電子装置３１０は、自動車の少なくとも一部でも良い。第３実施形態に係る電子装置３１０は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んでも良い。
（構成１）
第１検出素子と、
処理部と、
を備え、
前記第１検出素子は、
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部であって、前記第１可動部は、
前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
前記第１可動基部と接続された第２可動基部と、
第１梁を含む第１可動梁と、
第２梁を含む第２可動梁と、
を含み、前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２他端部は前記第２可動基部と接続された前記第１可動部と、
前記第１可動梁と対向する第１対向導電部と、
前記第２可動梁と対向する第２対向導電部と、
を含み、
前記処理部は、前記第１対向導電部から得られる第１信号、及び、前記第２対向導電部から得られる第２信号に基づいて、前記第１検出素子に加わる加速度、及び、前記第１検出素子の温度に関する情報を出力する第１動作を実施可能である、センサ。
（構成２）
前記第１動作は、前記第１信号から得られる、前記第１可動梁の第１共振周波数と、前記第２信号から得られる前記第２可動梁の第２共振周波数と、の差及び和に基づいて、前記情報を導出することを含む、構成１記載のセンサ。
（構成３）
前記第１動作は、前記加速度及び前記温度、前記第１共振周波数及び前記第２共振周波数と、の関係に関するデータを記憶した記憶部から、前記データを取得し、
前記データに基づいて、前記情報を導出することを含む、構成２記載のセンサ。
（構成４）
前記記憶部をさらに備えた、構成３記載のセンサ。
（構成５）
前記加速度は、前記第１共振周波数と前記第２共振周波数の第１関数であり、
前記温度は、前記第１共振周波数と前記第２共振周波数の第２関数であり、 前記データは、前記第１関数に含まれる係数、及び、前記第２関数に含まれる係数の少なくともいずれかの値を含む、構成３または４に記載のセンサ。
（構成６）
前記加速度及び前記温度は、以下の第１式及び第２式で表され、
Ｇ（ｆ１，ｆ２）＝ａ１ｆ１＋ｂ１ｆ２＋ｃ１ …（１）
Ｔ（ｆ１，ｆ２）＝ａ２ｆ１＋ｂ２ｆ２＋ｃ２ …（２）
前記Ｇ（ｆ１，ｆ２）は前記加速度であり、前記Ｔ（ｆ１，ｆ２）は前記温度であり、前記ｆ１は第１共振周波数あり、前記ｆ２は第２共振周波数であり、前記ａ１、前記ｂ１、前記ｃ１、前記ａ２、前記ｂ２、及び、前記ｃ２は、係数であり、
前記データは、前記ａ１、前記ｂ１、前記ｃ１、前記ａ２、前記ｂ２、及び、前記ｃ２の少なくともいずれかの値を含む、構成３または４に記載のセンサ。
（構成７）
第１検出素子と、
処理部と、
を備え、
前記第１検出素子は、
基体と、
前記基体に固定された第１支持部と、
前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部であって、前記第１可動部は、
前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
前記第１可動基部と接続された第２可動基部と、
第１梁を含む第１可動梁と、
第２梁を含む第２可動梁と、
を含み、前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２他端部は前記第２可動基部と接続された前記第１可動部と、
前記第１可動梁と対向する第１対向導電部と、
前記第２可動梁と対向する第２対向導電部と、
を含み、
前記処理部は、前記第１対向導電部から得られる第１信号に基づく前記第１可動梁の第１共振周波数と、前記第２対向導電部から得られる第２信号に基づく前記第２可動梁の第２共振周波数と、前記第１共振周波数及び前記第２共振周波数と、複数の加速度及び複数の温度と、の関係に関するデータと、に基づいて、温度を補正した加速度に関する情報を出力する第１動作を実施可能である、センサ。
（構成８）
前記第１可動部は、導電性であり、
前記第１信号は、前記第１可動部と前記第１対向導電部との間に生じる第１電気信号に対応し、
前記第２信号は、前記第１可動部と前記第２対向導電部との間に生じる第２電気信号に対応する、構成１～７のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成９）
前記基体から前記第１可動部への第１方向は、前記第１端部から前記第１他端部への第２方向と交差し、
前記第２端部から前記第２他端部への方向は、前記第２方向に沿う、構成１～８のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１０）
前記第１可動部は、接続基部をさらに含み、
前記接続基部は、前記第１可動基部と第２可動基部との間に設けられ、前記第１可動基部及び第２可動基部を互いに接続し、
前記接続基部の前記第３方向に沿う第３長さは、前記第１可動基部の前記第３方向に沿う第１長さよりも短く、前記第２可動基部の前記第３方向に沿う第２長さよりも短く、前記第３方向は、前記第１方向及び前記第２方向を含む平面と交差し、
前記接続基部は、前記第３方向において、前記第１梁と前記第２梁との間にある、構成９記載のセンサ。
（構成１１）
前記第１可動部は、可動部材をさらに含み、
前記第２方向において前記第２可動基部は、前記接続基部と前記可動部材との間にあり、
前記可動部材は、前記第２可動基部と接続され、
前記可動部材の前記第３方向に沿う長さは、前記第２長さよりも長い、構成１０記載のセンサ。
（構成１２）
前記第１可動梁は、
第１可動導電部と、
第１接続領域と、
をさらに含み、
前記第１梁は、前記第１端部と前記第１他端部との間の第１中間領域を含み、
前記第１接続領域は、前記第１中間領域と前記第１可動導電部とを接続し、
前記第１可動導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第１接続領域の前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成９～１１のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１３）
前記第２可動梁は、
第２可動導電部と、
第２接続領域と、
をさらに含み、
前記第２梁は、前記第２端部と前記第２他端部との間の第２中間領域を含み、
前記第２接続領域は、前記第２中間領域と前記第２可動導電部とを接続し、
前記第２可動導電部の前記第２方向に沿う長さは、前記第２接続領域の前記第２方向に沿う長さよりも長い、構成１２記載のセンサ。
（構成１４）
前記第１検出素子は、第１駆動導電部及び第２駆動導電部を含み、
前記第１駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
前記第２駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
前記第１共振周波数は、前記第１駆動導電部の第１電圧により変化し、
前記第２共振周波数は、前記第２駆動導電部の第２電圧により変化し、
前記第１動作は、前記第１電圧及び前記第２電圧の少なくともいずれかを変化させて、前記第１共振周波数と前記第２共振周波数との前記差の温度依存性を小さくすることを含む、構成２～７のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１５）
前記第１検出素子は、第１駆動導電部及び第２駆動導電部を含み、
前記第１駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
前記第２駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
前記第１動作は、前記第１駆動導電部に交流成分を含む第１電圧を印加して、前記第１可動梁を振動させ、前記第２駆動導電部に交流成分を含む第２電圧を印加して、前記第２可動梁を振動させることを含む、構成２～７のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１６）
前記第１電圧の直流成分は、前記第２電圧の直流成分とは異なる、構成１５記載のセンサ。
（構成１７）
前記第１検出素子は、第１～第４駆動導電部を含み、
前記第１駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
前記第２駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
前記第３駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
前記第４駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
前記第１動作は、前記第１駆動導電部に交流成分を含む第１電圧を印加して、前記第１可動梁を振動させ、前記第２駆動導電部に交流成分を含む第２電圧を印加して、前記第２可動梁を振動させ、前記第３駆動導電部及び前記第４駆動導電部の少なくともいずれかに直流電圧を印加することを含む、構成１～１６のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成１８）
前記第１動作は、前記直流電圧を変化させることを含む、構成１３記載のセンサ。
（構成１９）
前記基体に固定された第２支持部と、
前記第２支持部に支持され前記基体から離れた第２可動部と、
を含む第２検出素子をさらに備え、
前記第２可動部の動きに応じた信号により角度を検出可能である、構成１～１８のいずれか１つに記載のセンサ。
（構成２０）
構成１～１９のいずれか１つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路処理部と、
を備えた電子装置。
実施形態によれば、検出精度を向上できるセンサ及び電子装置が提供できる。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる基体、支持部、可動部及び処理部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
その他、本発明の実施の形態として上述したセンサ及び電子装置を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサ及び電子装置も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
１０…第１可動部、 １０Ａ、１０Ｂ…第１、第２可動基部、 １０Ｅ…電極、 １０Ｈ…孔、 １０Ｐ…接続基部、 １０Ｒ…蓋部、 １０Ｓ…第２可動部、 １０Ｕ…第１検出素子、 １０Ｘ…可動部材、 １０ＸＨ…孔、 １０Ｚ…間隙、 １１、１２…第１、第２梁、 １１Ｃ、１２Ｃ…第１、第２接続領域、 １１Ｍ、１２Ｍ…第１、第２可動梁、 １１ｅ、１２ｅ…第１、第２端部、 １１ｆ、１２ｆ…第１、第２他端部、 １１ｇ、１２ｇ…第１、第２中間領域、 ２１、２２…第１、第２可動導電部、 ５０Ａ、５０Ｂ…第１、第２支持部、 ５０Ｓ…基体、 ５０Ｓｆ…第１面、 ５１、５２…第１、第２対向導電部、 ５１Ａ、５２Ａ…第１、第２対向支持部、 ５１Ｅ、５２Ｅ…電極、 ５９…周辺部、 ６１、６１Ａ…第１駆動導電部、 ６１ＡＥ、６１Ｅ…電極、 ６３、６３Ａ…第３駆動導電部、 ６４、６４Ａ…第４駆動導電部、 ７０…処理部、 ７０Ｍ…記憶部、 ７０ａ～７０ｇ…配線、 ７５…処理回路、 ７８ａ、７８ｂ…配線、 １１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１２０…センサ、 １７０…回路処理部、 １８０…回路、 １８５…駆動装置、 ３１０…電子装置、 Ｌ１～Ｌ３…第１～第３長さ、 Ｌ１１Ｃ、Ｌ１２Ｃ、Ｌ２１、Ｌ２２…長さ、 ＬＸ…長さ、 Ｓ１…信号、 ＳＰ…空間、 Ｖ１、Ｖ２…第１、第２電圧、 ｓｉｇ１、ｓｉｇ２…第１、第２信号

Claims (8)

  1. 第１検出素子と、
    処理部と、
    を備え、
    前記第１検出素子は、
    基体と、
    前記基体に固定された第１支持部と、
    前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部であって、前記第１可動部は、
    前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
    前記第１可動基部と接続された第２可動基部と、
    第１梁を含む第１可動梁と、
    第２梁を含む第２可動梁と、
    を含み、前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２他端部は前記第２可動基部と接続された前記第１可動部と、
    前記第１可動梁と対向する第１対向導電部と、
    前記第２可動梁と対向する第２対向導電部と、
    を含み、
    前記処理部は、前記第１対向導電部から得られる第１信号、及び、前記第２対向導電部から得られる第２信号に基づいて、前記第１検出素子に加わる加速度、及び、前記第１検出素子の温度に関する情報を出力する第１動作を実施可能であり、
    前記第１可動部は、接続基部をさらに含み、
    前記接続基部は、前記第１可動基部と第２可動基部との間に設けられ、前記第１可動基部及び第２可動基部を互いに接続する、センサ。
  2. 前記第１動作は、前記第１信号から得られる、前記第１可動梁の第１共振周波数と、前記第２信号から得られる前記第２可動梁の第２共振周波数と、の差及び和に基づいて、前記情報を導出することを含む、請求項１記載のセンサ。
  3. 前記第１動作は、前記加速度及び前記温度、前記第１共振周波数及び前記第２共振周波数と、の関係に関するデータを記憶した記憶部から、前記データを取得し、
    前記データに基づいて、前記情報を導出することを含む、請求項２記載のセンサ。
  4. 第１検出素子と、
    処理部と、
    を備え、
    前記第１検出素子は、
    基体と、
    前記基体に固定された第１支持部と、
    前記第１支持部に支持され前記基体から離れた第１可動部であって、前記第１可動部は、
    前記第１支持部に支持された第１可動基部と、
    前記第１可動基部と接続された第２可動基部と、
    第１梁を含む第１可動梁と、
    第２梁を含む第２可動梁と、
    を含み、前記第１梁は、第１端部及び第１他端部を含み、前記第１端部は前記第１可動基部と接続され、前記第１他端部は前記第２可動基部と接続され、前記第２梁は、第２端部及び第２他端部を含み、前記第２端部は前記第１可動基部と接続され、前記第２他端部は前記第２可動基部と接続された前記第１可動部と、
    前記第１可動梁と対向する第１対向導電部と、
    前記第２可動梁と対向する第２対向導電部と、
    を含み、
    前記処理部は、前記第１対向導電部から得られる第１信号に基づく前記第１可動梁の第１共振周波数と、前記第２対向導電部から得られる第２信号に基づく前記第２可動梁の第２共振周波数と、前記第１共振周波数及び前記第２共振周波数と、複数の加速度及び複数の温度と、の関係に関するデータと、に基づいて、温度を補正した加速度に関する情報を出力する第１動作を実施可能であり、
    前記第１可動部は、接続基部をさらに含み、
    前記接続基部は、前記第１可動基部と第２可動基部との間に設けられ、前記第１可動基部及び第２可動基部を互いに接続する、センサ。
  5. 前記基体から前記第１可動部への第１方向は、前記第１端部から前記第１他端部への第２方向と交差し、
    前記第２端部から前記第２他端部への方向は、前記第２方向に沿う、請求項１～４のいずれか１つに記載のセンサ。
  6. 前記第１検出素子は、第１～第４駆動導電部を含み、
    前記第１駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
    前記第２駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
    前記第３駆動導電部は、前記第１可動梁と対向し、
    前記第４駆動導電部は、前記第２可動梁と対向し、
    前記第１動作は、前記第１駆動導電部に交流成分を含む第１電圧を印加して、前記第１可動梁を振動させ、前記第２駆動導電部に交流成分を含む第２電圧を印加して、前記第２可動梁を振動させ、前記第３駆動導電部及び前記第４駆動導電部の少なくともいずれかに直流電圧を印加することを含む、請求項１～５のいずれか１つに記載のセンサ。
  7. 前記基体に固定された第２支持部と、
    前記第２支持部に支持され前記基体から離れた第２可動部と、
    を含む第２検出素子をさらに備え、
    前記第２可動部の動きに応じた信号により角度を検出可能である、請求項１～６のいずれか１つに記載のセンサ。
  8. 請求項１～７のいずれか１つに記載のセンサと、
    前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路処理部と、
    を備えた電子装置。
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