JP2022074658A5 - - Google Patents

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図２に示す例では、第１駆動導電部６１に加えて、別の第１駆動導電部６１Ａが設けられる。別の第１駆動導電部６１Ａは、第１可動梁１１Ｍと対向する。第２駆動導電部６２に加えて、別の第２駆動導電部６２Ａが設けられる。別の第２駆動導電部６２Ａは、第２可動梁１２Ｍと対向する。処理部７０は、別の第１駆動導電部６１Ａに電圧（第１電圧Ｖ１）を印加可能である。処理部７０は、別の第２駆動導電部６２Ａに電圧（第２電圧Ｖ２）を印加可能である。
Ｇ（ｆ１，ｆ２）＝ａ１１ｆ１ ＋ａ １２ｆ１ ２＋ｂ１１ｆ２ ＋ｂ １２ｆ２ ２＋ｃ１１ …（３）
Ｔ（ｆ１，ｆ２）＝ａ２１ｆ１ ＋ａ ２２ｆ１ ２＋ｂ２１ｆ２ ＋ｂ ２２ｆ２ ２＋ｃ２１ …（４）
第３式及び第４式において、「ａ１１」、「ａ１２」、「ｂ１１」、「ｂ１２」、「ｃ１１」、「ａ２１」、「ａ２２」、「ｂ２１」、「ｂ２２」、及び、「ｃ２１」は、係数である。
図８は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図８に示すように、実施形態に係るセンサ１１１においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）に加えて、第３駆動導電部６３、及び、第４駆動導電部６４を含む。この例では、別の第３駆動導電部６３Ａ、及び、別の第４駆動導電部６４Ａがさらに設けられている。
図９は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図９に示すように、実施形態に係るセンサ１１２においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）に加えて、第３駆動導電部６３、及び、第４駆動導電部６４を含む。センサ１１２においては、第３駆動導電部６３は、第１梁１１と第１可動導電部２１との間にある。第３駆動導電部６４は、第２梁１２と第２可動導電部２２との間にある。センサ１１２において、センサ１１１に関して説明した動作が行われても良い。
図１０は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
図１０に示すように、実施形態に係るセンサ１１３においては、第１検出素子１０Ｕは、第１可動梁１１Ｍ、第２可動梁１２Ｍ、第１対向導電部５１、第２対向導電部５２、第１駆動導電部６１（及び別の第１駆動導電部６１Ａ）、及び、第２駆動導電部６２（及び別の第２駆動導電部６２Ａ）を含む。センサ１１３においては、第１駆動導電部６１は、第１梁１１と第１可動導電部２１との間にある。第２駆動導電部６２は、第２梁１２と第２可動導電部２２との間にある。センサ１１３において、センサ１１１に関して説明した動作が行われても良い。
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