CN111273057A - 三轴加速度计 - Google Patents
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Abstract
一种三轴加速度计是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度，因此可获得较紧密的结构。此外，组成差分电容对的各方向检测电容相对于可动质量块的旋转轴对称配置，因此，可动质量块在检测方向运动时，在非检测方向的差分电容值保持不变，其可避免可动质量块运动所产生的检测误差。
Description
技术领域
本发明是有关一种加速度计，特别是一种以微机电系统(MEMS)实现的三轴加速度计。
背景技术
自1970年代微机电系统装置概念成形起，微机电系统(MicroelectromechanicalSystem，MEMS)装置已从实验室的探索对象进步至成为高阶系统整合的对象，并已在大众消费性装置中有广泛的应用，展现了惊人且稳定的成长。微机电系统装置包含一可动的微机电系统元件，借由感测或控制可动的微机电系统元件的运动物理量可实现微机电系统装置的各项功能。
加速度传感器已应用于消费型电子、汽车电子、物联网装置或其它工程、科学及工业领域。已知的三轴加速度传感器大多是以彼此独立的多个质量块来感测不同轴向的加速度，因此，已知的三轴加速度传感器通常体积庞大，且结构复杂，因而不利于制作。
有鉴于此，提供一种三轴加速度传感器并满足结构尽可能紧密的要求便是目前极需努力的目标。
发明内容
本发明提供一种三轴加速度计，其是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度，因此可获得较紧密的结构。
本发明提供一种三轴加速度计，任一轴的二组差分电容对在其他轴向运动时自身的差值变化将近为零，可以减少对其他各轴向的干扰产生。
本发明提供一种三轴加速度计，透过锚点和与固定电极固定的导电接触集中于几何中心区域的设计，可以减缓后续制程，例如封装及焊接制程等，所带来的残余应力所导致的输出信号漂移。
本发明一实施例的三轴加速度计包含一基板、一可动质量块、四个第一轴可动电极元件、四个第二轴可动电极元件、四个第一轴固定电极元件以及四个第二轴固定电极元件。基板包含一金属层，其中金属层部分暴露于基板的一表面形成一电路图案，该表面平行于一第一轴和一第二轴所定义的一二维面，一第三轴垂直于该表面、该第一轴和该第二轴。可动质量块呈一框状结构，且可动质量块经由至少一锚点以及一弹性元件与基板连接，使该可动质量块可沿平行于该表面的一第一轴平行运动、相对于平行该表面且以该第三轴为一旋转轴进行旋转、以及相对于该第二轴进行转动。可动质量块包含四个第三轴可动电极区，其相对于垂直于第一轴以及第二轴的可动质量块的一旋转轴(第三轴)对称配置，其中四个第三轴可动电极区对应于电路图案形成四个第三轴感测电容，且相对于旋转轴对称配置的二个第三轴感测电容组成一第三轴差分电容对。四个第一轴可动电极元件连接于框状结构的内侧，并相对于旋转轴对称配置。四个第二轴可动电极元件连接于框状结构的内侧，并相对于旋转轴对称配置。四个第一轴固定电极元件与电路图案电性连接，且对应于四个第一轴可动电极元件设置，以形成四个第一轴感测电容，其中相对于旋转轴对称配置的二个第一轴感测电容组成一第一轴差分电容对。四个第二轴固定电极元件与电路图案电性连接，且对应于四个第二轴可动电极元件设置，以形成四个第二轴感测电容，其中相对于旋转轴对称配置的二个第二轴感测电容组成一第二轴差分电容对。
以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
附图说明
为让本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，以下结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明，其中：
图1为一正面示意图，显示本发明第一实施例的三轴加速度计的部分元件。
图2为一侧面示意图，显示本发明第一实施例的三轴加速度计沿图1所示的O-O线的剖面结构以及加上其他结构和元件。
图3为一示意图，显示本发明第二实施例的三轴加速度计的部分元件。
图4为一示意图，显示本发明第三实施例的三轴加速度计的部分元件。
图5为一示意图，显示本发明第四实施例的三轴加速度计的部分元件。
图6为一示意图，显示本发明第五实施例的三轴加速度计的部分元件。
图7为一示意图，显示本发明的可动质量块的一第一轴和第二轴所定义的一二维面的几何形状实施例。
图8为一示意图，显示本发明的可动质量块的第三轴厚度实施例。
符号说明
10 基板
11 金属层
11a、11e 第三轴固定电极
11b-11d 导电接点
12 止动凸块
20 基板
20a 可动质量块
20b 环状固定结构
21a-21d 连接段
22a-22d 质量区
221 通孔
23 锚点
24 弹性元件
311a-311d 第一轴可动电极元件
312a-312d 第一轴固定电极元件
321a-321d 第二轴可动电极元件
322a-322d 第二轴固定电极元件
331a-331d 第三轴可动电极区
40 盖体
42 第一臂
43 介电层
44 第二臂
45 导电接触
47 固定接触点
A1 第一轴
A2 第二轴
A3 第三轴
W1、W2、W3、W4 宽度
D1、D2 厚度
具体实施方式
以下将详述本发明的各实施例，并配合附图作为例示。除了这些详细说明之外，本发明亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本发明的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本发明有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本发明可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或元件并未描述于细节中，以避免对本发明形成不必要的限制。附图中相同或类似的元件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，附图仅为示意之用，并非代表元件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求附图的简洁。
请参照图1以及图2，本发明的一实施例的三轴加速度计包含一基板10、一可动质量块20a、四个第一轴固定电极元件312a、312b、312c、312d以及四个第二轴固定电极元件322a、322b、322c、322d。在一实施例中，本发明的三轴加速度计更包含一盖体40，其与基板10形成一容置空间并且和基板10共同固定可动质量块20a的固定电极部分。可动质量块20a即容置于基板10以及盖体40间的容置空间。基板10包含一金属层11，其中金属层11部分暴露于基板10的一表面形成一电路图案。举例而言，暴露出来的电路图案可作为第三轴固定电极11a和第三轴固定电极11e、作为与第一轴固定电极元件312a～312d以及第二轴固定电极元件322a～322d电性连接的导电接点11b、作为与可动质量块20a电性连接的导电接点11c、或是与盖体40电性连接的导电接点11d。电路图案可包含一互补式金氧半导体元件。换言之，基板10可为一互补式金氧半导体基板。在一实施例中，基板10可为一硅基板，而位于基板10上的另一基板20则包括可动质量块20a和环状固定结构20b。另，盖体40透过多个固定接触点47来绝缘地固定可动质量块20a的锚点23、多个各轴固定电极元件以及环绕于可动质量块20a的四周外的环状固定结构20b。盖体40、环状固定结构20b以及基板10可形成一气密腔体以保护设置于其中的内部感测元件。再者，一介电层43先形成于环状固定结构20b、可动质量块20a的上表面和固定接触点47处，然后一导电层再形成于部分的介电层43上，并透过介电层43开孔形成导电接触45来达到盖体40和基板10电性连接。在键结盖体40和可动质量块20a时，透过介电层43的形成和可选择性地开孔，可同时绝缘地固定该多个固定接触点47和锚点23，以及给予盖体40特定电位。
可动质量块20a呈一框状结构，举例而言，可动质量块20a可由多个连接段21a、21b、21c、21d以及多个质量区22a、22b、22c、22d彼此连接成一矩形的框状结构。在图1所示的实施例中，多个质量区22a～22d分别配置于矩形框状结构长轴(第一轴A1)的四个端点。但不限于此，质量区亦可设置于矩形框状结构的短轴边缘(第二轴A2)。可动质量块20a是经由至少一锚点23以及弹性元件24与基板10连接，使可动质量块20a可沿平行于基板10的表面(第一轴A1和第二轴A2所构成的平面)在第一轴A1方向上移动，以及相对于平行于基板10的表面且垂直于第一轴A1的第二轴A2摆动而使得可动质量块类似于一翘翘板结构。其次，可动质量块20a亦相对于垂直且突出于基板10的表面的一第三轴A3旋转。依据图1所示的结构，第三轴A3通过锚点23且与第一轴A1以及第二轴A2垂直，或谓第三轴A3突出于由第一轴A1和第二轴A2所定义的平面。在一实施例中，可动质量块20a可为一单晶硅或参杂低阻抗硅。
在一实施例中，锚点23与基板10的连接区域包含一合金，其包含铝、铜、锗、铟、金以及硅中的至少一个。连接区域可包含一导电材料，其于结构上具有足够的机械刚性以维持连接界面。在一特定实施例中，连接区域与基板10形成一低阻抗欧姆接触。在一实施例中，连接区域可包含锗、铝或铜。在其它实施例中，连接区域亦可使用其它材料，例如金、铟以及其它提供底部粘着以及湿润改良金属堆叠的焊料。举例而言，盖体40、可动质量块20a、环状固定结构20b、第一轴固定电极元件312a～312d以及第二轴固定电极元件322a～322d可以各自为一基板，并且各自以基板形式与基板10的接合能够以熔接(fusion bond)、共晶键合(eutectic bonding)、导电共晶键合、焊接以及粘合中的至少一个加以实现。在一实施例中，对接合界面进行施压以及加热，使接合界面的导电材料产生回流反应(reflow)。导电材料的回流反应所形成的接合结构提供可动质量块20a、第一轴固定电极元件312a～312d以及第二轴固定电极元件322a～322d与基板10间的欧姆接触。较佳者，可动质量块20a、第一轴固定电极元件312a～312d以及第二轴固定电极元件322a～322d与基板10间的接合为具有导电性的共晶键合，因此免除了需提供可动质量块20a以及基板10间信号传递的额外导电路径。在一实施例中，接合可以金属对金属熔接达成，例如Al-Al、Cu-Cu或Au-Au。
在图1所示的实施例中，锚点23是设置于框状结构的内侧，而弹性元件24亦连接于框状结构的内侧。在一实施例中，锚点23是设置于框状结构的一几何中心。其次，分布在第二轴A2两侧的可动质量块20a的质量具有差异而形成适当的旋转惯性矩差，使可动质量块20a易于相对于第二轴A2进行类似跷跷板的摆动以增加灵敏度。举例而言，在第二轴A2两侧的质量区，其中的一质量区(例如质量区22c、22d)可设置多个通孔221，以减少质量区22c、22d的质量。或者，减少质量区22c、22d的厚度，使其小于第二轴A2另一侧质量区22a、22b的厚度，亦可使第二轴A2两侧的可动质量块20a的质量具有差异。
继续参考图1和图2，可动质量块20a包含四个第三轴可动电极区331a、331b、331c、331d，其分别设置于第一轴A1的两侧。举例而言，第三轴可动电极区331a、331d设置于第一轴A1的相同侧，较佳者，彼此相对于第二轴A2对称配置；第三轴可动电极区331b、331c设置于第一轴A1的另一侧，较佳者，彼此相对于第二轴A2对称配置。四个第三轴可动电极区331a～331d可与基板10表面的多个第三轴固定电极11a、第三轴固定电极11e形成四个第三轴感测电容。其次，第三轴可动电极区331a和第三轴固定电极11e构成的第三轴感测电容组，以及第三轴可动电极区331d和第三轴固定电极11a构成的第三轴感测电容组，二者组成一第三轴差分电容对。第三轴可动电极区331b和第三轴固定电极11e构成的第三轴感测电容组，以及第三轴可动电极区331c和第三轴固定电极11a构成的第三轴感测电容组，二者则组成另一第三轴差分电容对。依据此结构，当可动质量块20a相对于第二轴A2转动/摆动时，任一第三轴差分电容对中其中之一第三轴感测电容的电容值将增加一电容差值，另一第三轴感测电容的电容值将减少一电容差值，如此可获得2倍的电容差值。同理，另一第三轴差分电容对亦可获得2倍的电容差值，因此，本发明的三轴加速度计总共可获得4倍的电容差值，如此可提升检测第三轴加速度的准确度。在一实施例中，可设置一止动凸块12在对应于可动质量块20a的基板10的表面，如此可降低可动质量块20a与基板10的接触面积，以防止可动质量块20a与基板10沾粘而失效。
继续参考图1和图2，可动质量块20a亦包含四个第一轴可动电极元件311a、311b、311c、311d以及四个第二轴可动电极元件321a、321b、321c、321d。在一实施例中，第一轴可动电极元件311a～311d以及第二轴可动电极元件321a～321d皆连接于框状结构的可动质量块20a的内侧，其中第一轴可动电极元件311a～311d相对于第三轴A3对称配置，第二轴可动电极元件321a～321d亦相对于第三轴A3对称配置。第一轴固定电极元件312a～312d与基板10的导电接点11b电性连接且对应于第一轴可动电极元件311a～311d设置以形成四个第一轴感测电容，此四个第一轴感测电容相对于第三轴A3对称配置组成二组第一轴差分电容对。举例而言，第一轴可动电极元件311a、311c以及第一轴固定电极元件312a、312c所构成的第一轴感测电容组成一第一轴差分电容对；第一轴可动电极元件311b、311d以及第一轴固定电极元件312b、312d所构成的第一轴感测电容组成另一第一轴差分电容对。依据此结构，当可动质量块20a沿第一轴A1的正方向平行移动时，第一轴差分电容对中，第一轴可动电极元件311a和第一轴固定电极元件312a所构成的感测电容将减少一电容差值；而第一轴可动电极元件311c和第一轴固定电极元件312c所构成的感测电容将增加一电容差值。透过如此的差分电路，可获得2倍电容差值。同理，另一第一轴差分电容对中，第一轴可动电极元件311b和第一轴固定电极元件312b所构成的感测电容将减少一电容差值；而第一轴可动电极元件311d和第一轴固定电极元件312d所构成的感测电容将增加一电容差值。透过如此的差分电路，亦可获得2倍电容差值，因此，本发明的三轴加速度计总共可获得4倍的电容差值，如此可提升检测第一轴A1加速度的准确度。
继续参考图1和图2，上述的多个第一轴电容对和第二轴电容对的分布是以锚点23为中心并设置于锚点23的周围；也可以说，第一轴电容对和第二轴电容对被设计成分布在与锚点23电性连接的导电接点11c的周围。此8个电容对和锚点23皆集中于三轴加速计的几何中心区域，其能减缓来自后续表面粘着(SMT)制程的变形所造成的应力所带来的影响。
继续参考图1和图2，第二轴固定电极元件322a～322d与基板10的导电接点11b电性连接，且对应于第二轴可动电极元件321a～321d设置，以形成四个第二轴感测电容。同样的，相对于旋转轴(即通过锚点23的第三轴A3)对称配置的二个第二轴感测电容分别组成一第二轴差分电容对。举例而言，第二轴可动电极元件321a、321c以及第二轴固定电极元件322a、322c所构成的第二轴感测电容组成一第二轴差分电容对；第二轴可动电极元件321b、321d以及第二轴固定电极元件322b、322d所构成的第二轴感测电容组成另一第二轴差分电容对。依据此结构，当可动质量块20a以第三轴A3为转轴、平行于基板10而顺时针方向旋转时，第二轴差分电容对中，第二轴可动电极元件321a和第二轴固定电极元件322a所构成的感测电容将增加一电容差值；而第二轴可动电极元件321c和第一轴固定电极元件322c所构成的感测电容将减少一电容差值，如此透过差分电路可获得2倍的电容差值。而另一第二轴差分电容对中，第二轴可动电极元件321b和第二轴固定电极元件322b所构成的感测电容将增加一电容差值；而第二轴可动电极元件321d和第一轴固定电极元件322d所构成的感测电容将减少一电容差值，如此透过差分电路亦可获得2倍的电容差值，因此，本发明的三轴加速度计总共可获得4倍的电容差值，如此可提升检测第二轴加速度的准确度。在一实施例中，第一轴可动电极元件311a～311d、第一轴固定电极元件312a～312d、第二轴可动电极元件321a～321d以及第二轴固定电极元件322a～322d可为一指状电极。
如前所述，可动质量块20a可沿第一轴A1平行运动以检测第一轴A1，以及相对于出平面的第三轴A3旋转运动以检测第二轴A2的加速度，此外，可动质量块20a还可能相对于第二轴A2(即锚点23)转动/摆动以检测第三轴A3上的加速度。参考图1和图2，当可动质量块20a相对于第二轴A2转动/摆动时，即可动质量二组第三轴差分电容对中的第三轴可动电极区331a、331b为同向，第三轴差分电容对中的另一第三轴可动电极区331c、331d为同向。即，当三轴加速度计受到沿第三轴A3方向上的加速度时，可动质量块20a因分布在第二轴A2二侧的质量不同，因而产生转动/摆动，进而导致第三轴可动电极区331a、331b二者皆接近或远离第三轴固定电极11e；同理的，第三轴可动电极区331c、331d二者皆接近或远离第三轴固定电极11a。因此，任一第三轴差分电容对中的一个第三轴感测电容的电容值将增加一电容差值，另一第三轴感测电容的电容值将减少一电容差值，如此可获得2倍的电容差值。而另一第三轴差分电容对亦可获得2倍的电容差值，因此，本发明的三轴加速度计总共可获得4倍的电容差值，如此可提升检测第三轴加速度的准确度。
依据图1所示的结构，第一轴差分电容对以及第二轴差分电容对中的第一轴可动电极元件311a、311c或311b、311d以及第二轴可动电极元件321a、321c或321b、321d对称设置于旋转轴的两侧。举例来说，当检测第一轴A1方向时，第二轴可动电极元件321c、311d以近似平行于基板10的表面水平方向、分别接近第二轴固定电极元件322c、322d而增加电容值；此时，第二轴可动电极元件321a、321b则分别远离第二轴固定电极元件322a、322b而减少电容值，如此的二组差分电容对中的电容变化亦将近为零。此时第三轴A3的检测电极板(第三轴可动电极区和固定电极)对于可动质量块20a在第一轴A1方向上的移动并不敏感。而在检测第二轴A2方向时，可动质量块20a沿近似平行于基板10的表面水平方向顺时针旋转(以第三轴A3为旋转轴)时，第一轴可动电极元件311b、311d则是分别接近第一轴固定电极元件312b、312d而增加电容值，搭配第一轴可动电极元件311a、311c则是分别远离第二轴固定电极元件312a、312c而减少电容值，如此的二组差分电容对中的电容变化亦将近为零。同理地，此时第三轴A3的检测电极板(第三轴可动电极区和固定电极)对于可动质量块20a的旋动并不敏感。故，本发明的三轴加速计的设计是可以在检测任一轴运动时，减少其他各轴向干扰(cross-talk)的产生。因此，本发明的三轴加速度计可较为准确的检测第一轴、第二轴以及第三轴的加速度，且可避免可动质量块20a旋转所产生的误差。
再者，弹性元件24，请参考图5，包括一第一臂42连接锚点23以及至少二个第二臂44连接于框状结构的可动质量块20a的内侧，其中，第一臂是指连接于锚点23和第二臂之间的部分。如图5所示，第一臂42为“T”字形，二个第二臂44则分别位于第一臂42的二侧，并且有大部分平行于第一臂42的“T”形的竖直部分。因此，本案的弹性元件的形状可同时提供三轴加速计的三个方向自由度，并且可透过弯曲方式增加臂长度以及改变弹性臂宽度尺寸来调整加速度计的灵敏度，如此亦可耐受较大的外力冲击。可以理解的是，第一轴可动电极元件311a～311d以及第二轴可动电极元件321a～321d的设置位置可依实际需求加以修改。举例而言，在图3中，第一轴可动电极元件311a、311d以及311b、311c可分别连接于连接段21d以及21b。或者，第一轴可动电极元件311a～311d以及第二轴可动电极元件321a-321d的设置位置可修改如图4所示的实施例。
请参照图5，在一实施例中，锚点23的设置位置亦可偏离框状结构的几何中心。举例而言，连接段21a的宽度W1大于连接段21c的宽度W2，依据此结构，锚点23的设置位置即偏离框状结构的几何中心，且第二轴A2两侧的可动质量块20a的质量亦具有差异。可以理解的是，图5所示的质量区22c、22d亦可进一步设置通孔，使第二轴A2两侧的可动质量块20a的质量差异增大。
前述所示的实施例中，固定可动质量块20a的锚点23是设置于框状结构的内侧，但不限于此。请参照图6，在一实施例中，固定可动质量块20a的锚点23以及弹性元件24可设置于框状结构的外侧。可以理解的是，可动质量块20a仍可相对于一旋转轴A3(例如框状结构的几何中心)旋转，因此，可动电极元件以及固定电极元件需相对于旋转轴A3对称配置。
另外，参考图7，相对于第二轴A2、可动质量块20a的锚点23设置于第二轴A2二侧最大边长的中点M，中点M亦为可动质量块20a相对于第一轴A1的中点。其次，第二轴A2的一侧的宽度W3(平行于第一轴A1)为单一值，第二轴A2的另一侧的宽度W3和W4则有二值，其中宽度W4小于宽度W3。以上所述的实施例，其第三轴A3方向的厚度可为单一值。然不限地，本案的可动质量块20a亦可透过厚度设计的差异来造成可动质量块20a相对于第二轴A2二侧的质量变异，如图8所示，平行于第一轴A1和第二轴A2的表面为矩形的可动质量块20a，锚点23设置于第二轴A2和第一轴A1的交点，也是几何中心。其次，第二轴A2的一侧的厚度D1为单一值，第二轴A2的另一侧有厚度D1和厚度D2，其中，厚度D2小于厚度D1，如此亦可达到本案质量差异化的目的。
综合上述，本发明的三轴加速度计，其是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度，因此可获得较紧密的结构。此外，相对于可动质量块的旋转轴对称配置的多个各方向检测电容，在可动质量块旋转时的差分电容值为零，因此可避免可动质量块旋转所产生的检测误差。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本发明的保护范围当以权利要求书所界定的为准。
Claims (13)
1.一种三轴加速度计，包含：
一基板，其包含一金属层，其中该金属层部分暴露于该基板的一表面形成一电路图案，其中该表面平行于一第一轴和一第二轴所定义的一二维面，一第三轴垂直于该表面、该第一轴和该第二轴；
一可动质量块，其呈一框状结构，且该可动质量块经由至少一锚点以及一弹性元件与该基板连接，使该可动质量块可沿平行于该表面的一第一轴平行运动、平行于该表面且以该第三轴为一旋转轴进行旋转、以及相对于该第二轴进行转动，其中该可动质量块包含至少二个第三轴可动电极区，其分别设置于相对于该第二轴的二侧的一部分，该二个第三轴可动电极区对应于该电路图案形成二个第三轴感测电容，且该二个第三轴感测电容组成一第三轴差分电容对，以检测该可动质量块相对于该第二轴转动的变化量；
至少二个第一轴可动电极元件，其连接于该框状结构的内侧，并且相对于该旋转轴对称配置；
至少二个第二轴可动电极元件，其连接于该框状结构的内侧，并且相对于该旋转轴对称配置；
至少二个第一轴固定电极元件，其与该电路图案电性连接，且对应于该至少二个第一轴可动电极元件设置，以形成二个第一轴感测电容，其中相对于该旋转轴对称配置的该二个第一轴感测电容组成一第一轴差分电容对，以检测该可动质量块沿该第一轴平行运动的变化量；以及
至少二个第二轴固定电极元件，其与该电路图案电性连接，且对应于该至少二个第二轴可动电极元件设置，以形成二个第二轴感测电容，其中相对于该旋转轴对称配置的该二个第二轴感测电容组成一第二轴差分电容对，以检测该可动质量块以该第三轴为该转轴的旋转的变化量。
2.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，相对于该第二轴的二侧的至少二个该部分的质量具有差异。
3.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该可动质量块包含至少二个质量区，其设置于该第二轴的二侧，且该质量区的其中之一具有多个通孔，或其厚度小于该第二轴另一侧质量区的厚度。
4.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该锚点设置于该框状结构的内侧。
5.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该锚点设置于该框状结构的一几何中心。
6.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该锚点的设置位置偏离该框状结构的一几何中心。
7.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该弹性元件以单一的第一臂连接于该锚点。
8.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该弹性元件以至少二个第二臂连接于该框状结构的内侧。
9.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，对应于该可动质量块的该基板的该表面具有一止动凸块。
10.如权利要求1所述的三轴加速度计，更包含一盖体，其与该基板形成一容置空间，以容置该可动质量块。
11.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该基板包含一互补式金氧半导体基板。
12.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该可动质量块包含单晶硅或掺杂低阻抗硅。
13.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，该锚点与该基板的连接区域包含一合金，其包含铝、铜、锗、铟、金以及硅中的至少一个。
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Application publication date: 20200612 |