JP5651977B2 - 加速度センサの製造方法 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図1及び図6は、第1実施形態に係る加速度センサの概略構成を説明するための平面図である。図2は、図1のII−II線に沿う断面図である。図3は、図1のIII−III線に沿う断面図である。図4は、配線パターン及び内部電極を説明するためのブロック図である。図5は、貫通電極、外部電極、及び補助配線を説明するための平面図である。図7及び図8は、第1実施形態に係る加速度センサの概略構成を示す平面図である。
20・・・センサ基板
21・・・センシング部
30・・・パッケージ基板
31・・・凹部
32・・・貫通電極
38・・・外部電極
39・・・第1外部電極群
40・・・第2外部電極群
47・・・補助配線
60・・・処理部
70・・・搭載基板
100・・・加速度センサ
Claims (1)
- 一方向を検出軸とし、該検出軸に沿う加速度を検出するセンサ部を有し、
前記センサ部は、加速度を電気信号に変換するセンシング部が形成されたセンサ基板と、前記センシング部を気密封止するための凹部が形成されたパッケージ基板と、が接合されて成り、
前記センサ基板における前記パッケージ基板との対向面側に、前記センシング部と、該センシング部と電気的に接続された配線パターンと、該配線パターンと電気的に接続された内部電極と、が形成され、
前記パッケージ基板の内部に、前記センサ基板との対向面とその裏面を電気的に接続する貫通電極が、前記内部電極と同数形成され、
前記パッケージ基板における前記センサ基板との対向面の裏面に、接続部材を介して、外部機器の電極と電気的に接続される外部電極と、該外部電極と前記貫通電極とを電気的に接続する補助配線と、が形成されており、
前記外部電極は、前記内部電極と同数の第1外部電極が一方向に並んで配置された第1外部電極群と、前記内部電極と同数の第2外部電極が他方向に並んで配置された第2外部電極群と、を有し、
前記第1外部電極の並ぶ間隔と、前記第2外部電極の並ぶ間隔とが同一であり、前記第1外部電極の並ぶ一方向と、前記第2外部電極の並ぶ他方向とが直交する関係となっており、
前記第1外部電極群、前記第2外部電極群、及び前記補助配線は、前記パッケージ基板の対向面における、前記センサ基板との接合面の裏面、及び、前記凹部における前記センサ基板との対向面の裏面の少なくとも一方に形成されている加速度センサの製造方法であって、
加速度の検出方向に応じて、前記第1外部電極群と電気的に接続された補助配線、及び、前記第2外部電極群と電気的に接続された補助配線のいずれか一方を削除する削除工程を有することを特徴とする加速度センサの製造方法。
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