JP4706634B2 - 半導体センサおよびその製造方法 - Google Patents
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本参考例では半導体センサの一例として、図1および図2に示す構成の半導体加速度センサAを例示する。本参考例の半導体加速度センサAは、シリコン基板をマイクロマシニング技術により3次元加工することにより形成され力学的物理量(本参考例では、加速度)を検出する半導体センサチップ1と、半導体センサチップ1の出力信号を信号処理する信号処理用ICチップ2と、絶縁性を有するアルカリ系ガラス基板からなるパッケージ用のパッケージチップ3とを備えている。
本実施形態では、半導体センサとして図5および図6に示す構成の半導体加速度センサAを例示する。本実施形態の半導体加速度センサAの基本構成は参考例と略同じであり、パッケージチップ3にパッド31,32や配線33を設ける代わりに、図5および図6に示すように、信号処理用ICチップ2の裏面(図6(b)の下面)側に外部接続用電極としてのパッド22を形成するとともに、主表面側に形成されたパッド21と裏面側に形成されたパッド22とを電気的に接続する導電性材料(例えば、金属材料など)からなる配線(貫通配線)23を厚み方向に貫設している点などが相違する。また、パッド22上(図6(b)の下側)には金属材料からなるバンプ25が形成されている。ここにおいて、信号処理用ICチップ2は、厚み方向の両面および貫通孔の内周面に絶縁膜(例えば、シリコン酸化膜など)24を形成して、配線23間およびパッド22間を電気的に絶縁してある。また、パッケージチップ3と信号処理用ICチップ2とは、陽極接合法により接合 する、あるいは、接着剤を用いて接合することも考えられるが、本実施形態では、表面活性化接合法により接合する。なお、参考例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
1 半導体センサチップ
2 信号処理用ICチップ
3 パッケージチップ
3a 凹所
15 パッド
21 パッド
22 パッド(外部接続用電極)
23 配線
31 パッド(電極端子)
32 パッド(外部接続用電極)
33 配線
Claims (5)
- 力学的物理量を検出する半導体センサチップと、半導体センサチップの出力信号が入力されるとともに温度補償回路を備えた信号処理用ICチップと、半導体センサチップを収納する凹所が形成されたパッケージチップとを備え、半導体センサチップが当該半導体センサチップのパッドが形成された主表面を信号処理用ICチップの主表面に対向させた形で信号処理用ICチップに実装されてなり、信号処理用ICチップとパッケージチップとは、それぞれシリコン基板を用いて形成され、信号処理用ICチップが当該信号処理用ICチップのパッドの形成された主表面をパッケージチップに対向させた形で表面活性化接合法により気密的に接合されることで半導体センサチップが外気に曝されないようになっていることを特徴とする半導体センサ。
- 前記パッケージチップは、前記信号処理用ICチップ側の一面とは反対側の他面に外部接続用電極が形成され、前記信号処理用ICチップの前記パッドと電気的に接続された電極端子と外部接続用電極とを電気的に接続する配線が厚み方向に貫設されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体センサ。
- 前記信号処理用ICチップは、裏面側に外部接続用電極が形成され、前記信号処理用ICチップの前記パッドと外部接続用電極とを電気的に接続する配線が厚み方向に貫設されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体センサ。
- 前記信号処理用ICチップのチップサイズを前記パッケージチップのチップサイズに合わせてなることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の半導体センサ。
- 請求項4記載の半導体センサの製造方法であって、多数の信号処理用ICチップを形成する第1のウェハにおける信号処理用ICチップの配列ピッチと多数のパッケージチップを形成する第2のウェハにおけるパッケージチップの配列ピッチとを同一ピッチとし、多数の信号処理用ICチップを形成した第1のウェハにおける各信号処理用ICチップそれぞれに対して個々の半導体センサチップを実装する実装工程と、実装工程の後で第1のウェハと第2のウェハとを貼り合わせた貼り合わせウェハを形成する貼り合わせ工程と、貼り合わせウェハをそれぞれ半導体センサとなる個々のチップに分割する分割工程とを備えることを特徴とする半導体センサの製造方法。
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