JP2000180175A - 多軸検出型角速度、加速度センサ - Google Patents
多軸検出型角速度、加速度センサInfo
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- G01P2015/0808—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
- G01P2015/0811—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
- G01P2015/0814—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type
Abstract
(57)【要約】
【課題】センサ装置の小型化、出力誤差の減少。
【解決手段】基板上（２０）に、平面角型形状の質量部
（２１）と、質量部（２１）を支持する梁（２４）と、
質量部（）２１を駆動する駆動用電極と、駆動された状
態の質量部が直交する３つの軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で構成さ
れる三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度によ
り変位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検
出型角速度、加速度センサにおいて、検出部は、質量部
（２１）の側方に形成された第１の検出部（２１ｂ，２
７ａ、２１ｄ、２８ａ、２１ｅ、２９ａ、２１ｇ、３０
ａ）と、質量部（２１）に開口穴（２１ａ）が形成さ
れ、開口穴（２１ａ）と、基板（２１）に一端が固定さ
れ、開口穴（２１ａ）内に配された第１の固定電極（３
１）とで形成された第２の検出部と、質量部（２１）と
質量部（２１）を被うケース、及び基板（２０）に固定
された第２の固定電極（３３）とで形成された第３の検
出部とから構成され、第１、第２、及び第３の検出部に
よって、２軸回りの角速度、及び３軸方向の加速度を検
出し得る構成にする。
（２１）と、質量部（２１）を支持する梁（２４）と、
質量部（）２１を駆動する駆動用電極と、駆動された状
態の質量部が直交する３つの軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で構成さ
れる三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度によ
り変位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検
出型角速度、加速度センサにおいて、検出部は、質量部
（２１）の側方に形成された第１の検出部（２１ｂ，２
７ａ、２１ｄ、２８ａ、２１ｅ、２９ａ、２１ｇ、３０
ａ）と、質量部（２１）に開口穴（２１ａ）が形成さ
れ、開口穴（２１ａ）と、基板（２１）に一端が固定さ
れ、開口穴（２１ａ）内に配された第１の固定電極（３
１）とで形成された第２の検出部と、質量部（２１）と
質量部（２１）を被うケース、及び基板（２０）に固定
された第２の固定電極（３３）とで形成された第３の検
出部とから構成され、第１、第２、及び第３の検出部に
よって、２軸回りの角速度、及び３軸方向の加速度を検
出し得る構成にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、１つの素子で多軸
の検出を可能にした多軸検出型角速度、加速度センサに
関する。
の検出を可能にした多軸検出型角速度、加速度センサに
関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来例を示す図である。図中、
１、２、３は、直交してＸ，Ｙ，Ｚの３つの軸を構成す
る基板、４、５、６は、それぞれ基板１、２、３に支持
され、側面にそれぞれ圧電素子４ａ、５ａ、６ａ貼付し
た正三角柱状の金属等の振動体、７、８、９は、それぞ
れ基板１、２、３に搭載された信号処理回路である。こ
れら、基板１、２、３、圧電素子４ａ、５ａ、６ａ、振
動体７、８、９、及び信号処理回路７はケース１０に収
納され、ケース１０に収納された加速度センサ１２と共
に多軸検出型角速度、加速度センサ１１を構成してい
る。
１、２、３は、直交してＸ，Ｙ，Ｚの３つの軸を構成す
る基板、４、５、６は、それぞれ基板１、２、３に支持
され、側面にそれぞれ圧電素子４ａ、５ａ、６ａ貼付し
た正三角柱状の金属等の振動体、７、８、９は、それぞ
れ基板１、２、３に搭載された信号処理回路である。こ
れら、基板１、２、３、圧電素子４ａ、５ａ、６ａ、振
動体７、８、９、及び信号処理回路７はケース１０に収
納され、ケース１０に収納された加速度センサ１２と共
に多軸検出型角速度、加速度センサ１１を構成してい
る。
【０００３】多軸検出型角速度、加速度センサ１１は、
Ｘ軸回りの角速度、及びＸ軸方向の加速度は、振動体５
によって検出され、Ｙ軸回りの角速度、及びＹ軸方向の
加速度は、振動体４によって検出され、Ｚ軸回りの角速
度、及びＺ軸方向の加速度は、振動体６によって検出さ
れる。
Ｘ軸回りの角速度、及びＸ軸方向の加速度は、振動体５
によって検出され、Ｙ軸回りの角速度、及びＹ軸方向の
加速度は、振動体４によって検出され、Ｚ軸回りの角速
度、及びＺ軸方向の加速度は、振動体６によって検出さ
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記の従来
例においては、多軸の加速度、角速度検出には独立した
３つの振動部を１つのケース１０内に３次元方向に立体
的に収めて構成しているため、大型化し、また、振動体
７、８、９の構造が複雑なため高精度に制作することが
難しく振動体７、８、９の固有振動数をそれぞれ一致さ
せ、同一に駆動することが困難となり、出力誤差が生じ
易いという課題があった。
例においては、多軸の加速度、角速度検出には独立した
３つの振動部を１つのケース１０内に３次元方向に立体
的に収めて構成しているため、大型化し、また、振動体
７、８、９の構造が複雑なため高精度に制作することが
難しく振動体７、８、９の固有振動数をそれぞれ一致さ
せ、同一に駆動することが困難となり、出力誤差が生じ
易いという課題があった。
【０００５】本発明は、小型、かつ高精度に適した構造
の多軸検出型角速度、加速度センサを得ることを目的と
する。
の多軸検出型角速度、加速度センサを得ることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、基
板上に、平面角型形状の質量部と、前記質量部を支持す
る梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動され
た状態の前記質量部が、直交する３つの軸で構成される
三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変
位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型
角速度、加速度センサにおいて、３軸回りの角速度、及
び３軸方向の加速度を２つのセンサ素子の組み合わせで
検出し得る構成にすることによって達成できる。
板上に、平面角型形状の質量部と、前記質量部を支持す
る梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動され
た状態の前記質量部が、直交する３つの軸で構成される
三次元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変
位し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型
角速度、加速度センサにおいて、３軸回りの角速度、及
び３軸方向の加速度を２つのセンサ素子の組み合わせで
検出し得る構成にすることによって達成できる。
【０００７】本発明の好ましい実施形態によれば、基板
上に、平面角型形状の質量部と、前記質量部を支持する
梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動された
状態の前記質量部が直交する３つの軸で構成される三次
元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変位
し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型角
速度、加速度センサにおいて、前記検出部は、前記質量
部の側方に形成された第１の検出部と、前記質量部に開
口穴が形成され、前記開口穴と、前記基板に一端が固定
され、前記開口穴内に配された第１の固定電極とで形成
された第２の検出部と、前記質量部と前記質量部を被う
ケース、及び前記基板に固定された第２の固定電極とで
形成された第３の検出部とから構成され、前記第１、第
２、及び第３の検出部によって、２軸回りの角速度、及
び３軸方向の加速度を検出し得る構成とすることによっ
て達成できる。
上に、平面角型形状の質量部と、前記質量部を支持する
梁と、前記質量部を駆動する駆動用電極と、駆動された
状態の前記質量部が直交する３つの軸で構成される三次
元系での軸回りの角速度や軸方向の加速度により変位
し、その変位量を検出する検出部を備えた多軸検出型角
速度、加速度センサにおいて、前記検出部は、前記質量
部の側方に形成された第１の検出部と、前記質量部に開
口穴が形成され、前記開口穴と、前記基板に一端が固定
され、前記開口穴内に配された第１の固定電極とで形成
された第２の検出部と、前記質量部と前記質量部を被う
ケース、及び前記基板に固定された第２の固定電極とで
形成された第３の検出部とから構成され、前記第１、第
２、及び第３の検出部によって、２軸回りの角速度、及
び３軸方向の加速度を検出し得る構成とすることによっ
て達成できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面に示した実施形態を参
照して、本発明を詳細に説明する。図１、図２、図３は
本発明に係る多軸検出型角速度、加速度センサ素子４０
の実施形態を示し、図１は、ケースを取り外してセンサ
を上から見た概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ'線断面
図、図３は図１のＢ−Ｂ'線断面図である。
照して、本発明を詳細に説明する。図１、図２、図３は
本発明に係る多軸検出型角速度、加速度センサ素子４０
の実施形態を示し、図１は、ケースを取り外してセンサ
を上から見た概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ'線断面
図、図３は図１のＢ−Ｂ'線断面図である。
【０００９】図中、２０は絶縁性の基板、２１は開口穴
２１ａ、側方に櫛形電極２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１
ｅ、２１ｆ、２１ｇ、上下側に電極部２１ｈ、２１ｉが
形成されたシリコン材からなる導電性平板状の質量部、
２４は一端が固定部２３によって基板２０に固定され、
他端が質量部２１と一体に形成されたＬ字形の梁、２
５、２６は一端が基板２０に固定され、他端が櫛形電極
２１ｃ、２１ｆと交互の間挿される櫛形電極２５ａ、２
６ａを有する固定の駆動電極、２７、２８、２９、３０
は一端が基板２０に固定され、他端が櫛形電極２１ｂ、
２１ｄ、２１ｅ、２１ｇとそれぞれ交互の間挿される櫛
形電極２７ａ、２８ａ、２９ａ、３０ａを有するＸ軸の
検出電極、３１は基板２１に固定され、質量部２１の開
口穴２１ａ内に配されたＹ軸の検出電極である。ここ
で、櫛形電極２１ｃ、２１ｆは、質量部２１と共動し、
櫛形電極２５ａ、２６と共に駆動部を形成する。
２１ａ、側方に櫛形電極２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１
ｅ、２１ｆ、２１ｇ、上下側に電極部２１ｈ、２１ｉが
形成されたシリコン材からなる導電性平板状の質量部、
２４は一端が固定部２３によって基板２０に固定され、
他端が質量部２１と一体に形成されたＬ字形の梁、２
５、２６は一端が基板２０に固定され、他端が櫛形電極
２１ｃ、２１ｆと交互の間挿される櫛形電極２５ａ、２
６ａを有する固定の駆動電極、２７、２８、２９、３０
は一端が基板２０に固定され、他端が櫛形電極２１ｂ、
２１ｄ、２１ｅ、２１ｇとそれぞれ交互の間挿される櫛
形電極２７ａ、２８ａ、２９ａ、３０ａを有するＸ軸の
検出電極、３１は基板２１に固定され、質量部２１の開
口穴２１ａ内に配されたＹ軸の検出電極である。ここ
で、櫛形電極２１ｃ、２１ｆは、質量部２１と共動し、
櫛形電極２５ａ、２６と共に駆動部を形成する。
【００１０】図２において、３２は前記基板２０上に形
成された質量部２１などを被う絶縁性のケースである。
図３に示す如く、ケース３２には電極３３が形成され、
この電極３３と質量部２１に形成された電極部２１ｈ、
２１ｉとでＺ軸の検出を行う。
成された質量部２１などを被う絶縁性のケースである。
図３に示す如く、ケース３２には電極３３が形成され、
この電極３３と質量部２１に形成された電極部２１ｈ、
２１ｉとでＺ軸の検出を行う。
【００１１】図２、図３に示されるように、質量部２
１、櫛形電極２５ａ、２６ａ、２８ａ、３０ａは基板２
０から浮いて形成され、また図示されていないが、櫛形
電極２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆ、２１
ｇ、２７ａ、２９ａ、電極部２１ｈ、２１ｉ、梁２３、
電極部２１ｈ、２１ｉも同様に、基板２０から浮いて形
成されている。
１、櫛形電極２５ａ、２６ａ、２８ａ、３０ａは基板２
０から浮いて形成され、また図示されていないが、櫛形
電極２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ、２１ｆ、２１
ｇ、２７ａ、２９ａ、電極部２１ｈ、２１ｉ、梁２３、
電極部２１ｈ、２１ｉも同様に、基板２０から浮いて形
成されている。
【００１２】次にこの装置の動作を説明する。角速度の
検出は、例として、Ｘ軸方向に対向する外側の櫛型電極
２５ａ、２６ａそれぞれにＶt＋Ｖdｓｉｎ（ωｔ）、Ｖ
t−Ｖdｓｉｎ（ωｔ）の電圧（Ｖt：直流バイアス電
圧、Ｖｄｓｉｎ（ωｔ）：駆動用交流電圧）を印加する
と、内側との櫛型電極２１ｃ、２１ｆに静電気力が生
じ、駆動周波数を、Ｘ軸方向の共振周波数と等しくする
と質量部２１は、Ｘ軸方向に共振する。この状態で、Ｚ
軸回りに角速度（Ωｚ）が加わると、振動しているＸ軸
と垂直方向のＹ軸方向にもコリオリ力により共振が起
き、この振動の大きさは角速度に比例した櫛型電極２１
ｂ、２７ａ間、、２１ｄ、２８ａ間、２１ｅ、２９ａ
間、及び２１ｇ、３０ａ間のＹ軸方向の容量変化とな
り、角速度（Ωｚ）を検出する。
検出は、例として、Ｘ軸方向に対向する外側の櫛型電極
２５ａ、２６ａそれぞれにＶt＋Ｖdｓｉｎ（ωｔ）、Ｖ
t−Ｖdｓｉｎ（ωｔ）の電圧（Ｖt：直流バイアス電
圧、Ｖｄｓｉｎ（ωｔ）：駆動用交流電圧）を印加する
と、内側との櫛型電極２１ｃ、２１ｆに静電気力が生
じ、駆動周波数を、Ｘ軸方向の共振周波数と等しくする
と質量部２１は、Ｘ軸方向に共振する。この状態で、Ｚ
軸回りに角速度（Ωｚ）が加わると、振動しているＸ軸
と垂直方向のＹ軸方向にもコリオリ力により共振が起
き、この振動の大きさは角速度に比例した櫛型電極２１
ｂ、２７ａ間、、２１ｄ、２８ａ間、２１ｅ、２９ａ
間、及び２１ｇ、３０ａ間のＹ軸方向の容量変化とな
り、角速度（Ωｚ）を検出する。
【００１３】また、Ｘ軸方向に共振した状態で、Ｙ軸周
りに角速度（ΩＹ）が加わるとZ軸方向にコリオリ力が
発生し、この振動は角速度に比例した質量部２１の電極
部２１ｈ、２１ｉと基板２０、ケース３２に形成した電
極部３３との間の容量変化となり、角速度（Ωｙ）を検
出する。
りに角速度（ΩＹ）が加わるとZ軸方向にコリオリ力が
発生し、この振動は角速度に比例した質量部２１の電極
部２１ｈ、２１ｉと基板２０、ケース３２に形成した電
極部３３との間の容量変化となり、角速度（Ωｙ）を検
出する。
【００１４】加速度の検出は、Ｘ軸方向に加速度が加わ
ると、質量部２１の中央部に慣性力ｆｘ＝−ｍαｘ
（ｍ：質量）がＸ軸に働く。ここでX軸方向に生じる変
位ΔXは加速度に比例するので、櫛型電極２１ｂ、２７
ａ間、、２１ｄ、２８ａ間、２１ｅ、２９ａ間、及び２
１ｇ、３０ａ間のＸ軸方向の容量変化となり、加速度
（αｘ）を検出する。
ると、質量部２１の中央部に慣性力ｆｘ＝−ｍαｘ
（ｍ：質量）がＸ軸に働く。ここでX軸方向に生じる変
位ΔXは加速度に比例するので、櫛型電極２１ｂ、２７
ａ間、、２１ｄ、２８ａ間、２１ｅ、２９ａ間、及び２
１ｇ、３０ａ間のＸ軸方向の容量変化となり、加速度
（αｘ）を検出する。
【００１５】Ｙ軸方向に加速度が加わると、質量部２１
の中央部に慣性力ｆｙ＝−ｍαｙ（ｍ：質量）がＹ軸に
働く。ここでＹ軸方向に生じる変位ΔＹは加速度に比例
するので、質量部２１の開口穴２１ａと検出電極３１と
の間の容量変化となり、加速度（αｙ）を検出する。
の中央部に慣性力ｆｙ＝−ｍαｙ（ｍ：質量）がＹ軸に
働く。ここでＹ軸方向に生じる変位ΔＹは加速度に比例
するので、質量部２１の開口穴２１ａと検出電極３１と
の間の容量変化となり、加速度（αｙ）を検出する。
【００１６】Ｚ軸方向に加速度が加わると、質量部２１
の電極部２１ｈ、２１ｉと基板２０、ケース３２に形成
した電極部３３との間の容量変化となり、加速度（Ω
ｚ）を検出する。
の電極部２１ｈ、２１ｉと基板２０、ケース３２に形成
した電極部３３との間の容量変化となり、加速度（Ω
ｚ）を検出する。
【００１７】ここで検出信号は加速度、角速度、振動成
分が、足されたものとなり、角速度成分は、ＨＰＦで加
速度成分を除去し、加振周波数、変調周波数で同期検
波、平滑、増幅することにより分離、検出できる。加速
度成分は、ＬＰＦで角速度成分を除去し、変調周波数で
同期検波、平滑、増幅することにより検出できる。
分が、足されたものとなり、角速度成分は、ＨＰＦで加
速度成分を除去し、加振周波数、変調周波数で同期検
波、平滑、増幅することにより分離、検出できる。加速
度成分は、ＬＰＦで角速度成分を除去し、変調周波数で
同期検波、平滑、増幅することにより検出できる。
【００１８】上記センサ素子４０の構成においては、角
速度はΩＹ、ΩＺの２軸、加速度はαＸ、αＹ、αＺの
３軸の計５軸の慣性力が、１素子で検出できるものであ
る。そして、上記従来と同様、６軸を検出するには上記
構成のセンサ２素子を互いに直角配置することによって
達成され得る。
速度はΩＹ、ΩＺの２軸、加速度はαＸ、αＹ、αＺの
３軸の計５軸の慣性力が、１素子で検出できるものであ
る。そして、上記従来と同様、６軸を検出するには上記
構成のセンサ２素子を互いに直角配置することによって
達成され得る。
【００１９】そして、上記従来と同様、６軸を検出する
には上記構成のセンサ２素子を互いに直角配置すること
によって達成され得る。また、上述の構成においては、
１つのセンサ素子で５軸の検出を可能にしたが、各々３
軸可能なセンサ素子を２つ組み合わせて６軸の検出を可
能とするものである
には上記構成のセンサ２素子を互いに直角配置すること
によって達成され得る。また、上述の構成においては、
１つのセンサ素子で５軸の検出を可能にしたが、各々３
軸可能なセンサ素子を２つ組み合わせて６軸の検出を可
能とするものである
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、セン
サ素子を１素子で角速度２軸、加速度３軸の計５軸が検
出できる構成であり、２つの素子の組み合わせで６軸の
検出を得ることができるので、センサ装置が小型化にな
り、また、製造工程においては、シリコンのエッチング
等の半導体加工技術を利用して形成することができるた
め、同時に多数個製造でき、バラツキが少く出力誤差の
少ない多軸検出型角速度、加速度センサを提供できる。
サ素子を１素子で角速度２軸、加速度３軸の計５軸が検
出できる構成であり、２つの素子の組み合わせで６軸の
検出を得ることができるので、センサ装置が小型化にな
り、また、製造工程においては、シリコンのエッチング
等の半導体加工技術を利用して形成することができるた
め、同時に多数個製造でき、バラツキが少く出力誤差の
少ない多軸検出型角速度、加速度センサを提供できる。
【図１】 本発明に係る多軸検出型角速度、加速度セン
サの第１の実施形態を示す平面図である。
サの第１の実施形態を示す平面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ'線断面図である。
【図３】 図１のＢ−Ｂ'線断面図である。
【図４】 従来例に係る多軸検出型角速度、加速度セン
サを示す平面図である。
サを示す平面図である。
２０ 基板 ２１ 質量部 ２１ａ 開口穴 ２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ、２１ｆ、２１ｇ、２
７ａ，２８ａ，２９ａ，３０ａ 櫛形電極 ３１ 検出電極 ３２ ケース ３３ 電極
７ａ，２８ａ，２９ａ，３０ａ 櫛形電極 ３１ 検出電極 ３２ ケース ３３ 電極
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に、平面角型形状の質量部と、前
記質量部を支持する梁と、前記質量部を駆動する駆動用
電極と、駆動された状態の前記質量部が、直交する３つ
の軸で構成される三次元系での軸回りの角速度や軸方向
の加速度により変位し、その変位量を検出する検出部を
備えた多軸検出型角速度、加速度センサにおいて、３軸
回りの角速度、及び３軸方向の加速度を２つのセンサ素
子の組み合わせで検出し得る構成にしたことを特徴とす
る多軸検出型角速度、加速度センサ。 - 【請求項２】 基板上に、平面角型形状の質量部と、前
記質量部を支持する梁と、前記質量部を駆動する駆動用
電極と、駆動された状態の前記質量部が直交する３つの
軸で構成される三次元系での軸回りの角速度や軸方向の
加速度により変位し、その変位量を検出する検出部を備
えた多軸検出型角速度、加速度センサにおいて、前記検
出部は、前記質量部の側方に形成された第１の検出部
と、前記質量部に開口穴が形成され、前記開口穴と、前
記基板に一端が固定され、前記開口穴内に配された第１
の固定電極とで形成された第２の検出部と、前記質量部
と前記質量部を被うケース、及び前記基板に固定された
第２の固定電極とで形成された第３の検出部とから構成
され、前記第１、第２、及び第３の検出部によって、２
軸回りの角速度、及び３軸方向の加速度を検出し得る構
成にしたことを特徴とする多軸検出型角速度、加速度セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10355276A JP2000180175A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 多軸検出型角速度、加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP10355276A JP2000180175A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 多軸検出型角速度、加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000180175A true JP2000180175A (ja) | 2000-06-30 |
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ID=18442991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10355276A Pending JP2000180175A (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 多軸検出型角速度、加速度センサ |
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|---|---|
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