JP4635345B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば回転体等の角速度を検出するのに好適に用いられる角速度センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、角速度センサとしては、基板と、該基板により支持梁を介して互いに直交する2方向に変位可能に支持された質量部と、該質量部を前記2方向のうち基板と平行な振動方向に振動させる振動発生手段と、前記質量部が前記振動方向と直交する検出方向に変位するときの変位量を角速度として検出する角速度検出手段とから構成されたものが知られている(例えば、特開平5−312576号公報等)。
【0003】
この種の従来技術による角速度センサは、基板に対して平行なX軸、Y軸と垂直なZ軸のうち、例えばX軸方向に沿って質量部を所定の振幅で振動させ、この状態でZ軸周りの角速度が加わると、質量部にはY軸方向のコリオリ力が作用する。これにより、質量部はY軸方向に変位するので、角速度検出手段は、このときの質量部の変位量を静電容量等の変化として検出することにより、角速度に応じた検出信号を出力するものである。
【0004】
この場合、質量部は、基板に設けられた支持梁によってX軸方向等に変位(振動)可能に支持されている。そして、この支持梁は、基端側が基板に固定され、先端側が質量部に連結されると共に、角速度センサの作動時には、支持梁が撓み変形することによって質量部がX軸方向に振動する構成となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述した従来技術による角速度センサを例えば車両等に搭載する場合には、Y軸周りとZ軸周りのように2軸周りの角速度を同時に検出することがある。この場合、従来技術による角速度センサでは、例えばZ軸周りのように1軸周りの角速度しか検出することができないから、2軸周りの角速度を同時に検出するために2個の角速度センサを使用する必要があった。このため、従来技術では、製造コストが増大すると共に、角速度センサの実装面積も大きくなるという問題があった。
【0006】
本発明は上述した従来技術の問題に鑑みなされたもので、本発明の目的は、2軸周りの角速度を同時に検出でき、製造コストを低減し、小型化を図ることができるようにした角速度センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために、請求項1の発明による角速度センサは、基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうち振動発生手段によってX軸方向に振動する第1の質量部と、該第1の質量部を挟んでY軸方向の両側に設けられ振動発生手段によって該第1の質量部と逆位相でX軸方向に振動する第2の質量部と、前記第1の質量部を第3の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結すると共に前記第2の質量部を第4の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁と前記基板との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記第1の質量部と前記第3の質量部との間に設けられ該第1の質量部をY軸方向に変位可能に支持するY軸方向支持梁と、前記第2の質量部と前記第4の質量部との間に設けられ前記第2の質量部をZ軸方向に変位可能に支持するZ軸方向支持梁と、前記第1の質量部に角速度が作用するときに前記第1の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記第2の質量部に角速度が作用するときに前記第2の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とを備え、前記固定部はX軸方向支持梁のうち前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を前記基板に接続する構成としている。
【0008】
このように構成することにより、複数の質量部をX軸方向支持梁、Y軸方向支持梁およびZ軸方向支持梁によってY軸方向に並べた状態で連結でき、この状態でX軸方向支持梁が撓み変形することにより、互いに隣合う第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とをほぼ逆位相で振動させることができる。そして、例えばセンサにZ軸周りの角速度が加わるときに、第1の質量部は、コリオリ力によりY軸方向支持梁を介してY軸方向に変位でき、このときの変位量を第1の検出手段によりZ軸周りの角速度として検出することができる。また、センサにY軸周りの角速度が加わるときには、第4の質量部がZ軸方向支持梁によってZ軸方向に変位でき、このときの変位量を第2の検出手段によりY軸周りの角速度として検出することができる。
【0009】
また、固定部はX軸方向支持梁のうち第1,第3の質量部と第2,第4の質量部が互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を基板に接続する構成としている。
【0010】
この場合、第1,第3の質量部と第2,第4の質量部がX軸方向支持梁を介して互いに逆位相で振動するときには、該第1,第3の質量部と第2,第4の質量部の間で撓み変形するX軸方向支持梁の途中部位にほぼ一定の位置を保持する振動の節を配置できる。そして、固定部は、この節に対応する位置でX軸方向支持梁を基板側に固定できるから、各質量部の振動がX軸方向支持梁等を介して基板側に伝わるのを抑制することができる。
さらに、第2の質量部はY軸方向に対して第1の質量部の両側に位置する構成としている。
これにより、第1の質量部を挟んで第2の質量部を対称に配置でき、これらの質量部をX軸方向に対して互いに逆位相で安定的に振動させることができる。そして、第1の質量部は、Y軸方向に変位することによってZ軸周りの角速度を検出することができる。また、第2の質量部は、Z軸方向に変位することによってY軸周りの角速度を検出できると共に、第1の質量部を挟んだ両側の位置でZ軸方向に揺動することにより、質量部全体に加わる応力等のバランスをとることができる。
【0015】
また、請求項2の発明による角速度センサは、基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうち振動発生手段によってX軸方向に振動する第1の質量部と、該第1の質量部を挟んでY軸方向の両側に設けられ振動発生手段によってX軸方向に振動する第2の質量部と、前記第1の質量部と第2の質量部との間に位置して第1の質量部を取囲む第3の質量部と、前記第2の質量部を取囲む第4の質量部と、該第4の質量部を互いにX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁に対して前記第3の質量部を連結する連結部と、前記第3の質量部に対して前記第1の質量部をY軸方向に変位可能に連結するY軸方向支持梁と、前記第4の質量部に対して前記第2の質量部をZ軸方向に変位可能に連結するZ軸方向支持梁と、前記基板とX軸方向支持梁との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記第1の質量部に角速度が作用するときに該第1の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記第2の質量部に角速度が作用するときに該第2の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とを備え、前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とは互いに逆位相で振動し、前記固定部はX軸方向支持梁のうち前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を前記基板に接続する構成としている。
【0016】
これにより、第1,第3の質量部は、X軸方向支持梁を介して第2,第4の質量部と逆位相でX軸方向に振動でき、この状態で第1の質量部は、Z軸周りの角速度が加わったときに、Y軸方向支持梁を介してY軸方向に変位することにより、この角速度を検出することができる。また、第2の質量部は、Y軸周りの角速度が加わったときに、Z軸方向支持梁を介してZ軸方向に変位でき、この角速度を検出することができる。また、第3の質量部はX軸方向支持梁の撓み変形等が第1の質量部に伝わるのを遮断でき、第4の質量部はX軸方向支持梁の撓み変形等が第2の質量部に伝わるのを遮断することができる。
【0017】
また、固定部はX軸方向支持梁のうち第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を基板に接続する構成としている。
【0018】
これにより、固定部は、第1,第2,第3,第4の質量部がX軸方向支持梁を介して振動するときに、この振動の節に対応する位置でX軸方向支持梁を基板側に固定できるから、各質量部の振動がX軸方向支持梁等を介して基板側に伝わるのを抑制することができる。
【0019】
さらに、請求項3の発明によると、Z軸方向支持梁は、X軸またはY軸周りで捩れ変形可能に形成され前記第2の質量部をZ軸方向に揺動可能に支持する捩れ支持梁により構成している。
【0020】
これにより、第2の質量部は、Z軸方向支持梁が捩れるように変形することにより、この支持梁を支点としてZ軸方向に揺動でき、Y軸周りの角速度によって基板に対し近接、離間することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態による角速度センサ及びその製造方法を、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【0024】
図中、1は本実施の形態に適用される角速度センサ、2は該角速度センサ1の本体部分を構成する基板で、該基板2は、例えば高抵抗なシリコン材料、ガラス材料等によって四角形状に形成されている。
【0025】
そして、基板2上には、図1、図2に示す如く、例えば単結晶または多結晶をなす低抵抗なシリコン材料を基板2上に設けてエッチング処理等の微細加工を施すことにより、後述の中央質量部3、外側質量部4、枠状質量部5,6、支持梁7,9,10、駆動電極13,14、検出電極17,18,20,22等が形成されている。また、基板2の表面側には、質量部3,4,5,6、支持梁7,9,10、可動側の検出電極18,22等を基板2側からZ軸方向に離して配置するために複数の凹陥部2Aが形成されている。
【0026】
3は基板2の中央近傍に配置された第1の質量部としての中央質量部で、該中央質量部3は、例えば略「日」の字をなす枠状体として形成され、互いに対向してX軸方向に延びた横枠部3A,3Aと、該各横枠部3Aの両端側を連結してY軸方向に延びた縦枠部3B,3Bと、各横枠部3A間に位置してX軸方向に延設され、各縦枠部3Bのほぼ中間部位を連結した中間枠部3Cとによって構成されている。
【0027】
ここで、中央質量部3は、後述の支持梁7,9,10と連結部8とを介して外側質量部4、枠状質量部5,6と連結されている。そして、これらの質量部3,4,5,6は、基板2と平行な平面内でY軸方向に沿ってほぼ直線状に並んで配置され、支持梁7によってX軸方向に変位可能に支持されている。また、中央質量部3は、支持梁9によってY軸方向に変位可能に支持され、角速度センサ1にZ軸周りの角速度Ω1が加わるときには、このときのコリオリ力F1に応じてY軸方向に変位するものである。
【0028】
4,4はY軸方向に対して中央質量部3の両側に配置された第2の質量部としての一対の外側質量部で、該各外側質量部4は、図3ないし図4に示す如く、例えば四角形の平板状に形成され、その重心Gから中央質量部3側に向けてY軸方向に離間した端部側が支持梁10と連結されている。
【0029】
これにより、外側質量部4は、支持梁10との連結部位を固定端とし、後述の電極取出部21側に位置する部位を自由端として、支持梁10により片持ち状態で揺動可能に支持されている。そして、後述の如く角速度センサ1にY軸周りの角速度Ω2が加わるときには、支持梁10がX軸周りで捩れ変形することにより、外側質量部4がコリオリ力F2に応じてZ軸方向に変位するものである。
【0030】
5は中央質量部3と外側質量部4との間に配置された第3の質量部としての枠状質量部で、該枠状質量部5は、中央質量部3を取囲む四角形の枠状体によって形成され、X軸方向に延びた前,後の横枠部5A,5Aと、Y軸方向に延びた左,右の縦枠部5B,5Bとを有している。そして、枠状質量部5は、その外側部位が連結部8を介して支持梁7と連結され、その内側部位には支持梁9を介して中央質量部3が連結されている。
【0031】
6,6は外側質量部4を略コ字状に取囲んで配置された第4の質量部としての枠状質量部で、該各枠状質量部6は、X軸方向に延びて両端側が各支持梁7に連結された延設部6Aと、該延設部6Aから外側質量部4の左,右両側に突出した外側突起部6B,6Bとにより構成されている。
【0032】
7,7は質量部3,4,5,6をX軸方向に変位可能に支持するX軸方向支持梁で、該各X軸方向支持梁7は枠状質量部5の左,右両側に配置され、X軸方向に撓み変形可能な状態でY軸方向に延びている。そして、角速度センサ1の作動時には、質量部3,5と質量部4,6とが支持梁7等を介して互いにほぼ逆位相でX軸方向に振動し、このとき支持梁7の長さ方向途中部位には、支持梁7が振動(撓み変形)するときに振動の節となってほぼ一定の位置を保持する4箇所の節部7Aが配置されている。
【0033】
8,8は各支持梁7に対して枠状質量部5を連結する左,右の連結部で、該各連結部8は高い剛性をもって形成され、枠状質量部5がY軸方向に変位するのを規制している。
【0034】
9,9,…は中央質量部3をY軸方向に変位可能に支持する例えば4本のY軸方向支持梁で、該各Y軸方向支持梁9は、一端側が中央質量部3の4隅に連結され、他端側がX軸方向に延びて枠状質量部5の各横枠部5Aに連結されると共に、Y軸方向に撓み変形可能となっている。
【0035】
10,10,…は各外側質量部4をZ軸方向に変位可能に支持する例えば4本のZ軸方向支持梁としての捩れ支持梁で、該各捩れ支持梁10は、各外側質量部4の左,右両側に配置され、一端側が外側質量部4に連結されると共に、他端側がX軸方向に延びて枠状質量部6の各外側突起部6Bに連結されている。
【0036】
また、支持梁10は、図3、図4に示す如く、例えばX軸方向の長さLが200〜400μm程度、Y軸方向の幅wが10〜20μm程度、Z軸方向の厚さtが30〜70μm程度となった薄板状に形成され、その幅wが長さL、厚さtに対して小さく設定されることにより、図5に示す如くX軸周りで捩れるように弾性変形する構成となっている。
【0037】
11は支持梁7の節部7Aを基板2に接続する固定部で、該固定部11は、質量部3,4,5,6を取囲む四角形の枠状体により形成され、基板2上に固定された台座部11Aと、該台座部11Aの内側部位に一体に設けられ、基板2から離間した例えば4個の腕部11Bとによって構成されている。
【0038】
また、各腕部11Bは、X軸方向に対して各支持梁7の左,右両側に2個ずつ配置され、Y軸方向に離間している。そして、固定部11は、図6に示す如く、各腕部11Bによって質量部3,4,5,6と各支持梁7とを節部7Aの部位で支持することにより、質量部3,5と質量部4,6が、X軸方向に逆位相で振動するときに、基板2に振動が伝わるのを抑制するものである。
【0039】
一方、12,12,…は基板2上に固定的に設けられた例えば4個の駆動電極用支持部で、該各駆動電極用支持部12は、図1に示す如く、Y軸方向に対し各枠状質量部6を挟んで両側に2個ずつ配置されている。
【0040】
13,13,…は各駆動電極用支持部12にそれぞれ設けられた固定側駆動電極で、該各固定側駆動電極13は、X軸方向に突出しY軸方向に間隔をもって櫛歯状に配置された複数の電極板13A,13A,…を有している。
【0041】
14,14,…は各固定側駆動電極13に対応して各枠状質量部6の外側突起部6Bにそれぞれ設けられた可動側駆動電極で、該各可動側駆動電極14は、X軸方向に櫛歯状をなして突出し、固定側駆動電極13の各電極板13Aと噛合した複数の電極板14A,14A,…を有している。
【0042】
15,15,…は基板2と外側質量部4との間に設けられた振動発生手段としての振動発生部で、該各振動発生部15は、固定側駆動電極13と可動側駆動電極14とによって構成されている。そして、振動発生部15は、これらの駆動電極13,14間に交流の駆動信号を直流バイアス電圧と共に印加することによって、電極板13A,14A間に静電引力を交互に発生し、外側質量部4を図1中の矢示a1,a2方向に振動させるものである。
【0043】
16,16は中央質量部3の内側に位置して基板2上に設けられた2個の検出電極用支持部で、該各検出電極用支持部16は、Y軸方向に対し中央質量部3の中間枠部3Cを挟んで両側に配置されている。
【0044】
17,17,…は中央質量部3の変位量を検出するために各検出電極用支持部16にそれぞれ複数個設けられた固定側検出電極で、該各固定側検出電極17は、X軸方向に突出しY軸方向の間隔をもって櫛歯状に配置された複数の電極板17A,17A,…を有している。
【0045】
18,18,…は各固定側検出電極17に対応して中央質量部3の中間枠部3Cに複数個設けられた可動側検出電極で、該各可動側検出電極18は、X軸方向に櫛歯状をなして突出し、固定側検出電極17の各電極板17Aに対しY軸方向の隙間を挟んで噛合した複数の電極板18A,18A,…を有している。
【0046】
19,19は基板2と中央質量部3との間に設けられた第1の検出手段としての角速度検出部で、該各角速度検出部19は、固定側検出電極17と可動側検出電極18とによって構成されている。そして、角速度検出部19は、中央質量部3がY軸方向に変位することによって静電容量が変化する平行平板コンデンサを形成し、Z軸周りの角速度Ω1を検出電極17,18間の静電容量の変化として検出するものである。
【0047】
20,20は各外側質量部4に対応する位置で基板2の凹陥部2A内に設けられた固定側検出電極で、該各固定側検出電極20は、例えば金属膜等により図4、図5に示す如く四角形状に形成されている。また、固定側検出電極20は、その一部が凹陥部2Aの外側に延設され、基板2上に突設された電極取出部21に接続されている。
【0048】
22,22は各外側質量部4のうち基板2に面した部位により構成された可動側検出電極で、該各可動側検出電極22は、図4に示す如く、固定側検出電極20とZ軸方向の隙間を挟んで対面している。
【0049】
23は基板2と外側質量部4との間に設けられた第2の検出手段としての角速度検出部で、該角速度検出部23は、固定側検出電極20と可動側検出電極22とによって構成されている。そして、角速度検出部23は、外側質量部4がZ軸方向に変位することによって静電容量が変化する平行平板コンデンサを形成し、Y軸周りの角速度Ω2を検出電極20,22間の静電容量の変化として検出するものである。
【0050】
本実施の形態による角速度センサ1は上述の如き構成を有するもので、次にその作動について説明する。
【0051】
まず、左,右の振動発生部15に逆位相となる交流の駆動信号を直流バイアス電圧と共に印加すると、左,右の固定側駆動電極13と可動側駆動電極14との間には静電引力が交互に発生し、外側質量部4と枠状質量部6とは、支持梁7が撓み変形することによって図6中の矢示a1,a2方向に振動する。
【0052】
また、質量部4,6の振動が支持梁7等を介して枠状質量部5に伝わると、中央質量部3と枠状質量部5とは、質量部4,6に対して振動の位相が約180°ずれた逆位相で振動する。印加する交流の駆動信号の周波数を調整することにより、この振動を共振状態にすることができる。この場合、支持梁7の節部7Aはほぼ一定の位置を保持するため、質量部3〜6の振動が支持梁7、固定部11等を介して基板2に伝わることはほとんどない。
【0053】
そして、この振動状態で例えば角速度センサ1にZ軸周りの角速度Ω1が加わると、中央質量部3は、下記数1の式に示すコリオリ力F1がY軸方向に作用し、支持梁9が撓み変形することにより、コリオリ力F1の大きさに応じてY軸方向に変位する。
【0054】
【数1】
F1=2MΩ1v
但し、 M:中央質量部3の質量
Ω1:Z軸周りの角速度
v:中央質量部3のX軸方向の速度
【0055】
これにより、2つの角速度検出部19では、Y軸方向に対する中央質量部3の変位量に応じて検出電極17,18間の間隔(静電容量)がそれぞれ変化するので、例えば各角速度検出部19における静電容量の変化量を差動出力することにより、Z軸周りの角速度Ω1を検出することができる。
【0056】
一方、角速度センサ1にY軸周りの角速度Ω2が加わるときは、図5に示す如く、この角速度Ω2に応じてZ軸方向のコリオリ力F2が作用するため、外側質量部4は、支持梁10がX軸周りで捩れるように弾性変形することにより、支持梁10を支点として揺動し、コリオリ力F2の大きさに応じてZ軸方向に変位するようになる。
【0057】
これにより、2つの角速度検出部23では、Z軸方向に対する外側質量部4の変位量に応じて検出電極20,22間の静電容量がそれぞれ変化するので、例えば各角速度検出部23における静電容量の変化量を加算出力することにより、Y軸周りの角速度Ω2を検出することができる。
【0058】
次に、図7ないし図12を参照しつつ角速度センサ1の製造方法について説明する。
【0059】
まず、図7に示すように基板2となるガラス板31を用意し、図8に示す基板形成工程では、ガラス板31の表面側のうち、質量部3,4,5,6、支持梁7,9,10、連結部8、電極14,18,22等に対応する所定の部位に対して、例えば研削、サンドブラスト等の手段を用いて各凹陥部2Aを穿設し、基板2を形成する。
【0060】
次に、図9に示す電極形成工程では、例えばスパッタ、CVD等の手段を用いて基板2の各凹陥部2Aに金属膜を形成し、この金属膜にエッチング処理を施すことにより、固定側検出電極20を形成する。
【0061】
そして、図10に示す基板接合工程では、例えば陽極接合等の手段によって加工用基板となるシリコン板32を基板2の表面側に接合し、図11に示すエッチング工程では、シリコン板32に対して表面側から板厚方向に1回のエッチング処理を施すことにより、質量部3,4,5,6、支持梁7,9,10、連結部8、固定部11、支持部12,16、電極13,14,17,18,22、電極取出部21等をほぼ同時に形成する。
【0062】
次に、図12に示す他の基板接合工程では、例えば蓋板となるガラス板33等を減圧雰囲気中で質量部3,4,5,6に対して基板2と反対側に接合し、質量部3〜6等を基板2とガラス板33との間に減圧封止した後に、このガラス板33に電極取出用のスルーホール等を形成することにより、角速度センサ1を製造することができる。
【0063】
かくして、本実施の形態によれば、中央質量部3、外側質量部4および枠状質量部5,6を支持梁7,9,10等によって互いに連結し、質量部3,4の変位量を角速度検出部19,23によりZ軸周りの角速度Ω1,Y軸周りの角速度Ω2としてそれぞれ検出する構成としている。
【0064】
これにより、複数の質量部3〜6をY軸方向に並べた状態で互いに連結でき、例えば質量部3〜6のうち枠状質量部6を振動させるだけで、X軸方向支持梁7が撓み変形することにより、質量部3,5と質量部4,6とを互いにほぼ逆位相で効率よく振動させることができる。
【0065】
そして、角速度センサ1にZ軸周りの角速度Ω1が加わるときには、中央質量部3をY軸方向支持梁9によりコリオリ力F1に応じてY軸方向に変位させることができ、このときの中央質量部3の変位量を角速度検出部19によりZ軸周りの角速度Ω1として確実に検出することができる。また、Y軸周りの角速度Ω2が加わるときには、外側質量部4を捩れ支持梁10によりコリオリ力F2に応じてZ軸方向に変位させることができ、このときの外側質量部4の変位量を角速度検出部23によりY軸周りの角速度Ω2として確実に検出することができる。
【0066】
従って、単一の角速度センサ1により、質量部3〜6を用いた簡単な構造で2軸周りの角速度Ω1,Ω2を同時に検出でき、センサとしての検出性能を確実に向上できると共に、その寸法を小型化し、製造コスト等を低減することができる。
【0067】
この場合、外側質量部4のうち重心Gから離れた部位を捩れ支持梁10によって枠状質量部6に連結したので、各捩れ支持梁10は、外側質量部4のうち捩れ支持梁10との連結部位を固定端とし、電極取出部21側の部位を自由端として、外側質量部4を片持ち状態で揺動可能に支持することができる。そして、Y軸周りの角速度Ω2が加わるときには、各捩れ支持梁10がX軸周りで捩れるように弾性変形することにより、外側質量部4を基板2に対して安定的に揺動変位させることができ、外側質量部4をZ軸方向に変位させるための機構を基板2上に小さな面積で実現することができる。
【0068】
また、質量部3,5を挟んだ両側に質量部4,6を対称に配置することにより、これらの質量部3〜6をY軸方向にほぼ直線状に並べて配置でき、これらを互いに逆位相で安定的に振動させることができる。そして、各外側質量部4は、中央質量部3を挟んだ両側の位置でZ軸方向に揺動することにより、質量部3〜6全体に加わる応力等のバランスをとることができる。
【0069】
また、中央質量部3を枠状質量部5と連結部8とを介してX軸方向支持梁7に連結し、外側質量部4を枠状質量部6を介してX軸方向支持梁7に連結したので、質量部3〜6がX軸方向に振動するときには、X軸方向支持梁7の撓み変形等が質量部3,4に伝わるのを枠状質量部5,6によって遮断でき、これらの質量部3,4がZ軸やY軸方向(検出方向)に誤って変位するのを防止できると共に、検出精度をより向上させることができる。
【0070】
さらに、質量部3,5と質量部4,6とを互いに逆位相で振動させることにより、X軸方向支持梁7の途中部位には、質量部3〜6の振動中にほぼ一定の位置を保持する節部7Aを配置でき、この節部7Aの位置では、質量部3,5と質量部4,6の振動を互いに打消すことができる。そして、固定部11は、X軸方向支持梁7の節部7Aを基板2に接続でき、質量部3〜6の振動が基板2側に伝わるのを抑制することができる。
【0071】
これにより、振動発生部15から質量部3〜6に加えられる振動エネルギを基板2側に逃がすことなく、質量部3〜6を予め定められた振幅、振動速度等で効率よく振動させることができると共に、基板2側に振動が伝わることによって質量部3,4の変位量に対する検出精度が低下するのを防止でき、信頼性を向上させることができる。
【0072】
一方、角速度センサ1の製造時には、まず基板2上に凹陥部2Aを形成し、該凹陥部2A内に固定側検出電極20を形成した後に、シリコン板32を基板2上に接合して該シリコン板32にエッチング処理を施すようにしたので、シリコン板32に対して1回のエッチング処理を行うだけで、質量部3〜6、支持梁7,9,10、連結部8、固定部11、支持部12,16、電極13,14,17,18,22、電極取出部21等をほぼ同時に形成できると共に、このとき質量部3〜6、支持梁7,9,10等を凹陥部2Aにより基板2から離して配置でき、角速度センサ1を最小限のエッチング処理で効率よく製造することができる。
【0073】
特に、本実施の形態による角速度センサ1のように、X軸周りで捩れ変形する捩れ支持梁10を形成する場合には、Y軸方向の幅wが小さな捩れ支持梁10を1回のエッチング工程で質量部3〜6等と一緒に容易に形成できるから、捩れ変形が容易な支持梁を形成するために複数回のエッチング処理を行う必要がなくなり、生産性を高めることができる。
【0074】
なお、実施の形態では、Z軸方向支持梁としてX軸周りで捩れ変形可能となった捩れ支持梁10を用いる構成としたが、本発明はこれに限らず、Y軸周りで捩れ変形可能に形成された捩れ支持梁を用いる構成としてもよく、またZ軸方向に撓み変形する支持梁を用いる構成してもよい。
【0075】
【発明の効果】
以上詳述した通り、請求項1の発明によれば、基板上に配置した第1,第2の質量部のうちY軸方向に対して中央に位置する第1の質量部をY軸方向支持梁および第3の質量部によってX軸方向支持梁と連結し、Y軸方向に対して第1の質量部の両側に位置する第2の質量部をZ軸方向支持梁および第4の質量部によってX軸方向支持梁と連結し、第1,第2の検出手段によりZ軸周り、Y軸周りの角速度をそれぞれ検出する構成としたので、第1の検出手段は、第1の質量部がY軸方向支持梁を介してY軸方向に変位するときの変位量をZ軸周りの角速度として検出でき、第2の検出手段は、第2の質量部がZ軸方向支持梁を介してZ軸方向に変位するときの変位量をY軸周りの角速度として確実に検出することができる。従って、単一の角速度センサにより、第1,第2の質量部を用いた簡単な構造で2軸周りの角速度を同時に検出でき、センサとしての検出性能を向上できると共に、その寸法を小型化し、製造コスト等を低減することができる。
【0076】
また、固定部はX軸方向支持梁のうち振動の節に対応する部位を基板に接続する構成としたので、固定部の位置では各質量部の振動を互いに打消すことができ、その振動がX軸方向支持梁を介して基板に伝わるのを確実に抑制することができる。これにより、振動発生手段による振動エネルギを基板側に逃がすことなく、各質量部を所定の振幅、振動速度等で効率よく振動させることができると共に、基板に振動が伝わることによって検出精度が低下するのを防止でき、信頼性を向上させることができる。
さらに、第2の質量部はY軸方向に対して第1の質量部の両側に位置する構成としたので、第1の質量部を挟んだ両側に第2の質量部を対称に配置でき、これらの質量部を互いに逆位相で安定的に振動させることができる。そして、第2の質量部は、Y軸周りの角速度が加わったときに、第1の質量部を挟んだ両側の位置でZ軸方向に揺動することにより、各質量部全体に加わる応力等のバランスをとることができる。
【0079】
また、請求項2の発明によれば、第1の質量部をY軸方向支持梁によって第3の質量部に連結し、第2の質量部をZ軸方向支持梁によって第4の質量部に連結し、第3,第4の質量部をX軸方向支持梁に連結すると共に、第1,第2の検出手段により第1,第2の質量部の変位量をそれぞれZ軸周り、Y軸周りの角速度として検出する構成としたので、単一の角速度センサにより、第1,第2の検出手段と各質量部とを用いた簡単な構造で2軸周りの角速度を同時に検出でき、センサとしての検出性能を向上できると共に、その寸法を小型化し、製造コスト等を低減することができる。また、第3の質量部はX軸方向支持梁の撓み変形等が検出方向の変位となって第1の質量部に伝わるのを遮断でき、第4の質量部はX軸方向支持梁の撓み変形等が第2の質量部に伝わるのを遮断できるから、検出精度をより向上させることができる。
【0080】
また、固定部はX軸方向支持梁のうち第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を基板に接続する構成としたので、固定部の位置では第1ないし第4の質量部の振動を互いに打消すことができ、振動発生手段による振動エネルギを基板側に逃がすことなく、各質量部を効率よく振動させることができる。また、基板に振動が伝わることによって検出精度が低下するのを防止でき、信頼性を向上させることができる。
【0081】
さらに、請求項3の発明によれば、Z軸方向支持梁は、X軸またはY軸周りで捩れ変形可能に形成され前記第2の質量部をZ軸方向に揺動可能に支持する捩れ支持梁により構成したので、Y軸周りの角速度が加わるときには、捩れ支持梁が捩れるように弾性変形することにより、第2の質量部を基板に対してZ軸方向に安定的に揺動変位させることができ、Z軸方向への変位機構を基板上に小さな面積で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による角速度センサを示す平面図である。
【図2】図1中の矢示II-II方向からみた角速度センサの拡大断面図である。
【図3】角速度センサのうち図1中の下側に位置する片側部位を示す拡大平面図である。
【図4】図2中の左片側に位置する外側質量部、角速度検出部等を示す要部拡大断面図である。
【図5】外側質量部がY軸周りの角速度によってZ軸方向に変位する状態を示す角速度センサの要部拡大断面図である。
【図6】角速度センサのうち図1中の左片側部位で中央質量部と外側質量部とが互いに逆位相で振動する状態を示す拡大平面図である。
【図7】基板形成工程に用いるガラス板の左片側部位を示す拡大断面図である。
【図8】基板形成工程により凹陥部を形成したガラス板の左片側部位を示す拡大断面図である。
【図9】電極形成工程により固定側検出電極を形成した基板の左片側部位を示す拡大断面図である。
【図10】基板接合工程により接合した基板とシリコン板の左片側部位を示す拡大断面図である。
【図11】エッチング工程によりシリコン板にエッチング処理を施して質量部、支持梁等を形成した状態を示す角速度センサの左片側部位の拡大断面図である。
【図12】他の基板接合工程により質量部、支持梁等に他のガラス板を接合した状態を示角速度センサの左片側部位の拡大断面図である。
【符号の説明】
1 角速度センサ
2 基板
3 中央質量部(第1の質量部)
4 外側質量部(第2の質量部)
5,6 枠状質量部(第3,第4の質量部)
7 X軸方向支持梁
7A 節部
8 連結部
9 Y軸方向支持梁
10 捩れ支持梁(Z軸方向支持梁)
11 固定部
12,16 電極用支持部
13,14 駆動電極
15 振動発生部(振動発生手段)
17,18,20,22 検出電極
19,23 角速度検出部(角速度検出手段)
21 電極取出部
31,33 ガラス板
32 シリコン板(加工用基板)
Claims (3)
- 基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうち振動発生手段によってX軸方向に振動する第1の質量部と、該第1の質量部を挟んでY軸方向の両側に設けられ振動発生手段によって該第1の質量部と逆位相でX軸方向に振動する第2の質量部と、前記第1の質量部を第3の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結すると共に前記第2の質量部を第4の質量部を介してX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁と前記基板との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記第1の質量部と前記第3の質量部との間に設けられ該第1の質量部をY軸方向に変位可能に支持するY軸方向支持梁と、前記第2の質量部と前記第4の質量部との間に設けられ前記第2の質量部をZ軸方向に変位可能に支持するZ軸方向支持梁と、前記第1の質量部に角速度が作用するときに前記第1の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記第2の質量部に角速度が作用するときに前記第2の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とを備え、
前記固定部はX軸方向支持梁のうち前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を前記基板に接続する構成としてなる角速度センサ。 - 基板と、該基板と隙間をもって対向し互いに直交するX軸,Y軸,Z軸からなる3軸方向のうち振動発生手段によってX軸方向に振動する第1の質量部と、該第1の質量部を挟んでY軸方向の両側に設けられ振動発生手段によってX軸方向に振動する第2の質量部と、前記第1の質量部と第2の質量部との間に位置して第1の質量部を取囲む第3の質量部と、前記第2の質量部を取囲む第4の質量部と、該第4の質量部を互いにX軸方向に変位可能に連結するX軸方向支持梁と、該X軸方向支持梁に対して前記第3の質量部を連結する連結部と、前記第3の質量部に対して前記第1の質量部をY軸方向に変位可能に連結するY軸方向支持梁と、前記第4の質量部に対して前記第2の質量部をZ軸方向に変位可能に連結するZ軸方向支持梁と、前記基板とX軸方向支持梁との間に設けられ該X軸方向支持梁を前記基板に接続する固定部と、前記第1の質量部に角速度が作用するときに該第1の質量部がY軸方向に変位する変位量をZ軸周りの角速度として検出する第1の検出手段と、前記第2の質量部に角速度が作用するときに該第2の質量部がZ軸方向に変位する変位量をY軸周りの角速度として検出する第2の検出手段とを備え、
前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とは互いに逆位相で振動し、
前記固定部はX軸方向支持梁のうち前記第1,第3の質量部と第2,第4の質量部とが互いに逆位相で振動するときの節に対応する部位を前記基板に接続する構成としてなる角速度センサ。 - 前記Z軸方向支持梁は、X軸またはY軸周りで捩れ変形可能に形成され前記第2の質量部をZ軸方向に揺動可能に支持する捩れ支持梁により構成してなる請求項1または2に記載の角速度センサ。
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