JP5418355B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
励振梁12の断面形状は、z軸方向(第1の検出方向)の厚さTzがy軸方向(励振方向)の厚さTyよりも厚くなるように形成されている。z軸方向を厚くすることによりz軸方向の漏れ振動が抑制される。また、y軸方向の厚さTyについてはy軸方向に振動することのできる厚さになるように定めている。具体的には、励振梁12のz軸方向の厚さTzは1.5〜100μmとなるように定められている。一方、励振梁12のy軸方向の厚さTyは1〜50μmとなるように形成されている。このうち、励振梁12のz軸方向の厚さはy軸方向の厚さの1.5倍以上となるように励振梁12が形成されていることが好適である。
梁のばね定数は撓み方向の厚さの3乗に比例することが知られている。したがって、上述のように励振梁12のz軸方向の厚さTzをy軸方向の厚さTyの10倍以上にすることで、z軸方向の剛性はy軸方向の剛性に比べて1000倍程度高くなる。z軸方向の剛性が高くなることで、z軸方向には撓みにくくなる。z軸方向に撓みにくくなることから、z軸方向の振動は抑制される。したがって、y軸方向の励振に伴うz軸方向の漏れ振動を抑制することができる。さらに、励振梁12はx軸方向に撓むことなく直線状に延びており、x軸方向の漏れ振動は抑制されている。このように、本実施形態における角速度センサにおいては、励振梁12が励振方向以外の方向に生じうる漏れ振動を抑制する構造を備えている。
ばね定数が変化すると所定の荷重がかかったときのz錘22の変位が異なってしまい、荷重を正確に求めることが困難になる。そこでばね定数の変化を補償するため、温度変化や使用時間に応じて上側制御電極38および下側制御電極40に電圧を印加することによりz変位検出梁18の撓みを調整している。
Claims (8)
- 錘と、
前記錘を支持する梁と、
前記錘を所定の励振方向に振動させる励振電極と、
前記励振方向に直交する第1の検出方向、および、前記励振方向及び前記第1の検出方向に直交する第2の検出方向の前記錘の変位を検出する検出電極と、
を備えた角速度センサであって、
前記梁は、
前記第2の検出方向に沿って延び、前記励振電極によって前記励振方向に振動させられる励振梁と、
前記励振方向に沿って延び、前記第1の検出方向の加振により前記第1の検出方向に振動させられる第1の検出梁と、
前記励振方向に沿って延び、前記第2の検出方向の加振により前記第2の検出方向に振動させられる第2の検出梁と、
を備え、
前記錘は、前記第1の検出梁に支持された第1の錘と、前記第2の検出梁に支持された第2の錘と、を備え、
前記第1の検出梁、および、前記第2の検出梁の反錘側は、前記励振梁に支持されるとともに前記励振梁よりも撓みが抑制されるように形成された単一のプレートに接続され、
前記検出電極は、前記第1の錘の前記第1の検出方向の変位を検出する第1の検出電極と、前記第2の錘の前記第2の検出方向の変位を検出する第2の検出電極と、を備え、
前記第1の検出電極によって検知された前記第1の錘の前記第1の検出方向の変位に基づいて、前記第2の検出方向の角速度を求めるとともに、前記第2の検出電極によって検知された前記第2の錘の前記第2の検出方向の変位に基づいて、前記第1の検出方向の角速度を求めることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1記載の角速度センサであって、
前記励振梁は、前記第1の検出方向の厚さが、前記励振方向の厚さより厚く、
前記第1の検出梁は、前記第2の検出方向の厚さが、前記第1の検出方向の厚さよりも厚く形成され、
前記第2の検出梁は、前記第1の検出方向の厚さが、前記第2の検出方向の厚さよりも厚く形成されていることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1または2に記載の角速度センサであって、
前記第1の検出梁は、前記第1の検出方向の厚さが、前記励振梁の前記第1の検出方向の厚さよりも薄く形成され、
前記第2の検出梁は、前記第2の検出方向の厚さが、前記第1の検出梁の前記第2の検出方向の厚さより薄く形成されていることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1から3のいずれか一つに記載の角速度センサであって、
前記励振梁の前記第1の検出方向の厚さは、前記励振方向の厚さの1.5倍以上の厚さであることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1から4のいずれか一つに記載の角速度センサであって、
前記第1の錘の重心と前記第2の錘の重心と前記励振梁の中心点が、前記励振方向に平行な直線上に配置されることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1から5のいずれか一つに記載の角速度センサであって、
前記第1の錘と前記第2の錘の重心が一致することを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1から6のいずれか一つに記載の角速度センサであって、
第1の方向から見たときに、前記第1の検出梁が前記第2の錘に重なるように構成されるか、または、前記第2の検出梁が前記第1の錘と重なるように構成されていることを特徴とする、角速度センサ。 - 請求項1から7のいずれか一つに記載の角速度センサであって、
第1の方向から見たときに、前記第1の検出電極の一部が前記第2の錘に重なるように構成されるか、または、前記第2の検出電極の一部が前記第1の錘と重なるように構成されていることを特徴とする、角速度センサ。
Priority Applications (1)
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JP2010070932A JP5418355B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010070932A JP5418355B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011203127A JP2011203127A (ja) | 2011-10-13 |
JP5418355B2 true JP5418355B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010070932A Active JP5418355B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
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2010
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