JP3818318B2 - 角速度センサ - Google Patents
角速度センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3818318B2 JP3818318B2 JP2005298094A JP2005298094A JP3818318B2 JP 3818318 B2 JP3818318 B2 JP 3818318B2 JP 2005298094 A JP2005298094 A JP 2005298094A JP 2005298094 A JP2005298094 A JP 2005298094A JP 3818318 B2 JP3818318 B2 JP 3818318B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- predetermined direction
- angular velocity
- vibrating
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Description
該第1の振動体に支持梁を介して支持され、前記基板の表面に平行であって前記第1の所定方向に対して垂直な第2の所定方向に振動可能な第2の振動体と、
前記第2の振動体を前記第2の所定方向に振動させる振動手段と、
前記第1の振動体の前記第1の所定方向に沿った変位量を検出する検出手段と
を有し、前記検出手段は、前記第1の振動体の一部に設けられた電極を一方の対向電極とする第1の検出用コンデンサと、前記第1の振動体の他部に設けられた電極を一方の対向電極とする第2の検出用コンデンサとを有し、該第1及び第2の検出用コンデンサの容量変化に基づき前記第1の振動体の変位量を検出することを特徴とする角速度センサをその要旨としている。
また、請求項4に係る発明は、基板上に支持され、該基板の表面と平行な第1の所定方向に振動可能な第1の振動体と、
該第1の振動体に支持梁を介して接続され、前記基板の表面に平行であって前記第1の所定方向に対して垂直な第2の所定方向に振動可能な第2の振動体と、
前記第2の振動体を前記第2の所定方向に振動させる振動手段と、
前記第1の振動体の前記第1の所定方向に沿った変位量を検出する検出手段と
を有し、前記検出手段は、前記第1の振動体の一部に設けられた電極を一方の対向電極とする第1の検出用コンデンサと、前記第1の振動体の他部に設けられた電極を一方の対向電極とする第2の検出用コンデンサとを有し、前記第1の振動体の第1の所定方向に沿う変位が「0」となるように前記第1、第2の検出用コンデンサにサーボ制御用電圧を印加し、該サーボ制御用電圧に基づきコリオリ力を求めることを特徴する角速度センサをその要旨としている。
以下、この発明を角速度センサに具体化した一実施例を図面に従って説明する。
3,4,5,6 第1の梁
7 中間支持体
8,9,10,11 第2の梁
12 錘
Claims (4)
- 基板上に支持され、該基板の表面と平行な第1の所定方向に振動可能な第1の振動体と、
該第1の振動体に支持梁を介して支持され、前記基板の表面に平行であって前記第1の所定方向に対して垂直な第2の所定方向に振動可能な第2の振動体と、
前記第2の振動体を前記第2の所定方向に振動させる振動手段と、
前記第1の振動体の前記第1の所定方向に沿った変位量を検出する検出手段と
を有し、前記検出手段は、前記第1の振動体の一部に設けられた電極を一方の対向電極とする第1の検出用コンデンサと、前記第1の振動体の他部に設けられた電極を一方の対向電極とする第2の検出用コンデンサとを有し、該第1及び第2の検出用コンデンサの容量変化に基づき前記第1の振動体の変位量を検出することを特徴とする角速度センサ。 - 前記第1、第2の検出用コンデンサは、前記第1の振動体の前記第1の所定方向に沿う変位に対して、前記第1の検出用コンデンサの容量変化の方向と前記第2の検出用コンデンサの容量変化の方向とが逆になるように構成されることを特徴とする請求項1記載の角速度センサ。
- 前記第1の振動体の第1の所定方向に沿う変位が「0」となるように前記第1、第2の検出用コンデンサにサーボ制御用電圧を印加し、該サーボ制御用電圧に基づきコリオリ力を求めることを特徴する請求項1又は請求項2記載の角速度センサ。
- 基板上に支持され、該基板の表面と平行な第1の所定方向に振動可能な第1の振動体と、
該第1の振動体に支持梁を介して接続され、前記基板の表面に平行であって前記第1の所定方向に対して垂直な第2の所定方向に振動可能な第2の振動体と、
前記第2の振動体を前記第2の所定方向に振動させる振動手段と、
前記第1の振動体の前記第1の所定方向に沿った変位量を検出する検出手段と
を有し、前記検出手段は、前記第1の振動体の一部に設けられた電極を一方の対向電極とする第1の検出用コンデンサと、前記第1の振動体の他部に設けられた電極を一方の対向電極とする第2の検出用コンデンサとを有し、前記第1の振動体の第1の所定方向に沿う変位が「0」となるように前記第1、第2の検出用コンデンサにサーボ制御用電圧を印加し、該サーボ制御用電圧に基づきコリオリ力を求めることを特徴する角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005298094A JP3818318B2 (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005298094A JP3818318B2 (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 角速度センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081908A Division JP3800238B2 (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 角速度センサ及び角速度検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006084477A JP2006084477A (ja) | 2006-03-30 |
JP3818318B2 true JP3818318B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=36163075
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005298094A Expired - Lifetime JP3818318B2 (ja) | 2005-10-12 | 2005-10-12 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3818318B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009063430A (ja) * | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 2軸静電容量型加速度センサ、及び2軸静電容量型加速度計 |
-
2005
- 2005-10-12 JP JP2005298094A patent/JP3818318B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006084477A (ja) | 2006-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108534769B (zh) | 加速度和角速度谐振检测集成结构及相关mems传感器设备 | |
JP5138772B2 (ja) | コリオリジャイロ | |
EP2246706B1 (en) | Physical quantity sensor | |
JP5536994B2 (ja) | 慣性センサ及び慣性検出装置 | |
US6089088A (en) | Vibrating microgyrometer | |
US11015933B2 (en) | Micromechanical detection structure for a MEMS sensor device, in particular a MEMS gyroscope, with improved driving features | |
JP2006215016A (ja) | ジャイロスコープと加速度計との両方の機能を有するセンサ | |
JP2007248466A (ja) | 三軸薄膜加速度計 | |
US9010193B2 (en) | Inertial sensor having an oscillating rotating disk | |
JP2010078500A (ja) | 慣性センサ | |
ITTO20080981A1 (it) | Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione | |
ITTO20090371A1 (it) | Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione | |
JP6893179B2 (ja) | 直交同調ための傾斜電極を有するmems慣性測定装置 | |
WO2014083843A1 (ja) | ジャイロセンサおよびジャイロセンサを有する複合センサ | |
JP2006517301A (ja) | 多周波memsデバイスを同時加工するための方法及びシステム | |
CN101815949B (zh) | 振动微机械角速度传感器 | |
WO2013179647A2 (ja) | 物理量センサ | |
JP3669713B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2008014727A (ja) | 加速度角速度センサ | |
JPH06123632A (ja) | 力学量センサ | |
JP4591000B2 (ja) | 半導体力学量センサおよびその製造方法 | |
US9891052B2 (en) | Micromechanical gyroscope structure | |
JP2009529697A (ja) | 微小機械回転速度センサ | |
WO2018003692A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP3818318B2 (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090623 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100623 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100623 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110623 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110623 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120623 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120623 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130623 Year of fee payment: 7 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130623 Year of fee payment: 7 |