JP2009529697A - 微小機械回転速度センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図9
Description
基礎素子が第1軸(y軸)に沿って周期的に振動するように励振される。第2軸(x軸、基板面内にあり、第1軸に対して直角)の周りにおけるセンサの回転運動の際、第1軸及び第2次国大して直角(z軸)にコリオリの力が現れる。この力は枠及びその中に懸架される地震質量に作用する。基礎素子2における枠の懸架は、Z方向の運動が可能であるように設計されている。基礎素子1及び3では、枠の懸架は主としてZ方向の運動に対して特に剛性的であり、地震質量のみがこの軸の方向に偏向される。Z方向における基礎素子構成の偏向は、図6に示すように読取り装置により検出され、現れた回転速度の尺度である。
基礎素子は第1軸(y軸)に沿って周期的に振動するように励振される。第3軸(z軸、基板面に対して直角かつ第1軸に対して直角)の周りにおけるセンサの回転運動の際、第1軸及び第3軸に対して直角(x軸)にコリオリの力が現れる。この力は枠及びその中に懸架される地震質量に作用する。
枠の懸架は、X方向の運動が可能であるように設計されているので、地震質量はこの軸に沿って偏向される。偏向は、例えば図5に示すように測定可能である。
基礎素子3では、X方向における枠運動は可能であるが、必要ではない。重心(SP)を介して、X方向に作用するコリオリの力が、X方向及びZ方向の力に分解される。それにより地震質量がZ方向に動かされ、x軸センサの場合におけるように測定装置は、図6に示すように使用される。しかしその際重要なことは、ねじり軸(枠への質量の懸架)が、第1軸に対して平行にかつコリオリの力に対して直角に延びていることである。
変形例1は上記センサの組合わせである。変形例2では、基礎素子3が、互いに180°だけ方向づけされている2つの質量を1つの枠内に含んでいる。
Claims (10)
- 微小機械回転速度センサであって、基板(9)、少なくとも1つのばね素子(11,11’)により基板(9)に懸架されかつ少なくとも1つの地震質量(3)を含む基礎素子(1)、励振手段(6)及び読取り装置(15)を持っているものにおいて、ばね素子(11,11’)が基礎素子(1)の運動方向に対して直角に運動可能であることを特徴とする、電気機械回転速度センサ。
- ばね素子(11,11’)が少なくとも2つのばね区域を持っていることを特徴とする、請求項1に記載の電気機械回転速度センサ。
- ばね素子(11,11’)がu字状、v字状又はs字状に形成されていることを特徴とする、請求項2に記載の電気機械回転速度センサ。
- 基礎素子(1)が4つのばね素子(11,11’)に懸架されていることを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の電気機械回転速度センサ。
- ばね素子(11,11’)が面対称に基礎素子(1)に設けられていることを特徴とする、請求項4に記載の電気機械回転速度センサ。
- 隣接する基礎素子(1)のばね素子(11,11’)が連結ばね(14)により連結可能であることを特徴とする、請求項4に記載の電気機械回転速度センサ。
- 基礎素子(1)が、枠(2)、地震質量(3)、及び地震質量(3)を枠(2)に懸架する懸架片(4,5)を持っていることを特徴とする、請求項1に記載の電気機械回転速度センサ。
- 回転速度センサが、x軸の周りの回転運動を検出できるx軸センサとして構成されていることを特徴とする、先行する請求項の1つに記載の電気機械回転速度センサ。
- 回転速度センサが、z軸の周りの回転運動を検出できるz軸センサとして構成されていることを特徴とする、請求項1〜7の1つに記載の電気機械回転速度センサ。
- 回転速度センサが、x軸の周りの回転運動及びz軸の周りの回転運動を検出できるxz軸センサとして構成されていることを特徴とする、請求項1〜7の1つに記載の電気機械回転速度センサ。
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