DE19637265A1 - Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung - Google Patents

Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung

Info

Publication number
DE19637265A1
DE19637265A1 DE1996137265 DE19637265A DE19637265A1 DE 19637265 A1 DE19637265 A1 DE 19637265A1 DE 1996137265 DE1996137265 DE 1996137265 DE 19637265 A DE19637265 A DE 19637265A DE 19637265 A1 DE19637265 A1 DE 19637265A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrodes
sensor according
fingers
seismic
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE1996137265
Other languages
English (en)
Inventor
Karsten Funk
Bernd Dr Maihoefer
Franz Dr Laermer
Bernhard Elsner
Wilhelm Dr Frey
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE1996137265 priority Critical patent/DE19637265A1/de
Priority to PCT/DE1997/001898 priority patent/WO1998011443A1/de
Publication of DE19637265A1 publication Critical patent/DE19637265A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0808Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate
    • G01P2015/0811Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass
    • G01P2015/0814Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining in-plane movement of the mass, i.e. movement of the mass in the plane of the substrate for one single degree of freedom of movement of the mass for translational movement of the mass, e.g. shuttle type

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Description

Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung mit einem Interdigi­ tal-Kondensator, der zwei eine Vielzahl von längli­ chen Fingern aufweisende Elektroden umfaßt, wobei die Finger der beiden Elektroden zumindest teil­ weise ineinandergreifen und eine der beiden Elek­ troden verlagerbar ist, die mit einer auslenkbaren seismischen Masse gekoppelt ist.
Aus dem Stand der Technik sind Beschleunigungssen­ soren bekannt, die mit Hilfe von Interdigital-Kon­ densatoren eine kapazitive Aufnahme einer Beschleu­ nigung durchführen. Als Interdigital-Kondensator wird dabei ein Kondensator bezeichnet, der zwei Elektroden umfaßt, die jeweils eine Vielzahl von Fingern aufweisen. Die Finger greifen zumindest teilweise ineinander und bilden somit mit den je­ weils benachbarten Fingern der Gegenelektrode Teil­ kapazitäten aus. Die Summe dieser Teilkapazitäten entspricht dann der Gesamtkapazität des Interdigi­ tal-Kondensators.
Die Teilkapazität ist bei diesen Kondensatoren ab­ hängig von dem Grad des Ineinandergreifens der Fin­ ger und dem Abstand zu den benachbarten Fingern.
Zur Messung der Beschleunigung wird bei den bekann­ ten Lösungen eine Elektrode beweglich gelagert, derart, daß die Abstände zwischen den Fingern der einen Elektrode und den benachbarten Fingern sich verändern. Die Längsrichtung der Finger liegt somit senkrecht zu der zu detektierenden Beschleunigungs­ richtung.
Diese Anordnung der Elektroden hat den Nachteil, daß die Kapazitätsänderung nicht proportional zur Auslenkung und damit zur anliegenden Beschleunigung ist. Darüber hinaus tritt häufig das Problem auf, daß benachbarte Finger der beiden Elektroden eines Kondensators zusammenkleben, wenn beispielsweise eine Überbelastung vorliegt.
Vorteile der Erfindung
Der Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß die Kapazitätsänderung der Konden­ satoren direkt proportional zur Auslenkung und da­ mit zur Beschleunigung ist. Darüber hinaus läßt sich das Auftreten von Verklebungen zweier Finger deutlich verringern. Dadurch, daß sich die Finger der verlagerbaren Elektrode parallel zu den Fingern der anderen Elektrode bewegen, wobei deren Abstand quer zur Auslenkrichtung im wesentlichen konstant bleibt und sich die Überlappung (1) verändert, läßt sich die verlagerbare Elektrode so verstärken, daß eine Bewegung senkrecht dazu nicht mehr möglich ist. Damit treten keine Verklebungen mehr auf, da die Finger immer einen definierten Abstand zu be­ nachbarten Fingern besitzen.
Vorzugsweise ist die mit der verlagerbaren Elek­ trode gekoppelte seismische Masse an vier Federstä­ ben aufgehängt. Damit läßt sich eine hohe Steifig­ keit gegenüber Bewegungen erreichen, die quer zur Detektionsrichtung liegen.
In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist die seismische Masse zweigeteilt, wobei jeweils ein Teil einer Elektrode zugeordnet ist, die beiden Masseteile jedoch miteinander verbunden bleiben. Hiermit läßt sich eine Kompensation von auftreten­ den Materialspannungen durchführen.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen Unteransprüchen.
Zeichnungen
Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbei­ spielen mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläu­ tert. Dabei zeigen:
Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Be­ schleunigungssensors,
Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines Be­ schleunigungssensors,
Fig. 3 ein drittes Ausführungsbeispiel eines Be­ schleunigungssensors, und
Fig. 4 ein viertes Ausführungsbeispiel eines Be­ schleunigungssensors.
Ausführungsbeispiele
In Fig. 1 ist ein Beschleunigungssensor 1 darge­ stellt, der zur kapazitiven Aufnahme der Beschleu­ nigung geeignet ist. Er ist in einer Oberflächenmi­ kromechnik-Technik konzipiert und findet in zuneh­ mendem Maße im Automobilbau in aktiven und passiven Rückhaltesystemen und in der Fahrdynamikregelung Verwendung.
Der Beschleunigungssensor 1 umfaßt zwei Kondensa­ tor-Einheiten 3, 5, die jeweils als Interdigital- Kondensator ausgebildet sind.
Die beiden Interdigital-Kondensatoren 3, 5 umfassen jeweils zwei Elektroden 7, 9, an denen jeweils eine Vielzahl von länglichen Fingern 11 vorgesehen sind. Damit weisen die Elektroden 7, 9 eine Kammstruktur auf.
Fig. 1 läßt deutlich erkennen, daß die einzelnen Finger 11 gegenüberliegender Elektroden 7, 9 zumin­ dest teilweise ineinandergreifen. So taucht jeweils ein Finger der Elektroden 9 in einen Raum zwischen zwei Fingern 11 einer Elektrode 7.
Bei dieser Kammstruktur wird jeweils ein Kondensa­ tor zwischen einem Finger der Elektrode 9 und einem benachbarten Finger der Elektrode 7 ausgebildet. Die Kapazität dieses Kondensators hängt dabei ei­ nerseits von der Höhe der Struktur und von dem Abstand d zwischen den beiden Fingern ab und andererseits einer Fingerlänge 1, die der Finger 11 in den Zwischenraum eintaucht.
Die beiden Elektroden 9 sind mit einer seismischen Masse 13 gekoppelt, die an ihren beiden Enden par­ allel zu den Fingern 11 verlaufende Versteifungs­ fortsätze 15 besitzt, an deren Enden wiederum Fe­ derstäbe 17 angebracht sind. Jeweils zwei Feder­ stäbe 17.1, 17.2 beziehungsweise 17.3, 17.4 sind an einer Verankerung 19 angebracht, die mittig zu der Elektrode 9 und den sich gegenüberliegenden Fort­ sätzen 15.1, 15.2 vorgesehen ist.
Somit ist die Einheit aus Elektroden 9, seismischer Masse 13 und Fortsätzen 15 an den Federstäben 17 federnd gelagert und in x-Richtung auslenkbar.
Im Gegensatz dazu sind die Elektroden 7 in ihrer Lage über ebenfalls mittig angeordnete Verankerun­ gen 21 fixiert. Wirkt nun eine in x-Richtung ge­ richtete Beschleunigung auf den Sensor 1 ein, wird die seismische Masse 13 zusammen mit den Elektroden 9 aufgrund ihrer Trägheit in x-Richtung ausgelenkt. Dabei verringert sich beispielsweise in dem gezeig­ ten Ausführungsbeispiel die Eintauchtiefe 1 in der Kondensator-Einheit 3, während die Eintauchtiefe 1 in der Kondensator-Einheit 5 zunimmt. Der Abstand d zwischen den Fingern bleibt jedoch konstant. Damit ergibt sich insgesamt eine Kapazitätsänderung, die proportional zu der Beschleunigung ist, da ledig­ lich eine lineare Abhängigkeit von der Eintauch­ tiefe 1 vorliegt.
Um zu verhindern, daß eine Auslenkung der seismi­ schen Masse mit den Elektroden 9 in y-Richtung auf­ tritt, sind die Fortsätze 15 so dimensioniert und ausgelegt, daß sie eine Versteifung bewirken.
Mit Hilfe einer entsprechenden Dimensionierung der Federstäbe 17, beispielsweise eine Verbreiterung eines Teils des Stabes, können bestimmte die Emp­ findlichkeit des Sensors beeinflussende Parameter eingestellt werden. Die Empfindlichkeit gegenüber "out of plane"-Beschleunigungen läßt sich durch ein Aspektverhältnis der Federstabhöhe zur Federstab­ breite von ca. 5:1 um etwa den Faktor 100 kleiner einstellen als gegenüber der auszuwertenden Be­ schleunigung. Damit haben solche "out of plane"-Be­ schleunigungen keinen negativen Einfluß auf das Meßergebnis. Zur Begrenzung der Auslenkung in x-Richtung können feststehende Anschläge vorgesehen sein, die elektrisch auf gleichem Potential mit der seismischen Masse und den Elektroden 9 liegen.
Fig. 1 läßt noch erkennen, daß die Federstäbe 17 beziehungsweise die Elektroden 7 an den Verankerun­ gen 19 beziehungsweise 21 nicht direkt, sondern über schmale Verbindungsstücke 23 miteinander ver­ bunden sind. Diese Verbindungstücke 23 beziehungs­ weise 25 dienen zur Entkopplung von mechanischen Spannungen. Darüber hinaus ist die Positionierung der Verankerungen im Hinblick auf die durch unter­ schiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten der verwendeten Materialien hervorgerufenen Verspannun­ gen optimiert.
Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines Beschleunigungssensors 1, dessen Funktionsweise derjenigen des ersten Sensors gemäß Fig. 1 ent­ spricht. Auf eine nochmalige Beschreibung der mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichneten Teile wird deshalb verzichtet.
Der Unterschied zu der ersten Ausführungsform be­ steht unter anderem darin, daß die Einheit aus seismischer Masse 13 und Elektrode 9 aufgetrennt wurde. Die beiden festen Elektroden 7 liegen nun in der gezeigten Anordnung innen, während die verla­ gerbaren Elektroden 9 außen angeordnet sind. Gekop­ pelt sind die beiden außenliegenden Elektroden 9 und die seismischen Massen 13 über entsprechende Verbindungsfortsätze 15.
Eine Abwandlung der in Fig. 2 gezeigten Ausfüh­ rungsform ist in Fig. 3 zu sehen. Hierbei wurde lediglich die Aufhängung der beiden seismischen Massen 13 und den Elektroden 9 verändert. Die Fe­ derstäbe 17 sind nicht mehr an den beiden Enden der Elektroden angebracht, sondern an einem mittig vor­ gesehenen Befestigungsteil 27. Die anderen Enden der Federstäbe 17 sind an einem Befestigungssteg 29 befestigt, der mit mittig angeordneten Verankerun­ gen 19 gekoppelt ist.
Eine weitere Ausführungsform des Beschleunigungs­ sensors 1 ist in Fig. 4 dargestellt. Hierbei sind wiederum die beiden seismischen Massen 13 mit den Elektroden 9 zwischen den beiden festen Elektroden 7 angeordnet. Die vier Federstäbe 17 verlaufen zwi­ schen den beiden seismischen Massen 13 und sind an einem Ende an einer gemeinsamen Verankerung 21 be­ festigt und an den anderen Enden an Verbindungsste­ gen 15, die die beiden seismischen Massen 13 ver­ binden.
Diese Ausführungsform bietet die beste Kompensation von Verspannungen durch thermische Ausdehnung, da die seismische Masse nur in einem Punkt Kontakt zum Untergrund hat.
Selbstverständlich sind auch andere nicht darge­ stellte Ausführungsformen der Erfindung denkbar.

Claims (11)

1. Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleu­ nigung mit zumindest zwei Interdigital-Kondensato­ ren (3, 5), deren jeder zwei eine Vielzahl von läng­ lichen Fingern (11) aufweisende Elektroden (7, 9) umfaßt, wobei die Finger (11) zumindest teilweise ineinandergreifen und eine der Elektroden (9) ver­ lagerbar ist, und mit einer auslenkbaren seismi­ schen Masse (13), die mit der verlagerbaren Elek­ trode (9) gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (7, 9) so angeordnet sind, daß sich die Finger (11) bei einer Auslenkung einer Elektrode (9) parallel zueinander bewegen, wobei deren Abstand (d) quer zur Auslenkungsrichtung im wesentlichen konstant bleibt und sich die Überlap­ pung (1) verändert, und daß die beiden Interdigi­ tal-Kondensatoren so zueinander angeordnet sind, daß sich bei einer Beschleunigung der Kapazitäts­ wert des einen Kondensators erhöht und der des an­ deren verringert.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die seismische Masse (13) an vier Federstäben (17) gelagert ist.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jeder verlagerbaren Elektrode (9) eine seismische Masse (13) zugeordnet ist, wobei die beiden Massen miteinander gekoppelt sind.
4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden verlagerba­ ren Elektroden (9) zusammen mit der seismischen Masse (13) zwischen den festen Elektroden (7) ange­ ordnet sind.
5. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die festen Elektroden (7) zwischen den verla­ gerbaren Elektroden (9) und den seismischen Massen (13) angeordnet sind.
6. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Federstäbe (17) an den Enden der seismischen Massen (13) angebracht sind.
7. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Federstäbe (17) an den seismischen Massen (13) mittig angebracht sind.
8. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden verlagerbaren Elektroden (9) mit den seismischen Massen (13) parallel und beabstandet zueinander angeordnet sind und daß die Federstäbe (17) zwischen den beiden Elektroden (9) verlaufen und an einem gemeinsamen Verankerungspunkt (21) an­ gebracht sind.
9. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die festen Elektroden (7) mittig an einer Verankerung (19) angebracht sind.
10. Sensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung zwischen Elektrode und Veranke­ rung (19) über Verbindungsstege erfolgt, die der Entkopplung dienen.
11. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Anschläge vorgesehen sind, die den Auslenkungsbereich der seismischen Masse (13) begrenzen und auf dem gleichen Potential wie die Elektroden (9) liegen.
DE1996137265 1996-09-13 1996-09-13 Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung Ceased DE19637265A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996137265 DE19637265A1 (de) 1996-09-13 1996-09-13 Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung
PCT/DE1997/001898 WO1998011443A1 (de) 1996-09-13 1997-08-30 Sensor zur kapazitiven aufnahme einer beschleunigung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1996137265 DE19637265A1 (de) 1996-09-13 1996-09-13 Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19637265A1 true DE19637265A1 (de) 1998-03-26

Family

ID=7805491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1996137265 Ceased DE19637265A1 (de) 1996-09-13 1996-09-13 Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE19637265A1 (de)
WO (1) WO1998011443A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10019408C2 (de) * 2000-04-19 2003-11-13 Bosch Gmbh Robert Feldeffekttransistor, insbesondere zur Verwendung als Sensorelement oder Beschleunigungssensor, und Verfahren zu dessen Herstellung
WO2005043174A1 (en) * 2003-10-29 2005-05-12 Honeywell International Inc. Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer
DE10117630B4 (de) * 2001-04-09 2005-12-29 Eads Deutschland Gmbh Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
US7343801B2 (en) 2001-03-08 2008-03-18 Conti Temic Microelectronic Gmbh Micromechanical capacitive acceleration sensor
DE10111149B4 (de) * 2001-03-08 2011-01-05 Eads Deutschland Gmbh Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
US8342022B2 (en) 2006-03-10 2013-01-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Micromechanical rotational speed sensor
DE102015216465A1 (de) 2015-08-28 2017-03-02 Robert Bosch Gmbh Sensor und Verfahren zur Erfassung von zwei physikalischen Größen
DE102005063641B3 (de) 2005-06-22 2019-01-24 Heraeus Sensor Technology Gmbh Rußsensor

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104241735B (zh) * 2013-06-20 2017-05-10 成都振芯科技股份有限公司 一种基于微机械电子技术的微波移相器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4431327A1 (de) * 1994-09-02 1996-03-07 Fraunhofer Ges Forschung Mikromechanischer Beschleunigungssensor
DE4432837A1 (de) * 1994-09-15 1996-03-21 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor und Meßverfahren

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5025346A (en) * 1989-02-17 1991-06-18 Regents Of The University Of California Laterally driven resonant microstructures
US5359893A (en) * 1991-12-19 1994-11-01 Motorola, Inc. Multi-axes gyroscope
DE69206770T2 (de) * 1991-12-19 1996-07-11 Motorola Inc Dreiachsiger Beschleunigungsmesser
US5349855A (en) * 1992-04-07 1994-09-27 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Comb drive micromechanical tuning fork gyro
EP0618450A1 (de) * 1993-03-30 1994-10-05 Siemens Aktiengesellschaft Beschleunigungssensor
EP0765464B1 (de) * 1994-06-16 2003-05-14 Robert Bosch Gmbh Drehratensensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4431327A1 (de) * 1994-09-02 1996-03-07 Fraunhofer Ges Forschung Mikromechanischer Beschleunigungssensor
DE4432837A1 (de) * 1994-09-15 1996-03-21 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungssensor und Meßverfahren

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z: Elektronik 3/1995, S. 58, 59 *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10019408C2 (de) * 2000-04-19 2003-11-13 Bosch Gmbh Robert Feldeffekttransistor, insbesondere zur Verwendung als Sensorelement oder Beschleunigungssensor, und Verfahren zu dessen Herstellung
US6724023B2 (en) 2000-04-19 2004-04-20 Robert Bosch Gmbh Field effect transistor, especially for use as a sensor element or acceleration sensor
US7343801B2 (en) 2001-03-08 2008-03-18 Conti Temic Microelectronic Gmbh Micromechanical capacitive acceleration sensor
DE10111149B4 (de) * 2001-03-08 2011-01-05 Eads Deutschland Gmbh Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
DE10117630B4 (de) * 2001-04-09 2005-12-29 Eads Deutschland Gmbh Mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
WO2005043174A1 (en) * 2003-10-29 2005-05-12 Honeywell International Inc. Out-of-plane compensation suspension for an accelerometer
DE102005063641B3 (de) 2005-06-22 2019-01-24 Heraeus Sensor Technology Gmbh Rußsensor
US8342022B2 (en) 2006-03-10 2013-01-01 Conti Temic Microelectronic Gmbh Micromechanical rotational speed sensor
DE102015216465A1 (de) 2015-08-28 2017-03-02 Robert Bosch Gmbh Sensor und Verfahren zur Erfassung von zwei physikalischen Größen

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998011443A1 (de) 1998-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69032747T2 (de) Verbesserte Elektrodenstruktur für kapazitive Positionsgeber
EP2102666B1 (de) Beschleunigungssensor mit kammelektroden
EP2100151B1 (de) Mikromechanischer z-sensor
DE2758986C2 (de) Kapazitive Kraftmessvorrichtung
EP2389561B1 (de) Drehratensensor
EP0981755B1 (de) Beschleunigungssensor
DE102018009247A1 (de) Sechsachsiger Kraftsensor mit Wegerfassung
DE3433148A1 (de) Anordnung zur erfassung raeumlicher inhomogenitaeten in einem dielektrikum
DE19520004C2 (de) Beschleunigungssensor
EP0924518A1 (de) Vorrichtung zum Messen von Eigenschaften eines textilen Produktes
DE10035605A1 (de) Halbleitersensor für eine Physikalische Grösse
DE19637265A1 (de) Sensor zur kapazitiven Aufnahme einer Beschleunigung
DE102006053290A1 (de) Beschleunigungssensor
DE102006031068A1 (de) Faseroptischer seismischer Sensor
DE3225215C2 (de)
DE4431232C2 (de) Integrierbares Feder-Masse-System
DE102008054553B4 (de) Beschleunigungssensor
DE102005010393B4 (de) Halbleitersensor zur Erfassung einer dynamischen Grösse
DE102006051329A1 (de) Z-Beschleunigungssensor mit verringerter Störempfindlichkeit
DE4226430C2 (de) Kapazitiver Beschleunigungssensor
DE102005056361B4 (de) Halbleitersensor für eine dynamische Grösse
DE19754524A1 (de) Wegsensor
CH668643A5 (de) Kraftmesszelle mit kapazitiver wegmessung.
DE102017219933A1 (de) Drehratensensor mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat, Herstellungsverfahren für einen Drehratensensor
DE102011078355B3 (de) Kapazitives Sensorelement zur Detektion einer Verschiebung mit mehreren Elektrodenpaaren und Verfahren zu dessen Betrieb

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8131 Rejection