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Die
Erfindung betrifft einen mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensor
nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
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Zur
Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in einer oder mehreren
Richtungen sind mikromechanische kapazitive Beschleunigungssensoren
bekannt, mit einer Rahmenanordnung, welche bezüglich dem Objekt ortsfest ist,
mit einer trägen Sensormasse,
welche relativ zu der Rahmenanordnung des Beschleunigungssensors
beweglich ist, mit einer Lagervorrichtung, durch welche die Sensormasse
bezüglich
der Rahmenanordnung um eine Ausgangslage elastisch gelagert ist,
und mit einer kapazitiven Erfassungseinrichtung zur Erzeugung mindestens
eines die Lage der Sensormasse relativ zu der Rahmenanordnung repräsentierenden
kapazitiven Ausgangssignals. Die kapazitive Erfassungseinrichtung
umfaßt
an der Sensormasse vorgesehene erste Kondensatorelektroden und an
der Rahmenanordnung den ersten Kondensatorelektroden gegenüberliegend
vorgesehene zweite Kondensatorelektroden. Zur Kopplung der an der
Sensormasse vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden mit an der
Rahmenanordnung vorgesehenen ersten Anschlußelementen ist eine Kopplungsanordnung
vorgesehen, und die zweiten Kondensatorelektroden sind mit zweiten
Anschlußelementen
gekoppelt.
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Die
DE 692 02 991 T2 beschreibt
einen mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensor zur Erfassung
der Beschleunigung eines Objekts, mit einer Rahmenanordnung, welche
bezüglich
dem Objekt ortsfest ist, mit einer trägen Sensormasse, welche relativ
zu der Rahmenanordnung des Beschleunigungssensors beweglich ist,
mit einer Lagervorrichtung, durch welche die Sensormasse bezüglich der
Rahmenanordnung um eine Ausgangslage elastisch gelagert ist, und
mit einer kapazitiven Erfassungseinrichtung zur Erzeugung eines
die Lage der Sensormasse relativ zu der Rahmenanordnung repräsentierenden
kapazitiven Ausgangssignals, welche an der Sensormasse vorgesehene
erste Kondensatorelektroden und an der Rahmenanordnung den ersten
Kondensatorelektroden gegenüberliegend
vorgesehene zweite Kondensatorelektroden umfaßt, und mit einer Kopplungsanordnung
zur Kopplung der an der Sensormasse vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden
mit an der Rahmenanordnung vorgesehenen ersten Anschlußelementen, und
mit zweiten Anschlußelementen,
mit welchen die zweiten Kondensatorelektroden gekoppelt sind. Bei diesem
bekannten kapazitiven Beschleunigungssensor sind die an der Rahmenanordnung
den ersten Kondensatorelektroden an der Sensormasse gegenüberliegend
vorgesehenen zweiten Kondensatorelektroden und mit den zweiten Kondensatorelektroden
gekoppelte zweite Anschlußelemente
auf verschiedenen Seiten eines den Beschleunigungssensor abschließenden Deckelements
vorgesehen.
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Weiter
ist aus der
DE 195
41 388 A1 ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor ähnlicher
Art zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts bekannt, bei
dem an der Rahmenanordnung den ersten Kondensatorelektroden an der Sensormasse
gegenüberliegend
vorgesehene zweiten Kondensatorelektroden mit einer zur Auswertung der
von dem Beschleunigungssensor erzeugten Signale dienenden integrierten
Schaltung in einer als bekannt bezeichneten, nicht näher beschriebenen
Weise verbunden sein sollen.
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Auch
die
EP 0 899 574 A1 beschreibt
einen mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensor mit an
der Rahmenanordnung den ersten Kondensatorelektroden an der Sensormasse
gegenüberliegend
vorgesehenen zweiten Kondensatorelektroden und mit den zweiten Kondensatorelektroden
gekoppelten Anschlußelementen
in verschiedenen Ebenen, welche über
eine diese Versetzung überbrückende Drahtverbindung
miteinander gekoppelt sind.
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Die
Aufgabe der Erfindung ist es einen mikromechanischen kapazitiven
Beschleunigungssensor zu schaffen, welcher möglichst einfach und damit kostengünstig herstellbar
ist und der eine möglichst geringe
Empfindlichkeit gegen Störeinflüsse aufweist.
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Diese
Aufgabe wird durch den im Anspruch 1 angegebenen mikromechanischen
kapazitiven Beschleunigungssensor gelöst.
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Vorteilhafte
Weiterbildungen des Erfindungsgegenstands sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
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Durch
die Erfindung wird ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor
zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in mindestens einer
Richtung geschaffen, mit einer Rahmenanordnung, welche bezüglich dem
Objekt ortsfest ist, mit einer trägen Sensormasse, welche relativ
zu der Rahmenanordnung des Beschleunigungssensors beweglich ist,
mit einer Lagervorrichtung, durch welche die Sensormasse bezüglich der
Rahmenanordnung um eine Ausgangslage elastisch gelagert ist, und
mit einer kapazitiven Erfassungseinrichtung zur Erzeugung mindestens
eines die Lage der Sensormasse relativ zu der Rahmenanordnung repräsentierenden
kapazitiven Ausgangssignals, welche an der Sensormasse vorgesehene
erste Kondensatorelektroden und an der Rahmenanordnung den ersten Kondensatorelektroden
gegenüberliegend
vorgesehene zweite Kondensatorelektroden umfaßt, und mit einer Kopplungsanordnung
zur Kopplung der an der Sensormasse vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden
mit an der Rahmenanordnung vorgesehenen ersten Anschlußelementen,
und mit zweiten Anschlußelementen,
mit welchen die zweiten Kondensatorelektroden gekoppelt sind. Erfindungsgemäß ist es
vorgesehen, daß die
ersten Anschlußelemente und
die zweiten Anschlußelemente
in einer gemeinsamen Anschlußebene
angeordnet sind, welche beispielsweise gegen die an der Sensormasse
vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden höhenversetzt ist, daß die an
der Rahmenanordnung vorgesehenen zweiten Kondensatorelektroden zusammen
mit den ersten und zweiten Anschlußelementen in der gemeinsamen
Anschlußebene
angeordnet sind, und daß die
Kopplungsanordnung Mittel zur Überbrückung der
Höhenversetzung
zwischen den ersten Kondensatorelektroden und der gemeinsamen Anschlußebene enthält, wobei
die Kopplungsanordnung eine die Höhenversetzung zu der gemeinsamen
Anschlußebene überbrückende galvanische oder
kapazitive Verbindung bildet.
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Ein
wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist, daß dieser
besonders einfach herstellbar ist, da alle elektrischen Anschlüsse in Form
der Anschlußelemente
für die ersten
und zweiten Kondensatorelektroden auf einer Ebene liegen.
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Gemäß einer
besonders bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung ist es vorgesehen, daß die Rahmenanordnung ein die
Sensormasse seitlich umgebendes Mittelteil und ein höhenversetzt
zu der Sensormasse an dem Mittelteil angeordnetes erstes Deckelteil
enthält,
wobei die zweiten Kondensatorelektroden auf der der Sensormasse
zugewandten Seite an dem ersten Deckelteil vorgesehen sind und die
ersten Kondensatorelektroden den zweiten Kondensatorelektroden gegenüberliegend
an der Sensormasse vorgesehen sind, und daß die gemeinsame Anschlußebene,
in welcher die ersten Anschlußelemente
und die zweiten Anschlußelemente
angeordnet sind, durch die der Sensormasse zugewandten Seite des
ersten Deckelteils gebildet ist, in welcher auch die zweiten Kondensatorelektroden
vorgesehen sind. Der Vorteil dieser Art der Anordnung liegt in einer
einfachen Kontaktierung und in geringen Streukapazitäten.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
hiervon sieht es vor, daß die
ersten Anschlußelemente,
die zweiten Anschlußelemente
sowie die zweiten Kondensatorelektroden, die mit letzteren verbunden
sind, aus einer einzigen auf der der Sensormasse zugewandten Seite
des ersten Deckelteils ausgebildeten leitenden Schicht hergestellt
sind.
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Bei
Ausführungsformen,
bei denen die Kopplungsanordnung eine kapazitive Verbindung enthält, ist
es vorteilhafterweise vorgesehen, daß auf der der Sensormasse zugewandten
Seite des ersten Deckelteils eine zweite Kopplungselektrode ausgebildet ist,
und daß an
der Sensormasse eine der zweiten Kopplungselektrode gegenüberliegende
erste Kopplungselektrode vorgesehen ist, wobei die erste und die
zweite Kopplungselektrode eine kapazitive Verbindung der Kopplungsanordnung
zur Kopplung der an der Sensormasse vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden
mit einem an der Rahmenanordnung vorgesehenen ersten Anschlußelement
bilden.
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Diese
Ausführungsform
ist vorteilhafterweise so weitergebildet, daß die zweite Kopplungselektrode
zusammen mit dem ersten Anschlußelement
in der gemeinsamen Anschlußebene
vorgesehen ist, welche durch die der Sensormasse zugewandte Seite
des ersten Deckelteils gebildet ist.
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Weiterhin
ist es vorzugsweise vorgesehen, daß die zweite Kopplungselektrode
und das damit verbundene erste Anschlußelement zusammen mit dem zweiten
Kondensatorelektroden und den damit verbundenen zweiten Anschlußelementen
aus einer einzigen auf der der Sensormasse zugewandten Seite des
ersten Deckelteils ausgebildeten leitenden Schicht hergestellt sind.
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Bei
den Ausführungsbeispielen,
bei denen die Rahmenanordnung ein die Sensormasse seitlich umgebendes
Mittelteil und ein höhenversetzt
dazu an dem Mittelteil angeordnetes erstes Deckelteil enthält, ist
es vorzugsweise vorgesehen, daß ein
höhenversetzt
zu der Sensormasse an dem Mittelteil dem ersten Deckelteil gegenüberliegend
angeordnetes zweites Deckelteil enthält, welches zusammen mit dem
Mittelteil und dem ersten Deckelteil ein die Sensormasse zusammen
mit den ersten Kondensatorelektroden und den zweiten Kondensatorelektroden hermetisch
einschließendes
Gehäuse
bildet. Das den Beschleunigungssensor hermetisch einschließende Gehäuse bietet
zum einen einen zuverlässigen
Schutz gegen Umgebungseinflüsse
und ermöglicht
es zum anderen, im Inneren desselben einen geringeren Gasdruck zur
Senkung der Dämpfung
einzustellen.
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Gemäß einer
Art der Ausführung
des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist es vorgesehen, daß die
Lagervorrichtung durch Torsionselemente gebildet ist, an welchen
die Sensormasse bezüglich
der Rahmenanordnung um die besagte Ausgangslage drehelastisch gelagert
ist.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
hiervon sieht es vor, daß zwei
auf einer gemeinsamen Drehachse befindliche, an einander gegenüberliegenden Seiten
der Sensormasse angreifende, die Lagervorrichtung bildende Torsionselemente
vorgesehen sind, wobei die Sensormasse nur bezüglich einer einzigen Richtung
relativ zu der Rahmenanordnung beweglich ist.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
sieht es vor, daß die
Torsionselemente an der Sensormasse einerseits und an dem Mittelteil
der Rahmenanordnung andererseits festgelegt sind.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist es vorgesehen, daß die Kopplungsanordnung durch eine
galvanische Verbindung gebildet ist, welche die Torsionselemente
enthält.
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Gemäß einer
anderen Art der Ausführung des
erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist es vorgesehen, daß die
Lagervorrichtung durch ein oder mehrere Biegeelemente gebildet ist,
an welchen die Sensormasse bezüglich
der Rahmenanordnung um die besagte Ausgangslage biegeelastisch gelagert
ist.
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Eine
bevorzugte Ausführungsform
hiervon sieht es vor, daß zwei
in einer gemeinsamen Ebene befindliche, voneinander beabstandet
an der Sensormasse festgelegte Biegeelemente vorgesehen sind, wobei
die Sensormasse nur bezüglich
einer einzigen Richtung relativ zu der Rahmenanordnung beweglich ist.
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Gemäß einer
Ausführungsform
ist es vorgesehen, daß die
Biegeelemente an der Sensormasse einerseits und an dem ersten Deckelteil
der Rahmenanordnung andererseits festgelegt sind.
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Gemäß einem
Aspekt der Erfindung ist es vorgesehen, daß die Kopplungsanordnung durch eine
galvanische Verbindung gebildet ist, welche die Biegeelemente enthält.
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Eine
weitere Art der Ausführung
des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
sieht es vor, daß ein
einziges Biegeelement vorgesehen ist, welches zentral an der Sensormasse
festgelegt ist, wobei die Sensormasse bezüglich zweier verschiedener
Richtungen relativ zu der Rahmenanordnung beweglich ist, und daß die Erfassungseinrichtung
zur Erzeugung zweier die Lage der Sensormasse relativ zu der Rahmenanordnung
repräsentierender
kapazitiver Ausgangssignale vorgesehen ist. Der Vorteil dieser Art
der Ausführung
ist es, daß mit
einer einzigen Sensormasse Beschleunigungen in zwei verschiedenen
Richtungen, beispielsweise den beiden Richtungen der Horizontalebene
erfaßt
werden können.
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Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform hiervon
ist es vorgesehen, daß die
Erfassungseinrichtung vier erste Kondensatorelektroden, welche paarweise
einander gegenüberliegend
auf entgegengesetzten Seiten des Biegeelements an der Sensormasse
vorgesehen sind, und vier Kondensatorelektroden, welche paarweise
einander gegenüberliegend auf
entgegengesetzten Zeiten des Biegeelements gegenüber den ersten Kondensatorelektroden
an dem ersten Deckelteil der Rahmenanordnung vorgesehen sind, umfaßt.
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Wenn
bei den letztgenannten Ausführungsformen
durch die Kopplungsanordnung eine kapazitive Verbindung gebildet
werden soll, ist es insbesondere vorteilhaft vorzusehen, daß die Kopplungsanordnung
eine das Biegeelement umgebende erste Kopplungselektrode, welche
an der Sensormasse vorgesehen ist, und ein das Biegeelement umgebende,
der ersten Kopplungselektrode gegenüberliegende zweite Kopplungselektrode
umfaßt,
welche an dem ersten Deckelteil der Rahmenanordnung vorgesehen ist.
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Bei
den Ausführungsformen,
bei denen die Kopplungsanordnung eine galvanische Verbindung bildet,
ist es vorteilhaft vorzusehen, daß die Kopplungsanordnung durch
eine galvanische Verbindung gebildet ist, welche das Biegeelement
umfaßt.
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Gemäß einer
weiteren Art der Ausführung des
erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist es vorgesehen, daß zur
Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in mehreren Richtungen
mehrere mit jeweils einer kapazitiven Erfassungseinrichtung versehene
Sensormassen vorgesehen sind, die unabhängig voneinander jeweils mittels
einer Lagervorrichtung in einer Rahmenanordnung gelagert und jeweils
mit einer kapazitiven Erfassungseinrichtung zur Erzeugung eines
die Lage der jeweiligen Sensormasse relativ zu der Rahmenanordnung
repräsentierenden
Ausgangssignals versehen sind.
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Hierbei
ist es vorteilhafterweise vorgesehen, daß die Sensormassen in einer
gemeinsamen Ebene in der Rahmenanordnung gelagert sind und daß die ersten
und zweiten Anschlußelemente
aller Sensormassen in einer gemeinsamen Anschlußebene vorgesehen sind.
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Gemäß einer
Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist es vorgesehen, daß eine
Sensormasse zur Erfassung der Beschleunigung des Objekts in einer
horizontalen Richtung vorgesehen ist, welche eine in der Höhe nach
oben gegenüber
dem Massenschwerpunkt versetzte Lagervorrichtung aufweist, wobei
die Sensormasse bei Beschleunigung des Objekts eine Drehbewegung
um eine durch die Lagervorrichtung definierte Drehachse ausführt.
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Gemäß einer
anderen Ausführungsform
des erfindungsgemäßen Beschleunigungssensors
ist es vorgesehen, daß eine
Sensormasse durch Erfassung der Beschleunigung des Objekts in einer
vertikalen Richtung vorgesehen ist, welche eine seitlich zum Massenschwerpunkt
versetzte Lagervorrichtung aufweist, wobei die Sensormasse bei Beschleunigung
des Objekts eine Drehbewegung um eine durch die Lagervorrichtung
definierte Drehachse ausführt.
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Hierbei
ist es insbesondere vorteilhaft vorzusehen, daß die ersten Kondensatorelektroden
paarweise jeweils auf entgegengesetzten Seiten der durch die Lagervorrichtung
definierten Drehachse auf der Sensormasse vorgesehen sind, und daß die zweiten
Kondensatorelektroden ebenfalls paarweise jeweils den ersten Kondensatorelektroden
gegenüberliegend
an der Rahmenanordnung vorgesehen sind, und daß zur Erzeugung des kapazitiven
Ausgangssignals der Erfassungseinrichtung die Differenzkapazität der paarweisen
Kondensatorelektroden verwendet wird. Die Erfassung der Differenzkapazität zur Erzeugung
des Ausgangssignals ist insbesondere von Vorteil, um Störeinflüsse zu vermindern.
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Vorzugsweise
ist es vorgesehen, daß die
auf der Sensormasse vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden durch
ein leitfähiges
Material gebildet sind, aus welchem die Sensormasse hergestellt
ist.
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Bei
den Ausführungsformen,
bei denen die Rahmenanordnung ein die Sensormasse seitlich umgebendes
Mittelteil und ein daran angeordnetes erstes Deckelteil enthält, ist
es vorteilhaft, wenn das erste Deckelteil der Rahmenanordnung aus
einem alkalimetallhaltigen Glas hergestellt ist.
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Ebenso
ist es vorteilhaft vorzusehen, daß das zweite Deckelteil der
Rahmenanordnung aus einem alkalimetallhaltigen Glas hergestellt
ist.
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Schließlich ist
ein Verfahren zur Herstellung eines Beschleunigungssensors nach
einer der vorgenannten Ausführungsformen
vorgesehen, wobei jede der Sensormassen zunächst mit einer eigenen Rahmenanordnung
als Einzelsensor angefertigt wird, und daß die Einzelsensoren dann zu
einem Gesamtsensor zusammengefügt
werden.
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Im
folgenden werden Ausführungsbeispiele der
Erfindung anhand der Zeichnung erläutert.
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Es
zeigen:
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1a eine perspektivische, teilweise geschnittene
Ansicht eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors
zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in einer Richtung
(x) gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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1b ein elektrisches Ersatzschaltbild des kapazitiven
Beschleunigungssensors gemäß 1a);
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2 eine
Querschnittsansicht eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors gemäß dem in 1a) gezeigten ersten Ausführungsbeispiel;
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3 die
perspektivischen Ansichten von drei Sensormassen eines mikromechanischen
kapazitiven Beschleunigungssensors zur Erfassung der Beschleunigung
eines Objekts in drei Richtungen (x, y, z) in Erweiterung des in 1 dargestellten
ersten Ausführungsbeispiels
der Erfindung;
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4a) eine perspektivische, teilweise geschnittene
Ansicht eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors
zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in einer Richtung
(x) gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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4b) ein elektrisches Ersatzschaltbild
des kapazitiven Beschleunigungssensors von 4 gemäß einer
Variante mit kapazitiver Kopplung;
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4c) ein elektrisches Ersatzschaltbild
des kapazitiven Beschleunigungssensors von 4a) gemäß einer
Variante mit galvanischer Kopplung;
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5 eine
Querschnittsansicht des mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors gemäß dem Ausführungsbeispiel
von 4a);
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6 eine
Querschnittsansicht eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors gemäß einem
dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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7 eine
perspektivische Ansicht einer Sensormasse eines mikromechanischen
kapazitiven Beschleunigungssensors zur Erfassung der Beschleunigung
eines Objekts in zwei Richtungen (x, y), gemäß einem vierten und einem fünften Ausführungsbeispiel
der Erfindung;
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8a) und b) jeweils Draufsichten aus Anordnungen
von Kondensator- und Anschlußelementen
eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors zur Erfassung
der Beschleunigung eines Objekts in zwei Richtungen (x, y) gemäß dem vierten
und fünften
Ausführungsbeispiel
der Erfindung.
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In 1a) und 2 ist ein
erstes Ausführungsbeispiel
eines mikromechanischen kapazitiven Beschleunigungssensors zur Erfassung
der Beschleunigung eines Objekts in einer Richtung, nämlich der
Richtung x, insgesamt mit dem Bezugszeichen 100 bezeichnet.
Der Beschleunigungssensor 100 umfaßt eine Rahmenanordnung 110,
welche aus einem Mittelteil 111, einem ersten Deckelteil 112 und einem
zweiten Deckelteil 113 besteht, wobei letzteres nur in 2 gezeigt
ist. Die Rahmenanordnung 110 ist bezüglich dem Objekt, dessen Beschleunigung
erfaßt
werden soll, ortsfest angeordnet. Der Beschleunigungssensor 100 enthält eine
träge Sensormasse 101,
welche relativ zu der Rahmenanordnung 110 des Beschleunigungssensors 100 beweglich
ist und die mittels einer Lagervorrichtung 105 bezüglich der
Rahmenanordnung 110 um eine Ausgangslage elastisch gelagert
ist. Das Mittelteil 111 der Rahmenanordnung 110 umgibt
die Sensormasse 101 seitlich und das erste Deckelteil 112 ist
höhenversetzt
zu der Sensormasse 101 an dem Mittelteil 111 angeordnet.
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Die
Lagervorrichtung 105 ist bei dem in den 1a) und 2 dargestellten
Ausführungsbeispiel
durch Torsionselemente gebildet, an welchen die Sensormasse 101 bezüglich der
Rahmenanordnung 110, d. h. bezüglich dessen Mittelteil 111 um
die besagte Ausgangslage drehelastisch gelagert ist. Die die Lagervorrichtung 105 bildenden
Torsionselemente sind auf einer gemeinsamen Drehachse befindlich an
einander gegenüberliegenden
Seiten der Sensormasse 110 vorgesehen und die Sensormasse 101 ist damit
nur bezüglich
einer einzigen Richtung, nämlich der
in 1a) mit x bezeichneten Koordinatenrichtung
relativ zu der Rahmenanordnung 110 beweglich. Die Sensormasse 101 bewegt
sich beim Auftreten einer Beschleunigungskraft Fx in Richtung der x-Achse
um diese Drehachse, wobei die Auslenkung am Rand der Sensormasse 101 nach
oben und unten gerichtet ist. Die Torsionselemente 105 sind
einerseits an dem Mittelteil 111 der Rahmenanordnung 110 und
andererseits an der Sensormasse 101 drehstabil festgelegt.
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Weiterhin
umfaßt
der Beschleunigungssensor 100 eine kapazitive Erfassungseinrichtung 120 zur
Erzeugung eines kapazitiven Ausgangssignals, welches die Lage der
Sensormasse 101 relativ zu der Rahmenanordnung 110 repräsentiert
und welche an der Sensormasse 101 vorgesehene erste Kondensatorelektroden 121, 122 und
an der Rahmenanordnung 110 den ersten Kondensatorelektroden 121, 122 gegenüberliegend
vorgesehene zweite Kondensatorelektroden 125, 126 umfaßt. Die
an der Sensormasse 101 vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden 121, 122 sind über eine
Kopplungsanordnung, die durch eine die Torsionselemente 105 umfassende
galvanische Verbindung gebildet ist und die über eine Metallisierung 141 an
dem Mittelteil 111 der Rahmenanordnung 110 verläuft, mit
einem an der Rahmenanordnung 110, nämlich an deren ersten Deckelteil 112 vorgesehenen
ersten Anschlußelement 142 verbunden.
Zweite Anschlußelemente 145, 146, die
ebenfalls an dem ersten Deckelteil 112 der Rahmenanordnung 110 vorgesehen
sind, sind mit den zweiten Kondensatorelektroden gekoppelt.
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Die
auf der Sensormasse 101 vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden 121, 122 sind
durch ein leitfähiges
Material gebildet, aus welchem die Sensormasse 101 hergestellt
ist. Auf diese Weise ergibt sich für die ersten und zweiten Kondensatorelektroden 121, 122 und 125, 126 ein
elektrisches Ersatzschaltbild, wie es in 1b) gezeigt
ist. Zwei Kapazitäten
E1 und E3 sind zwischen zwei Bezugsspannungen +Vref (Anschlußelement 145)
und –Vref
(Anschlußelement 146)
in Reihe geschaltet und in ihrer Mitte mit einer Klemme K1 verbunden
(Anschlußelement 142),
an welcher das Ausgangssignal Vout abgenommen werden kann.
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Das
erste Anschlußelement 142 und
die zweiten Anschlußelemente 145, 146 sind
in einer gemeinsamen Anschlußebene 150 angeordnet,
welche bei dem hier besprochenen ersten Ausführungsbeispiel gegen die an
der Sensormasse 101 vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden 121, 122 versetzt ist,
wobei diese Höhenversetzung
mittels der durch die Torsionselemente 105, die Metallisierung 141 und das
erste Anschlußelement 142 gebildete
Kopplungsanordnung überbrückt wird.
In der besagten gemeinsamen Anschlußebene 150 sind zusammen
mit den ersten und zweiten Anschlußelementen 142 und 145, 146 auch
die zweiten Kondensatorelektroden 125, 126 angeordnet,
wobei die Anschlußebene 150 durch
die eine Seite des ersten Deckelteils 112 gebildet ist.
Das erste Anschlußelement 142,
die zweiten Anschlußelemente 145, 146 sowie
die zweiten Kondensatorelektroden 125, 126, die
mit den letzteren verbunden sind, sind aus einer einzigen auf der
der Sensormasse 101 zugewandten Seite des ersten Deckelteils 112 ausgebildeten
leitenden Schicht hergestellt.
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Wie
aus 2 ersichtlich ist, bildet das Mittelteil 111 zusammen
mit dem ersten Deckelteil 112 und dem zweiten Deckelteil 113 ein
hermetisch einschließendes
Gehäuse,
innerhalb dessen die Sensormasse 101 zusammen mit den ersten
Kondensatorelektroden 121, 122 und den zweiten
Kondensatorelektroden 125, 126 angeordnet ist.
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Das
erste Deckelteil 112 und das zweite Deckelteil 113 der
Rahmenanordnung 110 sind aus einem alkalimetallhaltigen
Glas hergestellt.
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3 zeigt
die Sensormassen 101, 102, 103, die zur
Erfassung der Beschleunigung eines Objekts in mehreren Richtungen,
nämlich
den Richtungen x, y, z des in 3 dargestellten
Koordinatensystems vorgesehen sind. Die Sensormasse 101 (Teilfigur
A) entspricht der Sensormasse 101 des in den 1a) und 2 dargestellten
Beschleunigungssensors. Sie ist mittels Torsionselementen 105 torsionselastisch
gelagert und dabei um eine Ausgangslage beweglich. Die Torsionselemente 105 definieren
eine Drehachse, welche gegen den Massenschwerpunkt Mx der Sensormasse 101 in
der Höhe nach
oben versetzt ist, so daß eine
in x-Richtung wirkende Beschleunigungskraft Fx eine Auslenkung Sx bewirkt.
Die Sensormasse 102 (Teilfigur B) entspricht in ihrer Konfiguration
im wesentlichen der Sensormasse 101, verfügt ebenfalls über Torsionselemente 106,
welche eine Lagervorrichtung bilden, mittels derer die Sensormasse 102 drehelastisch
gelagert ist, jedoch ist die durch die Torsionselemente 106 definierte
Drehachse in der horizontalen Ebene um 90° gegenüber der Drehachse der Sensormasse 101 verdreht.
Die durch die Torsionselemente 106 gebildete Drehachse
ist wiederum gegen den Massenschwerpunkt My der Sensormasse 102 in
der Höhe nach
oben versetzt, so daß eine
in y-Richtung wirkende Beschleunigungskraft Fy eine Auslenkung Sy der
Sensormasse um ihre Ausgangslage hervorruft. Die Sensormassen 101 und 102 sind
entsprechend der Sensormasse 101 der 1a) und 2 mit
ersten Kondensatorelektroden 121 und 122 einer
(in 3 nicht eigens dargestellten) kapazitiven Erfassungseinrichtung
versehen, welche ein die Lage der Sensormasse 101 bzw. 102 relativ
zu einer (in 3 ebenfalls nicht eigens dargestellten
Rahmenanordnung) repräsentierendes
kapazitives Ausgangssignal erzeugt.
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Eine
dritte Sensormasse 103 (Teilfigur C der 3)
ist mittels eine Lagervorrichtung bildenden Torsionselementen 107 um
eine Drehachse drehbar gelagert. Der Massenschwerpunkt Mz ist seitlich
versetzt zu der durch die Torsionselemente 107 gebildete
Drehachse. Eine durch eine Beschleunigung in der vertikalen z-Richtung
bewirkte vertikale Beschleunigung Fz bewirkt eine Auslenkung Sz
des Endes der Sensormasse 103, wie in Teilfigur C gezeigt
ist.
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Jede
der Sensormassen 101, 102, 103 ist mit einer
kapazitiven Erfassungseinrichtung zur Erzeugung eines ihre jeweilige
Lage relativ zu einer (nicht dargestellten) Rahmenanordnung repräsentierenden Ausgangssignals
versehen. Diese kapazitive Erfassungseinrichtung besteht jeweils
aus (in 3 nicht dargestellten) ersten
Kondensatorelektroden, die paarweise jeweils auf entgegengesetzten
Seiten der durch die Torsionselemente 105, 106 bzw. 107 definierten
Drehachsen Ax, Ay, Az vorgesehen. Diesen ersten Kondensatorelektroden
gegenüberliegend sind
zweite Kondensatorelektroden der kapazitiven Erfassungseinrichtung
an der (nicht dargestellten) Rahmenanordnung des Beschleunigungssensors vorgesehen.
Für die
in den Teilfiguren A und B dargestellten Sensormassen 101 und 102 bedeutet
dies eine Anordnung ähnlich
der, wie sie in 1a) und 2 dargestellt
ist, bei der in der Teilfigur C der 3 dargestellten
Sensormasse 103 ist die eine erste Kondensatorelektrode
links von der durch die Torsionselemente 107 definierten
Drehachse auf dem kurzen Stück
der Sensormasse 103 angeordnet, die andere Kondensatorelektrode
rechts von der durch die Torsionselemente 107 definierten
Drehachse symmetrisch zu der ersteren. Zur Erzeugung des kapazitiven
Ausgangssignals der kapazitiven Erfassungseinrichtungen wird wiederum
die Differenzkapazität
der paarweisen Kondensatorelektroden verwendet, ähnlich wie bei dem anhand der 1 und 2 erläuterten
Ausführungsbeispiel.
Die auf der Sensormasse 101, 102 bzw. 103 vorgesehenen
ersten Kondensatorelektroden sind bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel
durch ein leitfähiges
Material gebildet, aus welchem die Sensormasse 101, 102, 103 hergestellt
ist.
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Jede
der in 3 dargestellten Sensormassen 101, 102, 103 wird
vorzugsweise zunächst
mit einer eigenen Rahmenanordnung als Einzelsensor hergestellt,
diese Einzelsensoren werden dann zu einem Gesamtsensor zusammengefügt, welche
in der Lage ist, Beschleunigungen in allen drei Raumrichtungen x,
y, z zu erfassen.
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Der
in 4a), 5 und 6 dargestellte Beschleunigungssensor
gemäß einem
zweiten und einem dritten Ausführungsbeispiel
der Erfindung ist insgesamt mit dem Bezugszeichen 200; 300 bezeichnet.
Der Beschleunigungssensor 200; 300, der zur Erfassung
der Beschleunigung eines Objekts in einer Richtung x des in 4a) eingezeichneten Koordinatensystems
dient, umfaßt
eine Rahmenanordnung 210; 310 welche bezüglich dem
Objekt ortsfest ist, dessen Beschleunigung erfaßt werden soll, und umfaßt weiterhin
eine träge
Sensormasse 201; 301, welche relativ zu der Rahmenanordnung 210; 310 des
Beschleunigungssensors 200; 300 beweglich ist. Die
Sensormasse 201; 301 ist mittels einer Lagervorrichtung 205; 305 bezüglich der
Rahmenanordnung 210; 310 um eine Ausgangslage
elastisch gelagert.
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Die
Rahmenanordnung 210; 310 umfaßt ein die Sensormasse 201; 301 seitlich
umgebendes Mittelteil 211; 311 und ein höhenversetzt
zu der Sensormasse 201; 301 an dem Mittelteil 211; 311 angeordnetes
erstes Deckelteil 212, 312. Die Lagervorrichtung
ist bei den in 4 bis 6 dargestellten
zweiten und dritten Ausführungsbeispielen
durch Biegeelemente 205; 305 gebildet, an welchen
die Sensormasse 201; 301 bezüglich der Rahmenanordnung 210; 310 um
die besagte Ausgangslage biegeelastisch gelagert ist. Wie aus 4a) zu sehen ist, sind davon zwei in einer
gemeinsamen Ebene befindliche, voneinander beabstandet an der Sensormasse 201; 301 festgelegte
Biegeelemente 205; 305 vorgesehen, welche eine
Drehachse definieren, um welche die Sensormasse 201; 301 sich
beim Auftreten einer Beschleunigungskraft Fx in Richtung der x-Achse
bewegt, wobei die Auslenkung Sx am Rand der Sensormasse 201; 301 nach
oben und unten gerichtet ist. Die Biegeelemente 205; 305 sind
einerseits an der Sensormasse 201; 301 festgelegt
und andererseits an dem ersten Deckelteil 212; 312 der
Rahmenanordnung 210; 310.
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Der
Beschleunigungssensor 200; 300 verfügt über eine
kapazitive Erfassungseinrichtung, die insgesamt mit dem Bezugszeichen 220; 320 versehen
ist und der Erzeugung eines die Lage der Sensormasse 201; 301 relativ
zu der Rahmenanordnung 210; 310 und damit die
Größe der die
Sensormasse 201; 301 aus ihrer Ausgangslage auslenkenden
Beschleunigungskraft Fx repräsentierenden
Ausgangssignals dient. Dieses ist ein Maß für die Beschleunigung des Objekts,
an welchem der Beschleunigungssensor angebracht ist. Die kapazitive
Erfassungseinrichtung 220; 320 enthält erste
Kondensatorelektroden 221, 222; 321, 322,
welche an der Sensormasse 201; 301 vorgesehen
sind, und zweite Kondensatorelektroden 225, 226; 325, 326,
die den ersten Kondensatorelektroden 221, 222; 321, 322 gegenüberliegend
an der Rahmenanordnung 210; 310, genau gesagt
an deren erstem Deckelteil 212; 312 vorgesehen sind.
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Allgemein
ist eine Kopplungsanordnung vorgesehen, die der Kopplung der an
der Sensormasse 201; 301 vorgesehenen ersten Kondensatorelektroden 221, 222 bzw. 321, 322 mit
ersten Anschlußelementen
dient, von denen das erste Anschlußelement 242 des Beschleunigungssensors 200 gemäß dem zweiten
Ausführungsbeispiel
in 4a) zu sehen ist. Dieses erste
Anschlußelement 242 ist
an der Rahmenanordnung 210, genauer an deren erstem Deckelteil 212 angeordnet.
Für den
in 6 dargestellten Beschleunigungssensor 300 nach
dem dritten Ausführungsbeispiel
verhält
es sich entsprechend, wobei dort das dem ersten Anschlußelement 242 von 4a) entsprechende Anschlußelement
jedoch nicht sichtbar ist.
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Die
an dem ersten Deckelteil 212; 312 vorgesehenen
zweiten Kondensatorelektroden 225, 226 bzw. 325, 326 sind
mit zweiten Anschlußelementen gekoppelt,
von denen wiederum die zweiten Anschlußelemente 245, 246,
die mit den zweiten Kondensatorelektroden 225; 226 des
Beschleunigungssensors 200 verbunden sind, in 4a) zu sehen sind. Für den in 6 dargestellten
Beschleunigungssensor 300 des dritten Ausführungsbeispiels
verhält
es sich entsprechend.
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Die
ersten Anschlußelemente,
vgl. das Anschlußelement 242 in 4a), und die zweiten Anschlußelemente,
vgl. die Anschlußelemente 245, 246 in 4a), sind in einer gemeinsamen Anschlußebene 250; 350 angeordnet,
welche gegen die an der Sensormasse 201; 301 vorgesehenen
ersten Kondensatorelektroden 221, 222; 321, 322 höhenversetzt
und durch die der Sensormasse 201; 301 zugewandte
Seite des ersten Deckelteils 212; 312 gebildet
ist. Die Kopplungsanordnung, welche die auf der Sensormasse 201 bzw. 301 befindlichen
ersten Kondensatorelektroden 221, 222 bzw. 321, 322 mit
den ersten Anschlußelementen,
vgl. 242 in 4a), verbindet,
bildet eine Überbrückung der
Höhenversetzung
zwischen der Sensormasse 201; 301 und der besagten
gemeinsamen Anschlußebene 250; 350.
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Bei
dem Beschleunigungssensor 200 des in 4a) und 5 dargestellten
zweiten Ausführungsbeispiels
ist die Kopplungsanordnung durch eine kapazitive Verbindung gebildet,
die eine auf der der Sensormasse 201 zugewandten Seite
des ersten Deckelteils 212 ausgebildete zweite Kopplungselektrode 232 und
eine dieser gegenüberliegend
an der Sensormasse 201 ausgebildete erste Kopplungselektrode 231 umfassen.
Die zweite Kopplungselektrode 232 ist mit dem oben genannten
ersten Anschlußelement 242 verbunden,
welche an der der Sensormasse 201 zugewandten Seite des
ersten Deckelteils 212 vorgesehen ist, vgl. 4a).
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4b) zeigt ein elektrisches Ersatzschaltbild
des Beschleunigungssensors 200 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel,
wie es in 4a) und 5 dargestellt
ist. Wie ersichtlich ist, sind die durch die ersten Kondensatorelektroden 221, 222 und
die zweiten Kondensatorelektroden 225, 226 gebildeten
Kapazitäten
E1 und E3 zwischen einer positiven Bezugsspannung +Vref (Anschlußklemme 245) und
einer negativen Bezugsspannung –Vref
(Anschlußklemme 246)
in Reihe geschaltet, wobei deren Mitte über eine durch die kapazitive
Kopplungsanordnung gebildete Kapazität E2 das Ausgangssignal Vout
abgibt.
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Bei
dem in 6 dargestellten dritten Ausführungsbeispiel des Beschleunigungssensors 300 dagegen
sind die ersten Kondensatorelektroden 321, 322 auf
galvanischem Wege mit dem ersten Anschlußelement entsprechend dem Anschlußelement 242 in 4a) verbunden, nämlich über die Biegeelemente 305,
welche aus einem leitenden Material gebildet sind. Auf diese Weise
entsteht eine galvanische Verbindung der durch die ersten Kondensatorelektroden 321, 322 und 325, 326 gebildeten
Kapazitäten
E1 und E3, über
die die Ausgangsspannung Vout abgenommen werden kann, vgl. 4c).
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Wie
auch bei dem in 1a) und 2 dargestellten
ersten Ausführungsbeispiel
des Beschleunigungssensors ist bei den Beschleunigungssensoren 200 und 300 gemäß dem zweiten
und dritten Ausführungsbeispielen
den 4a), 5 und 6 sowohl
das erste Deckelteil 212; 312 als auch das zweite
Deckelteil 213; 313 aus einem alkalimetallhaltigen
Glas hergestellt. Das an dem Mittelteil 211; 311 der
Rahmenanordnung 210; 310 dem ersten Deckelteil 212; 312 gegenüberliegend
angeordnete zweite Deckelteil 213; 313 bildet
zusammen mit dem Mittelteil 211; 311 und dem ersten
Deckelteil 212; 312 ein die Sensormasse 201; 301 zusammen mit
den ersten Kondensatorelektroden 221, 222; 321, 322 und
den zweiten Kondensatorelektroden 225, 226; 325, 326 hermetisch
einschließendes
Gehäuse.
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Die
ersten Anschlußelemente,
vgl. 242 in 4a), die zweiten
Anschlußelemente,
vgl. 245, 246 in 4a),
und die zweiten Kondensatorelektroden 225, 226 bzw. 325, 326 sind
bei den in 4a), 5 und 6 dargestellten
Ausführungsbeispielen
aus einer einzigen leitenden Schicht hergestellt, die auf der der
Sensormasse 201; 301 zugewandten Seite des ersten
Deckelteils 212; 312 ausgebildet ist.
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7 zeigt
eine Sensormasse 401; 501 von vierten und fünften Ausführungsbeispielen
des Beschleunigungssensors, bei denen Beschleunigungen in zwei Richtungen,
nämlich
den Richtungen x und y der Horizontalebene erfaßt werden können. An der Sensormasse 401; 501 ist
zentral ein einziges Biegeelement 405; 505 festgelegt,
so daß die
Sensormasse beim Auftreten von Beschleunigungskräften Fx bzw. Fy bezüglich einer
(in 7 nicht dargestellten) Rahmenanordnung in zwei
verschiedenen Richtungen beweglich ist.
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Zum
Erfassen von die Lage der Sensormasse 401; 501 repräsentierenden
Ausgangssignalen sind kapazitive Erfassungseinrichtungen vorgesehen,
welche anhand der 8a) und b) beschrieben werden
sollen.
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8 zeigt
einen Teil von kapazitiven Erfassungseinrichtungen 420; 520 zum
Erfassen der Lage der Sensormasse 401; 501 in
zwei Richtungen. Diese enthält
vier zweite Kondensatorelektroden 425, 426, 427, 428; 525, 526, 527, 528,
die paarweise einander gegenüberliegend
auf entgegengesetzten Seiten des Biegeelements 405; 505 an
einem ersten Deckelteil 412; 512 einer Rahmenanordnung
vorgesehen sind, ähnlich
den in 1a) und 2 bzw. 4a) bis 6 dargestellten
Ausführungsbeispielen.
Diese zweiten Kondensatorelektroden 425, 426, 427, 428; 525, 526, 527, 528 sind
elektrisch verbunden mit zweiten Anschlußelementen 445, 446, 447, 448; 545, 546, 547, 548.
Den zweiten Kondensatorelektroden 425, 426, 427, 428; 525, 526, 527, 528 gegenüberliegend
sind an der Sensormasse 401; 501 ähnliche
erste Kondensatorelektroden vorgesehen, welche in 7 jedoch
nicht eigens dargestellt sind.
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Bei
dem in 8a) dargestellten vierten Ausführungsbeispiel
enthält
eine Kopplungsanordnung, welche die ersten Kondensatorelektroden,
die auf der Sensormasse 401 vorgesehen sind, mit einem
ersten Anschlußelement 442 auf
dem ersten Deckelteil 412 verbindet, eine das Biegeelement 405 umgebende
erste Kopplungselektrode, welche an der Sensormasse 401 vorgesehen
ist (nicht dargestellt) und eine das Biegeelement 405 umgebende, der
ersten Kopplungselektrode gegenüberliegend angebrachte
zweite Kopplungselektrode 432, welche an dem ersten Deckelteil 412 der
Rahmenanordnung vorgesehen ist. Auf diese Weise wird eine kapazitive Verbindung
zwischen den an der Sensormasse 401 vorgesehenen ersten
Kondensatorelektroden und dem ersten Anschlußelement 442 gebildet.
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Bei
dem in 8b) gezeigten fünften Ausführungsbeispiel
dagegen ist die Kopplungsanordnung durch eine galvanische Verbindung
gebildet, welche das Biegeelement 505 umfaßt, so daß die an der
Sensormasse 501, vgl. 7, vorgesehenen ersten
Kondensatorelektroden über
das Biegeelement 505 galvanisch mit dem ersten Anschlußelement 542 verbunden
sind.
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Wie
auch bei den vorherigen Ausführungsbeispielen
sind die an der Sensormasse 401; 501 vorgesehenen
ersten Kondensatorelektroden durch ein leitfähiges Material gebildet, aus
welchem die Sensormasse 401; 501 hergestellt ist.
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Bezugszeichenliste
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- 100;
200; 300
- Beschleunigungssensor
- 101,
102, 103; 201; 301; 401; 501
- Sensormasse
- 105,
106, 107; 205; 305; 405; 505
- Lagervorrichtung
- 110;
210; 310
- Rahmenanordnung
- 111;
211; 311
- Mittelteil
- 112;
212; 312; 412; 512
- erstes
Deckelteil
- 113;
213; 313
- zweites
Deckelteil
- 120;
220; 320; 420; 520
- kapazitive
Erfassungseinrichtung
- 121,
122; 221, 222; 321, 322
- erste
Kondensatorelektroden
- 125,
126; 225, 226; 325, 326; 425, 426, 427, 428; 525, 526, 527, 528
- zweite
Kondensatorelektroden
- 141,
142; 231, 232, 242; 332; 432, 442; 542
- Kopplungsanordnung
- 231
- erste
Kopplungselektrode
- 232;
332; 432
- zweite
Kopplungselektrode
- 141
- Metallisierung
- 142;
242; 442; 542
- erste
Anschlußelemente
- 145,
146; 245, 246; 445, 446, 447; 545, 546, 547, 548
- zweite
Anschlußelemente
- 150;
250; 350; 450; 550
- Anschlußebene