DE102014211054A1 - Mikromechanischer Beschleunigungssensor - Google Patents

Mikromechanischer Beschleunigungssensor

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DE102014211054A1
DE102014211054A1 DE102014211054.8A DE102014211054A DE102014211054A1 DE 102014211054 A1 DE102014211054 A1 DE 102014211054A1 DE 102014211054 A DE102014211054 A DE 102014211054A DE 102014211054 A1 DE102014211054 A1 DE 102014211054A1
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mass
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Guenther-Nino-Carlo Ullrich
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Beschleunigungssensor, umfassend:
– ein Substrat,
– eine erste seismische Masse, die beweglich an dem Substrat aufgehängt und bei einer in eine erste Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist,
– erste Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der ersten seismischen Masse bei einer in die erste Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung,
– eine zweite seismische Masse, die beweglich an dem Substrat aufgehängt und bei einer in eine zweite Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die zweite Richtung senkrecht zur ersten Richtung verläuft,
– zweite Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung, wobei
– die zweite seismische Masse ferner bei einer in eine dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die dritte Richtung senkrecht zur ersten Richtung und zur zweiten Richtung verläuft, und
– dritte Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Beschleunigungssensor.
  • Stand der Technik
  • Aus der Offenlegungsschrift DE 197 19 779 A1 ist ein Beschleunigungssensor bekannt, der eine beweglich an einem Substrat aufgehängten aufgrund einer Beschleunigungswirkung auslenkbaren und als seismischen Masse gebildeten Schwingstruktur und Auswertemittel zum Erfassen einer beschleunigungsbedingten Auslenkung der Schwingstruktur umfasst. Die seismische Masse ist dabei lediglich in eine Richtung auslenkbar, so dass nur Beschleunigungen in eine einzige Richtung detektiert werden können. Bei dem bekannten Beschleunigungssensor ist also für eine Detektion einer Beschleunigung eine seismische Masse pro Beschleunigungsrichtung vorgesehen.
  • Aus der Offenlegungsschrift DE 10 2008 001 442 A1 ist ein mikromechanisches Bauelement bekannt, das ein Substrat mit einer seismischen Masse umfasst. Für unterschiedliche Beschleunigungen, die auf das Substrat wirken, ist die Masse in unterschiedliche Richtungen auslenkbar. Es wird also eine einzige seismische Masse verwendet, um Beschleunigungen in unterschiedliche Richtungen zu erfassen. Aus Platzgründen kann es bei dem bekannten mikromechanischen Bauelement vorkommen, dass eine Auslenkung der seismischen Masse aufgrund einer Beschleunigung in eine ersten Richtung weniger gut zu erfassen ist als eine Auslenkung der seismischen Masse aufgrund einer Beschleunigung in eine zweite Richtung. Das heißt also, dass Beschleunigungen in unterschiedlichen Richtungen unterschiedlich gut detektiert werden können.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe kann daher darin gesehen werden, einen mikromechanischen Beschleunigungssensor bereitzustellen, der die bekannten Nachteile überwindet.
  • Diese Aufgabe wird mittels des Gegenstands des unabhängigen Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von abhängigen Unteransprüchen.
  • Nach einem Aspekt wird ein mikromechanischer Beschleunigungssensor bereitgestellt, umfassend:
    ein Substrat,
    eine erste seismische Masse, die beweglich an dem Substrat aufgehängt und bei einer in eine erste Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist,
    erste Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der ersten seismischen Masse bei einer in die erste Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung,
    eine zweite seismische Masse, die beweglich an dem Substrat aufgehängt und bei einer in eine zweite Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die zweite Richtung senkrecht zur ersten Richtung verläuft, zweite Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung, wobei
    die zweite seismische Masse ferner bei einer in eine dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die dritte Richtung senkrecht zur ersten Richtung und zur zweiten Richtung verläuft, und
    dritte Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung.
  • Dadurch, dass die erste Masse nur oder ausschließlich zur Detektion der Beschleunigung in die erste Richtung vorgesehen ist und nicht noch zusätzlich zur Detektion in die zweite und/oder dritte Richtung verwendet wird, wird insbesondere der technische Vorteil bewirkt, dass die erste Masse und ihre entsprechende Anordnung auf dem Substrat auf eine optimale Auslenkung hin optimiert werden können, die aus einer Beschleunigung in die erste Richtung resultiert. Denn da die erste Masse nicht noch zur Erfassung von Beschleunigungen in die zweite und dritte Richtung verwendet werden muss, müssen keine Kompromisse hinsichtlich Design und Anordnung eingegangen werden, um auch noch diese Beschleunigungen mittels der ersten Masse zu erfassen. Um die Beschleunigungen in die zweite und in die dritte Richtung zu erfassen, ist die zweite seismische Masse vorgesehen.
  • Die erste Masse kann somit in vorteilhafter Weise eine eventuelle Detektionsschwäche einer Beschleunigung in die erste Richtung der zweiten seismischen Masse kompensieren. Die Erfindung umfasst also insbesondere den Gedanken ein Substrat mit zwei seismischen Massen vorzusehen, wobei die eine Masse ausschließlich für eine Detektion einer Beschleunigung in die erste Richtung verwendet wird und wobei die andere Masse ausschließlich für eine Detektion einer jeweiligen Beschleunigung in die zweite Richtung und in die dritte Richtung verwendet wird. Die erste Masse kompensiert also in vorteilhafter Weise eine Detektionsschwäche der zweiten Masse. Die zweite Masse kann prinzipiell ebenfalls für eine Detektion einer Beschleunigung in die erste Richtung verwendet werden. Es wird jedoch erfindungsgemäß darauf verzichtet. Stattdessen wird die zweite Masse ausschließlich zur Erfassung von Beschleunigungen in die zweite und in die dritte Richtung verwendet.
  • Eine einzige seismische Masse mag zwar ausreichen, um Beschleunigungen in drei Richtungen detektieren zu können, wie in der Offenlegungsschrift DE 10 2008 001 442 A1 gezeigt. Jedoch kann die Detektion für die drei Richtungen unterschiedlich gut sein. Wenn jetzt für eine Detektion von Beschleunigungen in drei unterschiedlichen Richtungen drei Beschleunigungssensoren, wie aus der Offenlegungsschrift DE 197 19 779 A1 bekannt, verwendet würden, würde bei dieser Lösung viel Platz benötigt werden. Denn in dieser Lösung sind drei seismischen Massen notwendig. Die Erfindung bewirkt einen vorteilhaften Kompromiss zwischen möglichst wenig Platzbedarf und performanter Detektion von Beschleunigungen in drei unterschiedliche Richtungen. Denn sie kommt mit nur zwei seismischen Massen aus (weniger Platzbedarf als drei seismische Massen) und bewirkt dennoch eine empfindliche Erfassung oder Detektion der Beschleunigungen (die erste Masse für eine Richtung, die zweite Masse für die beiden anderen Richtungen). Entgegen der technischen Lehre der DE 10 2008 001 442 A1 wird auf eine Erfassung von Beschleunigungen in drei unterschiedlichen Richtungen mittels einer einzigen seismischen Masse verzichtet. Stattdessen werden zwei Beschleunigungsrichtungen mittels einer Masse und die dritte Beschleunigungsrichtung mittels der anderen Masse erfasst. Prinzipiell könnte die zweite Masse auch zusätzlich für die Beschleunigungsrichtung verwendet werden, die mittels der ersten Masse erfasst wird. Allerdings können beispielsweise aufgrund von Verformungen sogenannte Offset-Fehler auftreten, also ein Signal, welches aus einer Verformung resultiert, nicht jedoch aus einer Beschleunigungswirkung in diese Richtung. In der Regel ist die zweite Masse empfindlich für solche Offset-Fehler, wenn es um eine Messung oder Erfassung einer Beschleunigung in diese Richtung geht. Da aber gerade diese Beschleunigungswirkung mittels der ersten Masse erfasst wird, spielt diese Offset-Empfindlichkeit keine Rolle mehr. Die diesbezügliche Schwäche der zweiten Masse wird durch die erste Masse kompensiert.
  • Dass die zweite seismische Masse bei zwei unterschiedlichen Beschleunigungsrichtungen jeweils auslenkbar ist, bewirkt beispielsweise den technischen Vorteil, dass die zweite seismische Masse gegenüber Verformungen unempfindlicher ist. Dies insbesondere, wenn die zweite seismische Masse mittels einer Torsionsbiegefeder an dem Substrat aufgehängt ist.
  • Die erste seismische Masse mit den ersten Detektionsmitteln respektive die zweite seismische Masse mit den zweiten und dritten Detektionsmitteln bilden jeweils einen Sensorkern. Ein Sensorkern, in welchem pro Sensierrichtung, also der Richtung, in welcher die Beschleunigung erfasst werden soll, eine seismische Masse vorgesehen ist, kann insbesondere als ein Mehrmassenschwinger bezeichnet werden. Denn für eine Erfassung von Beschleunigungen in unterschiedlichen Richtungen müssen mehrere Massen verwendet werden. Ein Sensorkern, in welchem eine Masse für mehrere Sensierrichtungen verwendet wird, kann insbesondere als ein Einmassenschwinger bezeichnet werden. Es werden in diesem Sensorkern mehrere Sensorkerne (Einmassenschwinger) kombiniert oder vereint. Die Erfindung kombiniert also einen Einmassenschwinger für zwei Sensierrichtungen mit einem Mehrmassenschwinger für eine Sensierrichtung.
  • In einer Ausführungsform umfassen die seismischen Massen (oder die Sensorkerne) eine mikromechanische Struktur aus Silizium. Dadurch wird insbesondere der technische Vorteil bewirkt, dass eine Fertigung des Beschleunigungssensors mittels photolithographischer Prozesse durchgeführt werden kann.
  • Nach einer Ausführungsform ist eine Auswerteelektronik zur Auswertung von Signalen der Detektionsmittel (erste und/oder zweite und/oder dritte) vorgesehen. Dadurch wird insbesondere der technische Vorteil bewirkt, dass die Signale der Detektionsmittel ausgewertet werden können, so dass basierend darauf die der Richtung entsprechende Beschleunigung bestimmt werden kann.
  • In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass die erste seismische Masse ausschließlich in die erste Richtung translativ auslenkbar ist. Dadurch kann beispielsweise der technische Vorteil bewirkt werden, dass die Beschleunigung in die erste Richtung besonders einfach detektiert werden kann. Dass die erste seismische Masse ausschließlich in die erste Richtung auslenkbar ist, kann beispielsweise bewirkt werden, indem die erste Masse in die erste Richtung weich am Substrat aufgehängt ist und in hierzu senkrechter Richtung steif aufgehängt ist.
  • In einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass die zweite seismische Masse bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung in die zweite Richtung translativ auslenkbar ist. Durch eine translative Auslenkung wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass die Auslenkung besonders einfach zu erfassen ist.
  • Nach einer anderen Ausführungsform ist vorgesehen, dass die zweite seismische Masse bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung rotativ um eine Rotationsachse auslenkbar ist, die senkrecht zu der dritten Richtung verläuft. Dadurch wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass sich die seismische Masse bei einer Beschleunigung in die dritte Richtung besonders einfach auslenken lässt, so dass eine empfindliche Detektion dieser Beschleunigung bewirkt ist. Beispielsweise weist die zweite seismische Masse eine asymmetrische Massenverteilung um die Rotationsachse auf. Dadurch wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass bei einer Beschleunigung in die dritte Richtung ein Gesamtdrehmoment, welches auf die zweite seismische Masse wirkt, ungleich Null ist, was letztlich zu einer Rotation um die Rotationsachse führt.
  • In einer anderen Ausführungsform ist die zweite seismische Masse mittels einer Feder, insbesondere einer Torsionsbiegefeder, an dem Substrat beweglich aufgehängt. Insbesondere entspricht die Rotationsachse einer Längsachse der Feder.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Detektionsmittel, also die ersten und/oder die zweiten und/oder die dritten Detektionsmittel, Elektroden umfassen. Die erste und/oder die zweite seismische Masse umfassen diesen Elektroden entsprechende Gegenelektroden, so dass die Elektroden und die Gegenelektroden jeweils einen Kondensator oder mehrere Kondensatoren bilden. Dadurch wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass eine kapazitive Erfassung der Auslenkung der seismischen Masse bewirkt ist. Die dritten Detektionsmittel umfassen beispielsweise eine oder mehrere Elektroden, die auf dem Substrat angeordnet sind.
  • In einer Ausführungsform ist vorgesehen, dass zumindest einige der Elektroden und der entsprechenden Gegenelektroden eine Kammstruktur aufweisen, so dass die Elektroden und die Gegenelektroden miteinander kämmen. Dadurch wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass auf wenig Platz eine Vielzahl von Kondensatoren gebildet ist, was eine empfindliche Detektion der Beschleunigung bewirkt. Elektroden und Gegenelektroden, die jeweils eine Kammstruktur aufweisen, können insbesondere auch als Kammelektroden bezeichnet werden.
  • Das Substrat ist nach einer Ausführungsform eine Leiterplatte. Dadurch wird beispielsweise der technische Vorteil bewirkt, dass eine elektrische Kontaktierung der Detektionsmittel einfach gebildet werden kann. Leiterbahnen der Leiterplatte bilden beispielsweise Elektroden der dritten Detektionsmittel.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Hierbei zeigen
  • 1 eine Draufsicht auf einen mikromechanischen Beschleunigungssensor,
  • 2 eine Teil-Draufsicht auf einen weiteren mikromechanischen Beschleunigungssensor,
  • 3 den mikromechanischen Beschleunigungssensor aus 2 mit einer Schnittlinie,
  • 4 eine Schnittansicht entlang der Schnittlinie aus 3
  • 5 eine Detailansicht des mikromechanischen Beschleunigungssensors aus 2 und
  • 6 eine weitere Ansicht des mikromechanischen Beschleunigungssensors aus 2.
  • Im Folgenden können für gleiche Merkmale gleiche Bezugszeichen verwendet werden.
  • 1 zeigt eine Draufsicht auf einen mikromechanischen Beschleunigungssensor 101.
  • Der mikromechanische Beschleunigungssensor 101 umfasst ein Substrat 103. Es ist eine erste seismische Masse 105 vorgesehen, die beweglich an dem Substrat 103 aufgehängt und bei einer in eine erste Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung translativ auslenkbar ist. Die erste Richtung entspricht der x-Achse eines x, y, z-Koordinatensystems 107. Ferner sind Kammelektroden 109, also Elektroden aufweisend eine Kammstruktur, als erste Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der ersten seismischen Masse 105 bei einer in die erste Richtung auf das Substrat 103 wirkenden Beschleunigung vorgesehen. Die erste seismische Masse 105 weist entsprechende Gegenelektroden 111 auf, die ebenfalls als Kammelektroden gebildet sind. Die Gegenelektroden 111 und die Kammelektroden 109 bilden Kondensatoren, so dass eine kapazitive Erfassung einer Auslenkung der ersten seismischen Masse 103 in x-Richtung bewirkt ist. Die erste seismische Masse 105 ist ausschließlich in die erste Richtung (x-Richtung) auslenkbar, was beispielsweise bewirkt ist, indem die erste Masse 105 in die erste Richtung weich am Substrat 103 aufgehängt ist und in hierzu senkrechter Richtung (y-Richtung) steif aufgehängt ist.
  • Ferner ist eine zweite seismische Masse 113 vorgesehen, die beweglich an dem Substrat 103 aufgehängt und bei einer in eine zweite Richtung auf das Substrat 103 wirkenden Beschleunigung translativ auslenkbar ist, wobei die zweite Richtung senkrecht zur ersten Richtung verläuft. Die zweite Richtung entspricht der y-Achse des x, y, z-Koordinatensystems 107. Analog zu den Kammelektroden 109 sind Kammelektroden 115 als zweite Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse 113 bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat 103 wirkenden Beschleunigung gebildet. Entsprechende Gegenelektroden aufweisend eine Kammstruktur der seismischen Masse 113 sind mit dem Bezugszeichen 117 versehen. Entsprechend ist eine kapazitive Erfassung einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse 105 in y-Richtung bewirkt.
  • Die zweite seismische Masse 113 ist bei einer in eine dritte Richtung auf das Substrat wirkenden Beschleunigung rotativ um eine Rotationsachse 119 auslenkbar, die senkrecht zu der dritten Richtung verläuft, wobei die dritte Richtung senkrecht zur ersten Richtung und zur zweiten Richtung verläuft. Die dritte Richtung entspricht der z-Achse des x, y, z-Koordinatensystems 107. Bei einer Rotation in z-Richtung verkippt, analog zu einer Wippe, die zweite seismische Masse 113 um die Rotationsachse 119, die durch die zweite seismische Masse 113 verläuft, wobei eine Masseverteilung der zweiten seismischen Masse 113 bezogen auf die Rotationsachse 119 asymmetrisch ist. Auf dem Substrat 103 sind Elektroden 121 gebildet, die mit entsprechenden Gegenelektroden (nicht gezeigt) an einer dem Substrat 103 zugewandten Seite der zweiten seismischen Masse 113 Kondensatoren bilden, so dass eine kapazitive Erfassung der Kippbewegung bewirkt ist. Die Elektroden 121 sind beispielsweise als Leiterbahnen gebildet. Dies insbesondere, wenn das Substrat 103 als eine Leiterplatte gebildet ist, welches es nach einer Ausführungsform ist. Die Elektroden 121 bilden somit dritte Detektionsmittel zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse 113 bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat 103 wirkenden Beschleunigung.
  • Das Bezugszeichen 123 zeigt auf Festanschläge für eine Überlast, welche mit dem Substrat 103 verbunden sind. Das Bezugszeichen 125 zeigt auf eine Feder, mittels welcher die zweite seismische Masse 113 beweglich an dem Substrat 103 aufgehängt ist. Die Feder 125 ist insbesondere als eine Torsionsbiegefeder gebildet. Die Rotationsachse 119 verläuft durch eine Längsrichtung der Feder 125. Das Bezugszeichen 127 zeigt auf Verdrahtungen, mittels welchen beispielsweise die Elektroden und Gegenelektroden verdrahtet und elektrisch kontaktiert sind. Das Bezugszeichen 129 zeigt auf einen Anbindungsbereich, an welchem die Feder 125 mit dem Substrat 103 verbunden ist. Das Bezugszeichen 131 zeigt auf Kammelektrodenstrukturen, die zur Detektion einer Beschleunigungswirkung in x-Richtung verwendet werden können, da hier die zweite seismische Masse 113 um eine Rotationsachse rotieren würde, die parallel zur z-Achse und durch den Anbindungsbereich 129 verläuft. Doch diese x-Beschleunigungswirkung wird mittels der ersten seismischen Masse 105 erfasst. Die Kammelektrodenstrukturen 131 können also weggelassen werden. Stattdessen kann die zweite seismische Masse 113 entsprechend den frei gewordenen Bereichen vergrößert werden (vgl. 2, 3, 5 und 6).
  • Bei einer Verformung des Substrats 103 würden diese Kammelektrodenstrukturen 131 ausgelenkt werden, obwohl keine Beschleunigung in x-Richtung vorliegt. Es würde also ein Signal gemessen werden, welches aber keiner Beschleunigung in x-Richtung entsprechen würde. Ein solches Signal kann als Offset-Fehler bezeichnet werden. Hier ist aber die erste seismische Masse 105 aufgrund ihrer in x-Richtung weichen und in y-Richtung steifen Aufhängung unempfindlicher gegenüber solchen Verformungen als die zweite seismische Masse 113. Die Detektionsschwäche der zweiten seismischen Masse 113 in x-Richtung wird durch die erste seismische Masse 105 in vorteilhafter Weise kompensiert.
  • 2 zeigt eine Teil-Draufsicht auf einen weiteren mikromechanischen Beschleunigungssensor 201, der ähnlich zu dem mikromechanischen Beschleunigungssensor 101 der 1 gebildet ist. Teil-Draufsicht deshalb, da die erste seismische Masse 105 nicht gezeigt ist. Diese ist analog zu 1 gebildet. Im Gegensatz zu 1 sind keine weiteren Kammelektrodenstrukturen 131 gebildet. Der frei gewordene Platz nimmt nun die zweite seismische Masse 113 ein, die entsprechend größer ausgebildet ist. Für eine bessere Veranschaulichung ist in 2 dennoch das Bezugszeichen 131 eingezeichnet, welches nun nicht mehr auf Kammelektrodenstrukturen zeigt, sondern auf die vergrößerten Bereiche der zweiten seismischen Masse 113.
  • 3 zeigt die gleiche Ansicht wie 2. Der Übersicht halber wurde auf die meisten Bezugszeichen verzichtet. Das Bezugszeichen 301 zeigt auf eine Schnittlinie.
  • 4 zeigt die Schnittansicht entlang der Schnittlinie 301.
  • 5 zeigt eine Detailansicht des mikromechanischen Beschleunigungssensors 201 aus 2.
  • 6 zeigt eine weitere Ansicht des mikromechanischen Beschleunigungssensors 201 aus 2.
  • In den vorstehenden Ausführungsbeispielen wurde mittels der ersten seismischen Masse 105 eine x-Beschleunigungswirkung gemessen. Mittels der zweiten seismischen Masse 113 wurden eine Y-Beschleunigungswirkung und eine Z-Beschleunigungswirkung gemessen. Dies ist nicht einschränkend, sondern beispielhaft. In nicht gezeigten Ausführungsformen ist vorgesehen, dass mittels der ersten seismischen Masse 105 eine y-Beschleunigungswirkung und mittels der zweiten seismischen Masse 113 eine x-Beschleunigungswirkung und eine z-Beschleunigungswirkung gemessen werden. Auch die weiteren Kombinationen sind vorgesehen, solange mittels der einen seismischen Masse eine einzige Achsenbeschleunigungswirkung und mittels der anderen seismischen Masse die beiden restlichen Achsenbeschleunigungswirkungen gemessen werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 19719779 A1 [0002, 0009]
    • DE 102008001442 A1 [0003, 0009, 0009]

Claims (4)

  1. Mikromechanischer Beschleunigungssensor (101, 201), umfassend: – ein Substrat (103), – eine erste seismische Masse (105), die beweglich an dem Substrat aufgehängt und bei einer in eine erste Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, – erste Detektionsmittel (109) zur Detektion einer Auslenkung der ersten seismischen Masse (105) bei einer in die erste Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung, – eine zweite seismische Masse (113), die beweglich an dem Substrat (103) aufgehängt und bei einer in eine zweite Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die zweite Richtung senkrecht zur ersten Richtung verläuft, – zweite Detektionsmittel (115) zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse (113) bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung, wobei – die zweite seismische Masse (113) ferner bei einer in eine dritte Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung auslenkbar ist, wobei die dritte Richtung senkrecht zur ersten Richtung und zur zweiten Richtung verläuft, und – dritte Detektionsmittel (121) zur Detektion einer Auslenkung der zweiten seismischen Masse (113) bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung.
  2. Mikromechanischer Beschleunigungssensor (101, 201) nach Anspruch 1, wobei die erste seismische Masse (105) ausschließlich in die erste Richtung translativ auslenkbar ist.
  3. Mikromechanischer Beschleunigungssensor (101, 201) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die zweite seismische Masse (113) bei einer in die zweite Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung in die zweite Richtung translativ auslenkbar ist.
  4. Mikromechanischer Beschleunigungssensor (101, 201) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die zweite seismische Masse (113) bei einer in die dritte Richtung auf das Substrat (103) wirkenden Beschleunigung rotativ um eine Rotationsachse (119) auslenkbar ist, die senkrecht zu der dritten Richtung verläuft.
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