DE19709731A1 - Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor - Google Patents
Elektrostatisch-kapazitiver BeschleunigungssensorInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen Trägheitskraftsensor zum Er
fassen der auf ein verschiebbares Objekt wirkenden Be
schleunigung und Winkelgeschwindigkeit, und bezieht sich
insbesondere auf einen elektrostatisch-kapazitiven Be
schleunigungssensor, der die Beschleunigung aus der Kapazi
tätsänderung eines Kondensators erfaßt.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor um
faßt eine nicht bewegliche, feste Elektrode und eine ver
schiebbare oder bewegliche Elektrode, die durch eine von
einer Beschleunigung verursachte Trägheitskraft verschoben
wird. Weil die Dielektrizitätskonstante zwischen der fe
sten Elektrode und der verschiebbaren Elektrode konstant
ist, ändert sich der Elektrodenabstand zwischen der festen
Elektrode und der verschiebbaren Elektrode mit der Ver
schiebung der verschiebbaren Elektrode, und ändert sich die
Kapazität des durch einen dielektrischen Körper zwischen
der festen Elektrode und der verschiebbaren Elektrode ge
bildeten Kondensators. Diese Kapazitätsänderung macht es
möglich, eine Beschleunigung zu erfassen, indem unter Ver
wendung einer Erfassungsschaltung die Kapazitätsänderung
erfaßt wird.
Die Erfassungsschaltung zum Erfassen einer Beschleunigung,
die einen wie vorstehend beschriebenen elektrostatisch-
kapazitiven Beschleunigungssensor verwendet, besteht ty
pisch aus einer anwendungsspezifischen integrierten Schal
tung (ASIC) oder einer andersartigen integrierten Schaltung
(IC), die von dem elektrostatisch-kapazitiven Beschleuni
gungssensor getrennt ist. Die von einer Beschleunigung ver
ursachte Trägheitskraft in diesen elektrostatisch-kapaziti
ven Beschleunigungssensor ist jedoch klein, so daß daher
die Erfassungsschaltung die Beschleunigung aus dieser klei
nen Kapazitätsänderung erfassen muß. Der elektrostatisch
kapazitive Beschleunigungssensor und die Erfassungsschal
tung sind auch durch das Verdrahtungslayout der gedruckten
Schaltung oder Platine verbunden, so daß daher das Erfas
sungsergebnis durch die parasitäre Kapazität des Verdrah
tungslayouts beeinträchtigt wird. Dies erschwert es der Er
fassungsschaltung, die Kapazität des elektrostatisch-kapa
zitiven Beschleunigungssensors genau zu erfassen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die vorste
henden Probleme zu lösen, indem ein elektrostatisch-kapazi
tiver Beschleunigungssensor bereitgestellt wird, bei dem
die Wirkungen der parasitären Kapazität der den elektrosta
tisch-kapazitiven Beschleunigungssensor mit der Erfassungs
schaltung verbindenden Verdrahtung verringert sind und der
es dadurch ermöglicht, die Beschleunigung genau zu erfas
sen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen elek
trostatisch-kapazitiven Beschleunigungssensor, der eine
ebene Verschiebung nutzt, um eine Beschleunigung aus der
elektrostatischen Kapazität zwischen einer festen Elektrode
und einer beweglichen Elektrode, die durch eine von einer
Beschleunigung verursachten Trägheitskraft verschoben wird,
zu erfassen, gekennzeichnet durch eine Sensoreinheit, die
aus einem Siliziumsubstrat hergestellt ist und eine beweg
liche Elektrode und eine feste Elektrode umfaßt, ein Paar
von Schutzsubstraten, die auf entgegengesetzten Seiten der
Sensoreinheit gebondet sind, und eine integrierte Schaltung
zum Erfassen der Beschleunigung aus der elektrostatischen
Kapazität der Sensoreinheit, wobei Anschlußelektroden der
Sensoreinheit, die zum Verbinden der Sensoreinheit mit der
integrierten Schaltung bereitgestellt sind, auf der Seite
der Sensoreinheit angeordnet sind, die einem der Schutz
substrate zugewandt ist, Elektrodenlöcher in dem einen der
Schutzsubstrate angeordnet sind, wobei die Elektrodenlöcher
durchgehende Löcher sind, die in dem Substrat an Positionen
ausgebildet sind, die den Anschlußelektroden entsprechen,
und die integrierte Schaltung auf das Schutzsubstrat gebon
det ist, in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, mit
Anschlußpins der integrierten Schaltung, die in die Elek
trodenlöcher eingreifen und elektrisch mit den Anschluße
lektroden der Sensoreinheit verbunden sind.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor gemäß
einem Gesichtspunkt der Erfindung ist dadurch gekennzeich
net, daß die integrierte Schaltung und die Anschlußelektro
den durch Bonden mit Leiterdraht verbunden sind.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor gemäß
einem weiteren Gesichtspunkt der Erfindung ist dadurch ge
kennzeichnet, daß Anschlüsse an Positionen angeordnet sind,
die jedem der Elektrodenlöcher in der Oberfläche der inte
grierten Schaltung, die mit den Schutzsubstrat verbunden
ist, entsprechen, jedes der Elektrodenlöcher mit einem
leitfähigen Material gefüllt ist, und jeder der Anschlüsse
elektrisch mit den leitfähigen Material in den entsprechen
den Elektrodenloch verbunden ist.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor gemäß
einem nochmals weiteren Gesichtspunkt der Erfindung ist da
durch gekennzeichnet, daß Leiterdrähte an die integrierte
Schaltung auf der Oberfläche derselben gebondet sind, die
an jedem der Elektrodenlöcher entsprechenden Positionen an
dem Schutzsubstrat anhaftet, jedes der Elektrodenlöcher mit
einem leitfähigen Material gefüllt ist, und jeder der ge
bondeten Leiterdrähte elektrisch mit dem leitfähigen Mate
rial in dem entsprechenden Elektrodenloch verbunden ist.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor gemäß
einem weiteren Gesichtspunkt der Erfindung ist dadurch ge
kennzeichnet, daß jeder der gebondeten Leiterdrähte auf ei
ne Länge geschnitten ist, die kleiner ist als die Dicke des
Schutzsubstrats, in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet
sind, in das entsprechende Elektrodenloch eingeführt ist
und durch Verschmelzen mit dem leitfähigen Material elek
trisch angeschlossen ist.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor gemäß
einem weiteren Gesichtspunkt der Erfindung ist dadurch ge
kennzeichnet, daß die integrierte Schaltung unter Verwen
dung eines gering belastenden Harzes an das Schutzsubstrat,
in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, gebondet
sind.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von bevorzugten Aus
führungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher
beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Schrägansicht eines mit ebener Verschiebung ar
beitenden, elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors gemäß einen ersten Ausführungsbeispiel;
Fig. 2 einen Querschnitt durch den elektrostatisch-kapa
zitiven Beschleunigungssensor entlang der Linie II-II in
Fig. 1;
Fig. 3 eine Aufsicht auf die Struktur einer Sensoreinheit,
wenn ein Substrat entfernt ist;
Fig. 4 einen Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazi
tiven Beschleunigungssensor entlang der Linie IV-IV in Fig. 3;
Fig. 5 einen Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazi
tiven Beschleunigungssensor entlang der Linie V-V in Fig. 3;
Fig. 6 eine Schrägansicht eines mit ebener Verschiebung ar
beitenden, elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel;
Fig. 7 einen Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazi
tiven Beschleunigungssensor entlang der Linie VII-VII in
Fig. 6;
Fig. 8 einen Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazi
tiven Beschleunigungssensor gemäß einem dritten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung; und
Fig. 9 einen Querschnitt des an das Substrat gebondeten ICs
des in Fig. 8 gezeigten elektrostatisch-kapazitiven Be
schleunigungssensors.
Fig. 1 ist eine Schrägansicht eines mit ebener Verschiebung
arbeitenden, elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungs
sensors gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel.
Wie in Fig. 1 gezeigt, umfaßt ein elektrostatisch-kapazi
tiver Beschleunigungssensor 1 ein aus einer Sensoreinheit 2
und einem Paar von Substraten 3 und 4, die auf entgegenge
setzten Seiten der Sensoreinheit 2 angeordnet sind, beste
hendes Sensorelement 5 und eine integrierte Schaltung (IC),
die auf der Oberseite des einen Substrats 3 gebondet ist.
Die Sensoreinheit 2 besteht aus einem Siliziumsubstrat und
drückt die durch eine Beschleunigung verursachte Trägheits
kraft als eine Änderung der elektrostatischen Kapazität
aus. Die Substrate 3 und 4 bestehen aus einem Material wie
etwa Aluminosilikat oder Borsilikatglas mit einem linearen
Ausdehnungskoeffizienten nahe dem von Silizium. Das IC 6
umfaßt eine Erfassungsschaltung zum Erfassen einer Be
schleunigung aus der Änderung in der elektrostatischen Ka
pazität der Sensoreinheit 2.
In dem Substrat 3 sind außerdem Elektrodenlöcher 8 vorgese
hen, die durchgehende Löcher zum Verbinden des ICs 6 mit
den verschiedenen Elektroden der Sensoreinheit 2 mittels
Leiterdrähten oder anderen Bonddrähten sind. Das IC 6 wird
mittels eines adhäsiven Materials oder Klebstoffs 9 an dem
Substrat 3 befestigt.
Die innere Struktur des in Fig. 1 gezeigten elektrosta
tisch-kapazitiven Beschleunigungssensors 1 ist anhand von
- lediglich - Beispielen in den Fig. 2 bis 5 gezeigt. Fig. 2
ist ein Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazitiven
Beschleunigungssensor entlang der Linie II-II in Fig. 1.
Fig. 3 ist eine Aufsicht auf die Struktur der Sensoreinheit
2, wenn das Substrat 3 entfernt ist. Fig. 4 ist ein Quer
schnitt durch den elektrostatisch-kapazitiven Beschleuni
gungssensor entlang der Linie IV-IV in Fig. 3. Fig. 5 ist
ein Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazitiven Be
schleunigungssensor entlang der Linie V-V in Fig. 3.
Wie in den Fig. 2 bis 5 gezeigt, umfaßt die Sensoreinheit 2
aus dem Siliziumsubstrat bestehende Anker oder Verankerun
gen 10 und 11, Querelemente 12 und 13, eine Masse 14, feste
Elektroden 15 und 16, feste Erfassungselektroden 17 und 18
und einen Hilfsträger 19. Aus Cr, Au oder anderen Werkstof
fen hergestellte Anschlußelektroden 20 sind auf den Ober
flächen des Ankers 10, der festen Elektroden 15 und 16, der
festen Erfassungselektroden 17 und 18 und des Hilfsträgers
19 das Substrat 3 kontaktierend ausgebildet.
Die Anker 10 und 11, die Querelemente 12 und 13 und die
Masse 14 sind integral ausgebildet, um einen Vibrationskör
per zu bilden, in dem die Masse 14 als eine verschiebbare
Elektrode arbeitet. Es wird angemerkt, daß die Masse 14 so
hergestellt wird, daß sie bezogen auf die in Fig. 1 gezeig
ten X-Y-Z-Achsen in der Y-Richtung verschieblich ist. Die
Masse 14 verschiebt sich infolgedessen parallel zu dem die
Sensoreinheit 2 bildenden Siliziumsubstrat. Die Verschie
bung in der X- oder Y-Richtung gemäß Fig. 1 wird als "ebene
Verschiebung" (enplane displacement) bezeichnet.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor 1 wird
wie folgt hergestellt. Zunächst wird ein mit Ätzkanälen
vorgeätztes Siliziumwafer kathodisch auf das Substrat 4 ge
bondet und sodann anisotropisch geätzt, um die Anker 10 und
11, die Querelemente 12 und 13, die Masse 14, die festen
Elektroden 15 und 16, die festen Erfassungselektroden 17
und 18 und den Hilfsträger 19 zu erzeugen. Dann werden die
Anschlußelektroden 20 an den angegebenen Positionen herge
stellt, und das Substrat 3 wird kathodisch an die Anker 10
und 11, die Querelemente 12 und 13, die Masse 14, die fe
sten Elektroden 15 und 16, die festen Erfassungselektroden
17 und 18 und den Hilfsträger 19 gebondet.
Zwischen den Substraten 3 und 4 und den Querelementen 12
und 13 sowie der Masse 14 wird durch Ätzen ein Spalt mit
bestimmten Maßen erzeugt. Die Masse 14 kann demzufolge mit
tels der Querelemente 12 und 13 in die Richtungen der fe
sten Elektroden 15 und 16 verschoben werden, indem an den
Ankern 10 und 11 verschwenkt bzw. gedreht wird, wobei die
Anker 10 und 11, die festen Elektroden 15 und 16, die fe
sten Erfassungselektroden 17 und 18 und der Hilfsträger 19
kathodisch zwischen den Substraten 3 und 4 gebondet sind.
Das IC 6 wird dann unter Verwendung eines Harzes, eines
Lots, einer Silberpaste oder eines anderen adhäsiven Mate
rials oder Klebstoffs 9 durch Verkleben in einer bestimmten
Position auf der Oberseite des Substrats 3 befestigt. Im
einzelnen kann dann, wenn das IC 6 unter Verwendung eines
Siliziumharzes oder eines anderen gering belastenden, sich
gering dehnenden Harzes (low stress resin) auf das Substrat
gebondet wird, die Auswirkung von Unterschieden zwischen
den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Substrats 3
und des ICs 6 bei niedrigen und hohen Temperaturen gemil
dert werden.
Die Elektrodenlöcher 8 werden in dem Substrat 3 an Positio
nen vorgeöffnet, die den Anschlußelektroden 20 entsprechen,
und das Substrat 3 wird mit den mit den Anschlußelektroden
20 ausgerichteten Elektrodenlöchern 8 so gebondet, daß das
IC 6 und die Anschlußelektroden mittels Bonddraht oder an
deren Anschlußdrähten 7 verbunden werden können. Durch Er
den der durch das IC 6 an dem Hilfsträger 19 angeordneten
Anschlußelektroden 20 kann die Streukapazität stabilisiert
werden und kann der Hilfsträger 19 als eine elektrostati
sche Abschirmung verwendet werden.
Wenn dann die durch eine Beschleunigung verursachte Träg
heitskraft an einem derart aufgebauten elektrostatisch-
kapazitiven Beschleunigungssensor 1 angreift, wird die sich
auf den Ankern 10 und 11 bzw. um die Anker 10 und 11 dre
hende Masse mittels der Querelemente 12 und 13 in Richtung
der festen Elektrode 15 oder 16 verschoben. Dies erzeugt
einen Unterschied zwischen der elektrostatischen Kapazität
des zwischen der festen Elektrode 15 und der Masse 14 ge
bildeten Kondensators und der elektrostatischen Kapazität
des zwischen der festen Elektrode 16 und der Masse 14 ge
bildeten Kondensators. Dieser Unterschied der elektrostati
schen Kapazität ermöglicht dem IC 6, die Beschleunigung aus
der durch die Leiterdrähte 7 über die an dem Anker 10 und
den festen Elektroden 20 angeordneten Anschlußelektroden
erfaßten Erfassungsschaltungsdifferenz zu erfassen.
Die festen Erfassungselektroden 17 und 18 sind Elektroden,
die zur Erfassung durch den elektrostatisch-kapazitiven Be
schleunigungssensor 1 verwendet werden. Wenn keine Träg
heitskraft an dem elektrostatisch-kapazitiven Beschleuni
gungssensor 1 angreift und durch das IC 6 eine Spannung
über die Leiterdrähte 7 an die festen Erfassungselektroden
17 und 18 angelegt wird, tritt eine Potentialdifferenz zwi
schen diesen Elektroden und der Masse 14 auf, so daß sich
die Masse 14 infolge der elektrostatischen Anziehung ver
schiebt.
Die elektrostatische Anziehung ist scheinbar der Trägheit
oder anderen äußeren, an dem elektrostatisch-kapazitiven
Beschleunigungssensor 1 angreifenden Kräften gleich. Da
durch, daß dieses Mal die Änderung der elektrostatischen
Kapazität des zwischen der festen Elektrode 15 und der Mas
se 14 gebildeten Kondensators und die Änderung der elektro
statischen Kapazität des zwischen der festen Elektrode 16
und der Masse 14 gebildeten Kondensators erfaßt wird, kann
das IC 6 erfassen, ob sich die Masse 14 des elektrosta
tisch-kapazitiven Beschleunigungssensors 1 tatsächlich ver
schoben hat.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor 1 ge
mäß dem ersten Ausführungsbeispiel ist infolgedessen in der
Lage, die Wirkungen der parasitären Kapazität der zur Ver
bindung des ICs 6 mit der Sensoreinheit 2 verwendeten Ver
drahtung zu reduzieren und die elektrostatische Kapazität
der Sensoreinheit genau zu erfassen, indem das IC 6 und die
Sensoreinheit 2 durch kürzestmögliche Leiterdrähte verbun
den werden. Dies wird, wie vorstehend beschrieben, dadurch
ermöglicht, daß das IC 6 auf das Substrat 3 gebondet wird
und die verschiedenen Anschlußelektroden 20 der Sensorein
heit 2 mittels durch die Elektrodenlöcher 8 in dem Substrat 3
geführte Leiterdrähte 7 mit dem IC 6 verbunden werden.
Es ist daher möglich, die Genauigkeit eines mit ebener Ver
schiebung arbeitenden elektrostatisch-kapazitiven Beschleu
nigungssensors zu verbessern, die elektrischen Anschlüsse
des Sensors zu vereinfachen und eine kompaktere Sensorein
heit zu erzielen.
In dem wie vorstehend beschriebenen ersten Ausführungsbei
spiel eines elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors sind das IC 6 und die Anschlußelektroden 20 der Sen
soreinheit 2 unter Verwendung von Leiterdrähten verbunden.
Gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel ist das IC 6 jedoch
mit den Anschlußelektroden 20 verbunden, ohne daß hierzu
Leiterdrähte verwendet werden.
Fig. 6 ist eine Schrägansicht des mit ebener Verschiebung
arbeitenden, elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungs
sensors gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel. Fig. 7 ist
ein Querschnitt durch den elektrostatisch-kapazitiven Be
schleunigungssensor entlang der Linie VII-VII in Fig. 6. Es
wird angemerkt, daß gleiche Abschnitte in Fig. 6 und Fig. 7
des zweiten Ausführungsbeispiels und Fig. 1 und Fig. 2 des
ersten Ausführungsbeispiels durch dieselben Bezugszeichen
identifiziert werden, so daß deren weitere Beschreibung
nachstehend unterbleibt. Nachstehend werden nur die Unter
schiede zwischen dem ersten Ausführungsbeispiel und dem
zweiten Ausführungsbeispiel näher beschrieben.
Das zweite Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 und Fig. 7 un
terscheidet sich von dem ersten Ausführungsbeispiel da
durch, daß die Leiterdrähte 7 entfernt wurden, und daß An
schlüsse 31 an der Haftfläche zwischen dem IC 6 und dem
Substrat 3 gemäß Fig. 1 und Fig. 2 an Positionen angeordnet
sind, die den Anschlußelektroden der Sensoreinheit 2 ent
sprechen. Darüber hinaus sind die Elektrodenlöcher 8 in dem
Substrat 3 mit einem leitfähigen Material 32 gefüllt, um
das leitfähige Material 32 in jedem der Elektrodenlöcher 8
mit dem entsprechenden Anschluß 31 zu verbinden. Daher wer
den das IC 6 und der elektrostatisch-kapazitive Beschleuni
gungssensor 1 gemäß Fig. 1 und Fig. 2 nachstehend als IC 33
und elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor 30
bezeichnet.
Bezugnehmend auf die Fig. 6 und 7 sind die Elektrodenlöcher
8 in dem Substrat 3 mit einem leitfähigen Material 32, etwa
einem Lot oder Silberpaste, gefüllt. Lot- bzw. Lötzinn- oder
Au-Anschlüsse (bumps) 31 werden auch an dem IC 33 aus
gebildet, und zwar an Positionen, die den Anschlußelektro
den 20 der Sensoreinheit 2 auf der an dem Substrat 3 haf
tenden Seite entsprechen. Die Anschlüsse 31 und das ent
sprechend positionierte leitfähige Material 32 werden mit
einander verschmolzen, um beispielsweise eine elektrische
Verbindung zwischen diesen herzustellen, wodurch die An
schlußelektroden 20 der Sensoreinheit 2 mit dem IC 33 ver
bunden werden und das IC 33 auf das Substrat 3 gebondet
wird. Zur Erhöhung der Bondfestigkeit zwischen dem IC 33
und dem Substrat 3 kann zusätzlich zu der elektrischen Ver
bindung auch ein Haftmittel oder Klebstoff 9 zwischen den
IC 33 und dem Substrat 3 angebracht werden.
Daher kann der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungs
sensor 30 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel zusätzlich
zu den durch das vorstehende erste Ausführungsbeispiel er
reichten Wirkungen die Zuverlässigkeit der Einrichtung wei
ter verbessern, indem Kurzschlüsse zwischen Leiterdrähten
vermieden werden, weil die Bonddrähte und andere Leiter
drähte 7 eliminiert sind und das IC 33 über die Anschlüsse
31, die auf dem IC 33 angeordnet sind, und das in die ent
sprechenden Elektrodenlöcher 8 eingefüllte leitfähige Mate
rial 32 elektrisch mit dem Substrat 3 verbunden ist.
Während in dem vorstehenden zweiten Ausführungsbeispiel An
schlüsse 31 auf dem IC 33 vorgesehen sind, werden gemäß dem
dritten Ausführungsbeispiel Leiterdrähte oder andere Bond
drähte anstelle der Anschlüsse 31 gebondet und diese gebon
deten Leiterdrähte elektrisch mit dem leitfähigen Material
32 verbunden. Es wird angemerkt, daß eine Schrägansicht des
elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssensor gemäß dem
dritten Ausführungsbeispiel identisch ist zu der des zwei
ten Ausführungsbeispiels, so daß daher die in Fig. 6 ge
zeigte Figur in Bezug auf das nachstehende dritte Ausfüh
rungsbeispiel verwendet wird.
Fig. 8 ist ein Querschnitt durch den elektrostatisch-kapa
zitiven Beschleunigungssensor entlang der Linie VII-VII in
Fig. 6. Es wird angemerkt, daß gleiche Teile in Fig. 7 und
Fig. 8 durch gleiche Bezugszeichen identifiziert werden, so
daß deren weitere Beschreibung nachstehend weggelassen
wird. Nur die Unterschiede zwischen dem zweiten und den
dritten Ausführungsbeispiel werden nachstehend beschrieben.
Das dritte Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8 unterscheidet
sich von dem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7 da
durch, daß die Anschlüsse 31 entfernt wurden, und daß Bond
drähte oder andere Leiterdrähte 41 an die Positionen der
Anschlüsse 31 gebondet sind, um ein Bondelement 42 zu bil
den. Die Leiterdrähte werden dann abgeschnitten. Daher wer
den nachstehend das IC 33 in Fig. 7 als IC 43 und der elek
trostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor 30 als elek
trostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor 40 bezeich
net.
Fig. 9 ist ein Querschnitt des an das Substrat 3 gebondeten
ICs 43 des in Fig. 8 gezeigten elektrostatisch-kapazitiven
Beschleunigungssensors 40.
Bezugnehmend auf Fig. 9 sind Leiterdrähte 41 auf der an dem
Substrat 3 haftenden Oberfläche an die Anschlußelektroden
20 der Sensoreinheit 2 entsprechenden Positionen an das IC
43 gebondet, um Bondelemente 42 zu bilden. Die Leiterdrähte
41 werden dann auf eine Länge abgeschnitten, die kleiner
ist als die Dicke des Substrats 3.
Darüber hinaus sind die Elektrodenlöcher 8 in dem Substrat
3 mit einem Lot, einem leitfähigem Klebstoff oder einem
ähnlichem leitfähigen Material 32 gefüllt, um das leitfähi
ge Material 32 in jedem der Elektrodenlöcher 8 mit dem ent
sprechenden Leiterdraht 41 zu verbinden. Infolgedessen wer
den die Anschlußelektroden 20 der Sensoreinheit 2 mit den
Leiterdrähten 41 des IC 43 verbunden und wird das IC 43 an
das Substrat 43 gebondet. Um die Festigkeit der Bondverbin
dung zwischen dem IC 43 und dem Substrat 3 zu erhöhen, ist
es ebenfalls möglich, zusätzlich zu der elektrischen Ver
bindung einen Klebstoff oder ein adhäsives Material 9 zwi
schen das IC 43 und das Substrat 3 einzubringen.
Daher kann der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungs
sensor 40 gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel zusätzlich
zu den durch das erste Ausführungsbeispiel erreichten Wir
kungen die Zuverlässigkeit der Einrichtung weiter verbes
sern, indem Kurzschlüsse dadurch vermieden werden, daß die
an das IC 43 gebondeten Leiterdrähte 41 mit dem in die ent
sprechenden Elektrodenlöcher 8 zur Herstellung einer elek
trischen Verbindung dazwischen eingefüllten leitfähigen Ma
terial 32 verschmolzen werden.
Ein elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor wie
hierin anhand von Ausführungsbeispielen beschrieben ist ein
mit ebener Verschiebung arbeitender elektrostatisch-kapazi
tiver Beschleunigungssensor, wobei jede der in der Sen
soreinheit zum Anschluß an das IC ausgebildeten Anschluße
lektroden auf einem der Schutzsubstrate bereitgestellt ist.
Durchgehende Löcher sind ebenfalls in diesem Schutzsubstrat
ausgebildet, und zwar als Elektrodenlöcher an Positionen,
die den Anschlußelektroden entsprechen. Das IC wird an das
Schutzsubstrat, in dem diese Elektrodenlöcher ausgebildet
sind, gebondet, wobei die Pins des IC in die Elektrodenlö
cher eingeführt sind, um eine elektrische Verbindung zu den
Anschlußelektroden der Sensoreinheit herzustellen. Die Sen
soreinheit und das IC können daher mit über kürzestmögliche
Leiterdrähte verbunden werden, die Wirkungen der parasitä
ren Kapazität der zur Verbindung von Sensoreinheit und IC
verwendeter Anschlußverdrahtung kann verringert werden, und
die elektrostatische Kapazität der Sensor kann genau erfaßt
werden. Die Genauigkeit eines mit ebener Verschiebung ar
beitenden elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors kann daher verbessert werden, elektrische Verbindungen
können leicht hergestellt werden, und der Beschleunigungs
sensor kann kompakt dargestellt werden.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor ist
gemäß einem Gesichtspunkt ein elektrostatisch-kapazitiver
Beschleunigungssensor, bei dem die das IC und die Anschluß
elektroden des Beschleunigungssensors verbindenden Leiter
drähte miteinander verbondet sind. Die Sensoreinheit und
das IC können daher über kürzestmögliche Leiterdrähte ver
bunden werden, die Wirkungen der parasitären Kapazität der
zur Verbindung der Sensoreinheit mit dem IC verwendeten An
schlußverdrahtung kann verringert werden, und die elektro
statische Kapazität der Sensoreinheit kann genau erfaßt
werden. Die Genauigkeit eines mit ebener Verschiebung ar
beitenden elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors kann daher verbessert werden, elektrische Verbindungen
können leicht hergestellt werden, und der Beschleunigungs
sensor kann kompakt dargestellt werden.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor ist
gemäß einem anderen Gesichtspunkt ein elektrostatisch-kapa
zitiver Beschleunigungssensor, bei dem als ein Mittel zur
elektrischen Verbindung der Sensoreinheit und des ICs An
schlüsse an dem IC angeordnet werden, und zwar an Positio
nen, die den Elektrodenlöchern in dem Schutzsubstrat ent
sprechen. Die Anschlüsse werden dann zu den Elektrodenlö
chern ausgerichtet und werden elektrisch mit den Anschlüs
sen verbunden. Die Sensoreinheit und das IC können daher
über kürzestmögliche Leiterdrähte verbunden werden, die
Wirkungen der parasitären Kapazität der zur Verbindung der
Sensoreinheit mit dem IC verwendeten Anschlußverdrahtung
kann verringert werden, die elektrostatische Kapazität der
Sensoreinheit kann genau erfaßt werden, und die Möglich
keit, daß Kurzschlüsse auftreten, wenn die Sensoreinheit
und das IC durch Bonden von Leiterdrähten verbunden werden,
kann ausgeschlossen werden. Daher kann die Zuverlässigkeit
eines mit ebener Verschiebung arbeitenden elektrostatisch
kapazitiven Beschleunigungssensors verbessert werden, kann
die Erfassungsgenauigkeit verbessert und die Größe verrin
gert werden, und werden die elektrischen Verbindungen ein
fach hergestellt.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor ist
gemäß einem weiteren Gesichtspunkt ein elektrostatisch
kapazitiver Beschleunigungssensor, bei dem als ein Mittel
zur elektrischen Verbindung von Sensoreinheit und IC an den
Elektrodenlöchern in dem Schutzsubstrat entsprechenden Po
sitionen Leiterdrähte auf die Oberfläche des mit dem
Schutzsubstrat verbondeten IC gebondet sind. Die Sensorein
heit und das IC können daher über kürzestmögliche Verbin
dungen verbunden werden, die Wirkungen der parasitären Ka
pazität der zur Verbindung der Sensoreinheit mit dem IC
verwendeten Anschlußverdrahtung kann verringert werden, die
elektrostatische Kapazität der Sensoreinheit kann genau er
faßt werden, und die Möglichkeit, daß Kurzschlüsse auftre
ten, wenn die Sensoreinheit und das IC durch Bonden von
Leiterdrähten verbunden werden, kann ausgeschlossen werden.
Daher kann die Zuverlässigkeit eines mit ebener Verschie
bung arbeitenden elektrostatisch-kapazitiven Beschleuni
gungssensors verbessert werden, kann die Erfassungsgenauig
keit verbessert und die Größe verringert werden, und werden
die elektrischen Verbindungen einfach hergestellt.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor ist
gemäß einem nochmals weiteren Gesichtspunkt ein elektrosta
tisch-kapazitiver Beschleunigungssensor, bei dem die auf
der Oberfläche des IC verbondeten Leiterdrähte auf eine
Länge geschnitten werden, die kleiner ist als die Dicke des
Schutzsubstrats, dann in die Elektrodenlöcher eingeführt
und durch Verschmelzen der Leiterdrähte mit dem leitfähigen
Material elektrisch angeschlossen werden. Die Sensoreinheit
und das IC können daher über kürzestmögliche Verbindungen
verbunden werden, die Wirkungen der parasitären Kapazität
der zur Verbindung der Sensoreinheit mit dem IC verwendeten
Anschlußverdrahtung können verringert werden, die elektro
statische Kapazität der Sensoreinheit kann genau erfaßt
werden, und die Möglichkeit, daß Kurzschlüsse auftreten,
wenn die Sensoreinheit und das IC durch Bonden von Leiter
drähten verbunden werden, kann ausgeschlossen werden. Daher
kann die Zuverlässigkeit eines mit ebener Verschiebung ar
beitenden elektrostatisch-kapazitiven Beschleunigungssen
sors verbessert werden, kann die Erfassungsgenauigkeit ver
bessert und die Größe verringert werden, und werden die
elektrischen Verbindungen einfach hergestellt.
Der elektrostatisch-kapazitive Beschleunigungssensor ist
gemäß einem weiteren Gesichtspunkt ein elektrostatisch
kapazitiver Beschleunigungssensor, bei dem das IC unter
Verwendung eines gering belastenden Harzes an das Schutz
substrat, in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, ge
bondet werden, wodurch die Wirkungen der Unterschiede zwi
schen den linearen Ausdehnungskoeffizienten des Schutz
substrats und des IC unter niedrigen und hohen Temperaturen
gemildert werden.
Somit umfaßt der vorstehend beschriebene, ebener Verschie
bung arbeitender elektrostatisch-kapazitiver Beschleuni
gungssensor eine Sensoreinheit, die aus einem Silizium
substrat hergestellt ist und eine bewegliche Elektrode und
eine feste Elektrode umfaßt, ein Paar von Schutzsubstraten,
die auf entgegengesetzten Seiten der Sensoreinheit gebondet
sind, und eine integrierte Schaltung zum Erfassen einer Be
schleunigung aus der elektrostatischen Kapazität der Sen
soreinheit, wobei die Anschlußelektroden der Sensoreinheit,
die zum Verbinden der Sensoreinheit mit der integrierten
Schaltung bereitgestellt sind, auf der Seite der Sensorein
heit angeordnet sind, die einem der Schutzsubstrate zuge
wandt ist, Elektrodenlöcher in den einen der Schutzsubstra
te angeordnet sind, wobei die Elektrodenlöcher durchgehende
Löcher sind, die in dem Substrat an Positionen ausgebildet
sind, die den Anschlußelektroden entsprechen, und die inte
grierte Schaltung auf das Schutzsubstrat gebondet ist, in
dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, mit Anschlußpins
der integrierten Schaltung, die in die Elektrodenlöcher
eingeführt und elektrisch mit den Anschlußelektroden der
Sensoreinheit verbunden sind.
Claims (6)
1. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor,
der eine ebene Verschiebung nutzt, um eine Beschleunigung
aus der elektrostatischen Kapazität zwischen einer festen
Elektrode (15, 16) und einer beweglichen Elektrode (14),
die durch die Trägheitskraft der Beschleunigung verschoben
wird, zu erfassen, gekennzeichnet durch
eine Sensoreinheit (2), die aus einem Siliziumsubstrat hergestellt ist und eine bewegliche Elektrode (14) und eine feste Elektrode (15, 16) umfaßt,
ein Paar von Schutzsubstraten (3, 4), die auf entge gengesetzten Seiten der Sensoreinheit gebondet sind, und
eine integrierte Schaltung (6) zum Erfassen der Be schleunigung aus der elektrostatischen Kapazität der Sen soreinheit, wobei
Anschlußelektroden (20) der Sensoreinheit, die zum Verbinden der Sensoreinheit mit der integrierten Schaltung bereitgestellt sind, auf der Seite der Sensoreinheit ange ordnet sind, die einem der Schutzsubstrate zugewandt ist,
Elektrodenlöcher (8) in dem einen der Schutzsubstrate angeordnet sind, wobei die Elektrodenlöcher durchgehende Löcher sind, die in dem Substrat an Positionen ausgebildet sind, die den Anschlußelektroden entsprechen, und
die integrierte Schaltung auf das Schutzsubstrat ge bondet ist, in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, mit Anschlußpins der integrierten Schaltung, die in die Elektrodenlöcher eingreifen und elektrisch mit den An schlußelektroden der Sensoreinheit verbunden sind.
eine Sensoreinheit (2), die aus einem Siliziumsubstrat hergestellt ist und eine bewegliche Elektrode (14) und eine feste Elektrode (15, 16) umfaßt,
ein Paar von Schutzsubstraten (3, 4), die auf entge gengesetzten Seiten der Sensoreinheit gebondet sind, und
eine integrierte Schaltung (6) zum Erfassen der Be schleunigung aus der elektrostatischen Kapazität der Sen soreinheit, wobei
Anschlußelektroden (20) der Sensoreinheit, die zum Verbinden der Sensoreinheit mit der integrierten Schaltung bereitgestellt sind, auf der Seite der Sensoreinheit ange ordnet sind, die einem der Schutzsubstrate zugewandt ist,
Elektrodenlöcher (8) in dem einen der Schutzsubstrate angeordnet sind, wobei die Elektrodenlöcher durchgehende Löcher sind, die in dem Substrat an Positionen ausgebildet sind, die den Anschlußelektroden entsprechen, und
die integrierte Schaltung auf das Schutzsubstrat ge bondet ist, in dem die Elektrodenlöcher ausgebildet sind, mit Anschlußpins der integrierten Schaltung, die in die Elektrodenlöcher eingreifen und elektrisch mit den An schlußelektroden der Sensoreinheit verbunden sind.
2. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die integrier
te Schaltung und die Anschlußelektroden durch Bonden mit
Leiterdraht verbunden sind.
3. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
Anschlüsse an Positionen angeordnet sind, die jedem der Elektrodenlöcher in der Oberfläche der integrierten Schaltung, die mit dem Schutzsubstrat verbunden ist, ent sprechen,
jedes der Elektrodenlöcher mit einem leitfähigen Mate rial gefüllt ist, und
jeder der Anschlüsse elektrisch mit dem leitfähigen Material in dem entsprechenden Elektrodenloch verbunden ist.
Anschlüsse an Positionen angeordnet sind, die jedem der Elektrodenlöcher in der Oberfläche der integrierten Schaltung, die mit dem Schutzsubstrat verbunden ist, ent sprechen,
jedes der Elektrodenlöcher mit einem leitfähigen Mate rial gefüllt ist, und
jeder der Anschlüsse elektrisch mit dem leitfähigen Material in dem entsprechenden Elektrodenloch verbunden ist.
4. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
Leiterdrähte an die integrierte Schaltung auf der Oberfläche derselben gebondet sind, die an jedem der Elek trodenlöcher entsprechenden Positionen an dem Schutz substrat anhaftet,
jedes der Elektrodenlöcher mit einem leitfähigen Mate rial gefüllt ist, und
jeder der gebondeten Leiterdrähte elektrisch mit dem leitfähigen Material in dem entsprechenden Elektrodenloch verbunden ist.
Leiterdrähte an die integrierte Schaltung auf der Oberfläche derselben gebondet sind, die an jedem der Elek trodenlöcher entsprechenden Positionen an dem Schutz substrat anhaftet,
jedes der Elektrodenlöcher mit einem leitfähigen Mate rial gefüllt ist, und
jeder der gebondeten Leiterdrähte elektrisch mit dem leitfähigen Material in dem entsprechenden Elektrodenloch verbunden ist.
5. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor
nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der ge
bondeten Leiterdrähte auf eine Länge geschnitten ist, die
kleiner ist als die Dicke des Schutzsubstrats, in dem die
Elektrodenlöcher ausgebildet sind, in das entsprechende
Elektrodenloch eingesetzt ist und durch Verschmelzen mit
dem leitfähigen Material elektrisch angeschlossen ist.
6. Elektrostatisch-kapazitiver Beschleunigungssensor
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die integrier
te Schaltung unter Verwendung eines gering belastenden Har
zes an das Schutzsubstrat, in dem die Elektrodenlöcher aus
gebildet sind, gebondet sind.
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