DE4135369C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung beschreibt einen testbaren Beschleunigungssensor.
Es sind schon testbare piezo
elektrische Beschleunigungssensoren bekannt (Asano S. et al., SAE
P-242 Technical Papers Digest: Sensors and Actuators, 1991), bei de
nen zwei piezoelektrische Keramikplatten mit Elektroden auf den
Ober- und Unterseiten und einer metallischen Platte zwischen den
piezoelektrischen Platten verwendet werden. Die piezoelektrische
Polarisation der beiden verwendeten piezoelektrischen Platten weist)
in dieselbe Richtung. Die Elektrode auf der Oberseite dieser Be
schleunigungssensoren ist in eine Antriebs- und eine Signalelektrode
unterteilt, durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen der
metallischen Mittelplatte und der Antriebselektrode wird der Be
schleunigungssensor verformt. Die Verformung bewirkt ein elektri
sches Signal zwischen den Signalelektroden auf der Oberseite und der
Unterseite und der metallischen Mittelplatte. Diese Bauform testba
rer piezoelektrischer Beschleunigungssensoren erfordert die
Verwendung einer extern elektrisch angeschlossenen metallischen Mit
telplatte, da aufgrund der gleichgerichteten Polarisation der Plat
ten nur so ein Signal abgenommen werden kann. Aus der
DE-OS 28 32 762 ist bereits ein testbarer Beschleunigungssensor mit
piezoelektrischen Platten, deren piezoelektrische Polarisation in
entgegengesetzte Richtungen zeigt, bekannt. Die piezoelektrischen
Platten werden jedoch nicht durch die Beschleunigung verbogen, son
dern zusammengedrückt. Aus der DE-OS 38 17 354,
nach der der Oberbegriff des Patentanspruchs 1
gebildet wurde, ist ein piezoelektri
scher Sensor, der aus einzelnen piezoelektrischen Platten besteht,
bekannt. Durch eine geschickte Zusammenschaltung der piezoelektri
schen Platten wird die Temperaturempfindlichkeit dieses Sensors ver
ringert. Aus der EP-PS 03 25 674 ist ein Drehbeschleunigungssensor be
kannt, der Piezoelemente, die aus übereinanderliegenden piezoelek
trischen Platten aufgebaut sind, aufweist. Die piezoelektrischen Ele
mente sind mit einem Ende auf einem Sockel gelagert. Aus der
DE-OS 38 43 143 sind zwei piezoelektrische Elemente, die jeweils aus
piezoelektrischen Platten aufgebaut sind, bekannt. Die beiden piezo
elektrischen Elemente sind auf einem gemeinsamen Träger montiert.
Kalibrierverfahren für piezoelektrische Sensoren sind beispielsweise
aus der DE-OS 35 42 397 oder der US-PS 31 20 622 bekannt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Beschleunigungs
sensor mit besonders gut auswertbarem Testsignal zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch einen Beschleunigungssensor mit den Merkmalen
des Patentanspruchs 1 gelöst.
Ein derart ausgebildeter testbarer piezoelektrischer Beschleunigungssensor
hat den Vorteil, daß durch einen Luftspalt zwischen den verschiede
nen Teilen des Piezoelements das elektrische Übersprechen zwischen den
Elektrodenpaaren besonders gut unterdrückt wird.
Eine besonders gute mechanische Kopplung der verschiedenen Bereiche
wird in diesem Fall durch Keramikbalken erreicht. Die fertigungs
technisch einfachste Methode, die mechanische Kopplung der verschie
denen Teile des Piezoelementes zu erreichen, liegt in der Verwendung
eines Klebstofftropfens.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Fig. 2 und 3 der Zeichnungen darge
stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es
zeigt
Fig. 1 einen Beschleunigungssensor mit einstückiger Ausfüh
rung des Piezoelementes nach dem Stand der Technik,
Fig. 2 einen
Beschleunigungssensor mit Luftspalt und Keramikspalten,
Fig. 3 ei
nen Beschleunigungssensor mit Luftspalt und einem Klebstofftropfen.
In Fig. 1 ist mit 1 ein Piezoelement bestehend aus zwei aufeinan
derliegenden piezoelektrischen Platten 2 bezeichnet. Das Piezoele
ment 1 ist im mittleren Bereich auf einem Sockel 3 derart angeord
net, daß das Piezoelement 1 durch eine Beschleunigung verbogen wird.
Das Piezoelement 1 ist mit Elektroden 9 auf der Oberseite 7 und auf
der Unterseite 8 versehen. Durch die paarweise einander gegenüberlie
genden Elektroden 9 werden zwei Teile 11a und 11b des einstückigen
Piezoelements 1 definiert. Die beiden piezoelektrischen Platten 2
sind über eine leitende Schicht 10 verbunden.
Das Material der piezoelektrischen Platten 2 hat die Eigenschaften,
daß bei einer Verformung der Platten eine elektrische Spannung auf
der Oberfläche der Platten entsteht bzw. bei Anlegen einer externen
elektrischen Spannung eine Verformung der Platten resultiert. Die
Verformung des hier verwendeten Piezoelements 1 besteht in einer
Verbiegung. Die durch die Verbiegung entstehenden elektrischen Span
nungen werden über die Elektroden 9 und hier nicht gezeigten Zulei
tungen zu einer Auswerteschaltung nachgewiesen bzw. über die Elek
troden 9 und die Zuleitungen wird eine externe Spannung an das
Piezoelement 1 angelegt und so das Piezoelement verbogen. Für den
Test des Sensors wird ein Teil 11a des Piezoelements 1 als Antrieb
für die Verbiegung und der andere Teil 11b zum Nachweis dieser Ver
biegung genutzt.
Je nach Ausrichtung der piezoelektrischen Polarisation wird dabei
die Polung der entstehenden elektrischen Spannung bzw. die Reaktion
(Zusammenziehen oder Ausdehnen) des piezoelektrischen Materials
festgelegt. Wenn das Piezoelement 1 verbogen wird, so entstehen in
einer der piezoelektrischen Platten 2 mechanische Zugspannungen und
in der anderen piezoelektrischen Platte 2 mechanische Druckspannun
gen. Wenn die Polarisation der piezoelektrischen Platten 2 in die
selbe Richtung weist, so kompensieren sich die bei der Biegung ent
stehenden elektrischen Spannungen und sind daher nur mit einer zu
sätzlichen, extern angeschlossenen Elektrode zwischen den beiden
Platten nachweisbar. Durch die entgegengesetzt orientierte Polarisa
tion der Platten 2 sind die im Fall der Biegung des Piezoelements 1
entstehenden elektrischen Spannungen in den piezoelektrischen Plat
ten 2 in Reihe geschaltet, so daß sie sich verstärken und somit ein
fach durch die nur auf der Ober- und Unterseite 7, 8 aufgebrachten
Elektroden 9 nachweisbar sind. Die Elektroden 9 sind auf der Ober
seite 7 und auf der Unterseite 8 jeweils als zwei getrennte Bereiche
11a und 11b ausgeführt, die unabhängig voneinander angesteuert wer
den können. Durch diese Maßnahme ist es möglich, den Sender zu te
sten, indem ein Elektrodenpaar der einander auf der Oberseite 7 und
Unterseite 8 gegenüberliegenden Elektroden 9 mit einer externen
elektrischen Spannung versehen werden und das andere Elek
trodenpaar zum Nachweis der dadurch entstehenden Verbiegung des
Piezoelements verwendet wird.
Die in Fig. 1 gezeigten Elektroden 9 weisen alle die gleiche geome
trische Form auf. Es sind jedoch eine Vielzahl von Variationen der
Elektrodengeometrie vorstellbar, insbesondere ist es vorstellbar,
daß die Elektroden für die externe Spannung nur sehr klein sind,
wenn nur an einer Funktionsüberprüfung des Sensors gedacht wird und
so die im Testfall erzeugten Verbiegungen des Piezoelements klein
sein können. Wenn sich Elektrode 9 auf den beiden Seiten 7, 8 des
Piezoelements 1 gegenüberliegen, 50 wird bei Anlegen eines elektri
schen Potentials an eine der Elektroden 9 ein Potential auf der ge
genüberliegenden Elektrode 9 induziert. Durch dieses elektrische
übersprechen kann die Meßbarkeit der Sensoren verschlechtert werden,
da in so einem Fall ein Testsignal auftritt, das nicht mit einer der
entsprechenden Verbiegung des Piezoelements 1 übereinstimmt. Die
Elektroden 9 sollten daher auf beiden Seiten 7, 8 des Piezoelements 1
die gleiche Form haben.
Um einen guten elektrischen Kontakt zwischen den beiden piezoelek
trischen Platten 2 sicherzustellen, ist zwischen den beiden Platten
eine leitende Schicht 10 gelegen. Durch diese leitende Schicht 10
werden die bei der Verbiegung des Piezoelements 1 in den einzelnen
piezoelektrischen Platten 2 erzeugten Spannungen in Reihe geschaltet
und können so an den an der Oberseite 7 und Unterseite 8 aufgebrach
ten Elektroden 9 gemessen werden. Wenn sich die leitende Schicht 10
auf der gesamten Fläche zwischen den beiden piezoelektrischen Plat
ten 2 erstreckt, wird jedoch das elektrische Übersprechen zwischen
den Elektroden 9, an denen eine externe Spannung anliegt und den
Elektroden 9, die die Verformung des Piezoelements 1 nachweisen sehr
groß. Es ist daher vorteilhaft, diese leitende Schicht 10 in glei
cher Weise zu strukturieren wie die Elektroden 9 auf der Oberseite 7
und der Unterseite 8 des Piezoelements 1. In diesem Fall muß sicher
gestellt sein, daß keine leitende Verbindung zwischen den verschie
denen Bereichen der leitenden Schicht 10 besteht. Wenn eine geringe
re Empfindlichkeit des Sensors zulässig ist, so wird durch die Ver
wendung einer isolierenden Schicht anstelle der leitenden Schicht 10
der Fertigungsprozeß für die Piezoelemente vereinfacht, da in diesem
Fall normale Klebstoffe verwendet werden können.
Die Elektroden 9 werden durch Dünnfilmtechniken, wie Aufdampfen oder
Aufsputtern und Ätzprozesse erzeugt. Die leitende Schicht 10 zwi
schen den beiden piezoelektrischen Platten 2 wird beispielsweise
durch die Verwendung eines leitfähigen, mit Metallpartikeln gefüll
ten Klebers, hergestellt.
Das Piezoelement 1 ist über einen Sockel 3 mit einem in Fig. 1
nicht gezeigten Substrat verbunden. Die Funktion des Sockels 3 ist
dabei, das Piezoelement 1 so zu lagern, daß eine Verbiegung des
Piezoelements 1 bei Beschleunigung stattfindet. Weiterhin können auf
dem Sockel 3 Leiterbahnen für die Kontaktierung der Elektrode 9 auf
der Unterseite 8 des Piezoelements 1 angeordnet sein. Äquivalente
Anordnungen des Sockels 3 bzgl. des Piezoelements 1 werden in Fig.
2 und Fig. 3 gezeigt.
In Fig. 2 wird ein erstes Ausführungsbeispiel eines testbaren Be
schleunigungssensors gemäß Patentanspruch 1 auf einem Dickschicht-Hybridsubstrat 20 ge
zeigt. Das Dickschicht-Hybridsubstrat 20 ist auf einer Trägerplatte
21 mit Schraublöchern 22 zur Befestigung und mit elektrischen Durch
führungen 23 versehen. Durch Bonddrähte 24 wird ein elektrischer
Kontakt von den elektrischen Durchführungen 23 zu den Bondpads 25
hergestellt. Die Signale des Sensors werden über die elektrischen
Durchführungen 23 an andere Schaltkreise außerhalb des Sensors abge
geben. Die Trägerplatte 21 kann mit einer hier nicht gezeigten Kappe
versehen werden, die sich über die elektrischen Durchführungen 23
und das Dickschicht-Hybridsubstrat 20 erstreckt und so den Sensor
hermetisch von der Umwelt abkapselt. Auf dem Dickschicht-Hybridsub
strat 20 sind Bauteile 26 angeordnet, die zusammen mit den hier aus
Vereinfachungsgründen nicht gezeigten Leiterbahnen, Schaltkreise zur
Auswertung des Sensorsignals bilden. Die Verbindung der Schaltkreise
zum Piezoelement 1 erfolgt wiederum durch Bonddrähte 24.
Das in Fig. 2 gezeigte Piezoelement 1 weist zwischen seinen beiden
Teilen 11a und 11b einen Luftspalt 13 auf. Die beiden Teile 11a und
11b des Piezoelements 1 sind äquivalent zum Piezoelement aus Fig. 1
aufgebaut, d. h. sie bestehen aus zwei piezoelektrischen Platten 2,
deren piezoelektrische Polarisation in entgegengesetzte Richtungen
weist, Elektroden 9 auf der Oberseite 7 und der Unterseite 8 des
Piezoelements 1 und einer leitenden Schicht 10 zwischen den beiden
piezoelektrischen Platten 2. Beim hier gezeigten Ausführungsbeispiel
erfolgt die Anordnung des Piezoelements 1 auf dem Sockel 3 derart,
daß das Piezoelement 1 nur an einem Ende eingespannt ist. Die beiden
Teile 11a und 11b des Piezoelements 1 rechts und links des Luftspal
tes 13 sind an ihren anderen Enden durch einen Keramikbalken 12
mechanisch miteinander verbunden. Durch den Luftspalt 13 sind jedoch
die beiden Teile 11a und 11b des Piezoelements 1 sehr gut elektrisch
voneinander entkoppelt. Die Elektroden 9 der einzelnen Teile des
Piezoelements 1 sind daher jeweils einzeln elektrisch angeschlossen.
Die Kontaktierung der Elektrode 9 auf der Oberseite des Piezoele
ments erfolgt durch einen Bonddraht 24 und einen Anschlußpunkt 27,
die Kontaktierung der Elektrode 9 auf der Unterseite 7 des Piezoele
ments 1 erfolgt durch einen Bonddraht 24, einen Anschlußpunkt 27 und
einer leitenden Schicht auf dem Sockel 3. Die leitende Schicht auf
dem Sockel 3 erstreckt sich jeweils nur unter einen Teil des Piezo
elements 1. In äquivalenter Weise kann der Sockel 3 aus einem leit
fähigen Material, beispielsweise aus entsprechend dotiertem Silizium,
bestehen. In diesem Fall würde der Sockel 3 ebenfalls einen Luft
spalt 13 aufweisen. Der Anschlußpunkt 27 besteht aus einer aufge
klebten Metallscheibe, da die Metallisierung der Elektroden 9 nicht
direkt mit einem Bonddraht versehen werden kann.
In Fig. 3 ist eine zweite fertigungstechnisch besonders vorteilhafte Aus
gestaltung des überprüfbaren Beschleunigungssensors gezeigt. Die
beiden Teile 11a und 11b des Piezoelements sind an einem Ende auf
jeweils einem Sockel 3 auf dem Dickschicht-Hybridsubstrat 20 so ge
lagert und in der Mitte durch einen Luftspalt 13 getrennt. Die
mechanische Verbindung zwischen den beiden Teilen 11a und 11b des
Piezoelements erfolgt durch einen ausgehärteten Klebstofftropfen 30.
Fertigungstechnisch ist die Verwendung eines ausgehärteten Kleb
stofftropfens 30 besonders einfach, da dieser Klebstofftropfen 30
leicht durch eine automatische Dosiervorrichtung aufgebracht werden
kann. Bei entsprechend hoher Viskosität des noch flüssigen Klebstof
fes können auch große Luftspalte 13 überbrückt werden.
Claims (3)
1. Testbarer piezoelektrische Beschleunigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge,
mit mindestens einem auf einem Sockel (3) befestigten Piezoelement
(1) aus mindestens zwei aufeinanderliegenden piezoelektrischen Plat
ten (2) mit Elektroden (9) und Zuleitungen, wobei die piezoelektri
sche Polarisation der Platten (2) in entgegengesetzte Richtungen
zeigt und wobei das Piezoelement (1) derart auf dem Sockel (3) an
geordnet ist, daß es durch eine Beschleunigung verbiegbar und die
dadurch entstehende elektrische Spannung an den Elektroden (9) nach
weisbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Piezoelement aus einem er
sten Teil (11a) und einem zweiten Teil (11b) besteht, daß zwischen
den beiden Teilen (11a, 11b) des Piezoelements (1) ein Luftspalt
(13) ausgebildet ist und daß die durch den Luftspalt getrennten bei
den Teile (11a, 11b) des Piezoelements (1) durch ein Kopplungsele
ment (12, 30) mechanisch derart miteinander verbunden sind, daß mittels An
legen von elektrischen Spannungen an die Elektroden (9) des ersten
Teils (11a) des Piezoelements (1) eine Verbiegung des ersten Teils
(11a) des Piezoelements (1) verursachbar ist und durch das mechani
sche Kopplungselement (12, 30) zwischen den beiden Teilen (11a, 11b)
des Piezoelements (1) eine Verbiegung des zweiten Teils (11b) des
Piezoelements (1) bewirkbar ist.
2. Testbarer Beschleunigungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die beiden Teile (11a, 11b) des Piezoelements (1)
durch Keramikbalken (12) miteinander verbunden sind.
3. Testbarer Beschleunigungssensor nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die beiden Teile (11a, 11b) des Piezoelements (1)
durch Klebstofftropfen (30) miteinander verbunden sind.
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