JPH07209328A

JPH07209328A - 加速度検出装置

Info

Publication number: JPH07209328A
Application number: JP2001294A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Negoro; 泰宏根来
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-01-20
Filing date: 1994-01-20
Publication date: 1995-08-11

Abstract

(57)【要約】【目的】加速度検出装置において、絶縁基板に静電容
量として加速度を検出するセンサ部と、センサ部からの
検出信号を電圧信号に変換する回路部を設ける。そし
て、小型化と高精度検出を行う。【構成】ガラス基板２２上には電極パターン２３，２
４が形成され、その上にはセンサ部２５と回路部３６が
設けられている。そして、センサ部２５と回路部３６と
は各電極パターン２３で接続され、回路部３６から検出
信号は電極パターン２４，金属端子３８を介して外部に
導出される。これにより、リード線による接続を不要と
してノイズの発生を低減できる。また、加速度検出装置
２１を一体にでき、小型化を図ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば車両等の加速度
を検出するのに好適に用いられる加速度検出装置に関
し、特に、加速度を検出するセンサ部と該センサ部から
の検出信号を処理する回路部とを一体に形成した加速度
検出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、車両等の加速度や回転方向を検
出するのに用いられるセンサ部としての加速度センサ
は、電極板間の静電容量を利用して検出するもので、例
えば特開平３−９４１６９号公報および特開昭６２−２
３２１７１号公報等によって知られている。

【０００３】しかし、これらの加速度センサは、固定部
と可動部との対向する電極のなす面積（以下、「有効面
積」という）が小さくその離間寸法が大きいために、検
出感度が小さくなり高精度の加速度検出を行うことがで
きなかった。

【０００４】このような欠点を改良するために、他の従
来技術として特開平４−１１５１６５号公報に記載の加
速度センサでは、固定電極と可動電極にくし状電極を用
い、電極間の有効面積を大きくして検出感度を向上させ
るようにしている。

【０００５】ここで、従来技術による加速度センサを、
図１１および図１２を用いて説明する。

【０００６】図中、１は加速度センサ、２は該加速度セ
ンサ１の基体をなす正方形状の絶縁基板としてのガラス
基板を示し、該ガラス基板２上には後述する固定部３，
３と可動部５が形成されている。また、該ガラス基板２
上面には長方形状の凹溝２Ａが形成され、該凹溝２Ａ上
に位置する可動部５の質量部８と可動側くし状電極９は
矢示Ａ方向（加速度が加わる方向）に変位可能となって
いる。

【０００７】３，３は低抵抗なシリコン材料により形成
された一対の固定部を示し、該各固定部３は前記ガラス
基板２の左，右に離間して位置し、それぞれ対向する内
側面には複数（例えば３枚）の薄板状の電極板４Ａ，４
Ａ，…が突出形成され、該各電極板４Ａは固定電極とし
ての固定側くし状電極４，４をそれぞれ構成している。

【０００８】５は低抵抗なシリコン材料により形成され
た可動部を示し、該可動部５は、前記ガラス基板２の
前，後に離間してガラス基板２に固着された支持部６，
６と、該各支持部６に梁７，７を介して両持支持され、
前記各固定部３の間に配設された質量部８と、該質量部
８から左，右方向にそれぞれ突出形成された複数（例え
ば３枚）の薄板状の電極板９Ａ，９Ａ，…を有する可動
側くし状電極９，９とから構成され、前記各梁７は質量
部８を矢示Ａ方向に変位可能となるように薄板状に形成
されている。そして、前記各可動側くし状電極９の各電
極板９Ａは前記各固定側くし状電極４の各電極板４Ａと
微小隙間を介して互いに対向するようになっている。

【０００９】１０，１０，…は前記ガラス基板２上に形
成された引出し電極としての電極パターンを示し、該各
電極パターン１０は金−白金−クロムにより形成され、
基端側はそれぞれ各固定部３と可動部５の支持部６と接
続され、先端側はガラス基板２の外側に向けて伸長して
いる。

【００１０】さらに、１１はセラミック等の絶縁物質に
よって形成された基板を示し、該基板１１上には前記加
速度センサ１のガラス基板２が接着剤によって接合さ
れ、さらに該基板１１上には図示しない回路部等が実装
されている。なお、該回路部は静電容量による信号を電
気信号に変換する変換回路，その信号を増幅する増幅回
路，ノイズを除去するフィルタ回路等から構成され、該
回路部を加速度センサ１に加えることにより、加速度検
出装置とする。

【００１１】１２，１２，…は基板１１上に形成された
プリントパターンを示し、該各プリントパターン１２は
後述する各リード線１３を介して各固定部３と可動部５
とを前記回路部に接続するようになっている。

【００１２】１３，１３，…はリード線を示し、該各リ
ード線１３はワイヤボンディングによって形成され、ガ
ラス基板２上に形成された電極パターン１０と基板１１
上に形成されたプリントパターン１２とをそれぞれ接続
するようになっている。

【００１３】このように構成される加速度センサ１は、
外部から矢示Ａ方向の加速度が加わると、質量部８は各
梁７によって各支持部６に対して変位し、可動側くし状
電極９の各電極板９Ａが固定側くし状電極４の各電極板
４Ａに対して接近または離間する。このとき、離間寸法
の変位を静電容量の変化（検出信号）として基板１１上
に設けられた回路部に出力し、該回路部ではこの静電容
量の変化に基づき前記加速度に応じた信号を出力する。

【００１４】ここで、前記加速度センサ１は、質量部８
に作用する加速度を可動側くし状電極９，固定側くし状
電極４の各電極板９Ａ，４Ａ間での静電容量の変化とし
て検出している。また、前記各電極板９Ａ，４Ａはそれ
ぞれ電気的に並列接続されているから、各電極板９Ａ，
４Ａ間の静電容量をそれぞれ加算した値となって全体の
静電容量から加速度を検出でき、検出感度を高め、加速
度の検出精度を向上させることができるようになってい
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した加
速度センサ１を加速度検出装置として構成するために
は、該加速度センサ１の他に、加速度センサ１からの静
電容量として出力される信号を電圧に変換する回路，変
換された電圧を増幅する増幅回路，ノイズを除去するフ
ィルタ回路等からなる回路部が必要となる。そして、従
来技術の場合には、基板１１上に回路部を実装すると共
に、加速度センサ１を接合し、該加速度センサ１と回路
部との接続は各リード線１３およびプリントパターン１
２を介して行っていた。

【００１６】このため、加速度検出装置の単体として製
品化する場合には、基板１１，各プリントパターン１２
およびリード線１３等が必要となり、部品点数が増加し
てコスト高になると共に、基板１１の分だけ大型化して
いまうという問題がある。

【００１７】また、各電極パターン１０と各プリントパ
ターン１２との接続にリード線１３を使用しているか
ら、加速度センサ１に加速度が作用すると、この加速度
に対応してリード線１３が振動し、検出信号にこの振動
によるノイズが加わるという問題がある。

【００１８】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、小型かつ高精度な加速度検出を行うこと
のできる加速度検出装置を提供することを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】請求項１による加速度検
出装置の構成は、引出し電極が形成された絶縁基板と、
該絶縁基板上に設けられた加速度を検出するセンサ部
と、前記絶縁基板上に設けられ、該センサ部からの検出
信号を処理する回路部とからなり、前記センサ部は、前
記絶縁基板に固着して設けられたシリコン板をエッチン
グ処理することにより互いに分離して形成された固定部
と可動部を備え、前記固定部には固定電極を一体に形成
し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、
梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したとき
に該加速度に応じて変位する質量部と、該質量部に前記
固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して
対向するように設けられ、該質量部の変位によって近
接，離間する可動電極とから一体に形成したことにあ
る。

【００２０】また、請求項２による加速度検出装置の構
成は、両面に引出し電極が形成された絶縁基板と、該絶
縁基板の一側面に設けられた加速度を検出するセンサ部
と、前記絶縁基板の他側面に設けられ、該センサ部から
の検出信号を処理する回路部とからなり、前記センサ部
は、該絶縁基板に固着して設けられたシリコン板をエッ
チング処理することにより互いに分離して形成された固
定部と可動部からなり、前記固定部には固定電極を一体
に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持
部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用し
たときに該加速度に応じて変位する質量部と、該質量部
に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を
介して対向するように設けられ、該質量部の変位によっ
て近接，離間する可動電極とから一体に形成したことに
ある。

【００２１】この場合、請求項３のように、前記センサ
部の固定電極，可動電極は、前記固定部，質量部にそれ
ぞれ突出して設けたくし状電極とすることができる。

【００２２】また、請求項４のように、前記センサ部に
は、固定部と可動部を覆うカバーを形成することが望ま
しい。

【００２３】また、請求項５のように、前記絶縁基板に
は、該絶縁基板を支持する複数個の金属端子を設けるこ
とができる。

【００２４】さらに、請求項６のように、前記各金属端
子の先端のみを外部に露出させた状態で、絶縁基板，セ
ンサ部および回路部をモールドする樹脂モールド部を形
成することが望ましい。

【００２５】

【作用】請求項１による加速度検出装置においては、セ
ンサ部と回路部とを同一の絶縁基板上に設けることがで
き、小型化を可能とする。さらに、センサ部と回路部と
は引出し電極を介して接続することができ、リード線に
よる接続を廃止することができる。

【００２６】また、請求項２による加速度検出装置にお
いては、絶縁基板の一側面にセンサ部を他側面に回路部
を設けるようにしたから、当該加速度検出装置を請求項
１の発明よりも小型にすることができる。

【００２７】一方、請求項３では、前記センサ部の固定
電極，可動電極を、互いに対向するくし状電極として形
成することにより、有効面積を大きくすることができ
る。

【００２８】また、請求項４では、前記センサ部の固定
部と可動部をカバーで覆うことにより、加速度を検出す
る部分となるセンサ部の固定部と可動部内に塵埃等が侵
入するのを防止できる。

【００２９】また、請求項５では、前記絶縁基板には、
該絶縁基板を支持する複数個の金属端子を設けることに
より、加速度検出装置からの外部への振動の導出を各金
属端子を介して行うことができる。一方、請求項２の加
速度検出装置においては、該各金属端子を介して一側面
のセンサ部と他側面の回路部とを電気的に接続すること
ができる。

【００３０】さらに、請求項６では、前記各金属端子の
先端のみを外部に露出させ状態で、絶縁基板，センサ部
および回路部を樹脂モールドすることにより、加速度検
出装置の一体化を行うことができる。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１ないし図１０に
基づいて説明する。なお、実施例では前述した従来技術
と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略
するものとする。

【００３２】まず、図１ないし図４は、第１の実施例を
示す。

【００３３】図中、２１は本実施例による加速度検出装
置を示し、該加速度検出装置は、後述するガラス基板２
２と、該ガラス基板２２上の一側に設けられたセンサ部
２５と、前記ガラス基板２２上の他側に設けられた回路
部３６と、前記ガラス基板２２の端面に適宜配設された
複数個の金属端子３７，３８とから大略構成されてい
る。

【００３４】２２は加速度検出装置２１の基体を絶縁基
板としてのガラス基板を示し、該ガラス基板２２は長方
形状に形成され、該ガラス基板２２上には、引出し電極
としての電極パターン２３，２３，２３と、外部への引
出し電極としての出力側電極パターン２４，２４，２４
が形成されている。そして、該各電極パターン２３，２
４は金−白金−クロムにより形成され、該各電極パター
ン２３はセンサ部２５と回路部３６とを電気的に接続
し、各出力側電極パターン２４は回路部３６からの電気
信号を外部に導出する金属端子３８に接続されている。
また、センサ部２５の形成される一側には長方形状の凹
溝２２Ａが形成されている。

【００３５】２５は本実施例によるセンサ部を示し、該
センサ部２５は図３に示すように、従来技術による加速
度センサ１とほぼ同様に、ガラス基板２２上には低抵抗
なシリコン材料によって形成された後述の固定部２６，
２６と可動部２８から構成され、本実施例のセンサ部２
５においてはカバー３３が形成されている。

【００３６】２６，２６は固定部を示し、該各固定部２
６にはそれぞれ対向する方向に突出形成された薄板状の
電極板２７Ａ，２７Ａ，…（例えば３枚）を有する固定
側くし状電極２７が形成されている。

【００３７】２８は可動部を示し、該可動部２８は支持
部２９，２９と、該各支持部２９に梁３０，３０を介し
て両持支持され、前記各固定部２６の間に配設された質
量部３１と、該質量部３１から各固定側くし状電極２７
に向けて突出形成された薄板状の電極板３２Ａ，３２
Ａ，…（例えば３枚）を有する可動側くし状電極３２と
から構成されている。

【００３８】３３はカバーを示し、該カバー３３は低抵
抗なシリコン材料によって矩形状に形成された周壁部３
４と、該周壁部３４を施蓋すべく、ガラス材料によって
形成された蓋部３５とからなり、該カバー３３を構成す
る周壁部３４は、前記各固定部２６と可動部２８と共に
低抵抗なシリコン材料によって一体形成されている。そ
して、該カバー３３によって前記各固定部２６，可動部
２８との間に塵埃等が侵入するのを防止している。な
お、前記周壁部３４のうち電極パターン２３と接触する
部分には、酸化処理または窒化処理を施すことにより成
膜形成された絶縁層３４Ａとなり、該絶縁層３４Ａは各
電極パターン２３とカバー３３の周壁部３４とを絶縁す
るものである。

【００３９】そして、前記センサ部２５は従来技術によ
る加速度センサ１と同様に、矢示Ａ方向に加わる加速度
を、可動側くし状電極３２の各電極板３２Ａと固定側く
し状電極２７の各電極板２７Ａとの離間寸法の変化とし
て検出し、この変化を静電容量の信号として回路部３６
に電極パターン２３を介して導出するようになってい
る。

【００４０】３６はガラス基板２２の他側に設けられた
回路部を示し、該回路部３６はシリコン板への不純物の
イオン打込みや拡散、フォトリソグラフィー等の集積回
路作成プロセスによって回路処理が施されたチップ状に
形成され、該回路部３６は前記センサ部２５からの静電
容量として出力される信号を電圧に変換する回路，変換
された電圧信号を増幅する増幅回路，ノイズを除去する
フィルタ回路等（図示せず）から構成されている。ま
た、前記回路部３６は各電極パターン２４上にハンダバ
ンプ（図示せず）を介して電気的に接続されている。

【００４１】３７，３７，…と３８，３８，…は金属端
子を示し、該各金属端子３７，３８は例えば軟鉄を母材
として鉛メッキ，錫メッキ等を施した金属材料が用いら
れ、図２に示すように、コ字状の基板保持部３７Ａ，３
８Ａと接地部３７Ｂ，３８Ｂとからなり、該基板保持部
３７Ａ，３８Ａをガラス基板２２に挟持することによっ
て前記ガラス基板２２を支持するようになっている。

【００４２】また、前記各金属端子３７は上述した如
く、ガラス基板２２の端部に固着され、当該加速度検出
装置２１の脚部として機能する。一方、前記各金属端子
３８は前記各金属端子３７と同様に構成されるものの、
ガラス基板２２の脚部として機能するのみでなく、各出
力側電極パターン２４をガラス基板２２と共に挟持する
ことにより、外部への電気信号の導出を行う加速度検出
装置２１の信号導出部としても機能するものである。

【００４３】本実施例による加速度検出装置２１は、以
上の如く構成されるもので、加速度の検出動作において
は従来技術と差異はない。

【００４４】然るに、本実施例による加速度検出装置２
１においては、加速度を検出するセンサ部２５と、該セ
ンサ部２５からの静電容量による信号を電圧信号に変換
して外部に導出する回路部３６とを同一のガラス基板２
２上に設けるようにしたから、従来技術のように、加速
度センサ１の他に回路部を実装した基板１１を設ける必
要がなく、加速度検出装置２１をコンパクトに形成する
ことができる。

【００４５】また、前記ガラス基板２２上には各電極パ
ターン２３を形成し、該各電極パターン２３によってセ
ンサ部２５と回路部３６とを電気的に接続するようにし
たから、従来必要であった各リード線１３が不要にで
き、加速度検出装置２１の組立時におけるワイヤボンデ
ィング等の作業工程を省略でき、組立性を向上すること
ができる。さらに、各リード線１３を廃止することによ
って、該各リード線１３の振動によるノイズ発生をなく
し、高精度の加速度検出を行うことができる。

【００４６】一方、ガラス基板２２の端部には各金属端
子３７，３８が固着され、該各金属端子３７，３８は、
加速度検出装置２１の脚部として機能すると共に、各出
力側電極パターン２４にそれぞれ接続する各金属端子３
８を介して外部に電圧に変換された検出信号を導出する
ことができる。この結果、外部との接続にリード線を廃
止することができ、ノイズの発生をより一層低減するこ
とができる。

【００４７】さらに、前記センサ部２５には、各固定部
２６と可動部２８を覆うカバー３３を形成したから、該
各固定部２６および可動部２８内に塵埃等が侵入するの
を確実に防止し、センサ部２５の寿命を効果的に延ばす
ことができる。

【００４８】なお、前記第１の実施例では、ガラス基板
２２上にセンサ部２５と回路部３６とを設けるようにし
たが、第１の実施例の変形例として図５に示すように、
加速度検出装置２１全体を樹脂モールド部３９で覆っ
て、各金属端子３７，３８の先端が露出するようにして
もよく、この場合には、加速度検出装置２１の強度を強
め、耐久性の向上を図ることができる。

【００４９】次に、図６ないし図８は本発明による第２
の実施例を示すに、本実施例による加速度検出装置の特
徴は、ガラス基板上面側にセンサ部を設け、下面側に回
路部を設けたことにある。なお、本実施例においては前
述した第１の実施例による構成に同一の符号を付し、そ
の説明を省略する。

【００５０】図中、４１は本実施例による加速度検出装
置、４２は該加速度検出装置４１の基体となる絶縁基板
としてのガラス基板を示し、該ガラス基板４２は第１の
実施例によるガラス基板２２と異なり正方形状になって
いる。そして、該ガラス基板４２の上，下面には、後述
の各センサ部側電極パターン４３，回路部側電極パター
ン４４が形成され、さらに上面には第１の実施例と同様
のセンサ部２５が設けられ、下面には同じく第１の実施
例と同様の回路部３６が設けれられている。

【００５１】４３，４３，４３はガラス基板４２の上側
面に形成された引出し電極としてのセンサ部側電極パタ
ーンを示し、該各センサ部側電極パターン４３の一側は
センサ部２５内の各固定部２６，可動部２８に、他側は
後述の各金属端子４５にそれぞれ接続されている。

【００５２】４４，４４，…はガラス基板４２の下側面
に形成された引出し電極としての回路部側電極パターン
を示し、該各回路部側電極パターン４４の一側は回路部
３６に、他側は金属端子４６に接続されている。

【００５３】４５，４５，…と４６，４６，…は金属端
子を示し、該各金属端子４５，４６は、ガラス基板４２
の端部を挟持するコ字状の基板保持部４５Ａ，４６Ａと
接地部４５Ｂ，４６Ｂとからなる。そして、該各金属端
子４５は、加速度検出装置４１の脚部として機能する。
一方、各金属端子４６は脚部として機能するばかりでな
く、センサ部２５と共に上面側に形成した各センサ部側
電極パターン４３と回路部３６と共に下面側に形成した
各回路部側電極パターン４４とを接続する接続機能を有
している。なお、各金属端子４５，４６のうち一部の金
属端子は、回路部３６からの電圧信号を外部に導出する
信号導出部として機能するようになっている。

【００５４】然るに、本実施例による加速度検出装置４
１においても、上述した第１の実施例による加速度検出
装置２１と同様の作用効果を得ることができる。

【００５５】さらに、本実施例による加速度検出装置４
１はセンサ部２５と回路部３６とをガラス基板４２を介
して上，下に設けるようにしたから、加速度検出装置２
１よりもガラス基板４２を小さくして、加速度検出装置
４１の小型化を図ることができる。

【００５６】なお、前記第２の実施例においても、図９
の変形例に示すように、加速度検出装置４１全体を樹脂
モールド部４７で覆うことにより、加速度検出装置４１
をより強固に形成できる。

【００５７】さらに、図１０は本発明の第３の実施例を
示すに、本実施例の特徴は、加速度検出装置のセンサ部
における可動部を片持支持にしたものである。なお、本
実施例においては、前述した第１の実施例と同一の構成
要素に同一の符号を付し、その説明を省略するものとす
る。

【００５８】図中、５１は本実施例によるセンサ部を示
し、該センサ部５１は前述した第１の実施例に用いたセ
ンサ部２５に代えて設けられ、該センサ部５１は電極パ
ターン５２，５２，…および凹溝５３Ａが形成されたガ
ラス基板５３と、該ガラス基板５３上に形成された一対
の固定部５４，５４と、該各固定部５４の間に位置し、
前記ガラス基板５３上に形成された可動部５５とから構
成され、該可動部５５はガラス基板５３に固着された支
持部５６，該支持部５６から梁５７を介して設けられた
質量部５８とからなり、前記各固定部５４，質量部５８
の側面が固定電極５４Ａ，可動電極５８Ａとなってい
る。

【００５９】５９はカバーを示し、該カバー５９は各固
定部５４と可動部５５を覆うようにガラス基板５３上に
設けられた周壁部６０と、該周壁部６０を施蓋する蓋部
６１とからなる。なお、周壁部６０のうち、各電極パタ
ーン５２と接触する部分には図示しない絶縁層が形成さ
れている。

【００６０】また、ガラス基板５３の端部には金属端子
３７，３８が固着されている。

【００６１】上述した本実施例によるセンサ部５１にお
いても、その検出動作および作用効果においても変わる
ところはない。

【００６２】なお、前記第３の実施例においては、セン
サ部５１を第１の実施例による加速度検出装置２１のセ
ンサ部２５に代えて用いた場合を示したが、本発明はこ
れに限らず、第２の実施例による加速度検出装置４１に
用いてもよいことは勿論である。

【００６３】さらに、前記各実施例では、センサ部２５
（５１）のカバー３３（５９）をガラス基板２２（４
２，５３）上に設けるものとして述べたが、本発明はこ
れに限らず、該カバー３３（５９）はなくてもよいこと
は勿論である。

【００６４】

【発明の効果】請求項１による加速度検出装置において
は、引出し電極が形成された絶縁基板と、該絶縁基板上
に設けられた加速度を検出するセンサ部と、前記絶縁基
板上に設けられ、該センサ部からの検出信号を処理する
回路部とから構成したから、センサ部と回路部との接続
を引出し電極によって行い、不要なリード線を廃止する
ことができ、ノイズ発生を低減することができ、加速度
の高精度検出を行うことができる。さらに、同一の絶縁
基板上にセンサ部と回路部とを設けたから、加速度検出
装置を小型化することができる。

【００６５】請求項２による加速度検出装置において
は、両面に引出し電極が形成された絶縁基板と、該絶縁
基板の一側面に設けられた加速度を検出するセンサ部
と、前記絶縁基板の他側面に設けられ、該センサ部から
の検出信号を処理する回路部とから構成したから、請求
項１の加速度検出装置よりも小型化することができると
共に、高精度の加速度検出を行うことができる。

【００６６】また、前記センサ部内の固定電極，可動電
極をくし状電極としてから、各電極間の有効面積を大き
くし、加速度の検出感度を向上できる。

【００６７】また、前記センサ部には、固定部と可動部
を覆うカバーを絶縁基板に形成することにより、各電極
間に塵埃等が侵入するのを防止でき、加速度検出装置の
寿命を延ばすことができる。

【００６８】さらに、前記絶縁基板には、複数個の金属
端子を設けたから、該各金属端子は、加速度検出装置の
脚部として機能すると共に、外部への検出信号の導出を
行うことができる。

【００６９】一方、センサ部および回路部を樹脂モール
ドして、前記各金属端子の先端のみを露出させるように
したから、加速度検出装置を強固に形成でき、装置寿命
をより効果的に延ばすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例による加速度検出装置を
上側からみた平面図である。

【図２】図１中の加速度検出装置を横からみた側面図で
ある。

【図３】加速度検出装置のセンサ部をカバーの位置で破
断して示す平面図である。

【図４】図３中の矢示IV−IV方向からみた断面図であ
る。

【図５】第１の実施例による変形例を樹脂モールド部を
断面にして示す図２と同様位置の側面図である。

【図６】本発明の第２の実施例による加速度検出装置を
上側からみた平面図である。

【図７】図６中の加速度検出装置を横からみた側面図で
ある。

【図８】図６中の矢示VIII−VIII方向からみた断面図で
ある。

【図９】第２の実施例による変形例を樹脂モールド部を
断面にして示す図７と同様位置の側面図である。

【図１０】本発明の第３の実施例による加速度検出装置
のセンサ部をカバーの位置で破断して示す平面図であ
る。

【図１１】従来技術による加速度センサを示す平面図で
ある。

【図１２】図１１中の矢示XII −XII 方向からみた断面
図である。

【符号の説明】

２１，４１加速度検出装置２２，４２，５３ガラス基板（絶縁基板）２３，２４，４３，４４，５２電極パターン（引出し
電極）２５，５１センサ部２６，５４固定部２７固定側くし状電極（固定電極）２８，５５可動部２９，５６支持部３０，５７梁３１，５８質量部３２可動側くし状電極（可動電極）３３，５９カバー３６回路部３７，３８，４５，４６金属端子３９，４７樹脂モールド部５４Ａ固定電極５８Ａ可動電極

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】引出し電極が形成された絶縁基板と、該
絶縁基板上に設けられた加速度を検出するセンサ部と、
前記絶縁基板上に設けられ、該センサ部からの検出信号
を処理する回路部とからなり、前記センサ部は、前記絶
縁基板に固着して設けられたシリコン板をエッチング処
理することにより互いに分離して形成された固定部と可
動部を備え、前記固定部には固定電極を一体に形成し、
前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を
介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該
加速度に応じて変位する質量部と、該質量部に前記固定
部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向
するように設けられ、該質量部の変位によって近接，離
間する可動電極とから一体に形成した構成としてなる加
速度検出装置。
【請求項２】両面に引出し電極が形成された絶縁基板
と、該絶縁基板の一側面に設けられた加速度を検出する
センサ部と、前記絶縁基板の他側面に設けられ、該セン
サ部からの検出信号を処理する回路部とからなり、前記
センサ部は、該絶縁基板に固着して設けられたシリコン
板をエッチング処理することにより互いに分離して形成
された固定部と可動部からなり、前記固定部には固定電
極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着さ
れた支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度
が作用したときに該加速度に応じて変位する質量部と、
該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微
小隙間を介して対向するように設けられ、該質量部の変
位によって近接，離間する可動電極とから一体に形成し
た構成としてなる加速度検出装置。
【請求項３】前記センサ部の固定電極，可動電極は、
前記固定部，質量部にそれぞれ突出して設けたくし状電
極としてなる請求項１または２記載の加速度検出装置。
【請求項４】前記センサ部には、固定部と可動部を覆
うカバーを形成してなる請求項１または２記載の加速度
検出装置。
【請求項５】前記絶縁基板には、該絶縁基板を支持す
る複数個の金属端子を設けてなる請求項１または２記載
の加速度検出装置。
【請求項６】前記各金属端子の先端のみを外部に露出
させ状態で、絶縁基板，センサ部および回路部をモール
ドする樹脂モールド部を形成してなる請求項５記載の加
速度検出装置。