JPH08184448A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異なる２軸回りの角速度を共に感度良く検知
できる角速度センサ１を提供することである。 【構成】 平面振動体３は、直角四辺形状の枠体６の内
側に連結梁４を介して重り振動体５が連結されている結
合体であり、折曲形成された支持梁８でｘ，ｙ方向に振
動可能に支持されている。枠体６の四辺の外端部に励振
電極となる移動電極11Ａ，11Ｂ、ｚ軸回り角速度検出電
極となる移動電極10Ａ，10Ｂを突設している。平面振動
体３のｘ，ｙ方向振動の共振周波数と重り振動体５のｚ
方向振動の共振周波数とはほぼ一致するように調整す
る。したがって、ｘ軸回りの回転によりｚ方向のコリオ
リ力が平面振動体３に加わると、重り振動体５だけがｚ
方向に振動し、ｘ軸回りの角速度を検知する。また、ｚ
軸回りに回転すると、サーボ機構18が駆動して、枠体６
は実際にはｘ方向に移動せず、サーボ機構18の出力電圧
に基づいてｚ軸回りの角速度を検知する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、角速度を検出する角速
度センサに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３には、振動型ジャイロで構成される
角速度センサ１が示されている。この角速度センサ１
は、ｚ軸回りとｘ軸回りの角速度を検知するものであ
り、シリコン等の固定基板21に、半導体マイクロマシニ
ング技術を用いて、平面振動体３と、くし歯形状の移動
電極10，11と、移動電極10，11にそれぞれ噛み合うよう
に設けられるくし歯形状の固定電極12，13と、平面振動
体３を支持する支持梁８等を形成して構成されている。
また、平面振動体３に対向して下部電極16が形成されて
いる。

【０００３】前記支持梁８は、一端側が平面振動体３を
支持し、他端側ががぎ爪状（コ字状）に折曲形成され固
定端となっており、平面振動体３がｘ，ｙ方向の直交２
方向に振動可能となっている。また、平面振動体３は、
移動電極11あるいは固定電極13に交流電圧を印加する
と、移動電極11と固定電極13との間の静電力によって、
平面振動体３と同一平面内でｙ方向に励振する。

【０００４】上記構成の角速度センサ１において、平面
振動体３をｙ方向に励振させ、ｘ軸を中心として回転す
ると、回転軸方向および励振方向の２方向に直交する方
向、ここでは平面振動体３の面に直交するｚ方向にコリ
オリ力が発生し、このコリオリ力によって平面振動体３
がｚ方向に振動する。この振動の振幅の大きさを平面振
動体３と下部電極16との間の静電容量の変化に対応させ
て検出し、この容量変化に基づいてｘ軸回りの回転角速
度の大きさ等を検知する。また、平面振動体３がｚ軸を
中心として回転すると、ｘ方向にコリオリ力が発生し
て、平面振動体３が該平面振動体３と同一平面内でｘ方
向に振動する。この振動の振幅の大きさを移動電極10と
固定電極12との間の静電容量の変化に対応させて検出
し、ｚ軸回りの回転角速度の大きさ等を検知する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ここでは、
前記コリオリ力による平面振動体３のｘ方向およびｚ方
向の振動が大きな振幅の大きさで振動して回転角速度の
検出感度を高めるために、平面振動体３の励振方向であ
るｙ方向の振動の共振周波数と、平面振動体３における
ｘ方向およびｚ方向の振動の共振周波数が一致するよう
に調整されている。

【０００６】しかしながら、平面振動体３のｘ，ｙ，ｚ
方向の振動の共振周波数が一致するように形成されてい
るために、平面振動体３に、ｘ軸回りおよびｚ軸回りの
回転によるｚ方向およびｘ方向のコリオリ力が加えられ
ると、図４に示すように、ｚ軸回りの角速度検出用の移
動電極10が、ｚ軸回りの回転によってｘ方向に振動する
以外に、ｘ軸回りの回転によってｚ方向にも振動する。
このｚ方向の振動によって、移動電極10が固定電極12に
対してｚ方向にずれて移動電極10と固定電極12とが対向
している電極面積が減少し、つまり、移動電極10と固定
電極12間の静電容量を検出するのに有効な電極面積が減
少し、その分前記静電容量の変化も小さくなり、ｚ軸回
りの角速度の検知における感度が低下してしまうという
問題がある。

【０００７】また、平面振動体３を励振させる移動電極
11も、ｘ軸回りの回転によってｚ方向に振動し、上記同
様に固定電極13に対向している電極面積が減少し、移動
電極11あるいは固定電極13に印加した電圧分の振幅の大
きさで平面振動体３が励振しなくなってしまうという問
題がある。

【０００８】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものであり、その目的は、異なる２軸回りの回転の角
速度を共に感度良く検知できる角速度センサを提供する
ことである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は次のように構成されている。すなわち、本発
明の角速度センサは、枠体の内側に連結梁を介して重り
振動体が連結されて枠体と重り振動体の結合体によって
平面振動体が形成され、この平面振動体は固定基板に支
持梁を介してＸ，Ｙ二次元平面のＸ方向およびＹ方向の
振動が可能に支持されており、前記枠体の外端部からは
Ｘ，Ｙの一方側方向に第１の移動くし歯電極が、Ｘ，Ｙ
の他方側方向に第２の移動くし歯電極がそれぞれ突設さ
れ、固定基板側には前記第１の移動くし歯電極と間隔を
介して嵌合する第１の固定くし歯電極と、前記第２の移
動くし歯電極と間隔を介して嵌合する第２の固定くし歯
電極とが設けられ、また、前記重り振動体には垂直移動
側電極が設けられるとともに該垂直移動側電極と間隔を
介した対向側には固定対向電極が設けられ、前記第１の
移動くし歯電極と第１の固定くし歯電極の組は平面振動
体を静電力によってＸ，Ｙの一方側方向に振動させる励
振電極として構成し、第２の移動くし歯電極と第２の固
定くし歯電極の組はＸ，Ｙ平面に垂直なＺ軸回りの回転
の角速度変化に対応する前記Ｘ，Ｙの他方側方向の振動
振幅を検出するＺ軸回り角速度検出電極として構成し、
前記垂直移動側電極と固定対向電極の組は前記Ｘ，Ｙの
他方側方向軸回りの回転の角速度変化に対応する重り振
動体の前記Ｚ軸方向の振動振幅を検出する平面軸回り角
速度検出電極として構成したことを特徴として構成され
ている。

【００１０】また、本発明は、Ｚ軸回り角速度検出電極
にサーボ機構が接続されていること、枠体は直角四辺形
からなり、少なくとも四角枠体の対向二辺に第１の移動
くし歯電極が設けられ、これと直交する他の対向二辺に
第２の移動くし歯電極が設けられていること、平面振動
体はＸ方向とＹ方向の振動が可能に折り曲げられた両持
ち梁によって固定基板に固定されていること、平面振動
体のＸ方向振動の共振周波数と、平面振動体のＹ方向振
動の共振周波数と、重り振動体のＺ方向振動の共振周波
数とがほぼ一致するように調整されていることも特徴と
するところである。

【００１１】

【作用】上記構成の本発明において、平面振動体が、励
振電極である第１の移動くし歯電極と第１の固定くし歯
電極との間の静電力によって、例えば、Ｙ方向に励振振
動しているとき、Ｘ軸回りに回転すると、Ｚ方向のコリ
オリ力によって、平面振動体の重り振動体だけがＺ方向
に大きく振動し、平面振動体の枠体および第１、第２の
移動くし歯電極はＺ方向には殆ど移動しない。前記重り
振動体の振動の振幅の大きさを静電容量の変化に対応さ
せて検出し、この容量変化に基づいてＸ軸回りの角速度
を検知する。

【００１２】また、Ｚ軸回りに回転すると、Ｘ方向のコ
リオリ力によって平面振動体および第１、第２の移動く
し歯電極がＸ方向に振動しようとする。すると、例え
ば、サーボ機構がＸ方向の振動を検知して、このＸ方向
の振動を打ち消す方向にフィードバックして電圧をＺ軸
回り角速度検出電極である第２の移動くし歯電極あるい
は第２の固定くし歯電極に印加する。このために、第
１、第２の移動くし歯電極および平面振動体は実際には
Ｘ方向に殆ど振動しない。前記サーボ機構からＺ軸回り
角速度検出電極に印加した電圧を静電容量の変化に対応
させて検出し、この電圧に基づいてＺ軸回りの角速度を
検知する。

【００１３】以上のように、Ｘ方向とＺ方向の振動は分
離され、Ｘ方向とＺ方向のコリオリ力が同時に平面振動
体に加えられても、Ｚ軸回り角速度検出電極である第２
の移動くし歯電極が第２の固定くし歯電極に対してＺ方
向にずれることがなくなり、感度良くＺ軸回りの角速度
を検出する。また、励振電極である第１の移動くし歯電
極も第１の固定くし歯電極に対してＺ方向にずれること
がなくなり、平面振動体は常に安定した振幅の大きさで
Ｙ方向に励振する。

【００１４】

【実施例】以下、本発明による実施例を図面に基づいて
説明する。なお、本実施例の説明において、従来例と同
一名称部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略
する。

【００１５】図１には、本実施例の角速度センサ１が示
されている。この角速度センサ１は、平面振動体３と、
第１の移動くし歯電極である移動電極11Ａ，11Ｂと、第
１の固定くし歯電極である固定電極13Ａ，13Ｂと、第２
の移動くし歯電極である移動電極10Ａ，10Ｂと、第２の
固定くし歯電極である固定電極12Ａ，12Ｂと、サーボ機
構18と、検出部19と、支持梁８と、下部電極16とを有し
て構成されている。

【００１６】本実施例に特徴的な平面振動体３は、従来
例のような１枚の平板ではなく、直角四辺形状の枠体６
と、重り振動体５と、連結梁４とを有して構成され、枠
体６の内側に重り振動体５が連結梁４を介して連結され
た結合体である。このような結合体である平面振動体３
におけるｙ方向の励振振動の共振周波数と、平面振動体
３におけるｙ方向に直交するｘ方向の振動の共振周波数
と、重り振動体５におけるｙ方向およびｘ方向の両方向
に直交するｚ方向の振動の共振周波数とがほぼ一致する
ように調整されている。この調整により、重り振動体５
と枠体６とはｚ方向の振動の共振周波数が互いに異なる
共振周波数を有するようになる。

【００１７】上記のように平面振動体３のｘ，ｙ，ｚ各
直角方向の共振周波数が調整されることによって、平面
振動体３がｙ方向に励振しているとき、ｘ軸回りに回転
してｚ方向のコリオリ力が発生すると、重り振動体５は
ｚ方向に大きく振動し、枠体６はｚ方向には殆ど振動し
ない。

【００１８】前記重り振動体５は振動体として機能する
以外に垂直移動側電極としての機能も有し、この重り振
動体５の底面側には間隔を介して対向する固定対向電極
である下部電極16が設けられている。これら重り振動体
５と下部電極16との間の静電容量の変化を検出して従来
同様にｘ軸回りの回転角速度の大きさ等を検知する。

【００１９】また、前記枠体６の対向二辺の外端部には
それぞれ励振電極となる移動電極11Ａ，11Ｂがｙ方向に
突設され、この二辺に対向する固定基板21側には各移動
電極11Ａ，11Ｂと間隔を介して嵌合する固定電極13Ａ，
13Ｂが形成されている。また、枠体６の他の対向二辺の
外端部にはそれぞれｚ軸回り角速度検出電極となる移動
電極10Ａ，10Ｂがｘ方向に突設され、この他の二辺に対
向する固定基板21側には各移動電極10Ａ，10Ｂと間隔を
介して嵌合する固定電極12Ａ，12Ｂが形成されている。
また、枠体６は両持ち梁である支持梁８によって支持さ
れており、支持梁８の一端側は枠体６を支持し、他端側
はかぎ爪形状（コ字形状）に折り曲げられて固定基板21
に固定されている。この支持梁８の折曲形状によって、
平面振動体３はｘ，ｙ方向の直交２方向に振動が可能に
なっている。

【００２０】前記サーボ機構18にはフィードバック電圧
印加手段22Ａ，22Ｂが内蔵されている。このフィードバ
ック電圧印加手段22Ａ，22Ｂおよびサーボ機構18の入力
端23Ａ，23Ｂはそれぞれｚ軸回り角速度検出電極である
固定電極12Ａ，12Ｂの対応位置に接続されている。サー
ボ機構18は、移動電極10Ａ，10Ｂと固定電極12Ａ，12Ｂ
間の静電容量を検出し、移動電極10Ａ，10Ｂがｘ方向の
コリオリ力を受けた平面振動体３と共にｘ方向に振動し
ようとして前記静電容量が変化するのを検知すると、フ
ィードバック電圧印加手段22Ａ，22Ｂを駆動させ、この
電圧印加手段22Ａ，22Ｂが移動電極10Ａ，10Ｂをｘ方向
に対して一定位置に保持する方向、つまり、移動電極10
Ａ，10Ｂのｘ方向の振動を打ち消す方向にフィードバッ
ク電圧を固定電極12Ａ，12Ｂに印加する。また、検出部
19はサーボ機構18のフィードバック電圧印加手段22Ａ，
22Ｂに接続され、前記フィードバック電圧印加手段22
Ａ，22Ｂから固定電極12Ａ，12Ｂに印加するフィードバ
ック電圧を固定電極12Ａ，12Ｂと移動電極10Ａ，10Ｂ間
における静電容量の変化の信号として検出し、ｚ軸回り
の回転角速度の大きさ等を検知する。

【００２１】上記構成の角速度センサ１において、励振
電極である移動電極11Ａ，11Ｂと固定電極13Ａ，13Ｂ間
の静電力によって平面振動体３を該平面振動体３と同一
平面内でｙ方向に励振させ、ｘ軸を中心として回転する
と、ｚ方向のコリオリ力によって平面振動体３の重り振
動体５だけが大きくｚ方向に振動し、重り振動体５の底
面電極と、下部電極16との間の静電容量の変化に基づい
てｘ軸回りの回転角速度の大きさ等を検知する。このと
き、枠体６および移動電極10Ａ，10Ｂ，11Ａ，11Ｂは枠
体６と重り振動体５とのｚ方向の振動の共振周波数が異
なっているので殆どｚ方向に振動しない。

【００２２】また、ｚ軸を中心として回転すると、平面
振動体３が移動電極10Ａ，10Ｂ，11Ａ，11Ｂと共に平面
振動体３と同一平面内でｘ方向に振動しようとする。す
ると、サーボ機構18のフィードバック電圧印加手段22
Ａ，22Ｂが駆動して、移動電極10Ａ，10Ｂのｘ方向の振
動を打ち消す方向に固定電極12Ａ，12Ｂにフィードバッ
ク電圧を印加し、移動電極10Ａ，10Ｂはｘ方向に対して
一定位置に保持される。つまり、平面振動体３および移
動電極10Ａ，10Ｂ，11Ａ，11Ｂはｘ方向に振動しない。
上記フィードバック電圧を検出部19が検出し、このフィ
ードバック電圧に基づいてｚ軸回りの回転角速度の大き
さ等を検知する。

【００２３】このように、ｚ方向とｘ方向のコリオリ力
による振動は平面振動体３の重り振動体５と枠体６に分
離して別々に検出されるため、平面振動体３にｚ方向お
よびｘ方向のコリオリ力が同時に加えられても、角速度
センサ１はｘ軸回りの角速度およびｚ軸回りの角速度を
共に正確に検知する。また、平面振動体３にｚ方向のコ
リオリ力が加えられたときには重り振動体５のみが振動
して励振電極である移動電極11Ａ，11Ｂが枠体６と一体
となってｚ方向に振動しないため、移動電極11Ａ，11Ｂ
が固定電極13Ａ，13Ｂに対してずれることがなく、平面
振動体３は常に安定した振動振幅の大きさで励振振動を
行う。

【００２４】本実施例によれば、平面振動体３を枠体６
と重り振動体５との結合体によって形成し、平面振動体
３のｙ方向の励振振動の共振周波数と、平面振動体３の
ｘ方向の振動の共振周波数と、重り振動体５のｚ方向の
振動の共振周波数とが一致するように調整したので、平
面振動体３がｘ軸回りに回転すると、重り振動体５だけ
がｚ方向に振動し、重り振動体５と枠体６とのｚ方向の
振動の共振周波数が異なっているために、枠体６はｚ方
向に殆ど振動しない。つまり、ｚ軸回り角速度検出電極
である移動電極10Ａ，10Ｂは固定電極12Ａ，12Ｂに対し
てｚ方向にずれることがなく、ｚ軸回りと同時にｘ軸回
りに回転しても、移動電極10Ａ，10Ｂと固定電極12Ａ，
12Ｂ間の静電容量の変化を検出するための有効な電極面
積は減少することがなくなり、電極の全面を最大限に有
効利用して感度良くｚ軸回りの回転角速度を検知するこ
とができる。

【００２５】また、上記同様に励振電極である移動電極
11Ａ，11Ｂが固定電極13Ａ，13Ｂに対してｚ方向にずれ
ることがなく、平面振動体３は、移動電極11Ａ，11Ｂあ
るいは固定電極13Ａ，13Ｂに印加した電圧分の振幅の大
きさで常に安定して励振振動することができる。

【００２６】以上のことから、ｚ軸回りとｘ軸回りの回
転の角速度を共に感度良く検知できる角速度センサ１を
簡単な構成で作製できる。

【００２７】さらに、サーボ機構18を設けたので、平面
振動体３のｘ方向のコリオリ力が加えられても、実際に
平面振動体３がｘ方向に振動することがなく、コリオリ
力が強く加えられたときに固定電極12Ａ，12Ｂと移動電
極10Ａ，10Ｂとが接触してしまい、コリオリ力による静
電容量の変化を検出できないということがないことか
ら、角速度センサ１の角速度検知領域を広範囲にとるこ
とが可能となる。

【００２８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記実施例では、支持梁８の固定端側がかぎ爪形状に折曲
形成されていたが、図２に示すように支持梁８の中央部
分をコ字形状にし折曲形成する等、支持梁８は、平面振
動体３がｘ方向とｙ方向の直交２方向に振動可能な形状
であればよく、図１や図２の形状に限定されるものでは
ない。

【００２９】また、上記実施例では重り振動体５は枠体
６の内側に両持ち梁である連結梁４によって連結されて
いたが、図２に示すように片持ち梁でもよい。また、上
記実施例では、枠体６の対向する二辺の両辺に移動電極
10Ａ，10Ｂあるいは11Ａ，11Ｂを設けたが、どちらか一
方の辺だけに移動電極を設けてもよい。

【００３０】さらに、上記実施例では、重り振動体５は
振動体として機能するだけでなく垂直移動側電極として
も機能していたが、重り振動体５に別個の垂直移動側電
極を設けてもよい。

【００３１】

【発明の効果】本発明によれば、平面振動体を、枠体の
内側に連結梁を介して重り振動体が連結された結合体と
したので、平面振動体にＺ方向のコリオリ力が加えられ
ると、中央部の重り振動体はＺ方向に大きく振動し、端
部の枠体は殆どＺ方向に振動しない。このことから、Ｚ
軸回り角速度検出電極となる第２の移動くし歯電極、お
よび、例えば、Ｙ方向に平面振動体を励振させる励振電
極となる第１の移動くし歯電極が第２、第１の固定くし
歯電極に対してＺ方向にずれない。つまり、Ｚ軸回りの
回転によるＸ方向のコリオリ力およびＸ軸回りの回転に
よるＺ方向のコリオリ力が同時に平面振動体に加えられ
ても、Ｚ軸回り角速度検出電極間における静電容量の変
化を検出するのに有効な電極面積が減少してしまうこと
がなく、電極の全面を有効に利用して感度良くＺ軸回り
の角速度を検出することができる。

【００３２】また、前記の如く、平面振動体にＺ方向の
コリオリ力が加えられても、励振電極の第１の移動くし
歯電極が対向する第１の固定くし歯電極に対してＺ方向
にずれないために、励振振動を生じさせるのに有効な電
極面積が減少することがなく、平面振動体は、励振電極
に印加した電圧分の振動の振幅の大きさで常に安定して
励振振動を行うことができる。

【００３３】以上のことから、異なる２軸回りの回転の
角速度を感度良く検知可能な角速度センサを作製でき
る。

【００３４】さらに、Ｚ軸回り角速度検出電極にサーボ
機構を設けた構成のものにおいては、平面振動体にＸ方
向のコリオリ力が加えられても第２の移動くし歯電極は
実際にはＸ方向に振動しない。このことから、平面振動
体にＸ方向のコリオリ力が強く加えられても、第２の移
動くし歯電極が対向する第２の固定くし歯電極に接触し
てコリオリ力による静電容量の変化を検出できないとい
うことがなくなり、角速度センサの角速度検知領域を広
くすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の角速度センサを示す説明図である。

【図２】本発明による他の実施例を示す説明図である。

【図３】従来例を示す説明図である。

【図４】図３の移動電極におけるコリオリ力による振動
動作を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 角速度センサ ３ 平面振動体 ４ 連結梁 ５ 重り振動体 ６ 枠体 ８ 両持ち梁 10Ａ，10Ｂ，11Ａ，11Ｂ 移動電極 12Ａ，12Ｂ，13Ａ，13Ｂ 固定電極 16 下部電極 18 サーボ機構 21 固定基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 長谷川 友保 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 厚地 健一 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 田中 克彦 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 枠体の内側に連結梁を介して重り振動体
   が連結されて枠体と重り振動体の結合体によって平面振
   動体が形成され、この平面振動体は固定基板に支持梁を
   介してＸ，Ｙ二次元平面のＸ方向およびＹ方向の振動が
   可能に支持されており、前記枠体の外端部からはＸ，Ｙ
   の一方側方向に第１の移動くし歯電極が、Ｘ，Ｙの他方
   側方向に第２の移動くし歯電極がそれぞれ突設され、固
   定基板側には前記第１の移動くし歯電極と間隔を介して
   嵌合する第１の固定くし歯電極と、前記第２の移動くし
   歯電極と間隔を介して嵌合する第２の固定くし歯電極と
   が設けられ、また、前記重り振動体には垂直移動側電極
   が設けられるとともに該垂直移動側電極と間隔を介した
   対向側には固定対向電極が設けられ、前記第１の移動く
   し歯電極と第１の固定くし歯電極の組は平面振動体を静
   電力によってＸ，Ｙの一方側方向に振動させる励振電極
   として構成し、第２の移動くし歯電極と第２の固定くし
   歯電極の組はＸ，Ｙ平面に垂直なＺ軸回りの回転の角速
   度変化に対応する前記Ｘ，Ｙの他方側方向の振動振幅を
   検出するＺ軸回り角速度検出電極として構成し、前記垂
   直移動側電極と固定対向電極の組は前記Ｘ，Ｙの他方側
   方向軸回りの回転の角速度変化に対応する重り振動体の
   前記Ｚ軸方向の振動振幅を検出する平面軸回り角速度検
   出電極として構成した角速度センサ。
2. 【請求項２】 Ｚ軸回り角速度検出電極にサーボ機構が
   接続されている請求項１記載の角速度センサ。
3. 【請求項３】 枠体は直角四辺形からなり、少なくとも
   四角枠体の対向二辺に第１の移動くし歯電極が設けら
   れ、これと直交する他の対向二辺に第２の移動くし歯電
   極が設けられている請求項１又は請求項２記載の角速度
   センサ。
4. 【請求項４】 平面振動体はＸ方向とＹ方向の振動が可
   能に折り曲げられた両持ち梁によって固定基板に固定さ
   れている請求項１又は請求項２又は請求項３記載の角速
   度センサ。
5. 【請求項５】 平面振動体のＸ方向振動の共振周波数
   と、平面振動体のＹ方向振動の共振周波数と、重り振動
   体のＺ方向振動の共振周波数とがほぼ一致するように調
   整されている請求項１又は請求項２又は請求項３又は請
   求項４記載の角速度センサ。