JPS61247915A - 振動ジヤイロ - Google Patents
振動ジヤイロInfo
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- JPS61247915A JPS61247915A JP60090623A JP9062385A JPS61247915A JP S61247915 A JPS61247915 A JP S61247915A JP 60090623 A JP60090623 A JP 60090623A JP 9062385 A JP9062385 A JP 9062385A JP S61247915 A JPS61247915 A JP S61247915A
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- Japan
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- plane
- axis
- vibrator
- axis direction
- intersecting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、車両、船舶、飛行機、ロボット等の運動体の
方向・姿勢制御等に好適に利用できる振動ジャイロに関
し、特に、振動子を圧電材料単体で構成したときに、単
一振動モードで振動を検出できる電極の取付構造を有す
る振動ジャイロに関する。
方向・姿勢制御等に好適に利用できる振動ジャイロに関
し、特に、振動子を圧電材料単体で構成したときに、単
一振動モードで振動を検出できる電極の取付構造を有す
る振動ジャイロに関する。
（従来の技術）
振動ジャイロとは、ある方向に振動している振動子を長
軸回りに回転させ、その振動と直角方向にコリオリの力
を誘起させるものをいい、そのコリオリの力が回転速度
に比例するので、角速度センサとして利用されている。
軸回りに回転させ、その振動と直角方向にコリオリの力
を誘起させるものをいい、そのコリオリの力が回転速度
に比例するので、角速度センサとして利用されている。
振動ジャイロの形状としては音叉形、角棒（音片）形９
弦形などがあり、その基本構造はすでに知られている。
弦形などがあり、その基本構造はすでに知られている。
ここでは従来例として音叉形について説明する。
第７図は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図である
。
。
第７図において、１は音叉アーム、２は支持棒。
３はスプリング、４は固定枠、５は検出手段、６は励振
手段である。
手段である。
音叉アーム１を励振手段６により、ｙ方向に振動させる
。このとき、音叉アーム１が支持棒２を長軸まわりに角
速度Ωで回転すると、ｙ方向に振動している音叉アーム
１にコリオリの力が働き、Ｘ方向にｙ方向と同じ周波数
の振動成分が発生する。その結果、音叉アーム１には破
線の矢印で示したような偶力が発生し、支持棒２にねじ
りモーメントが作用して、スプリング３と釣り合う角度
分だけ回転する。この支持棒２の回転角を検出手段５で
検出すれば、この振動ジャイロ全体が支持されている移
動物体の回転速度を知ることができる。
。このとき、音叉アーム１が支持棒２を長軸まわりに角
速度Ωで回転すると、ｙ方向に振動している音叉アーム
１にコリオリの力が働き、Ｘ方向にｙ方向と同じ周波数
の振動成分が発生する。その結果、音叉アーム１には破
線の矢印で示したような偶力が発生し、支持棒２にねじ
りモーメントが作用して、スプリング３と釣り合う角度
分だけ回転する。この支持棒２の回転角を検出手段５で
検出すれば、この振動ジャイロ全体が支持されている移
動物体の回転速度を知ることができる。
励振手段６としては、電磁力により駆動する手段、圧電
体により駆動する手段等が使用され、検山手段５として
は、電磁センサ、静電センサ、圧電センサ、光センサ等
が使用されている。
体により駆動する手段等が使用され、検山手段５として
は、電磁センサ、静電センサ、圧電センサ、光センサ等
が使用されている。
（発明が解決しようとする問題点）
このような音叉形の振動子は、構造が複雑であり、振動
ジャイロ全体が大形かつ高価になるという問題点があっ
た。また、音叉アームのアンバランスによる影響が大き
く、外部振動の影響を受けやすいので、スプリアスな出
力が大きくなり、出力のＳ／Ｎ比が悪くなるという問題
点もあった。
ジャイロ全体が大形かつ高価になるという問題点があっ
た。また、音叉アームのアンバランスによる影響が大き
く、外部振動の影響を受けやすいので、スプリアスな出
力が大きくなり、出力のＳ／Ｎ比が悪くなるという問題
点もあった。
さらに、駆動方向の分布素子系と検出方向の集中素子系
の共振周波数を合わせるのが困難であり、感度の低下を
招くおそれがあった。
の共振周波数を合わせるのが困難であり、感度の低下を
招くおそれがあった。
また、従来の振動ジャイロでは、振動子が複数の振動モ
ードで振動し、各振動モードの振動に対応してコリオリ
の力による振動が発生するので、他人振動モードを排除
して、必要な信号だけを取り出すことは難しかった。し
かも、この信号をできるだけ大きな信号として取り出す
ことが難しかった。
ードで振動し、各振動モードの振動に対応してコリオリ
の力による振動が発生するので、他人振動モードを排除
して、必要な信号だけを取り出すことは難しかった。し
かも、この信号をできるだけ大きな信号として取り出す
ことが難しかった。
本発明の目的は、振動子を圧電材料単体で構成し、その
振動子が１次振動モードまたは２次振動モードのみで振
動するように励振側の電極を配置することにより、構造
が簡単で製作が容易かつ安価にでき、スプリアスな出力
を少なくしてＳ／Ｎ比を向上させるとともに、検出側と
の共振周波数のマツチングがよく、効率の高い検出がで
きる振動ジャイロを提供することにある。
振動子が１次振動モードまたは２次振動モードのみで振
動するように励振側の電極を配置することにより、構造
が簡単で製作が容易かつ安価にでき、スプリアスな出力
を少なくしてＳ／Ｎ比を向上させるとともに、検出側と
の共振周波数のマツチングがよく、効率の高い検出がで
きる振動ジャイロを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明による振動ジャイロは、以下に示す第１から第５
の構成により前記目的を達成するものである。
の構成により前記目的を達成するものである。
第１の構成は、ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、Ｘ軸
方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と。
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、Ｘ軸
方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と。
前記駆動手段に接続され、前記振動子の１２面と１１面
および１２面の７２面端に配置された板状の駆動側電極
と、前記検出手段に接続され、前記振動子の１１面およ
び１２面の７１面端に配設された板状の検出側電極とか
らなる。
および１２面の７２面端に配置された板状の駆動側電極
と、前記検出手段に接続され、前記振動子の１１面およ
び１２面の７１面端に配設された板状の検出側電極とか
らなる。
第２の構成は、ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、２１
面側と２２面側が異なるようにＸ軸方向に分極処理され
た圧電材料からなる振動子と、前記駆動手段に接続され
、前記振動子の１２面と１１面および１２面の７２面端
に配置された板状の駆動側電極と。
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、２１
面側と２２面側が異なるようにＸ軸方向に分極処理され
た圧電材料からなる振動子と、前記駆動手段に接続され
、前記振動子の１２面と１１面および１２面の７２面端
に配置された板状の駆動側電極と。
前記検出手段に接続され、前記振動子の１１面および１
２面の７１面端に配設された板状の検出側電極とからな
る。
２面の７１面端に配設された板状の検出側電極とからな
る。
第３の構成は、ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、Ｘ軸
方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、前記
駆動手段に接続され、前記振動子の１２面の２゜面倒お
よび２２面側と１１面および１２面の２１面側および２
２面側の７２面端とに配置された板状の駆動側電極と、
前記検出手段に接続され、前記振動子の１１面および１
２面の２１面側および２２面側の７１面端に配設された
板状の検出側電極とからなる。
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、Ｘ軸
方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、前記
駆動手段に接続され、前記振動子の１２面の２゜面倒お
よび２２面側と１１面および１２面の２１面側および２
２面側の７２面端とに配置された板状の駆動側電極と、
前記検出手段に接続され、前記振動子の１１面および１
２面の２１面側および２２面側の７１面端に配設された
板状の検出側電極とからなる。
第４の構成は、ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、Ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、１１
面側のｘ１側はｘ１方向にｙｉ面側のｘ２側はｘ２方向
に１２面側のｘ１面側はｘ１方向に１２面側のｘ２面側
はｘ１方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と
、前記駆動手段に接続され、前記振動子の１２面と１１
面および１２面の１２面端に配置された板状の駆動側電
極と、前記検出手段に接続され、前記振動子の７１面と
１１面および１２面の１１面端に配設された板状の検出
側電極とからなる。
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、Ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面と
第２の側の２２面を有する６面体形状をしており、１１
面側のｘ１側はｘ１方向にｙｉ面側のｘ２側はｘ２方向
に１２面側のｘ１面側はｘ１方向に１２面側のｘ２面側
はｘ１方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と
、前記駆動手段に接続され、前記振動子の１２面と１１
面および１２面の１２面端に配置された板状の駆動側電
極と、前記検出手段に接続され、前記振動子の７１面と
１１面および１２面の１１面端に配設された板状の検出
側電極とからなる。
第５の構成は、ｙ軸方向に励振手段で励振させ、２軸回
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側・の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面
と第２の例の２２面を有する６面体形状をしており、１
１面側のｘ１面側はｘ２方向に１１面側のｘ２面側はｘ
１方向に１２面側のｘ１面側はｘ２方向に１２面側のｘ
２面側はｘ１方向に分極処理された圧電材料からなる振
動子と、前記駆動手段に接続され、前記振動子の１２面
とｘｌ面および１２面の２１面側および２２面側の１２
面端に配置された板状の駆動側電極と、前記検出手段に
接続され、前記振動子の１２面と１１面および１２面の
２１面側および２２面側の１１面端に配設された板状の
検出側電極とからなる。
りに回転したときに、Ｘ軸方向に発生したコリオリの力
による振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて
、ｚ軸方向に長軸を有し、Ｘ軸に交わる第１の側の１１
面と第２の側の１２面とｙ軸に交わる第１の側の７１面
と第２の側・の１２面と２軸に交わる第１の側の２１面
と第２の例の２２面を有する６面体形状をしており、１
１面側のｘ１面側はｘ２方向に１１面側のｘ２面側はｘ
１方向に１２面側のｘ１面側はｘ２方向に１２面側のｘ
２面側はｘ１方向に分極処理された圧電材料からなる振
動子と、前記駆動手段に接続され、前記振動子の１２面
とｘｌ面および１２面の２１面側および２２面側の１２
面端に配置された板状の駆動側電極と、前記検出手段に
接続され、前記振動子の１２面と１１面および１２面の
２１面側および２２面側の１１面端に配設された板状の
検出側電極とからなる。
（実施例）
以下、図面等を参照にして、本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明による振動ジャイロの実施例の形状を
示した斜視図およびその形状に対応する振動モードを示
した図、第２図は、本発明による振動ジャイロの電極配
置の第１の実施例を示した図である。
示した斜視図およびその形状に対応する振動モードを示
した図、第２図は、本発明による振動ジャイロの電極配
置の第１の実施例を示した図である。
音片１０は、長方体形状の振動子であって、圧電材料単
体で構成されている。圧電材料の例としては、Ｐ ｂ
Ｔ ｉ ＯＧ系、ＰＺＴ系、ＰＣＭ系などの材料が通し
ている。第１図（ａ）において、ｙ軸が励振方向であり
、ｚ軸を中心に各速度Ωで回転したときに、Ｘ軸方向に
コリオリの力が発生する。
体で構成されている。圧電材料の例としては、Ｐ ｂ
Ｔ ｉ ＯＧ系、ＰＺＴ系、ＰＣＭ系などの材料が通し
ている。第１図（ａ）において、ｙ軸が励振方向であり
、ｚ軸を中心に各速度Ωで回転したときに、Ｘ軸方向に
コリオリの力が発生する。
ここで、音片１０の各面を、前記ｘｙｚ座標を用いて、
Ｘ軸に交わる第１の側の面を１１面と、Ｘ軸に交わる第
２の側の面を１２面と、ｙ軸に交わる第１の側の面を７
１面と、ｙ軸に交わる第２の側の面を１２面と、ｚ軸に
交わる第１の側の面を２１面と、ｚ軸に交わる第２の側
の面を２２面と定義しておく。
Ｘ軸に交わる第１の側の面を１１面と、Ｘ軸に交わる第
２の側の面を１２面と、ｙ軸に交わる第１の側の面を７
１面と、ｙ軸に交わる第２の側の面を１２面と、ｚ軸に
交わる第１の側の面を２１面と、ｚ軸に交わる第２の側
の面を２２面と定義しておく。
この場合、音片１０をｙ軸方向に一次振動モードで励振
すれば、Ｘ軸方向のコリオリの力による振動も一次振動
モードになり（第１図（ｂ））、二次振動モードで励振
すれば、コリオリの力による振動も二次振動モードにな
る（第１図（Ｃ１’）。
すれば、Ｘ軸方向のコリオリの力による振動も一次振動
モードになり（第１図（ｂ））、二次振動モードで励振
すれば、コリオリの力による振動も二次振動モードにな
る（第１図（Ｃ１’）。
音片１０は、白抜きの矢印の方向に分極処理が施されて
いる。振動子１０の１２面およびＸｉ。
いる。振動子１０の１２面およびＸｉ。
１２面には駆動側の電極２０．２２．２４が配置されて
いる。また、振動子１０のｘｌおよび１２面には検出側
の電極２１．２３が配置されている。
いる。また、振動子１０のｘｌおよび１２面には検出側
の電極２１．２３が配置されている。
電極２２．２４は接続され、電極２３．２４は接地され
ている。
ている。
各電極２０〜２４の大きさは、音片１０の大きさに対応
して定められている。音片１０の長さを２、幅をｄとす
れば、電極２０〜２４の長さはＰｐ＃０．６Ｎ、幅はｗ
ｐ ＃ １ ／ ３ ｄで与えられる。
して定められている。音片１０の長さを２、幅をｄとす
れば、電極２０〜２４の長さはＰｐ＃０．６Ｎ、幅はｗ
ｐ ＃ １ ／ ３ ｄで与えられる。
この寸法にする理由は、音片１０の振動子としてのフィ
ギュアオブメリットに関係する容量比を最小にするとと
もに、スプリアスオフセット出力の原因となる３次振動
モードの振動の発生を抑止するためである。
ギュアオブメリットに関係する容量比を最小にするとと
もに、スプリアスオフセット出力の原因となる３次振動
モードの振動の発生を抑止するためである。
第２図において、ｒｙ端子に、交流信号を印加すると、
分極方向と同じ方向に一次振動モードで振動する（第１
図（ｂ）参照）。これを長軸方向を中心にして、角速度
Ωで回転させると、分穫方向と直交する方向に振動が生
ずる。このため、ｆｘ端子に角速度Ωに比例した振幅の
交流信号が出力される。
分極方向と同じ方向に一次振動モードで振動する（第１
図（ｂ）参照）。これを長軸方向を中心にして、角速度
Ωで回転させると、分穫方向と直交する方向に振動が生
ずる。このため、ｆｘ端子に角速度Ωに比例した振幅の
交流信号が出力される。
第３図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第２
の実施例を示した図である。
の実施例を示した図である。
第２の実施例は、分極方向を２方向にしたものであり、
電極の配置等は第１の実施例と同じである。つまり、音
片１０の中央部を境界として１０ａ部は第３図＋８）の
ように下向きに、１０ｂ部は上向きに分極処理されてい
る。
電極の配置等は第１の実施例と同じである。つまり、音
片１０の中央部を境界として１０ａ部は第３図＋８）の
ように下向きに、１０ｂ部は上向きに分極処理されてい
る。
第２の実施例のように構成すると、音片１０は２次振動
モードで動作する（第１図（Ｃ）参照）。
モードで動作する（第１図（Ｃ）参照）。
第４図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第３
の実施例を示した図である。
の実施例を示した図である。
第３の実施例では、分極方向は、第１の実施例と同じで
あるが、電極を分割しである。つまり、音片１０の１０
ａ ａＩＩＪには電極４０ａ 〜４４ａが配置され、
１０ｂ側には電極４０ｂ〜４４ｂが配置されている。
あるが、電極を分割しである。つまり、音片１０の１０
ａ ａＩＩＪには電極４０ａ 〜４４ａが配置され、
１０ｂ側には電極４０ｂ〜４４ｂが配置されている。
このように電極を配置することにより、音片１０は２次
振動モードで動作する。第２の実施例および第３の実施
例はともに２次振動モードで動作するが、第２の実施例
では連続した電極、第３の実施例では分割した電極を使
用している。第２の実施例は、効率上第３の実施例に劣
るが、接続線が少なくて済むという利点がある。逆に、
第３の実施例は、効率上は最適であるが接続線の数が多
くなる。
振動モードで動作する。第２の実施例および第３の実施
例はともに２次振動モードで動作するが、第２の実施例
では連続した電極、第３の実施例では分割した電極を使
用している。第２の実施例は、効率上第３の実施例に劣
るが、接続線が少なくて済むという利点がある。逆に、
第３の実施例は、効率上は最適であるが接続線の数が多
くなる。
第５図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第４
の実施例を示した図、第６図は、本発明による振動ジャ
イロの電極配置の第５の実施例を示した図である。
の実施例を示した図、第６図は、本発明による振動ジャ
イロの電極配置の第５の実施例を示した図である。
第４および第５の実施例では、音片１０の分極方向が部
分的に異なる例を示しており、第４の実施例は１次振動
モードで動作する場合、第５の実施例は２次振動モード
で動作する場合の分極方向および電極の配線が示されて
いる。各図において、白抜きの矢印が分極方向であり、
５０〜５５および６０ａ 〜６５ａ、６０ｂ〜６５ｂは
、電極である。
分的に異なる例を示しており、第４の実施例は１次振動
モードで動作する場合、第５の実施例は２次振動モード
で動作する場合の分極方向および電極の配線が示されて
いる。各図において、白抜きの矢印が分極方向であり、
５０〜５５および６０ａ 〜６５ａ、６０ｂ〜６５ｂは
、電極である。
以上説明した実施例の分極方向については、圧電材料単
体の中で部分的に変えることができ、その方向と配置の
組合せが種々考えられるが、本実施例ではその中で最も
実用性の高い組合せを示したものである。
体の中で部分的に変えることができ、その方向と配置の
組合せが種々考えられるが、本実施例ではその中で最も
実用性の高い組合せを示したものである。
なお、各実施例において、駆動方向と検出方向の関係を
逆にすることも、入出力の電極の接地を逆にすることも
可能である。
逆にすることも、入出力の電極の接地を逆にすることも
可能である。
（発明の効果）
以上詳しく説明したように、本発明によれば、振動を圧
電材料単体で構成したので、信頼性が高く製造が容易か
つ安価にできた。また、振動子に１次振動モードまたは
２次振動モードのいずれか１つの振動モードのみの振動
が発生するようにしたので、スプリアスオフセット出力
が少なく、Ｓ／Ｎ比を向上させることができた。さらに
、駆動系と検出系との共振周波数のマツチングが容易で
、効率のよい駆動と検出が可能である。さらにまた、振
動子の形状が単純であるので、振動の安定性が良く、安
定性のよい検出ができる等の効果がある。
電材料単体で構成したので、信頼性が高く製造が容易か
つ安価にできた。また、振動子に１次振動モードまたは
２次振動モードのいずれか１つの振動モードのみの振動
が発生するようにしたので、スプリアスオフセット出力
が少なく、Ｓ／Ｎ比を向上させることができた。さらに
、駆動系と検出系との共振周波数のマツチングが容易で
、効率のよい駆動と検出が可能である。さらにまた、振
動子の形状が単純であるので、振動の安定性が良く、安
定性のよい検出ができる等の効果がある。
第１図は、本発明による振動ジャイロの実施例の形状を
示した斜視図およびその形状に対応する振動モードを示
した図である。 第２図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第１
の実施例を示した図である。 第３図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第２
の実施例を示した図である。 第４図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第３
の実施例を示した図である。 第５図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第４
の実施例を示した図である。 第６図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第５
の実施例を示した図である。 第７図は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図である
。 ■・・・音叉アーム ２・・・支持棒３・・・ス
プリング ４・・・固定枠５・・・検出手段
６・・・励振手段１０・・・音片 ２０〜２４．３０〜３４．４０ａ 〜４４ａ。 ４０ｂ 〜４４ｂ、５０〜５５．６０ａ〜６５ａ。 ６０ｂ〜６５ｂ・・・電極 特許出願人 東京航空計器株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 ２１図 才２図 才３ＩＩ（Ｉ ２４図 （ｂ） ２５図 ２６図
示した斜視図およびその形状に対応する振動モードを示
した図である。 第２図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第１
の実施例を示した図である。 第３図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第２
の実施例を示した図である。 第４図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第３
の実施例を示した図である。 第５図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第４
の実施例を示した図である。 第６図は、本発明による振動ジャイロの電極配置の第５
の実施例を示した図である。 第７図は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図である
。 ■・・・音叉アーム ２・・・支持棒３・・・ス
プリング ４・・・固定枠５・・・検出手段
６・・・励振手段１０・・・音片 ２０〜２４．３０〜３４．４０ａ 〜４４ａ。 ４０ｂ 〜４４ｂ、５０〜５５．６０ａ〜６５ａ。 ６０ｂ〜６５ｂ・・・電極 特許出願人 東京航空計器株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 ２１図 才２図 才３ＩＩ（Ｉ ２４図 （ｂ） ２５図 ２６図
Claims (5)
- （１）ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回りに回転
したときに、ｘ軸方向に発生したコリオリの力による振
動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、ｚ軸方
向に長軸を有し、ｘ軸に交わる第１の側のｘ＿１面と第
２の側のｘ＿２面とｙ軸に交わる第１の側のｙ＿１面と
第２の側のｙ＿２面とｚ軸に交わる第１の側のｚ＿１面
と第２の側のｚ＿２面を有する６面体形状をしており、
ｘ軸方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、
前記駆動手段に接続され、前記振動子のｙ＿２面とｘ＿
１面およびｘ＿２面のｙ＿２面端に配置された板状の駆
動側電極と、前記検出手段に接続され、前記振動子のｘ
＿１面およびｘ＿２面のｙ＿１面端に配設された板状の
検出側電極とから構成したことを特徴とする振動ジャイ
ロ。 - （２）ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回りに回転
したときに、ｘ軸方向に発生したコリオリの力による振
動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、ｚ軸方
向に長軸を有し、ｘ軸に交わる第１の側のｘ＿１面と第
２の側のｘ＿２面とｙ軸に交わる第１の側のｙ＿１面と
第２の側のｙ＿２面とｚ軸に交わる第１の側のｚ＿１面
と第２の側のｚ＿２面を有する６面体形状をしており、
ｚ＿１面側とｚ＿２面側が異なるようにｘ軸方向に分極
処理された圧電材料からなる振動子と、前記駆動手段に
接続され、前記振動子のｙ＿２面とＸ＿１面およびｘ＿
２面のｙ＿２面端に配置された板状の駆動側電極と、前
記検出手段に接続され、前記振動子のｘ＿１面およびｘ
＿２面のｙ＿１面端に配設された板状の検出側電極とか
ら構成したことを特徴とする振動ジャイロ。 - （３）ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回りに回転
したときに、ｘ軸方向に発生したコリオリの力による振
動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、ｚ軸方
向に長軸を有し、ｘ軸に交わる第１の側のｘ＿１面と第
２の側のｘ＿２面とｙ軸に交わる第１の側のｙ＿１面と
第２の側のｙ＿２面とｚ軸に交わる第１の側のｚ＿１面
と第２の側のｚ＿２面を有する６面体形状をしており、
ｘ軸方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、
前記駆動手段に接続され、前記振動子のｙ＿２面のｚ＿
１面側およびｚ＿２面側とｘ＿１面およびｘ＿２面のｚ
＿１面側およびｚ＿２面側のｙ＿２面端とに配置された
板状の駆動側電極と、前記検出手段に接続され、前記振
動子のｘ＿１面およびｘ＿２面のｚ＿１面側およびｚ＿
２面側のｙ＿１面端に配設された板状の検出側電極とか
ら構成したことを特徴とする振動ジャイロ。 - （４）ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回りに回転
したときに、ｘ軸方向に発生したコリオリの力による振
動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、ｚ軸方
向に長軸を有し、ｘ軸に交わる第１の側のｘ＿１面と第
２の側のｘ＿２面とｙ軸に交わる第１の側のｙ＿１面と
第２の側のｙ＿２面とｚ軸に交わる第１の側のｚ＿１面
と第２の側のｚ＿２面を有する６面体形状をしており、
ｙ＿１面側のｘ＿１側はｘ＿１方向にｙ＿１面側のｘ＿
２側はｘ＿２方向にｙ＿２面側のｘ＿１面側はｘ＿１方
向にｙ＿２面側のｘ＿２面側はｘ＿１方向に分極処理さ
れた圧電材料からなる振動子と、前記駆動手段に接続さ
れ、前記振動子のｙ＿２面とｘ＿１面およびｘ＿２面の
ｙ＿２面端に配置された板状の駆動側電極と、前記検出
手段に接続され、前記振動子のｙ＿１面とｘ＿１面およ
びｘ＿２面のｙ＿１面端に配設された板状の検出側電極
とから構成したことを特徴とする振動ジャイロ。 - （５）ｙ軸方向に励振手段で励振させ、ｚ軸回りに回転
したときに、ｘ軸方向に発生したコリオリの力による振
動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、ｚ軸方
向に長軸を有し、ｘ軸に交わる第１の側のｘ＿１面と第
２の側のｘ＿２面とｙ軸に交わる第１の側のｙ＿１面と
第２の側のｙ＿２面とｚ軸に交わる第１の側のｚ＿１面
と第２の側のｚ＿２面を有する６面体形状をしており、
ｙ＿１面側のｘ＿１面側はｘ＿２方向にｙ＿１面側のｘ
＿２面側はｘ＿１方向にｙ＿２面側のｘ＿１面側はｘ＿
２方向にｙ＿２面側のｘ＿２面側はｘ＿１方向に分極処
理された圧電材料からなる振動子と、前記駆動手段に接
続され、前記振動子のｙ＿２面とｘ＿１面およびｘ＿２
面のｚ＿１面側およびｚ＿２面側のｙ＿２面端に配置さ
れた板状の駆動側電極と、前記検出手段に接続され、前
記振動子のｙ＿１面とｘ＿１面およびｘ＿２面のｚ＿１
面側およびｚ＿２面側のｙ＿１面端に配設された板状の
検出側電極とから構成したことを特徴とする振動ジャイ
ロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9062385A JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9062385A JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61247915A true JPS61247915A (ja) | 1986-11-05 |
| JPH0781865B2 JPH0781865B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=14003610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9062385A Expired - Lifetime JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781865B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03150914A (ja) * | 1989-11-07 | 1991-06-27 | Murata Mfg Co Ltd | 振動子 |
| JPH05322582A (ja) * | 1992-11-13 | 1993-12-07 | Murata Mfg Co Ltd | 振動ジャイロ |
| JPH0592635U (ja) * | 1992-03-11 | 1993-12-17 | 株式会社トーキン | 圧電振動ジャイロ |
| EP0751374A2 (en) * | 1995-06-27 | 1997-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrating gyroscope |
| WO1998019134A1 (fr) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Mitsui Chemicals, Inc. | Gyroscope a vibrations |
| US6016698A (en) * | 1988-08-12 | 2000-01-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibratory gyroscope including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction |
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| JPS58160809A (ja) * | 1981-12-08 | 1983-09-24 | ナシヨナル・リサ−チ・デイベロツプメント・コ−ポレイシヨン | ジヤイロスコ−プ |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP9062385A patent/JPH0781865B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US6209393B1 (en) | 1996-10-29 | 2001-04-03 | Mitsui Chemicals Inc. | Vibration gyroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0781865B2 (ja) | 1995-09-06 |
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