JPH0781865B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロInfo
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- JPH0781865B2 JPH0781865B2 JP9062385A JP9062385A JPH0781865B2 JP H0781865 B2 JPH0781865 B2 JP H0781865B2 JP 9062385 A JP9062385 A JP 9062385A JP 9062385 A JP9062385 A JP 9062385A JP H0781865 B2 JPH0781865 B2 JP H0781865B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、車両，船舶，飛行機，ロボット等の運動体の
方向・姿勢制御等に好適に利用できる振動ジャイロに関
し、特に、振動子を圧電材料単体で構成したときに、単
一振動モードで振動を検出できる電極の取付構造を有す
る振動ジャイロに関する。
方向・姿勢制御等に好適に利用できる振動ジャイロに関
し、特に、振動子を圧電材料単体で構成したときに、単
一振動モードで振動を検出できる電極の取付構造を有す
る振動ジャイロに関する。
（従来の技術） 振動ジャイロとは、ある方向に振動している振動子を長
軸回りに回転させ、その振動と直角方向にコリオリの力
を誘起させるものをいい、そのコリオリの力が回転速度
に比例するので、角速度センサとして利用されている。
軸回りに回転させ、その振動と直角方向にコリオリの力
を誘起させるものをいい、そのコリオリの力が回転速度
に比例するので、角速度センサとして利用されている。
振動ジャイロの形状としては音叉形，角棒（音片）形，
弦形などがあり、その基本構造はすでに知られている。
弦形などがあり、その基本構造はすでに知られている。
ここでは従来例として音叉形について説明する。第５図
は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図である。
は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図である。
第５図において、１は音叉アーム,2は支持棒,3はスプリ
ング,4は固定枠,5は検出手段,6は駆動手段である。
ング,4は固定枠,5は検出手段,6は駆動手段である。
音叉アーム１を駆動手段６により、ｙ方向に振動させ
る。このとき、音叉アーム１が支持棒２を長軸まわりに
角速度Ωで回転すると、ｙ方向に振動している音叉アー
ム１にコリオリの力が働き、ｘ方向にｙ方向と同じ周波
数の振動成分が発生する。その結果、音叉アーム１には
破線の矢印で示したような偶力が発生し、支持棒２にね
じりモーメントが作用して、スプリング３と釣り合う角
度分だけ回転する。この支持棒２の回転角を検出手段５
で検出すれば、この振動ジャイロ全体が支持されている
移動物体の回転速度を知ることができる。
る。このとき、音叉アーム１が支持棒２を長軸まわりに
角速度Ωで回転すると、ｙ方向に振動している音叉アー
ム１にコリオリの力が働き、ｘ方向にｙ方向と同じ周波
数の振動成分が発生する。その結果、音叉アーム１には
破線の矢印で示したような偶力が発生し、支持棒２にね
じりモーメントが作用して、スプリング３と釣り合う角
度分だけ回転する。この支持棒２の回転角を検出手段５
で検出すれば、この振動ジャイロ全体が支持されている
移動物体の回転速度を知ることができる。
駆動手段６としては、電磁力により駆動する手段，圧電
体により駆動する手段等が使用され、検出手段５として
は、電磁センサ，静電センサ，圧電センサ，光センサ等
が使用されている。
体により駆動する手段等が使用され、検出手段５として
は、電磁センサ，静電センサ，圧電センサ，光センサ等
が使用されている。
（発明が解決しようとする問題点） このような音叉形の振動子は、構造が複雑であり、振動
ジャイロ全体が大形かつ高価になるという問題点があっ
た。また、音叉アームのアンバランスによる影響が大き
く、外部振動の影響を受けやすいので、スプリアスな出
力が大きくなり、出力のS/N比が悪くなるという問題点
もあった。さらに、振動方向の分布素子系と検出方向の
集中素子系の共振周波数を合わせるのが困難であり、感
度の低下を招くおそれがあった。
ジャイロ全体が大形かつ高価になるという問題点があっ
た。また、音叉アームのアンバランスによる影響が大き
く、外部振動の影響を受けやすいので、スプリアスな出
力が大きくなり、出力のS/N比が悪くなるという問題点
もあった。さらに、振動方向の分布素子系と検出方向の
集中素子系の共振周波数を合わせるのが困難であり、感
度の低下を招くおそれがあった。
また、従来の振動ジャイロでは、振動子が複数の振動モ
ードで振動し、各振動モードの振動に対応してコリオリ
の力による振動が発生するので、他次振動モードを排除
して、必要な信号だけを取り出すことは難しかった。し
かも、この信号をできるだけ大きな信号として取り出す
ことが難しかった。
ードで振動し、各振動モードの振動に対応してコリオリ
の力による振動が発生するので、他次振動モードを排除
して、必要な信号だけを取り出すことは難しかった。し
かも、この信号をできるだけ大きな信号として取り出す
ことが難しかった。
本発明の目的は、振動子を圧電材料単体で構成し、その
振動子が１次振動モードまたは２次振動モードのみで振
動するように駆動側の電極を配置することにより、構造
が簡単で製作が容易かつ安価にでき、スプリアスな出力
を少なくしてS/N比を向上させるとともに、検出側との
共振周波数のマッチングがよく、効率の高い検出ができ
る振動ジャイロを提供することにある。
振動子が１次振動モードまたは２次振動モードのみで振
動するように駆動側の電極を配置することにより、構造
が簡単で製作が容易かつ安価にでき、スプリアスな出力
を少なくしてS/N比を向上させるとともに、検出側との
共振周波数のマッチングがよく、効率の高い検出ができ
る振動ジャイロを提供することにある。
（問題点を解決するための手段） 本発明による振動ジャイロは、以下に示す第１から第２
の構成により前記目的を達成するものである。
の構成により前記目的を達成するものである。
第１の構成は、ｘ軸方向に駆動手段で励振させ,z軸回り
に回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力によ
る振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面と ｙ軸に交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面と ｚ軸に交わる第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する
６面体形状をしており， z1面側とz2面側が異なるようにｘ軸方向に分極処理され
た圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面とx1面およ
びx2面のy2寄りの面端に配置された板状の駆動側電極
と、 前記検出手段に接続され，前記振動子のx1面およびx2面
のy1寄りの面端に配設された板状の検出側電極とからな
り、 各電極は分極の境界面を中心としてz1側とz2側に均等に
またがって配置されて構成されている。
に回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力によ
る振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面と ｙ軸に交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面と ｚ軸に交わる第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する
６面体形状をしており， z1面側とz2面側が異なるようにｘ軸方向に分極処理され
た圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面とx1面およ
びx2面のy2寄りの面端に配置された板状の駆動側電極
と、 前記検出手段に接続され，前記振動子のx1面およびx2面
のy1寄りの面端に配設された板状の検出側電極とからな
り、 各電極は分極の境界面を中心としてz1側とz2側に均等に
またがって配置されて構成されている。
第２の構成は、ｘ軸方向に駆動手段で励振させ,z軸回り
に回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力によ
る振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面とｙ軸に
交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面とｚ軸に交わる
第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する６面体形状を
しており， ｘ軸方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面のz1面側お
よびz2面側とx1面およびx2面のz1面側およびz2面側のy2
寄りの面端とに配置された板状の駆動側電極と、 前記検出手段に接続され、前記振動子のx1面およびx2面
のz1面側およびz2面側のy1寄りの面端に配設された板状
の検出側電極とからなり、 振動子のz1側半分とz2側半分がそれぞれ逆に振動するよ
うに電極を接続し，それに２次振動をさせる信号を印加
し,z1側とz2側からの逆相出力が加算されるように検出
するように構成されている。
に回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力によ
る振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面とｙ軸に
交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面とｚ軸に交わる
第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する６面体形状を
しており， ｘ軸方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面のz1面側お
よびz2面側とx1面およびx2面のz1面側およびz2面側のy2
寄りの面端とに配置された板状の駆動側電極と、 前記検出手段に接続され、前記振動子のx1面およびx2面
のz1面側およびz2面側のy1寄りの面端に配設された板状
の検出側電極とからなり、 振動子のz1側半分とz2側半分がそれぞれ逆に振動するよ
うに電極を接続し，それに２次振動をさせる信号を印加
し,z1側とz2側からの逆相出力が加算されるように検出
するように構成されている。
（実施例） 以下、図面等を参照して本発明を詳細に説明する。
第３図から第４図に示される本発明による振動ジャイロ
の実施例を説明する前に、第１図と第２図を参照してよ
り基本的なジャイロの動作を説明する。
の実施例を説明する前に、第１図と第２図を参照してよ
り基本的なジャイロの動作を説明する。
第１図は基本的な振動ジャイロの斜視図および振動モー
ドを示した図であり、第２図はその電極配置を示す図で
ある。
ドを示した図であり、第２図はその電極配置を示す図で
ある。
音片10は、長方体形状の振動子であって、圧電材料単体
で構成されている。
で構成されている。
圧電材料の例としては、PbTiO3系,PZT系,PCM系などの材
料が適している。
料が適している。
第１図（ａ）において、ｘ軸が励振方向であり、ｚ軸を
中心に角速度Ωで回転したときに、ｙ軸方向にコリオリ
の力が発生する。
中心に角速度Ωで回転したときに、ｙ軸方向にコリオリ
の力が発生する。
ここで、音片10の各面を前記xyz座標を用いて、ｘ軸に
交わる第１の側の面をx1面と,x軸に交わる第２の側の面
をx2面と,y軸に交わる第１の側の面をy1面と,y軸に交わ
る第２の側の面をy2面と,z軸に交わる第１の側の面をz1
面と,z軸に交わる第２の側の面をz2面と定義しておく。
交わる第１の側の面をx1面と,x軸に交わる第２の側の面
をx2面と,y軸に交わる第１の側の面をy1面と,y軸に交わ
る第２の側の面をy2面と,z軸に交わる第１の側の面をz1
面と,z軸に交わる第２の側の面をz2面と定義しておく。
この場合、音片10をｘ軸方向に一次振動モードで励振す
れば、ｙ軸方向のコリオリの力による振動も一次振動モ
ードになり（第１図（ｂ））、二次振動モードで励振す
れば、コリオリの力による振動も二次振動モードになる
（第１図（ｃ））。
れば、ｙ軸方向のコリオリの力による振動も一次振動モ
ードになり（第１図（ｂ））、二次振動モードで励振す
れば、コリオリの力による振動も二次振動モードになる
（第１図（ｃ））。
音片10は、白抜きの矢印の方向に分極処理が施されてい
る。振動子10のy2面およびx1,x2面には駆動側の電極20,
22,24が配置されている。
る。振動子10のy2面およびx1,x2面には駆動側の電極20,
22,24が配置されている。
また、振動子の10のx1およびx2面には検出側の電極21,2
3が配置されている。
3が配置されている。
電極22,24は接続され、電極23,24は接地されている。各
電極20〜24の大きさは、音片10の大きさに対応して定め
られている。
電極20〜24の大きさは、音片10の大きさに対応して定め
られている。
音片10の長さをl,幅をｄとすれば、電極20〜24の長さは
lp≒0.6，幅はwp≒1/3dで与えられる。この寸法にす
る理由は、音片10の振動子としてのフィギュアオブメリ
ットに関係する容量比を最小にするとともに、スプリア
スオフセット出力の原因となる３次振動モードの振動の
発生を抑止するためである。
lp≒0.6，幅はwp≒1/3dで与えられる。この寸法にす
る理由は、音片10の振動子としてのフィギュアオブメリ
ットに関係する容量比を最小にするとともに、スプリア
スオフセット出力の原因となる３次振動モードの振動の
発生を抑止するためである。
第２図に示す簡単な振動子を例にして駆動と検出の基本
的な態様を説明する。
的な態様を説明する。
〔駆動〕ドライブ端子（Dr 端子）20に交流信号を印加
する。
する。
電極20,22に囲まれる部分（第２図（ｂ）の破線の示す
部分の上側）でＺ軸方向に伸縮歪みが発生する。
部分の上側）でＺ軸方向に伸縮歪みが発生する。
電極20,24に囲まれる部分（第２図（ｂ）の破線の示す
部分の下側）でＺ軸方向に縮伸歪みが発生する。
部分の下側）でＺ軸方向に縮伸歪みが発生する。
その結果、第２図（ｃ）に示すようにｘ方向に振動す
る。
る。
〔検出〕振動子がｘ方向に振動している状態で電極21,2
3の出力電圧は零に近い値となる。
3の出力電圧は零に近い値となる。
ジャイロを回転し角速度を加える（長軸方向を中心にし
て、角速度Ωで回転させる）とコリオリの力により振動
子はｙ方向（分極方向と直交する方向）にも振動する。
て、角速度Ωで回転させる）とコリオリの力により振動
子はｙ方向（分極方向と直交する方向）にも振動する。
ｙ方向の振動に対して電極21,23にコリオリの力に比例
する電圧が発生する（ｙ方向の振動は電極21,23間の振
動子のｚ方向の伸縮を意味し，これに対応する電圧が電
極に現れる。）。
する電圧が発生する（ｙ方向の振動は電極21,23間の振
動子のｚ方向の伸縮を意味し，これに対応する電圧が電
極に現れる。）。
以上の動作を整理すると次のとおりである。
〔逆圧電効果〕ドライブ端子（Dr）に駆動電圧を印加し
て逆圧電効果により歪み振動を発生させる。
て逆圧電効果により歪み振動を発生させる。
〔コリオリの力〕ｚ軸中心の回転を加えてコリオリの力
による前記振動に直角方向の歪み振動を発生させ
る。
による前記振動に直角方向の歪み振動を発生させ
る。
〔圧電効果〕前記歪み振動による圧電効果により検出
電極（PU）に発生する電圧を検出する。
電極（PU）に発生する電圧を検出する。
第３図は本発明による振動ジャイロの第１の実施例を示
す図である。
す図である。
第２図に示した振動子と同様にｘ軸方向に駆動手段で励
振する。振動子をｚ軸回りに回転させるとｙ軸方向に発
生したコリオリの力による振動が発生する。
振する。振動子をｚ軸回りに回転させるとｙ軸方向に発
生したコリオリの力による振動が発生する。
振動子はｚ軸方向に長軸を有し,x軸に交わる第１の側の
x1面と第２の側のx2面とｙ軸に交わる第１の側のy1面と
第２の側のy2面とｚ軸に交わる第１の側のz1面と第２の
側のz2面を有する６面体形状をしている。
x1面と第２の側のx2面とｙ軸に交わる第１の側のy1面と
第２の側のy2面とｚ軸に交わる第１の側のz1面と第２の
側のz2面を有する６面体形状をしている。
この第１の実施例は、分極方向を２方向にしたものであ
り、z1面側とz2面側が異なるようにｘ軸方向に分極処理
されている。
り、z1面側とz2面側が異なるようにｘ軸方向に分極処理
されている。
駆動電極30,32,34は図示しない駆動手段に接続されてい
る。
る。
検出電極31,33は図示しない検出手段に接続されてい
る。
る。
〔駆動〕第２図と同様に電極30,32および34で囲まれる
部分でｚ軸方向の伸縮が発生する。左半分右半分の分極
方向が逆であるためｘ方向の２次屈曲振動となる。
部分でｚ軸方向の伸縮が発生する。左半分右半分の分極
方向が逆であるためｘ方向の２次屈曲振動となる。
第２図と同様に電極30,32または34の信号の大きさを変
えることにより振動の振幅を制御することができる。
えることにより振動の振幅を制御することができる。
〔検出〕ｘ方向の振動に対して電極31,33の出力は零と
なるが、コリオリの力によるｙ方向の振動に対して左半
分と右半の信号が加算されて31,33に圧電効果による電
圧が現れる。
なるが、コリオリの力によるｙ方向の振動に対して左半
分と右半の信号が加算されて31,33に圧電効果による電
圧が現れる。
第４図は本発明による振動ジャイロの第２の実施例を示
した図である。
した図である。
振動子は前記実施例同様に６面体であり分極方向は、第
２図に示した例と同じでｘ軸方向に分極処理されてい
る。そして電極はｚ軸方向に分割されている。
２図に示した例と同じでｘ軸方向に分極処理されてい
る。そして電極はｚ軸方向に分割されている。
つまり、音片10の10a側には電極40a〜44aが配置され、1
0b側には電極40b〜44bが配置されている。
0b側には電極40b〜44bが配置されている。
このように電極を配置することにより、音片10は２次振
動モードで動作する。
動モードで動作する。
第１の実施例および第２の実施例はともに２次振動モー
ドで動作するが、第１の実施例では連続した電極、第２
の実施例では分割した電極を使用している。
ドで動作するが、第１の実施例では連続した電極、第２
の実施例では分割した電極を使用している。
第１の実施例は、効率上第２の実施例に劣るが、接続線
が少なくて済むという利点がある。
が少なくて済むという利点がある。
逆に、第２の実施例は、効率上は最適であるが接続線の
数が多くなる。
数が多くなる。
〔駆動〕第２図，第３図と同様に電極を分割し、左半
分，右半分を逆相駆動しているためｘ方向の２次屈曲振
動となる。
分，右半分を逆相駆動しているためｘ方向の２次屈曲振
動となる。
第３図に示した実施例と同様40,42または40,44の信号の
大きさを変えることにより振動の振幅を制御することが
できる。
大きさを変えることにより振動の振幅を制御することが
できる。
〔検出〕第３図に示した実施例と同様に検出電極に圧電
効果により電圧が現れる。
効果により電圧が現れる。
左半分と右半分の出力が加算される。電極間はリード線
で図示のように接続されている。
で図示のように接続されている。
以上説明した実施例の分極方向については、圧電材料単
体の中で部分的に変えることができ、その方向と配置の
組合せが種々考えられるが、本実施例ではその中で最も
実用性の高い組合せを示したものである。
体の中で部分的に変えることができ、その方向と配置の
組合せが種々考えられるが、本実施例ではその中で最も
実用性の高い組合せを示したものである。
なお、各実施例において、駆動方向と検出方向の関係を
逆にすることも、入出力の電極の接地を逆にすることも
可能である。
逆にすることも、入出力の電極の接地を逆にすることも
可能である。
（発明の効果） 以上詳しく説明したように、本発明によれば、振動子を
圧電材料単体で構成したので、信頼性が高く製造が容易
かつ安価にできた。
圧電材料単体で構成したので、信頼性が高く製造が容易
かつ安価にできた。
また、振動子に１次振動モードまたは２次振動モードの
いずれか１つの振動モードのみの振動が発生するように
したので、スプリアスオフセット出力が少なく、S/N比
を向上させることができた。さらに、駆動系と検出系と
の共振周波数のマッチングが容易で、効率のよい駆動と
検出が可能である。さらにまた、振動子の形状が単純で
あるので、振動の安定性が良く、安定性のよい検出がで
きる等の効果がある。
いずれか１つの振動モードのみの振動が発生するように
したので、スプリアスオフセット出力が少なく、S/N比
を向上させることができた。さらに、駆動系と検出系と
の共振周波数のマッチングが容易で、効率のよい駆動と
検出が可能である。さらにまた、振動子の形状が単純で
あるので、振動の安定性が良く、安定性のよい検出がで
きる等の効果がある。
第１図は本発明の基礎となる振動ジャイロの形状を示し
た斜視図およびその形状に対応する振動モードを示した
図であり、第２図は前記ジャイロの電極配置と接続を示
した図である。 第３図は、本発明による振動ジャイロの第１の実施例を
示した図である。 第４図は、本発明による振動ジャイロの第２の実施例を
示した図である。 第５図は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図であ
る。 Dr……駆動端子、PU……検出端子 １……音叉アーム、２……支持棒 ３……スプリング、４……固定枠 ５……検出手段、６……励振手段 10……音片 20〜24,30〜34,40a〜44a, 40b〜44b,50〜55,60a〜65a, 60b〜65b……電極
た斜視図およびその形状に対応する振動モードを示した
図であり、第２図は前記ジャイロの電極配置と接続を示
した図である。 第３図は、本発明による振動ジャイロの第１の実施例を
示した図である。 第４図は、本発明による振動ジャイロの第２の実施例を
示した図である。 第５図は、振動ジャイロの従来例を示した斜視図であ
る。 Dr……駆動端子、PU……検出端子 １……音叉アーム、２……支持棒 ３……スプリング、４……固定枠 ５……検出手段、６……励振手段 10……音片 20〜24,30〜34,40a〜44a, 40b〜44b,50〜55,60a〜65a, 60b〜65b……電極
Claims (2)
- 【請求項１】ｘ軸方向に駆動手段で励振させ,z軸回りに
回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力による
振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面と ｙ軸に交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面と ｚ軸に交わる第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する
６面体形状をしており， z1面側とz2面側が異なるようにｘ軸方向に分極処理され
た圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面とx1面およ
びx2面のy2寄りの面端に配置された板状の駆動側電極
と、 前記検出手段に接続され，前記振動子のx1面およびx2面
のy1寄りの面端に配設された板状の検出側電極とからな
り、 各電極は分極の境界面を中心としてz1側とz2側に均等に
またがって配置されて構成したことを特徴とする振動ジ
ャイロ。 - 【請求項２】ｘ軸方向に駆動手段で励振させ,z軸回りに
回転したときに,y軸方向に発生したコリオリの力による
振動を検出手段で検出する振動ジャイロにおいて、 ｚ軸方向に長軸を有し， ｘ軸に交わる第１の側のx1面と第２の側のx2面とｙ軸に
交わる第１の側のy1面と第２の側のy2面とｚ軸に交わる
第１の側のz1面と第２の側のz2面を有する６面体形状を
しており， ｘ軸方向に分極処理された圧電材料からなる振動子と、 前記駆動手段に接続され，前記振動子のy2面のz1面側お
よびz2面側とx1面およびx2面のz1面側およびz2面側のy2
寄りの面端とに配置された板状の駆動側電極と、 前記検出手段に接続され、前記振動子のx1面およびx2面
のz1面側およびz2面側のy1寄りの面端に配設された板状
の検出側電極とからなり、 振動子のz1側半分とz2側半分がそれぞれ逆に振動するよ
うに電極を接続し，それに２次振動をさせる信号を印加
し,z1側とz2側からの逆相出力が加算されるように検出
するように構成した振動ジャイロ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9062385A JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9062385A JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61247915A JPS61247915A (ja) | 1986-11-05 |
| JPH0781865B2 true JPH0781865B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=14003610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9062385A Expired - Lifetime JPH0781865B2 (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | 振動ジャイロ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0781865B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5874674A (en) * | 1988-08-12 | 1999-02-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibrator including piezoelectric electrodes or detectors arranged to be non-parallel and non-perpendicular to coriolis force direction and vibratory gyroscope using the same |
| JP2608536B2 (ja) * | 1989-11-07 | 1997-05-07 | 株式会社村田製作所 | 振動子 |
| JPH0592635U (ja) * | 1992-03-11 | 1993-12-17 | 株式会社トーキン | 圧電振動ジャイロ |
| JPH0765898B2 (ja) * | 1992-11-13 | 1995-07-19 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| JP3000891B2 (ja) * | 1995-06-27 | 2000-01-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ |
| WO1998019134A1 (fr) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Mitsui Chemicals, Inc. | Gyroscope a vibrations |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4489609A (en) * | 1981-12-08 | 1984-12-25 | National Research Development Corporation | Gyroscopes |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP9062385A patent/JPH0781865B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61247915A (ja) | 1986-11-05 |
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