JP4710926B2 - 角速度センサ - Google Patents
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(数1)
F1=G1・m1
F2=G2・m2
この力F1、F2による電極錘31の変位量をA1、錘部22及びフレーム部21の変位量をA2とすると、これら変位量A1、A2はそれぞれ、次の数式2のように示される。
(数2)
A1=F1/k1
A2=F2/k2
これら変位量が外部加速度による力で同じになるように、k1及びk2を決めてやる必要があるので、A1=A2とすると、次の数式3に示される関係が導出される。
(数3)
k1=k2・m1/m2(これを関係式1とする)
各梁25、35のバネ定数を上記関係式1のように定めることによって、外部加速度が加わったときに質量部20と検出部30とをY方向へ同様に変位させることができ、外部加速度をキャンセルできる。
(数4)
ω1=(k1/m1)1/2
ω2=(k2/m2)1/2
ここで、両共振周波数ω1及びω2を一致させるため、ω1=ω2とすると、次の数式5に示されるように、上記関係式1と同一の関係が得られる。
(数5)
k1=k2・m1/m2
このように、基部10と、錘部22及び櫛歯電極(質量部電極)24を有する質量部20と、櫛歯電極24に間隔を有して対向配置された検出電極32とを備え、錘部22の駆動振動中に角速度が発生したとき、該質量部20に対して作用するコリオリ力により両電極24、32の対向間隔を変化させ該変化量に基づいて角速度を検出する角速度センサにおいて、検出電極32に質量部としての電極錘31を一体化させ、この電極錘31を電極梁35により基部10に連結し、さらに、上記質量m1及びm2、バネ定数k1及びk2を上記関係式1のような関係とすることで、本発明の目的に叶う角速度センサを提供することができる。
なお、対向間隔の変化によって容量変化を検出する質量部電極及び検出電極の形状としては、上記の櫛歯状のものに限定されない。また、上記実施形態では、梁25、35を用いて、外部加速度が加わったときに、検出部30と質量部20とを互いに同様に変位させるようにしたが、梁に限定することなく、何らかのバネ機能を有するバネ部材を用いても良い。
20 質量部
22 錘部
25 検出梁
30 検出部
35 電極梁
Claims (2)
- 所定方向に駆動振動可能な錘部(22)を有する質量部(20)と、前記質量部に間隔を有して対向配置された検出部(30)とを備え、
前記錘部の駆動振動中に角速度が発生したとき、前記質量部に対して作用するコリオリ力によって前記質量部と前記検出部との対向部の間隔を変化させ、この変化量に基づいて前記角速度を検出するようにした角速度センサにおいて、
前記コリオリ力の作用方向に弾性機能を有する部材によって、外部加速度が加わったときに、前記検出部は前記コリオリ力の作用方向へ前記質量部と同様に変位可能となっていることを特徴とする角速度センサ。 - 前記弾性機能を有する部材は、バネ部材であることを特徴とする請求項1に記載の角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008089656A JP4710926B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008089656A JP4710926B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 角速度センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31555399A Division JP4126826B2 (ja) | 1999-11-05 | 1999-11-05 | 角速度センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008170455A JP2008170455A (ja) | 2008-07-24 |
JP4710926B2 true JP4710926B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=39698650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008089656A Expired - Fee Related JP4710926B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 角速度センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4710926B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103717997B (zh) | 2011-08-09 | 2016-03-02 | 丰田自动车株式会社 | 位移量监视电极的构造 |
US8991252B2 (en) | 2011-08-26 | 2015-03-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Displacement amount monitoring electrode arrangement |
US20180236960A1 (en) * | 2017-02-22 | 2018-08-23 | Bgm Engineering, Inc. | Low-Cost Weight Measurement and Sensing System |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10170276A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-26 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 共振型角速度センサ |
JP2001133268A (ja) * | 1999-11-05 | 2001-05-18 | Denso Corp | 角速度センサ |
-
2008
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008170455A (ja) | 2008-07-24 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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