JP6191151B2 - 物理量センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態では、物理量センサとして振動型角速度センサ(ジャイロセンサ)を例に挙げて説明する。
上記実施形態では、基板10としてSOI基板を用いる場合について説明したが、これは基板10の一例を示したものであり、SOI基板以外のものを用いても良い。
20 固定部
21 支持用固定部
22、23 駆動用固定部
24、25 検出用固定部
24b、25b 検出用固定電極
30 可動部
31、32 外側駆動錘
33、34 内側駆動錘
35、36 検出錘
35b、36b 検出用可動電極
43 支持部材
Claims (4)
- 基板(10)と、
前記基板に対して第1バネ(43b)を介して支持された駆動錘(33、34)と、
前記駆動錘に対して第2バネ(41)を介して支持され、検出用可動電極(35b、36b)を備えた検出錘(35、36)と、
前記検出用可動電極に対して対向配置された検出用固定電極(24b、25b)を備えた検出用固定部(24、25)とを有し、
前記駆動錘を駆動振動させているときに物理量が印加されると、該物理量の印加に伴って前記検出用可動電極が前記検出錘と共に変位することで、前記検出用可動電極と前記検出用固定電極との間の間隔が変化することに基づいて前記物理量の検出を行い、
物理量の印加に伴って、前記駆動錘および前記検出錘が同方向に移動する同相モードの共振周波数をf1、前記駆動錘および前記検出錘が逆方向に移動する同相吸収モードの共振周波数をf3、nを整数とすると、前記nが共振周波数f1のn倍が共振周波数f3に最も近い周波数となる場合の整数であり、前記同相吸収モードの共振周波数f3が前記同相モードの共振周波数f1より大きく、前記同相吸収モードの共振周波数f3と前記同相モードの共振周波数f1のn倍の値との差の絶対値Δf3が、前記同相吸収モードの共振周波数f3を前記同相モードの共振周波数f1のn倍の値から乖離させる度合いを示す回避差Dを前記同相モードの共振周波数f1に対して掛けた値よりも大きくなる関係が成り立ち、かつ、前記回避差Dが0%より大きくされていることを特徴とする物理量センサ。 - 前記回避差Dが5%以上とされていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記回避差Dが10%以上とされていることを特徴とする請求項1に記載の物理量センサ。
- 前記駆動錘は、前記検出錘の周囲を囲むと共に前記第2バネに相当する検出梁(41)を介して前記検出錘を連結する一対の内側駆動錘(33、34)とされ、
前記一対の内側駆動錘を挟んだ両側に配置された一対の外側駆動錘(31、32)と、
前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とを、互いに逆方向に振動させる静電引力を発生させる駆動用固定部(22、23)とを有し、
前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とが駆動梁(42)にて連結されていると共に、
前記第1バネを含む支持部材(43)にて、前記外側駆動錘および前記検出錘が連結された前記内側駆動錘を前記基板に支持しており、
前記駆動用固定部が発生させる静電引力に基づいて前記駆動梁を撓ませて前記外側駆動錘と前記内側駆動錘とを振動させるセンサ駆動を行い、該センサ駆動中に物理量として角速度が印加されると前記検出梁が撓むことによって前記検出錘が前記内側駆動錘の振動方向と垂直方向に移動させられ、前記検出用固定電極と前記検出用可動電極の容量が変化することに基づいて前記角速度を検出するように構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の物理量センサを角速度検出に適用した振動型角速度センサ。
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