JP6176001B2 - ジャイロセンサ - Google Patents

Description

本発明は、基板平面（ｘｙ平面）方向に対して検出錘を駆動振動させると共に、角速度の印加に伴って検出錘を基板垂直方向（以下、ｚ軸方向という）に移動させることで角速度検出を行うジャイロセンサに関するものである。例えば、本発明は、車両におけるロール方向の角速度検出などを行うジャイロセンサに適用されると好適である。

従来より、角速度の検出に用いられるセンサとして、例えば特許文献１に示されるようなジャイロセンサが知られている。この種のジャイロセンサは、基板平面方向に振動させられる駆動錘と、この駆動錘に対して検出バネを介して接続された検出錘とを有し、駆動錘を駆動振動させつつ角速度印加によって基板垂直方向に検出錘が振動させられることに基づいて角速度検出を行う。特許文献１に示されるジャイロセンサでは、ディスク状に駆動錘および検出錘を配置した構造とされ、角速度検出時にはディスク中心を中心として揺動させるように駆動錘を振動させることによって角速度検出を行っている。すなわち、角速度印加に基づいて、ディスク中心を挟んだ左右両側において検出錘がシーソーのように相対向してディスク平面に対する垂直方向（ｚ軸方向）に上下振動させられるため、その左右での上下振動に基づく差動出力を得ることで、角速度検出を行っている。

特開２００１−２５５１５３号公報

しかしながら、特許文献１のようなジャイロセンサでは、ｚ軸方向への衝撃を受けたときに出力誤差が大きくなるという問題が発生する。具体的には、ｚ軸方向への衝撃を受けたときに、ディスク中心を挟んだ左右両側においてｚ軸方向に検出錘が移動させられることになる。このとき、左右両側において共に同調して検出錘が動けば作動出力を取るときに各出力中の衝撃振動成分がキャンセルされるため問題ないが、同調しないと、それが大きな出力誤差として現れることになる。このような大きな出力誤差が発生すると、正確な角速度検出が行えなくなるため、好ましくない。

本発明は上記点に鑑みて、衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、固定部（２０）に対して支持梁（４１）を介して接続され、基板（１０）の平面上の一方向をｘ軸方向、該ｘ軸方向に対する垂直方向をｙ軸方向として、角速度検出の際に、支持梁の変位に基づいてｘｙ平面上において往復回転振動させられる質量部（３１ａ）を有する駆動錘（３１）を備えた可動部（３０）と、駆動錘に対して検出梁（４２、４３）を介して接続され、ｘ軸方向に並べられた２つの検出錘（３２、３３）と、２つの検出錘を連結する連成バネ（４４）と、基板の平面に対する垂直方向をｚ軸方向として、２つの検出錘それぞれからｚ軸方向において所定距離離間して配置された検出電極（１４）と、を有した構成とされていることを特徴とする。具体的には、連成バネは、２つの検出錘それぞれに接続されたトーションバネ（４４ａ）と、一方の検出錘に接続されたトーションバネと他方の検出錘に接続されたトーションバネとを連結する中間剛体（４４ｂ）とを備えた構成とされている。

このような構成のジャイロセンサは、角速度印加に伴って２つの検出錘がｚ軸方向において互いに逆方向に振動させられることで２つの検出錘と検出電極との間の距離を変化させる。これにより、２つの検出錘と検出電極の間に構成された２つの容量値が変化することに基づいて、２つの容量値の変化を示す信号の差動出力を用いて角速度検出を行う。

そして、連成バネによって両検出錘を連結しているため、両検出錘を同調して動くようにでき、必ず同相モードと逆相モードの２パターンの動きにすることができる。そして、両検出錘が同調して動くことから、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを持つようにできると共に、各部の設定に基づいて同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを分離できる。このため、衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサとすることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明と基本的には同じ構造のジャイロセンサであるが、２つの検出錘（３２、３３）を駆動錘に対して一体的に構成してｘ軸方向に並べた構造としたものである。このような構造のジャイロセンサにおいても、請求項１と同様の効果を得ることができる。

請求項６に記載の発明では、請求項１ないし５のいずれか１つに記載のジャイロセンサを第１ジャイロセンサ（１００）として、基板に形成され、ｘｙ平面上におけるｚ軸周りの角速度を検出する第２ジャイロセンサ（２００）と、基板に形成され、ｘｙ平面に平行な一方向の加速度を検出する加速度センサ（４００）とが、１チップ化されていることを特徴としている。

このように、請求項１ないし５のいずれか１つに記載のジャイロセンサを第１ジャイロセンサとれば、第１ジャイロセンサを第２ジャイロセンサや加速度センサと１チップ化することが可能な複合センサにできる。これにより、各センサを異なるチップに形成する場合と比較して、複合センサの簡素化を図ることが可能となる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。

本発明の第１実施形態にかかるジャイロセンサの正面図である。 図１のII−II線上の断面図である。 ジャイロセンサの基本動作時の様子を示した模式図である。 ジャイロセンサの検出部の静止状態の様子を示した模式図である。 ジャイロセンサの検出部の同相モードの様子を示した模式図である。 ジャイロセンサの検出部の逆相モードの様子を示した模式図である。 ジャイロセンサの共振倍率の周波数特性（応答曲線）を示した図である。 D.R.と耐衝撃性との関係を示したグラフである。 ジャイロセンサの各部の定数などを示した模式図である。 D.R.の狙い値に対する出来栄えの関係を示した図である。 従来構造の場合と、第１実施形態のように同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiを分けた場合と、さらにD.R.がばらつきにくい構造とした場合それぞれの耐衝撃性のバラツキを調べた結果を示した図である。 本発明の第２実施形態にかかるジャイロセンサの正面図である。 駆動連成バネ３１ｅや中間剛体４４ｂに備えられるバネ４４ｂａの一例を示した拡大正面図である。 本発明の第３実施形態にかかるジャイロセンサの正面図である。 検出梁４２、４３に備えられる駆動バネ４２ａ、４３ａの一例を示した拡大正面図である。 中間剛体４４ｂに備えられるバネ４４ｂｂの一例を示した拡大正面図である。 本発明の第４実施形態にかかる複合センサの正面図である。

以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。

（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態で説明するジャイロセンサは、物理量として角速度を検出するためのセンサであり、例えば車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出に用いられるが、勿論、ジャイロセンサを車両用以外に適用することもできる。

ジャイロセンサは、図１の紙面法線方向が車両の上下方向と一致するようにして車両に搭載される。図１に示すように、ジャイロセンサは、板状の基板１０の一面側に形成されている。基板１０は、例えば図２に示すように、支持基板１１と半導体層１２とで犠牲層となる埋込酸化膜１３を挟み込んだ構造とされたＳＯＩ（Silicon on insulator）基板にて構成されている。このようなセンサ構造は、半導体層１２側をセンサ構造体のパターンにエッチングしたのち埋込酸化膜１３を部分的に除去し、センサ構造体の一部をリリースしてフローティング状態にすることで構成される。

なお、半導体層１２の表面に平行な面上の一方向であって紙面左右方向をｘ軸方向、このｘ軸方向に直角となる紙面上下方向をｙ軸方向、半導体層１２の一面に垂直な方向をｚ軸方向として、以下の説明を行う。

図１に示すように、半導体層１２は、固定部２０と可動部３０および梁部４０とにパターニングされている。固定部２０は、少なくともその裏面の一部に埋込酸化膜１３が残されており、支持基板１１からリリースされることなく、埋込酸化膜１３を介して支持基板１１に固定された状態とされている。可動部３０および梁部４０は、ジャイロセンサにおける振動子を構成するものである。可動部３０は、その裏面側の埋込酸化膜１３が除去されており、支持基板１１からリリースされてフローティング状態とされている。梁部４０は、可動部３０を支持しており、角速度検出を行うために可動部３０をｘｙ平面上において駆動振動させると共に、角速度印加に伴って可動部３０の一部をｚ軸方向に変位させるものである。これら固定部２０と可動部３０および梁部４０の具体的な構造を説明する。

固定部２０は、可動部３０を支持するための支持用固定部２１、駆動用電圧が印加される駆動用固定部２２、２３とを有した構成とされている。

支持用固定部２１は、例えば、固定部２０のうちの他の部分（駆動用固定部２２、２３）に対して分離されており、可動部３０を中心とした対称位置に配置されていて、梁部４０の一部である支持梁４１を介して可動部３０を支持している。本実施形態では、支持用固定部２１は、可動部３０を中心とした左右両側に配置され、可動部３０を二箇所で支持している。

駆動用固定部２２、２３は、駆動用電圧が印加されるものであり、互いに分離されていて、異なる電位を印加できるように構成されている。これら駆動用固定部２２、２３は、基部２２ａ、２３ａと櫛歯状の駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂを備えた構成とされている。

基部２２ａ、２３ａは、本実施形態では、可動部３０などのセンサ構造体の周囲を囲むように配置されており、可動部３０の紙面左半分を基部２２ａで囲み、紙面右半分を基部２３ａで囲んでいる。この基部２２ａ、２３ａに対して駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂが接続されており、基部２２ａ、２３ａに備えられた図示しないボンディングパッドに接続されるボンディングワイヤを通じて、外部からＡＣ電圧（駆動用電圧）が印加できる構成とされている。この基部２２ａ、２３ａに対して所望のＡＣ電圧を印加することで、各駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂにも所望のＡＣ電圧が印加できるようになっている。

駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂは、可動部３０に備えられた櫛歯状の駆動用可動電極３１ｂの各櫛歯と対向配置された櫛歯状の電極である。具体的には、駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂは、ｘ軸方向に延設された複数の支持部２２ｃ、２３ｃと、各支持部２２ｃ、２３ｃからｙ軸方向に延設された等間隔配置の複数の櫛歯状電極２２ｄ、２３ｄにより構成されている。このような構造の駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂが基部２２ａ、２３ａに接続されることで、複数の櫛歯状電極２２ｄ、２３ｄそれぞれに一様にＡＣ電圧を印加できるようになっている。

このような構造により、固定部２０が構成されている。なお、ここでは基部２２ａ、２３ａをセンサ構造体の周囲を囲む構成とし、支持用固定部２１を部分的に配置した構造としたが、基部２２ａ、２３ａを部分的に配置し、支持用固定部２１をセンサ構造体の周囲を囲む構成とするなど、他の構造としても良い。

可動部３０は、角速度検出の際に駆動振動させられたり、角速度印加に応じて変位する部分であり、外側駆動錘３１と検出錘３２、３３などを有した構成とされている。可動部３０は、略円環状とされた外側駆動錘３１の中に梁部４０の一部を介して検出錘３２、３３を内蔵したレイアウトとされている。

外側駆動錘３１は、検出錘３２、３３の外側に配置される駆動錘であり、質量部３１ａと駆動用可動電極３１ｂとを有した構成とされている。

質量部３１ａは、外側駆動錘３１の外形を構成している部分であり、円環状で構成されている。質量部３１ａは、駆動用固定部２２、２３の内壁面に沿って配置されており、この質量部３１ａが錘としての役割を果たし、質量部３１ａの中心を回転中心として外側駆動錘３１がｚ軸回りに回転可能に構成されている。

駆動用可動電極３１ｂは、駆動用固定部２２、２３に備えられた櫛歯状の駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂの各櫛歯と対向配置された櫛歯状の電極である。具体的には、駆動用可動電極３１ｂは、ｘ軸方向に延設された複数の支持部３１ｃと、各支持部３１ｃからｙ軸方向に延設された等間隔配置の複数の櫛歯状電極３１ｄにより構成されている。このような構造の駆動用可動電極３１ｂの先端に、支持梁４１が接続され、これが支持用固定部２１に接続されることで、可動部３０がフローティング状態で支持用固定部２１に懸架される。

検出錘３２、３３は、平板状とされ、それぞれ梁部４０の一部である検出梁４２、４３を介して質量部３１ａの内側に支持されている。具体的には、検出錘３２、３３は、質量部３１ａの中心に対して対称位置に一対となって配置されており、本実施形態ではｘ軸方向に２つ並べて配置されている。検出錘３２、３３は、それぞれｙ軸方向の両側に延設された２本の検出梁４２、４３によって支持されているが、検出梁４２、４３の接続位置を検出梁３２における質量部３１ａの端部、望ましくは中心側の端部に寄せることで、片持ち構造となるようにしている。つまり、各検出錘３２、３３を２本の検出梁４２、４３で支持しつつ、検出梁４２を検出錘３２におけるｘ軸方向の片側（質量部３１ａの中心側）に寄せて接続し、検出梁４３を検出錘３３におけるｘ軸方向の片側（質量部３１ａの中心側）に寄せて接続している。このため、角速度印加時には、検出錘３２、３３は検出梁４２、４３で支持されている側（以下、支持側という）の端部は振動の節となってあまり変位せず、その反対側（以下、非支持側という）の端部で大きく変位させることができる。

そして、図２に示すように、支持基板１１のうち半導体層１２側の表面における検出錘３２、３３と対応する位置（図１中一点鎖線）には検出電極１４が形成されている。角速度印加時には、この検出電極１４と錘３２、３３との間の距離が変位することに基づいて、角速度検出を行う。

なお、本実施形態では、上記のように検出錘３２、３３を片持ち構造によって支持しているが、これによりＳ／Ｎ比を向上させることが可能となる。すなわち、検出錘３２、３３のｘ軸方向の両側に検出梁４２、４３を配置した両持ち構造にすることで検出錘３２、３３がｘｙ平面と平行に変位する構造にすることもできる。しかしながら、両持ち構造にした場合、バネとなる検出針４２、４３の接続箇所が増えて、共振モードが増加し、不要な共振モードも増えて好ましくない。したがって、本実施形態のような片持ち構造によって検出錘３２、３３を支持するのが好ましい。

梁部４０は、上記した支持梁４１や検出梁４２、４３に加えて、連成バネ４４を有した構成とされている。

支持梁４１は、可動部３０を基板１０に対してフローティング状態で支持すると共に、ｘｙ平面における可動部３０の移動を可能に支持するバネとして機能する。本実施形態では、支持梁４１を駆動用可動電極３１ｂにおける支持部３１ｃの先端と支持用固定部２１の間を連結させる構造とし、支持梁４１の幅を支持部３１ｃよりも小さくすることでバネとして機能するようにしている。しかしながら、支持梁４１を駆動用可動電極３１ｂに連結させる必要はなく、駆動用可動電極３１ｂとは別の場所に配置しても良い。

検出梁４２、４３は、各検出錘３２、３３を質量部３１ａに接続すると共に、検出錘３２、３３の外側駆動錘３１と一体となったｘｙ平面内への移動と外側駆動錘３１と独立したｚ軸方向への移動を可能とする検出バネである。本実施形態では、検出梁４２、４３は、ｙ軸方向に伸ばされた直線状梁で構成されており、紙面上下方向において検出錘３２、３３を挟んだ両側に一本ずつ配置され、質量部３１ａの内周面に接続されている。検出梁４２、４３のうち特に検出錘３２、３３との接続箇所が捻じれ、トーションバネ（捻りバネ）として機能する。これにより、検出錘３２、３３を支持側で支持しつつ、非支持側で変位させられるようになっている。

連成バネ４４は、両検出錘３２、３３を連結するものであり、折返梁４４ａと中間剛体４４ｂとを有した構成とされている。この連成バネ４４によって両検出錘３２、３３を連結することにより、検出錘３２、３３を同調して動くようにできる。

折返梁４４ａは、トーションバネを構成するものであり、両検出錘３２、３３における非支持側において検出梁４２、４３よりも質量部３１ａの中心側に配置されている。折返梁４４ａは、四角形の枠体形状に折り返された梁で構成されており、検出錘３２、３３における非支持側の両コーナー部に接続され、ｙ軸方向と平行な２辺とｘ軸と平行な１辺とによって構成されている。そして、折返梁４４ａのちのｙ軸方向と平行な辺が捻じれ、トーションバネとして機能する。

中間剛体４４ｂは、両折返梁４４ａを連結するものである。本実施形態では、中間剛体４４ｂを直線状の部材とし、折返梁４４ａのうちｙ軸と平行な辺の中心位置に接続してある。中間剛体４４ｂは、ｙ軸方向の厚みが折返梁４４ａのｘ軸方向の厚みよりも大きくされている。このため、センサ動作時には折返梁４４ａが変位し、中間剛体４４ｂは捻じれ変形することなく両折返梁４４ａの間の距離を保ちながらこれらを連結する。

以上のような構造により、質量部３１ａ内において検出梁４２、４３に支持された一対の検出錘３２、３３が配置されると共に、検出錘３２、３３が連成バネ４４を介して連結された構造のジャイロセンサが構成されている。

続いて、このように構成されたジャイロセンサの作動について図３を参照して説明する。図３中の丸の中に黒丸を示した記号は紙面垂直方向向こう側、丸の中に×印を示した記号は紙面垂直方向手前側に振動することを示している。

図３に示すように、角速度検出時には、ジャイロセンサは基本動作として、外側駆動錘３１を駆動振動させるという動作、本実施形態の場合には質量部３１ａの中心を回転中心として外側駆動錘３１を往復回転振動させるという動作を行う。具体的には、駆動用固定部２２、２３に対してＡＣ電圧を印加することにより、外側駆動錘３１との間に電位差を発生させると、その電位差に基づき、駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂと駆動用可動電極３１ｂとの間においてｙ軸方向の静電気力が発生する。この静電力に基づいて、外側駆動錘３１が質量部３１ａの中心を回転中心として往復回転振動させられる。また、図３中の矢印で示すように、外側駆動錘３１の振動方向に対して検出錘３２、３３が逆方向に振動させられる。そして、ＡＣ電圧の周波数を変えながら外側駆動錘３１の振動をモニタし、ＡＣ電圧の周波数が所望の駆動共振周波数となるように調整する。

このようにして、角速度検出時には、ジャイロセンサは可動部３０が駆動振動されるという基本動作を行う。

そして、上記した図３のような基本動作を行っている際にジャイロセンサにｘ軸回りの角速度が印加されると、コリオリ力により、検出錘３２、３３がｚ軸方向において互いに逆方向へ変位する。この変位により、検出錘３２、３３と検出電極１４との間の距離が変化し、これらによって構成されるキャパシタの容量値が変化する。そして、検出錘３２、３３と検出電極１４との間の距離が角速度の大きさに応じて変化することから、キャパシタの容量値も角速度の大きさに応じて変化する。

このため、検出錘３２、３３それぞれと対向配置された検出電極１４から引き出された図示しない配線パターンを通じての信号取り出しに基づいて、各キャパシタの容量値の変化を読み取ることにより、角速度を検出することができる。そして、本実施形態のような構成の場合、一対の検出錘３２、３３および検出電極１４を用いた２組の角速度検出構造それぞれから取り出した信号の差動出力を得ることでキャパシタの容量値の変化を読み取ることが可能となる。このため、角速度と加速度を区別して検出することが可能となる。

ここで、上記のような検出原理によって角速度検出を行っているが、２つの検出錘３２、３３は、連成バネ４４によって連結されているため、同調して動く。このため、検出錘３２、３３は、ｚ軸方向において同方向に振動する同相モードと、互いに逆方向に振動する逆相モードで動き、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiを有したものとなる。これについて、図４Ａ〜図４Ｃを参照して説明する。

本実施形態にかかるジャイロセンサの静止状態、同相モードおよび逆相モードの際の状態を模式的に描くと、それぞれ図４Ａ〜図４Ｃのように表される。すなわち、検出錘３２、３３が支持側において検出梁４２、４３に支持され、その支持側において、連成バネ４４を構成する折返梁４４ａおよび中間剛体４４ｂに接続されている。これらのうち、検出梁４２、４３および折返梁４４ａのうちｙ軸と平行な部分が捻りバネとなる。図４Ａ〜図４Ｃ中では、これら捻りバネとなる部分を丸印で示してあり、剛体となる部分を四角印で示してある。また、図中では、各検出錘３２、３３と中間剛体４４ｂとの間において、折返梁４４ａを２つの丸印と１つの四角印で示したが、折返梁４４ａのうちｙ軸と平行な２辺が捻りバネ、ｘ軸と平行な１辺が剛体となる。

静止状態においては、図４Ａに示すように、検出錘３２、検出梁４２、４３および連成バネ４４がｘｙ平面と平行な状態となる。同相モードにおいては、図４Ｂに示すように、検出錘３２、３３の非支持側が共に同方向に変位し、中間剛体４４ｂが検出錘３２、３３と逆方向に変位する状態となる。また、逆相モードにおいては、図４Ｃに示すように、検出錘３２、３３の非支持側が互いに逆方向に変位する状態となる。

上記したように、通常の駆動状態においては、コリオリ力によって検出錘３２、３３がｚ軸方向において互いに逆方向へ変位することから、逆相モードで振動させられることになる。そして、ジャイロセンサに対してｚ軸方向への衝撃が加えられた場合には、ともに同相モードで変化をするのであれば、２組の角速度検出構造それぞれから取り出した信号を差動増幅していることから、その衝撃に基づく振動に起因する信号が相殺される。しかしながら、衝撃は同相モードで印加されるが、ジャイロセンサ固有の逆相モードの共振周波数が同相モードの共振周波数の近傍に位置している場合、同相モードの励振が逆相モードの振動を誘発することとなる。このため、出力誤差として現れる。

ｚ軸方向への衝撃を受けたときに、その衝撃に含まれる様々な周波数成分に応じて共振倍率、（応答の強さ）が変わる。具体的には、同相モードで駆動させた際の共振倍率の周波数特性（応答曲線）は図５のように表されることを確認しており、同相モードの共振周波数finにおいて最も共振倍率が大きくなる。そして、同相モードの共振周波数finを中心として他の周波数域では急激に共振倍率が低下し、同相モードの共振周波数finから離れるほど低下していく。ただし、同相モードの共振周波数finとは別に逆相モードの共振周波数fantiが存在し、この逆相モードの共振周波数fantiでも同相モードの共振周波数finよりは十分小さいものの、共振倍率がある程度大きくなる。衝撃により励起された同相モードの振動が、２つの検出錘３２、３３を逆方向へ振動させる動き、すなわち逆相モードの振動を誘発し、上記のような出力誤差を発生させるのである。

そして、本発明者らが鋭意検討を行ったところ、この逆相モードの共振周波数fantiについては同相モードの共振周波数finの近くに存在するほどその共振周波数fantiでの共振倍率が大きくなることが確認された。すなわち、図５に示されるように同相モードの共振周波数finを中心として共振倍率が減衰されていく。しかしながら、逆相モードの共振周波数fantiが同相モードの共振周波数finに近すぎると、衝撃により励起された同相モードの振動が十分減衰されないまま、逆相モードの振動を誘発することとなるのである。

したがって、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとが離れるようにすることで、衝撃により励起される同相モードの振動が、逆相モードの共振周波数fanti付近では十分減衰された領域となるようにでき、逆相モードの動きの誘発を抑制することが可能になると言える。そして、共振倍率の周波数特性ついては、ｚ軸方向の変位を許容するバネ等、つまり本実施形態の場合であれば検出梁４２、４３や折返梁４４ａに加えて、中間剛体４４ｂの長さの設定に基づいて調整することができる。これに基づいて、本発明者らがｚ軸方向の変位を許容するバネ等を調整して共振倍率の周波数特性を調べた。その結果、逆相モードの共振周波数fantiが同相モードの共振周波数finから離れるようにすると、逆相モードの共振周波数fantiでの共振倍率を低下させることができた。

逆相モードの共振周波数fantiが同相モードの共振周波数finから離れるようにするには、検出錘３２、３３が同調して動き、同相モードと逆相モードの動きとなるようにすることが必要となる。

従来のジャイロセンサでは、連成バネで連結されていない完全に分離した２つの検出錘、あるいは、完全に一体の検出錘とされていたため、各検出錘が個々に独立して動き、同調した動きにならないため、同相モードと逆相モードの動きにすることができなかった。このため、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを分離することができなかった。

これに対して、本実施形態では、連成バネ４４によって両検出錘３２、３３を連結しているため、検出錘３２、３３を同調して動くようにでき、必ず同相モードと逆相モードの２パターンの動きにすることができる。そして、検出錘３２、３３が同調して動くことから、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを持つようにできると共に、これらを検出梁４２、４３や折返梁４４ａに加えて、中間剛体４４ｂの長さの設定に基づいて分離することが可能となる。したがって、逆相モードの共振周波数fantiが同相モードの共振周波数finから離れるようにでき、逆相モードの共振周波数fantiでの共振倍率を低下させることが可能となる。

ここで、逆相モードの共振周波数fantiと同相モードの共振周波数finの差分を逆相モードの共振周波数fantiで割った値（＝（fanti―fin）／fanti）をデカップリング率（Decoupling Ratio（以下、D.R.という）と定義する。

このように、D.R.が大きくなるほど、逆相モードの動きの誘発を抑制することが可能となる。これにより、ジャイロセンサの出力誤差を抑制することができ、耐衝撃性を向上させることが可能となり、より正確な角速度検出を行うことが可能となる。具体的に、D.R.と耐衝撃性との関係を調べたところ、図６に示す結果が得られた。この図からも、D.R.の絶対値が大きくなるほど、耐衝撃性が良くなることが判る。

ただし、D.R.を大きくすると、耐衝撃性については向上させられるが、その反面、他の周波数の共振モードとの干渉や感度低下を招くため、単にD.R.を大きくするのは好ましくない。したがって、D.R.をあまり大きな値にならないように調整しつつ、耐衝撃性に敏感な領域、つまり耐衝撃性が急峻に悪化する領域となるほど小さな値にならないように、最適な範囲に調整するのが好ましい。

D.R.の調整は、他の共振周波数と同様、検出梁４２、４３や折返梁４４ａに加えて、中間剛体４４ｂの長さの設定により行うことができる。以下、この理由について説明する。

図７に示すように、検出錘３２、３３の重さをｍｓ、検出梁４２、４３や折返梁４４ａのバネ定数をそれぞれｋｓ、ｋｃ、中間剛体４４ｂの長さをＬとすると、逆相モードの共振周波数fantiと同相モードの共振周波数finは、数式１、２のように近似できる。なお、数式１、２中において、ａ、ｂは定数である。ただし、ｂ＞ａである。

そして、D.R.＝（fanti―fin）／fanti）であることから、この式に数式１、２で表される逆相モードの共振周波数fantiと同相モードの共振周波数finを代入すると、数式３を導出できる。この式は、ｋｓが大きく、かつ、Ｌが大きくなるとD.R.が小さくなることや、ｋｓが小さく、かつ、Ｌが小さくなるとD.R.が大きくなることを示している。また、D.R.のバラツキはｋｓ／ｋｃが影響することを示している。さらに、ｋｓ／ｋｃ＝Ｋとおくと、数式３を数式４のように変形できる。

この数式４は、D.R.が小さい、すなわちＬおよびＫが大きい領域ほど、平方根内のａ／ＬＫおよびｂ／ＬＫの影響が小さくなる領域であることを示している。よって、Ｋがばらついても、D.R.はばらつき難いことが分かる。

したがって、検出梁４２、４３や折返梁４４ａに加えて、中間剛体４４ｂの長さＬの調整を行うだけでD.R.を調整することが可能となる。

また、検出梁４２、４３の加工バラツキに起因して、ジャイロセンサを製造したときに、D.R.の狙い値に対して実際に作成したときのD.R.の出来栄え値にバラツキが発生する。このバラツキは、図８に示すように、D.R.の狙い値が小さいほど小さくなるという結果が得られている。したがって、耐衝撃性を考慮してD.R.をある程度大きな値に選択しつつ、D.R.の出来栄えのバラツキを抑制できるように、ある程度小さい値に設定するのが好ましい。そして、このように出来栄えのバラツキを抑制できれば、耐衝撃性に敏感な領域近くのD.R.を狙い値として耐衝撃性を良好にしようとする場合にも、D.R.をほぼ狙い値通りに設定できる。よって、耐衝撃性に敏感な領域ほどロバスト性を強くすることが可能となる。具体的には、図９に示すように、検出錘３２、３３を連成バネ４４による連結して同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiを分けることで、検出錘を連結していない従来構造よりも耐衝撃性を向上させつつ、耐衝撃性のバラツキを抑制できる。さらに、D.R.を調整することで、さらに耐衝撃性のバラツキを抑制でき、ロバスト性を強くすることが可能となる。

以上説明したように、本実施形態のジャイロセンサでは、連成バネ４４によって両検出錘３２、３３を連結しているため、同相モードの共振周波数finと逆相モードの共振周波数fantiとを分離することが可能となる。このため、衝撃を受けたときの出力誤差を抑制でき、より正確な角速度検出を行うことが可能なジャイロセンサとすることができる。

また、連成バネ４４をトーションバネとなる折返梁４４ａと中間剛体４４ｂとによって構成している。このため、中間剛体４４ｂの長さＬの調整を行うだけでD.R.を調整することができ、検出梁４２、４３や折返梁４４ａを調整するよりも容易かつ的確にD.R.を調整することが可能となる。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して可動部３０や梁部４０の構成および駆動方向を変更したものであり、その他については第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。

図１０に示すように、外側駆動錘３１を枠体形状、ここでは矩形枠体形状にすると共にｘ軸方向において２つに分離し、分離された２つの外側駆動錘３１を駆動連成バネ３１ｅによって連結している。外側駆動錘３１は、支持梁４１を介して支持用固定部２１に支持されており、支持梁４１に備えられた駆動バネ４１ａによってｘ軸方向（紙面左右方向）に移動可能となっている。そして、分離された２つの外側駆動錘３１を駆動連成バネ３１ｅによって連結されていることから、各外側駆動錘３１がより同調して動作するようになっている。

また、連成バネ４４については、基本的には第１実施形態と同様の構成とされているが、外側駆動錘３１を２つに分離したことから、各検出錘３２、３３がｘｙ平面上において移動できるように、中間剛体４４ｂにバネ４４ｂａを備えた構成としている。このバネ４４ｂａは、各検出錘３２、３３のｘｙ平面上での移動については許容してｚ軸方向への移動については規制できるように、ｘｙ平面方向については柔らかく、ｚ軸方向には硬い剛体として働くようになっている。例えば、図１１に示すように、バネ４４ｂａを枠体形状の折返梁によって構成することができる。この場合、折返梁のうちｙ軸方向と平行な方向の梁の長さを短くすることで、捻じれ方向の剛性を上げられるため、上記したように検出錘３２、３３のｚ軸方向への移動を規制できる。

なお、図１０では、駆動用固定部２２、２３や駆動用可動電極３１ｂについては省略してある。これらのうち、駆動用固定部２２、２３に備えた基部２２ａ、２３ａと櫛歯状の駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂを支持梁４１と別体で構成している点が第１実施形態の構成と異なっているが、それ以外は、第１実施形態と同様の構成とされている。

このような構成のジャイロセンサとすることもできる。このようなジャイロセンサでは、図１０中の矢印のように、分離された外側駆動錘３１をｘ軸方向において互いに反対方向に変位させることで駆動振動させることで角速度検出を行うことができる。このような駆動形態とされるため、駆動方向が第１実施形態と異なるが、その他の動作については第１実施形態と同様である。そして、このように構成されるジャイロセンサにおいても、連成バネ４４によって２つの検出錘３２、３３を連結することで、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態も、第１実施形態に対して可動部３０や梁部４０の構成および駆動方向を変更したものであり、その他については第１実施形態と同様であるため、第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。

図１２に示すように、検出梁４２、４３を支持用固定部２１に接続し、検出梁４２、４３にｙ軸方向（紙面上下方向）への移動を可能にする駆動バネ４２ａ、４３ａを備えた構成としている。そして、駆動バネ４２ａ、４３ａにより、検出梁４２、４３に接続した検出錘３２、３３をｙ軸方向に駆動振動させることで、検出錘３２、３３を駆動錘としても機能させる。

連成バネ４４については、基本的には第１実施形態と同様の構成とされているが、検出錘３２、３３がｙ軸方向に移動可能な構成としたことから、各検出錘３２、３３のｙ軸方向への移動を許容できるように、中間剛体４４ｂにバネ４４ｂｂを備えている。このバネ４４ｂｂは、各検出錘３２、３３のｙ軸方向への移動については許容してｚ軸方向への移動については規制できるように、ｙ軸方向については柔らかく、ｚ軸方向には硬い剛体として働くようになっている。

例えば、図１３Ａに示すように、バネ４４ｂｂを枠体形状の折返梁によって構成することができる。この場合、折返梁のうちｘ軸方向と平行な方向の梁の長さを短くすることで、捻じれ方向の剛性を上げられるため、上記したように検出錘３２、３３のｚ軸方向への移動を規制できる。また、図１３Ｂに示すように、単にバネ４４ｂｂを中間剛体４４ｂのｙ軸方向の厚みを部分的に薄くした単純梁で構成しても良い。

なお、図１２では、駆動用固定部２２、２３や駆動用可動電極３１ｂについては省略してあるが、駆動用可動電極３１ｂを検出錘３２、３３に備え、それに対向するように駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂを備えるようにしている。駆動用可動電極３１ｂについては、支持部３１ｃをｙ軸方向、櫛歯状電極３１ｄをｘ軸方向に延設し、駆動用固定電極２２ｂ、２３ｂについても、支持部２２ｃ、２３ｃをｙ軸方向、櫛歯状電極２２ｄ、２３ｄをｘ軸方向に延設している。これにより、各櫛歯状電極２２ｄ、２３ｄ、３１ｄの間の静電力に基づいて、検出錘３２、３３をｙ軸方向に平行に駆動振動させることが可能となる。

このような構成のジャイロセンサとすることもできる。このようなジャイロセンサは、検出錘３２、３３をｙ軸方向において互いに反対方向に変位させることで駆動振動させることになるため、駆動方向が第１実施形態と異なるが、その他の動作については第１実施形態と同様である。そして、このように構成されるジャイロセンサにおいても、連成バネ４４によって２つの検出錘３２、３３を連結することで、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１〜第３実施形態のいずれかのジャイロセンサを複合センサの１つとして備えるようにしたものであり、ジャイロセンサの基本構造は上記各実施形態と同様であるため、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。なお、ここでは第１実施形態のジャイロセンサを備える複合センサを例に挙げて説明するが、第２、第３実施形態にかかるジャイロセンサであっても良い。

図１４に示すように、本実施形態にかかる複合センサは、基板１０に対して、第１実施形態で説明したジャイロセンサを第１ジャイロセンサ１００として備えているのに加え、第２ジャイロセンサ２００と加速度センサ４００を備えて１チップ化したものである。

第２ジャイロセンサ２００は、第１、第２振動子２０１、２０２を有した構成とされている。各振動子２０１、２０２は、検出錘２１０、２２０、検出固定電極２３０、２４０、サーボ電極２３１、２４１、駆動錘２５０、２６０、固定電極２７０、２８０および固定部２９０、３００などが備えられることで構成されている。

検出錘２１０、２２０は、それぞれ矩形枠状をなしており、検出錘２１０、２２０の外周部にｘ軸に平行な検出可動電極２１１、２２１を備えている。また、検出固定電極２３０、２４０およびサーボ電極２３１、２４１が検出錘２１０、２２０の周囲に配置されると共に、各検出可動電極２１１、２２１にそれぞれ対向配置されている。

一方、駆動錘２５０、２６０は、矩形枠状の検出錘２１０、２２０の内側にそれぞれ配置されている。本実施形態では、駆動錘２５０、２６０はブロック状になっており、各駆動錘２５０、２６０の外周部にｘ軸に平行な駆動可動電極２５１、２６１が設けられている。また、駆動固定電極２７０、２８０が駆動錘２５０、２６０の周囲すなわち検出錘２１０、２２０と駆動錘２５０、２６０との間に配置されると共に、駆動可動電極２５０、２６０に対向配置されている。

また、固定部２９０、３００が検出錘２１０、２２０と駆動錘２５０、２６０との間に配置されると共に、駆動梁２９１、３０１が固定部２９０、３００と駆動錘２５０、２６０とを連結している。そして、支持梁２９２、３０２が検出錘２１０、２２０と駆動錘２５０、２６０との間に配置されると共に、検出錘２１０、２２０と駆動錘２５０、２６０とを連結している。これにより、検出錘２１０、２２０および駆動錘２５０、２６０が、固定部２９０、３００、駆動梁２９１、３０１、および支持梁２９２、３０２により、支持基板１１の上に一定の間隔で浮遊した状態で支持されている。

さらに、上記のような構造において、検出錘２１０、２２０のうち、検出錘２１０、２２０同士が対向している部分に開口部２１４、２２４がそれぞれ形成されている。これにより、検出錘２１０、２２０の内側に配置された各駆動錘２５０、２６０が開口部２１４、２２４を介して対向している。そして、検出錘２１０、２２０の開口部２１４、２２４を通じて、第１振動子２０１の駆動錘２５０と第２振動子２０２の駆動錘２６０とを駆動連成バネ３１０で直接連結している。

このように、駆動錘２５０、２６０の外側に検出錘２１０、２２０を配置した内部駆動外部検出型の構造では、駆動錘２５０、２６０が検出錘２１０、２２０に囲まれる。このため、検出錘２１０、２２０に開口部２１４、２２４を設けることにより、駆動錘２５０、２６０同士を駆動連成バネ３１０により直接連結することが可能となる。

また、第１振動子２０１の検出錘２１０と第２振動子２０２の検出錘２２０との間には検出連成バネ３２０が配置されており、検出連成バネ３２０によって検出錘２１０、２２０を直接連結している。そして、各検出錘２１０、２２０が対向する部分のうち、開口部２１４の一方の開口端側と開口部２２４の一方の開口端側とが１本の検出連成バネ３２０により直接連結されている。また、開口部２１４の他方の開口端側と開口部２４２の他方の開口端側とが１本の検出連成バネ３２０により直接連結されている。このため、駆動連成バネ３１０は検出連成バネ３２０に挟まれた状態になっている。

このように構成される第２ジャイロセンサ２００は、次のように動作する。まず、駆動固定電極２７０、２８０と駆動可動電極２５１、２６１との間に電位差を与えると駆動錘２５０、２６０がｘ軸方向に変位する。したがって、駆動固定電極２７０、２８０に所望の周波数（通常は各振動子２０１、２０２の固有振動数）の交流電圧を加えるとその周波数で各駆動錘２５０、２６０が振動する。

このとき、駆動錘２５０、２６０は、第１振動子２０１の検出錘２１０と第２振動子２０２の検出錘２２０とが互いに逆位相（位相差１８０°）となるように駆動方向（ｘ軸方向）に検出錘２１０、２２０をそれぞれ駆動する。これにより、検出錘２１０、２２０が駆動錘２５０、２６０と同様にｘ軸方向に振動する。

このように、検出錘２１０、２２０がｘ軸方向に振動しているときに、ｘ軸およびｙ軸に垂直なｚ軸を中心とする角速度が印加された場合、ｙ軸方向にコリオリ力が発生する。その力によって検出錘２１０、２２０は駆動錘２５０、２６０に対して相対的にｙ軸方向へ変位する。各検出錘２１０、２２０は互いに逆位相で振動するので、各検出可動電極２１１、２２１は基板１０の一面に垂直なｚ軸周りの角速度が加わるときにコリオリ力によって互いに逆方向に変位することとなる。

各検出錘２１０、２２０の変位量は、検出可動電極２２１、２２１と検出固定電極２３０、２４０との距離が変化することにより生じる容量の変化を検出することで測定する。すなわち、検出可動電極２１１、２２１と検出固定電極２３０、２４０との間の容量変化を検知し、この容量変化を抑えるように、サーボ電極２３１、２４１にサーボ力に相当する電圧を印加する。このサーボ力に相当する電圧から角速度を得ることができる。このように、第２ジャイロセンサ２００によって、ｘｙ平面上におけるｚ軸周りの加速度を検出することができる。

一方、加速度センサ４００は、可動部４１０と固定部４２０および振動バネ４３０を有した構成とされている。

可動部４１０は、可動錘４１１と可動電極４１２とを有した構成とされ、矩形状の可動錘４１１の相対する二辺それぞれに櫛歯状の可動電極４１２が備えられた構造とされている。

固定部４２０は、支持基板１１に支持され、可動電極４１２と対応する櫛歯状の固定電極４２１を有した構成とされている。可動電極４１２と固定電極４２１とは所定距離離間して配置されており、これらの間に容量を形成している。本実施形態の場合、ｘ軸方向に沿って可動電極４１２および固定電極４２１を延設してある。

振動バネ４３０は、例えば可動錘４１１における可動電極４１２が形成された二辺と異なる二辺において、可動錘４１１を支持固定部４３１に接続している。これにより、ｙ軸方向において、可動部４１０を変位させられるようになっている。

このように構成される加速度センサ４００では、ｘ軸方向に平行な成分の加速度が印加されると、それに伴って可動部４１０が変位し、可動電極４１２と固定電極４２１との間の距離が変化して、これらの間に構成される容量が変化する。このため、固定部４２０と支持固定部４３１との間に電位差を発生させることで可動電極４１２と固定電極４２１との間に電位差を発生させ、これらの間の容量の変化を出力させることで、ｙ軸方向の加速度を検出することができる。

このように、基板１０に対して、第１ジャイロセンサ１００に加えて、第２ジャイロセンサ２００と加速度センサ４００を備えて１チップ化することができる。第１ジャイロセンサ１００のように検出錘３２、３３をｚ軸方向に変位させることでｘｙ平面と平行な軸を中心する周方向（例えば車両におけるロール方向）の角速度を検出する場合、ｘｙ平面上において第１ジャイロセンサ１００の各構成要素を形成できる。

これに対して、仮に第２ジャイロセンサ２００のような構造において、ｘｙ平面と平行な軸を中心とする周方向の角速度を検出する場合、第２ジャイロセンサ２００の各構成要素をｚ軸に平行な平面上に形成しなければならない。このため、第２ジャイロセンサ２００が形成されるチップをｘｙ平面上に垂直に立てて配置する必要がある。したがって、第２ジャイロセンサ２００のような構造によってｘｙ平面と平行な軸を中心とする周方向の角速度とｚ軸周りの角速度の２つの角速度を検出する場合、各センサを異なるチップに配置しなければならず、１チップ化することができない。

このため、本実施形態のように、第１ジャイロセンサ１００の構造を採用することで、第１ジャイロセンサ１００を第２ジャイロセンサ２００や加速度センサ４００と１チップ化することが可能な複合センサにできる。これにより、各センサを異なるチップに形成する場合と比較して、複合センサの簡素化を図ることが可能となる。

（他の実施形態）
上記実施形態では、基板１０としてＳＯＩ基板を用いる場合について説明したが、これは基板１０の一例を示したものであり、ＳＯＩ基板以外のものを用いても良い。また、基板１０としてＳＯＩ基板を用いたため、検出電極１４を支持基板１１に備えるようにした。しかしながら、検出電極１４については検出錘３２、３３からｚ軸方向において所定距離離間した位置に配置されていれば良いことから、検出錘３２、３３の表側に配置されていても良い。

また、検出錘３２、３３の外側に配置される質量部３１ａを円環状としたが、他の枠体形状、例えば四角形状の枠体としても良い。また、質量部３１ａを駆動振動させる際に、復回転振動させるようにしたが、ｙ軸方向に往復振動させても良い。

また、上記各実施形態では、検出錘３２、３３を外側駆動錘３１の内側に配置した外部駆動内部検出型のジャイロセンサを例に挙げた。しかしながら、これらは単なる一例を示したものであり、例えば第４実施形態において第２ジャイロセンサ２００として説明した構造、つまり検出錘が駆動錘の外側に配置される内部駆動外部検出型のジャイロセンサに対しても本発明を適用することができる。

１０ 基板
１４ 検出電極
２０ 固定部
３０ 可動部
３１ 外側駆動錘
３２、３３ 検出錘
４０ 梁部
４２、４３ 検出梁
４４ａ 折返梁
４４ｂ 中間剛体
１００ 第１ジャイロセンサ
２００ 第２ジャイロセンサ
４００ 加速度センサ

Claims (6)

1. 固定部（２０）が備えられた基板（１０）と、
   前記固定部（２０）に対して支持梁（４１）を介して接続されると共に、前記基板の平面上の一方向をｘ軸方向、該ｘ軸方向に対する垂直方向をｙ軸方向として、角速度検出の際に、前記支持梁の変位に基づいてｘｙ平面上において往復回転振動させられる質量部（３１ａ）を有する駆動錘（３１）を備えた可動部（３０）と、
   前記駆動錘に対して検出梁（４２、４３）を介して接続され、前記ｘ軸方向に並べられた２つの検出錘（３２、３３）と、
   前記２つの検出錘を連結する連成バネ（４４）と、
   前記基板の平面に対する垂直方向をｚ軸方向として、前記２つの検出錘それぞれから前記ｚ軸方向において所定距離離間して配置された検出電極（１４）と、を有し、
   角速度印加に伴って前記２つの検出錘が前記ｚ軸方向において互いに逆方向に振動させられることで前記２つの検出錘と前記検出電極との間の距離が変化し、前記２つの検出錘と前記検出電極の間に構成された２つの容量値が変化することに基づいて、２つの容量値の変化を示す信号の差動出力を用いて角速度検出を行い、
   前記連成バネは、前記２つの検出錘それぞれに接続されたトーションバネ（４４ａ）と、一方の前記検出錘に接続された前記トーションバネと他方の前記検出錘に接続された前記トーションバネとを連結する中間剛体（４４ｂ）とを備えていることを特徴とするジャイロセンサ。
2. 固定部（２１）が備えられた基板と、
   前記固定部（２１）に対して検出梁（４２、４３）を介して接続されると共に、前記基板の平面上の一方向をｘ軸方向、該ｘ軸方向に対する垂直方向をｙ軸方向として、角速度検出の際に、前記検出梁の変位に基づいてｘｙ平面上において往復回転振動させられる質量部を有する２つの検出錘（３２、３３）を備えた可動部と、
   前記２つの検出錘それぞれに対して一体的に構成され、前記ｘ軸方向に並べられた２つの駆動錘（３１）と、
   前記２つの検出錘を連結する連成バネ（４４）と、
   前記基板の平面に対する垂直方向をｚ軸方向として、前記２つの検出錘それぞれから前記ｚ軸方向において所定距離離間して配置された検出電極と、を有し、
   角速度印加に伴って前記２つの検出錘が前記ｚ軸方向において互いに逆方向に振動させられることで前記２つの検出錘と前記検出電極との間の距離が変化し、前記２つの検出錘と前記検出電極の間に構成された２つの容量値が変化することに基づいて、２つの容量値の変化を示す信号の差動出力を用いて角速度検出を行い、
   前記連成バネは、前記２つの検出錘それぞれに接続されたトーションバネ（４４ａ）と、一方の前記検出錘に接続された前記トーションバネと他方の前記検出錘に接続された前記トーションバネとを連結する中間剛体（４４ｂ）とを備えていることを特徴とするジャイロセンサ。
3. 前記２つの検出錘は、前記検出梁にて片持ちされた片持ち構造とされ、角速度が印加されたときには、前記検出梁を節として該検出錘における前記検出梁によって接続されている側とは反対側の端部において変位させられることを特徴とする請求項１または２に記載のジャイロセンサ。
4. 前記２つの検出錘は、それぞれ前記検出錘のうちの前記質量部の中心側において前記検出梁に接続されていることを特徴とする請求項３に記載のジャイロセンサ。
5. 前記固定部には駆動用固定電極（２２ｂ、２３ｂ）が備えられ、
   前記可動部には円環状で構成された前記質量部の外周に駆動用可動電極（３１ｂ）が備えられており、
   前記角速度検出時には、前記駆動用固定電極と前記駆動用可動電極との間に静電引力を発生させることで、前記質量部の中心を回転中心として前記駆動錘を回転振動させることを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサ。
6. 請求項１ないし５のいずれか１つに記載のジャイロセンサを第１ジャイロセンサ（１００）として、
   前記基板に形成され、前記ｘｙ平面上における前記ｚ軸周りの角速度を検出する第２ジャイロセンサ（２００）と、
   前記基板に形成され、前記ｘｙ平面に平行な一方向の加速度を検出する加速度センサ（４００）とが、１チップ化されていることを特徴とする複合センサ。

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