JP6812830B2 - ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 162
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 description 18
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 1
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/02—Rotary gyroscopes
- G01C19/04—Details
- G01C19/06—Rotors
- G01C19/065—Means for measuring or controlling of rotors' angular velocity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
- G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/097—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by vibratory elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5628—Manufacturing; Trimming; Mounting; Housings
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Description
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
第1駆動部と、
角速度を検出する第1検出部および第2検出部と、
を含み、
前記第1検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第1可動電極を備えた第
1可動体と、
前記基板に固定され、前記第1可動電極と対向する第1固定電極と、
を有し、
前記第2検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第2可動電極を備えた第2可動体と、
前記基板に固定され、前記第2可動電極と対向する第2固定電極と、
を有し、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、第1連結部によって連結されている。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1可動体および前記第2可動体は、同相で振動してもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記基板に固定された第1固定部、第2固定部、および第3固定部と、
前記第1固定部と前記第1可動体とを連結する第1バネ部と、
前記第2固定部と前記第1可動体とを連結する第2バネ部と、
前記第3固定部と前記第1可動体とを連結する第3バネ部と、
を含み、
前記第1バネ部は、平面視において、前記第2バネ部と前記第3バネ部との間に設けられていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1バネ部は、第1軸方向に往復しながら、前記第1軸と直交する第2軸方向に延出する形状を有し、
前記第1バネ部の前記第1軸方向に延出している複数の延出部のうち、最も前記第1固定部に近い延出部は、前記第2軸方向からみて前記第1固定部と少なくとも一部が重なっており、前記複数の延出部のうち、他の延出部よりも前記第2軸方向の幅が大きくてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、同じ大きさであって、同じ形を有していてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
第2駆動部と、
前記第2駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第3可動体および第4可動体と、
を含み、
前記第3可動体と前記第4可動体とは、第2連結部によって連結され、
前記第1可動体および前記第2可動体と、前記第3可動体および前記第4可動体とは、逆相で振動してもよい。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係るジャイロセンサー100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係るジャイロセンサー100を模式的に示す図1のII−II線断面図である。なお、図1および図2では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
動方向(可動駆動電極52の振動方向)であるY軸方向に円滑に伸縮することができる。
部62(第1固定部30aと重なる部分を有する延出部62)であって、最も第1固定部30aに近い延出部62(図示の例では延出部62a)は、他の延出部62(例えば延出部62b)よりも太い(Y軸方向の大きさが大きい)。延出部62aは、第1固定部30aの面と対向する面を有している。第1検出バネ部60aのX軸方向に延出している複数の延出部62のうち、第1固定部30aと離間している延出部であって、最も第1固定部30aに近い延出部62aは、Y軸方向からみて第1固定部30aと少なくとも一部が重なっており、複数の延出部62のうち、他の延出部62(例えば延出部62b)よりもY軸方向の幅が大きい。
、第1可動体82aと第2可動体82bとは、第1連結部90によって連結されている。第2連結部92は、第3可動体82cと第4可動体82dとを連結している。すなわち、第3可動体82cと第4可動体82dとは、第2連結部92によって連結されている。図示の例では、連結部90,92の平面形状は、長方形である。平面視において、連結部90,92のY軸方向の大きさは、可動検出電極84のY軸方向の大きさよりも小さく、かつ可動体82のY軸方向の大きさよりも小さい。
Oxide)である。固定検出電極86としてITO等の透明電極材料を用いることにより、固定検出電極86上に存在する異物等を、基板10の下面側から、容易に視認することができる。
番電圧を印加することにより、第1可動体82aおよび第2可動体82bと、第3可動体82cおよび第4可動体82dと、を互いに逆位相(逆相)でかつ所定の周波数で、Y軸方向に振動させる(音叉型振動させる)ことができる。
次に、本実施形態に係るジャイロセンサー100の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図5は、本実施形態に係るジャイロセンサー100の製造方法を説明するためのフローチャートである。図6および図7は、本実施形態に係るジャイロセンサー100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー200について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー200を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図8では、基板10および蓋体20を省略している。また、図8では、互いに直交する3軸として、X軸、Y軸、およびZ軸を図示している。
部280は、第2バネ接続部282よりも−X軸方向側に位置している。図示の例では、第1バネ接続部280のY軸方向の大きさと、第2バネ接続部282のY軸方向の大きさとは、同じである。第1可動体82aの第2バネ接続部282と、第2可動体82bの第1バネ接続部280とは、第1連結部90によって連結されている。第1連結部90のY軸方向の大きさは、バネ接続部280,282のY軸方向の大きさよりも小さい。第3可動体82cの第2バネ接続部282と、第4可動体82dの第1バネ接続部280とは、第2連結部92によって連結されている。第2連結部92のY軸方向の大きさは、バネ接続部280,282のY軸方向の大きさよりも小さい。図示の例では、連結部90,92の平面形状は、長方形である。
次に、本実施形態に係る電子機器について図面を参照しながら説明する。図9は、本実施形態に係る電子機器1000の機能ブロック図である。
カメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR(歩行者位置方位計測)等が挙げられる。
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図12は、本実施形態に係る移動体1100として、自動車を模式的に示す斜視図である。
Claims (7)
- 基板と、
第1駆動部と、
角速度を検出する第1検出部および第2検出部と、
を含み、
前記第1検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第1可動電極を備えた第1可動体と、
前記基板に固定され、前記第1可動電極と対向する第1固定電極と、
を有し、
前記第2検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第2可動電極を備えた第2可動体と、
前記基板に固定され、前記第2可動電極と対向する第2固定電極と、
を有し、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、第1連結部によって連結され、
前記第1可動体および前記第2可動体は、同相で振動する、ジャイロセンサー。 - 基板と、
第1駆動部と、
角速度を検出する第1検出部および第2検出部と、
を含み、
前記第1検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第1可動電極を備えた第1可動体と、
前記基板に固定され、前記第1可動電極と対向する第1固定電極と、
を有し、
前記第2検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第2可動電極を備えた第
2可動体と、
前記基板に固定され、前記第2可動電極と対向する第2固定電極と、
を有し、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、第1連結部によって連結され、
前記基板に固定された第1固定部、第2固定部、および第3固定部と、
前記第1固定部と前記第1可動体とを連結する第1バネ部と、
前記第2固定部と前記第1可動体とを連結する第2バネ部と、
前記第3固定部と前記第1可動体とを連結する第3バネ部と、
を含み、
前記第1バネ部は、平面視において、前記第2バネ部と前記第3バネ部との間に設けられている、ジャイロセンサー。 - 基板と、
第1駆動部と、
角速度を検出する第1検出部および第2検出部と、
を含み、
前記第1検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第1可動電極を備えた第1可動体と、
前記基板に固定され、前記第1可動電極と対向する第1固定電極と、
を有し、
前記第2検出部は、
前記第1駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第2可動電極を備えた第2可動体と、
前記基板に固定され、前記第2可動電極と対向する第2固定電極と、
を有し、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、第1連結部によって連結され、
第2駆動部と、
前記第2駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第3可動体および第4可動体と、
を含み、
前記第3可動体と前記第4可動体とは、第2連結部によって連結され、
前記第1可動体および前記第2可動体と、前記第3可動体および前記第4可動体とは、逆相で振動する、ジャイロセンサー。 - 請求項2において、
前記第1バネ部は、第1軸方向に往復しながら、前記第1軸と直交する第2軸方向に延出する形状を有し、
前記第1バネ部の前記第1軸方向に延出している複数の延出部のうち、最も前記第1固定部に近い延出部は、前記第2軸方向からみて前記第1固定部と少なくとも一部が重なっており、前記複数の延出部のうち、他の延出部よりも前記第2軸方向の幅が大きい、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第1可動体と前記第2可動体とは、同じ大きさであって、同じ形を有している、ジャイロセンサー。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
- 請求項1ないし5のいずれか1項に記載のジャイロセンサーを含む、移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017028778A JP6812830B2 (ja) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 |
US15/860,909 US10627234B2 (en) | 2017-02-20 | 2018-01-03 | Gyro sensor, electronic apparatus, and vehicle |
CN201810125332.0A CN108458702A (zh) | 2017-02-20 | 2018-02-07 | 陀螺仪传感器、电子设备以及移动体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017028778A JP6812830B2 (ja) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018136132A JP2018136132A (ja) | 2018-08-30 |
JP6812830B2 true JP6812830B2 (ja) | 2021-01-13 |
Family
ID=63167634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017028778A Active JP6812830B2 (ja) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10627234B2 (ja) |
JP (1) | JP6812830B2 (ja) |
CN (1) | CN108458702A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7192437B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
JP7225817B2 (ja) * | 2019-01-17 | 2023-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 角速度センサー、慣性計測装置、電子機器および移動体 |
JP2023036260A (ja) * | 2021-09-02 | 2023-03-14 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
JP2023074208A (ja) * | 2021-11-17 | 2023-05-29 | 株式会社東芝 | センサ及び電子装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19530007C2 (de) * | 1995-08-16 | 1998-11-26 | Bosch Gmbh Robert | Drehratensensor |
JPH10170275A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-26 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 振動型角速度センサ |
JPH10221083A (ja) * | 1997-02-05 | 1998-08-21 | Murata Mfg Co Ltd | 振動型ジャイロ装置 |
US7231824B2 (en) | 2005-03-22 | 2007-06-19 | Honeywell International Inc. | Use of electrodes to cancel lift effects in inertial sensors |
JP4830757B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2011-12-07 | 株式会社デンソー | 角速度センサおよびその製造方法 |
DE102009001244A1 (de) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
FR2983575B1 (fr) * | 2011-12-02 | 2015-03-06 | Commissariat Energie Atomique | Micro-capteur inertiel de mouvements de rotation |
JP6191151B2 (ja) * | 2012-05-29 | 2017-09-06 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
JP6176001B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2017-08-09 | 株式会社デンソー | ジャイロセンサ |
JPWO2014203896A1 (ja) * | 2013-06-19 | 2017-02-23 | 株式会社村田製作所 | Memsセンサ用モジュール、振動駆動モジュール及びmemsセンサ |
JP6323034B2 (ja) | 2014-01-28 | 2018-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2015169492A (ja) | 2014-03-06 | 2015-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子デバイスの信号検出方法、電子機器、および移動体 |
DE102014211706A1 (de) | 2014-06-18 | 2015-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung |
JP2016057073A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 |
JP2016086383A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 |
JP2016090254A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP6543918B2 (ja) | 2014-11-14 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサー |
JP2016099269A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 |
-
2017
- 2017-02-20 JP JP2017028778A patent/JP6812830B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-03 US US15/860,909 patent/US10627234B2/en active Active
- 2018-02-07 CN CN201810125332.0A patent/CN108458702A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10627234B2 (en) | 2020-04-21 |
CN108458702A (zh) | 2018-08-28 |
US20180238688A1 (en) | 2018-08-23 |
JP2018136132A (ja) | 2018-08-30 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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