JP2016176835A - 慣性センサー、電子機器、および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】正確に角速度を検出することができる慣性センサーを提供する。
【解決手段】本発明に係る慣性センサー１００は、基板と、質量部３４と、固定部３０と、質量部３４と固定部３０とを接続している梁部３３と、を含み、梁部３３は、質量部３４の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部３ａ，３ｂと、固定部３０の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部４ａ，４ｂと、を有し、一方の質量部側梁部３ａの第４部分３３４の第３部分３３３側とは反対側の端部５４、および他方の質量部側梁部３ｂの第４部分３３４の第３部分３３３側とは反対側の端部５４は、第１の接続部で互い接続され、一方の固定部側梁部４ａの第８部分３３８の第７部分３３７側とは反対側の端部５８、および他方の固定部側梁部４ｂの第８部分３３８の第７部分３３７側とは反対側の端部５８は、第２の接続部で互い接続されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、慣性センサー、電子機器、および移動体に関する。

近年、シリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて物理量を検出する慣性センサーが開発されている。特に、加速度を検出する加速度センサーや角速度を検出するジャイロセンサーは、例えば、デジタルスチルカメラ（ＤＳＣ）の手振れ補正機能、自動車のナビゲーションシステム、ゲーム機のモーションセンシング機能などの用途が急速に広がりつつある。

例えば特許文献１には、支持ばねを介して支持された振動質量体と、検出質量体から延出している検出可動電極と、検出固定電極と、を備え、検出可動電極と検出固定電極との間の静電容量の変動に基づいて、角速度を検出するジャイロセンサーが記載されている。

特開２０１０−１４４４２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたジャイロセンサーでは、振動質量体（質量部）を振動させるための支持ばね（梁部）が、捩れてしまう場合がある。そのため、正確に角速度を検出することができない場合がある。

本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、正確に角速度を検出することができる慣性センサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記の慣性センサーを含む、電子機器および移動体を提供することにある。

本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。

［適用例１］
本適用例に係る慣性センサーは、
基板と、
前記基板と離間し、第１方向に振動する質量部と、
前記基板に固定されている固定部と、
前記質量部と前記固定部とを接続している梁部と、
を含み、
前記梁部は、
前記質量部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部と、
前記固定部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部と、
を有し、
２つの前記質量部側梁部の各々は、
前記質量部から前記第１方向に延出している第１部分と、
前記第１部分の前記質量部側とは反対側の端部から前記第１方向と直交する第２方向に延出している第２部分と、
前記第２部分の前記第１部分側とは反対側の端部から前記第１方向に延出している第３部分と、
前記第３部分の前記第２部分側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第４部分と、
を有し、
一方の前記質量部側梁部の前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部、および他方の前記質量部側梁部の前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部は、第１の接続部で互い接続され、
２つの前記固定部側梁部の各々は、
前記固定部から前記第１方向に延出している第５部分と、
前記第５部分の前記固定部側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第６部分と、
前記第６部分の前記第５部分側とは反対側の端部から前記第１方向に延出している第７部分と、
前記第７部分の前記第６部分側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第８部分と、
を有し、
一方の前記固定部側梁部の前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部、および他方の前記固定部側梁部の前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部は、第２の接続部で互い接続されている。

このような慣性センサーでは、梁部が捩れることを抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。したがって、このような慣性センサーは、正確に角速度を検出することができる。

［適用例２］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記質量部側梁部は、平面視において、前記質量部から前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部に向けて、階段状の形状を有し、
前記固定部側梁部は、平面視において、前記固定部から前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部に向けて、階段状の形状を有してもよい。

このような慣性センサーは、正確に角速度を検出することができる。

［適用例３］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記梁部は、前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続している接続梁部を有し、
２つの前記質量部側梁部は、平面視において、前記接続梁部の中心を通り前記第１方向に延出する仮想直線に関して対称に設けられ、
２つの前記固定部側梁部は、平面視において、前記仮想直線に関して対称に設けられていてもよい。

このような慣性センサーは、正確に角速度を検出することができる。

［適用例４］
本適用例に係る慣性センサーは、
基板と、
前記基板と離間している質量部と、
前記基板に固定されている固定部と、
前記質量部と前記固定部とを接続している梁部と、
を含み、
前記梁部は、
前記質量部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部と、
前記固定部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部と、
前記梁部の途中で分岐している２つの分岐梁部と、
を有し、
２つの前記質量部側梁部の前記質量部側とは反対側の端部同士は、互いに接続され、
２つの前記固定部側梁部の前記固定部側とは反対側の端部同士は、互いに接続され、
２つの前記分岐梁部の前記質量部側の端部同士は、互いに接続され、
２つの前記分岐梁部の前記固定部側の端部同士は、互いに接続されている。

このような慣性センサーでは、梁部が捩れることを抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。したがって、このような慣性センサーは、正確に角速度を検出することができる。

［適用例５］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
前記梁部の幅をＷ（μｍ）とし、前記質量部の共振周波数をｆ（ｋＨｚ）とすると、
０．０６＜Ｗ／ｆ
の関係を満たしてもよい。

このような慣性センサーでは、梁部が捩れることを、より確実に抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。

［適用例６］
本適用例に係る慣性センサーにおいて、
０．０６＜Ｗ／ｆ＜０．１１
の関係を満たしてもよい。

このような慣性センサーでは、梁部が捩れることを、より確実に抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。

［適用例７］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る慣性センサーを含む。

このような電子機器では、正確に角速度を検出することができる慣性センサーを含むことができる。

［適用例８］
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係る慣性センサーを含む。

このような移動体では、正確に角速度を検出することができる慣性センサーを含むことができる。

第１実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第１実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第１実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法の一例を示すフローチャート。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。 第１実施形態の変形例に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第２実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第２実施形態に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第２実施形態の変形例に係る慣性センサーを模式的に示す平面図。 第１実験例に用いたモデルを説明するための図。 第１実験例に用いたモデルを説明するための図。 第１実験例に用いたモデルを説明するための図。 第１実験例に用いたモデルを説明するための図。 第１実験例の結果を示す表。 第２実験例に用いたモデルを説明するための図。 第２実験例の結果を示すグラフ。 本実施形態に係る電子機器の機能ブロック図。 本実施形態に係る電子機器の一例であるスマートフォンの外観を模式的に示す図。 本実施形態に係る電子機器の一例であるウェアラブル機器の外観を模式的に示す図。 本実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． 第１実施形態
１．１． 慣性センサー
まず、第１実施形態に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、第１実施形態に係る慣性センサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、第１実施形態に係る慣性センサー１００の梁部３３を説明するための図１の拡大図である。図３は、第１実施形態に係る慣性センサー１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、図１〜図３および以下に示す図７〜図１４，１６では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。

慣性センサー１００は、図１〜図３に示すように、基板１０と、蓋体２０と、機能素子１０２と、を含む。なお、便宜上、図１および図２では、基板１０および蓋体２０を省略している。

基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基板１０は、第１面１２と、第１面１２と反対方向を向く第２面１４と、を有している。第１面１２には、凹部１６が設けられている。凹部１６は、キャビティー２を構成している。凹部１６の底面（凹部１６を規定する基板１０の面）１７には、ポスト部１８が設けられている。ポスト部１８は、機能素子１０２を支持するための部材である。

蓋体２０は、基板１０上に（蓋体２０の＋Ｚ軸方向側に）設けられている。蓋体２０の材質は、例えば、シリコンである。蓋体２０は、基板１０の第１面１２に接合されている。基板１０と蓋体２０とは、陽極接合によって接合されていてもよい。図示の例では、蓋
体２０に凹部が形成されており、該凹部は、キャビティー２を構成している。

なお、基板１０と蓋体２０との接合方法は、特に限定されず、例えば、低融点ガラス（ガラスペースト）による接合でもよいし、半田による接合でもよい。または、基板１０および蓋体２０の各々の接合部分に金属薄膜（図示せず）を形成し、該金属薄膜同士を共晶接合させることにより、基板１０と蓋体２０とを接合させてもよい。

機能素子１０２は、基板１０の第１面１２側に設けられている。機能素子１０２は、例えば、陽極接合や直接接合によって、基板１０に接合されている。機能素子１０２は、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に収容されている。キャビティー２は、減圧状態であることが望ましい。これにより、機能素子１０２の振動が空気粘性によって減衰することを抑制することができる。

機能素子１０２は、２つの構造体１１２（第１構造体１１２ａ、第２構造体１１２ｂ）を有している。２つの構造体１１２は、図１に示すように、固定部３０ａ、３０ｂの中心を通るＹ軸に平行な仮想直線αに関して対称となるように、Ｘ軸方向に並んで設けられている。

構造体１１２は、固定部３０と、駆動バネ部３２と、質量部（振動体）３４と、可動駆動電極３６と、固定駆動電極３８，３９と、可動体４０と、検出バネ部４２と、可動検出電極４４と、固定検出電極４６と、を有している。駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、可動体４０、検出バネ部４２、および可動検出電極４４は、基板１０と離間している。

固定部３０は、基板１０に固定されている。固定部３０は、例えば、陽極接合によって基板１０の第１面１２に接合されている。固定部３０は、例えば、１つの構造体１１２に対して、２つ設けられている。図示の例では、固定部３０は、１つの構造体１１２において、質量部３４の＋Ｘ軸方向側に１つ設けられ、質量部３４の−Ｘ軸方向側に１つ設けられている。固定部３０は、＋Ｙ軸方向側の第１固定部分３０ａと、−Ｙ軸方向側の第２固定部分３０ｂと、を有している。図示の例では、固定部分３０ａ，３０ｂは、互いに離間している。図示はしないが、固定部分３０ａ，３０ｂは、互いに接続していてもよい。固定部分３０ａ，３０ｂの平面形状（Ｚ軸方向からみた形状）は、例えば、矩形である。図示の例では、構造体１１２ａ，１１２ｂは、第１構造体１１２ａの＋Ｘ軸方向側の固定部３０と第２構造体１１２ｂの−Ｘ軸側の固定部３０とを、共通の固定部としている。共通の固定部３０は、例えば、ポスト部１８上に設けられている。

駆動バネ部３２は、複数の梁部３３によって構成されている。梁部３３は、例えば、１つの構造体１１２に対して、２つ設けられている。梁部３３は、質量部３４と固定部３０とを接続している。梁部３３は、質量部３４の振動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮することができる。梁部３３は、図２に示すように、質量部３４の互いに異なる２つの位置から延出している２つの（一対の）質量部側梁部３ａ，３ｂと、固定部３０の互いに異なる２つの位置から延出している２つの（一対の）固定部側梁部４ａ，４ｂと、接続梁部５と、を有している。

質量部側梁部３ａ，３ｂは、互いに向かい合うように、質量部３４から固定部３０側に向けて（図２に示す例では−Ｘ軸方向側に向けて）延出している。質量部側梁部３ａ，３ｂは、質量部３４のＸ軸方向の側面（例えばＸ軸に平行な垂線を持つ側面）から延出している。質量部側梁部３ａ，３ｂの質量部３４側とは反対側の端部は、互いに接続されている。質量部側梁部３ａ，３ｂは、例えば、平面視において（Ｚ軸方向からみて）、接続梁部５の中心を通りＸ軸平行な（第１方向に延出する）仮想直線βに関して対称に設けられ
ている。図示の例では、質量部側梁部３ａは、＋Ｙ軸方向側に設けられ、質量部側梁部３ｂは、−Ｙ軸方向側に設けられている。

質量部側梁部３ａ，３ｂの各々は、質量部３４からＸ軸方向に延出している第１部分３３１と、第１部分３３１の質量部３４側とは反対側の端部５１からＹ軸方向（第１方向と直交する第２方向）に延出している第２部分３３２と、第２部分３３２の第１部分３３１側とは反対側の端部５２からＸ軸方向に延出している第３部分３３３と、第３部分３３３の第２部分３３２側とは反対側の端部５３からＹ軸方向に延出している第４部分３３４と、を有している。質量部側梁部３ａの第４部分３３４の第３部分３３３側とは反対側の端部５４、および質量部側梁部３ｂの第４部分３３４の第３部分３３３側とは反対側の端部５４は、第１の接続部で互いに接続されている。質量部側梁部３ａ，３ｂは、平面視において、質量部３４から第４部分３３４の端部５４に向けて、階段状の形状を有している。

質量部側梁部３ａ，３ｂの第１部分３３１および第３部分３３３の長さ（Ｘ軸方向の大きさ）は、例えば、第２部分３３２および第４部分３３４の長さ（Ｙ軸方向の大きさ）よりも小さい。第１部分３３１および第３部分３３３の幅（Ｙ軸方向の大きさ）は、例えば、第２部分３３２および第４部分３３４の幅（Ｘ軸方向の大きさ）と同じである。

固定部側梁部４ａ，４ｂは、互いに向かい合うように、固定部３０から質量部３４側に向けて（図２に示す例では＋Ｘ軸方向側に向けて）延出している。固定部側梁部４ａ，４ｂは、固定部３０のＸ軸方向の側面（例えばＸ軸に平行な垂線を持つ側面）から延出している。固定部側梁部４ａ，４ｂの固定部３０側とは反対側の端部は、互いに接続されている。固定部側梁部４ａ，４ｂは、例えば、平面視において、仮想直線βに関して対称に設けられている。図示の例では、固定部側梁部４ａは、第１固定部分３０ａに接続され、固定部側梁部４ｂは、第２固定部分３０ｂに接続されている。質量部側梁部３ａおよび固定部側梁部４ａは、例えば、平面視において、接続梁部５の中心を通りＹ軸に平行な仮想直線γに関して対称に設けられている。質量部側梁部３ｂおよび固定部側梁部４ｂは、例えば、平面視において、仮想直線γに関して対称に設けられている。

固定部側梁部４ａ，４ｂの各々は、固定部３０からＸ軸方向に延出している第５部分３３５と、第５部分３３５の固定部３０側とは反対側の端部５５からＹ軸方向に延出している第６部分３３６と、第６部分３３６の第５部分３３５側とは反対側の端部５６からＸ軸方向に延出している第７部分３３７と、第７部分３３７の第６部分３３６側とは反対側の端部５７からＹ軸方向に延出している第８部分３３８と、を有している。固定部側梁部４ａの第８部分３３８の第７部分３３７側とは反対側の端部５８、および固定部側梁部４ｂの第８部分３３８の第７部分３３７側とは反対側の端部５８は、第２の接続部で互いに接続されている。固定部側梁部４ａ，４ｂは、平面視において、固定部３０から第８部分３３８の端部５８に向けて、階段状の形状を有している。

固定部側梁部４ａ，４ｂの第５部分３３５および第７部分３３７の長さ（Ｘ軸方向の大きさ）は、例えば、第６部分３３６および第８部分３３８の長さ（Ｙ軸方向の大きさ）よりも小さい。第５部分３３５および第７部分３３７の幅（Ｙ軸方向の大きさ）は、例えば、第６部分３３６および第８部分３３８の幅（Ｘ軸方向の大きさ）と同じである。

接続梁部５は、質量部側梁部３ａ，３ｂと固定部側梁部４ａ，４ｂとを接続している。具体的には、接続梁部５は、質量部側梁部３ａ，３ｂの互いに接続されている部分（第１の接続部）と、固定部側梁部４ａ，４ｂの互いに接続されている部分（第２の接続部）と、を接続している。接続梁部５は、質量部側梁部３ａ，３ｂから固定部側梁部４ａ，４ｂまでＸ軸方向に延出している。平面視において、接続梁部５の中心の位置は、梁部３３の中心の位置と同じであってもよい。梁部３３は、接続梁部５から質量部３４側に一対の質
量部側梁部３ａ，３ｂに分岐しているとともに、接続梁部５から固定部３０側に一対の固定部側梁部４ａ，４ｂに分岐しているといえる。図示の例では、接続梁部５の幅（Ｙ軸方向の大きさ）、質量部側梁部３ａ，３ｂの幅、および固定部側梁部４ａ，４ｂの幅は、互いに同じである。すなわち、梁部３３の幅は、一定である。

ここで、梁部３３の幅Ｗ（μｍ）とし、質量部３４の共振周波数（駆動周波数）をｆ（ｋＨｚ）とすると、下記式（１）の関係を満たし、好ましくは下記式（２）の関係を満たす。

０．０６＜Ｗ／ｆ ・・・ （１）
０．０６＜Ｗ／ｆ＜０．１１ ・・・ （２）

質量部３４は、例えば、平面視において、矩形の枠体である。質量部３４は、可動駆動電極３６および固定駆動電極３８，３９によって、Ｘ軸方向に振動することができる。

可動駆動電極３６は、質量部３４に設けられている。図示の例では、可動駆動電極３６は、１つの構造体１１２に対して４つ設けられ、２つの可動駆動電極３６は、質量部３４の＋Ｙ軸方向側に位置し、他の２つの可動駆動電極３６は、質量部３４の−Ｙ軸方向側に位置している。可動駆動電極３６は、図１に示すように、質量部３４からＹ軸方向に延出している幹部と、該幹部からＸ軸方向に延出している複数の枝部と、を備えた櫛歯状の形状を有していてもよい。

固定駆動電極３８，３９は、基板１０に固定されている。固定駆動電極３８，３９は、例えば、陽極接合によって基板１０の第１面１２に接合されている。固定駆動電極３８，３９は、可動駆動電極３６と対向して設けられ、固定駆動電極３８，３９間に可動駆動電極３６が配置されている。図１に示すように、可動駆動電極３６が櫛歯状の形状を有する場合、固定駆動電極３８，３９は、可動駆動電極３６に対応した櫛歯状の形状を有していてもよい。

可動体４０は、検出バネ部４２を介して、質量部３４に支持されている。可動体４０は、平面視において、枠状の質量部３４の内側に設けられている。図示の例では、可動体４０は、平面視において、矩形の枠体である。可動体４０は、Ｘ軸方向に延出する第１延出部１ａと、Ｙ軸方向に延出する第２延出部１ｂと、を有している。可動体４０のＹ軸方向の側面（例えばＹ軸に平行な垂線を持つ側面）は、検出バネ部４２と接続されている。

検出バネ部４２は、可動体４０と質量部３４とを連結している。検出バネ部４２は、複数の梁部４３によって構成されている。梁部４３は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出している。梁部４３は、可動体４０の変位方向であるＹ軸方向に円滑に伸縮することができる。

可動検出電極４４は、可動体４０に設けられている。可動検出電極４４は、例えば、可動体４０の一方の第２延出部１ｂから他方の第２延出部１ｂまで、Ｘ軸方向に延出している。図示の例では、可動検出電極４４は、１つの構造体１１２に対して、２つ設けられている。

固定検出電極４６は、基板１０に固定され、可動検出電極４４と対向して設けられている。固定検出電極４６は、凹部１６の底面１７に設けられたポスト部（図示せず）に、例えば陽極接合によって接合されている。固定検出電極４６は、平面視において、枠状の可動体４０の内側に設けられている。図示の例では、固定検出電極４６は、可動検出電極４４を挟んで設けられている。

固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、可動体４０、検出バネ部４２、および可動検出電極４４は、一体に設けられている。固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、固定駆動電極３８，３９、可動体４０、検出バネ部４２、可動検出電極４４、および固定検出電極４６の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。

次に、慣性センサー１００の動作について説明する。

可動駆動電極３６と固定駆動電極３８，３９との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極３６と固定駆動電極３８，３９との間に静電力を発生させることができる。これにより、駆動バネ部３２をＸ軸方向に伸縮させつつ、質量部３４をＸ軸方向に振動させることができる。

図１に示すように、第１構造体１１２ａでは、第１固定駆動電極３８は、可動駆動電極３６の−Ｘ軸方向側に配置され、第２固定駆動電極３９は、可動駆動電極３６の＋Ｘ軸方向側に配置されている。第２構造体１１２ｂでは、第１固定駆動電極３８は、可動駆動電極３６の＋Ｘ軸方向側に配置され、第２固定駆動電極３９は、可動駆動電極３６の−Ｘ軸方向側に配置されている。そのため、可動駆動電極３６と第１固定駆動電極３８との間に第１交番電圧を印加し、可動駆動電極３６と第２固定駆動電極３９との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交番電圧を印加することにより、第１構造体１１２ａの質量部３４と、第２構造体１１２ｂの質量部３４と、を互いに逆位相でかつ所定の周波数で、Ｘ軸方向に振動させる（音叉型振動させる）ことができる。

質量部３４が上記の振動を行っている状態で、慣性センサー１００にＺ軸まわりの角速度ωｚが加わると、コリオリ力が働き、第１構造体１１２ａの可動体４０と、第２構造体１１２ｂの可動体４０とは、Ｙ軸方向に（Ｙ軸に沿って）互いに反対方向に変位する。可動体４０は、コリオリ力を受けている間、この動作を繰り返す。

可動体４０がＹ軸方向に変位することにより、可動検出電極４４と固定検出電極４６との間の距離は、変化する。そのため、可動検出電極４４と固定検出電極４６との間の静電容量は、変化する。この電極４４，４６間の静電容量の変化量を検出することにより、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを求めることができる。

なお、上記では、静電力によって、質量部３４を駆動させる形態（静電駆動方式）について説明したが、質量部３４を駆動させる方法は、特に限定されず、圧電駆動方式や、磁場のローレンツ力を利用した電磁駆動方式等を適用することができる。

慣性センサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。

慣性センサー１００では、梁部３３は、質量部３４の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部３ａ，３ｂを有し、質量部側梁部３ａ，３ｂは、部分３３１，３３２，３３３，３３４を有し、質量部側梁部３ａの第４部分３３４の端部５４、および質量部側梁部３ｂの第４部分３３４の端部５４は、互いに接続されている。さらに、梁部３３は、固定部３０の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部４ａ，４ｂを有し、固定部側梁部４ａ，４ｂは、部分３３５，３３６，３３７，３３８を有し、固定部側梁部４ａの第８部分３３８の端部５８、および固定部側梁部４ｂの第８部分３３８の端部５８は、互いに接続されている。そのため、慣性センサー１００では、梁部３３が捩れること（例えばＺ軸に平行な軸を中心に梁部が回転すること）を抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。したがって、慣性センサー１００は、正確
に角速度を検出することができる。

例えば、駆動バネ部を構成する梁部が捩れると、角速度が加わっていないにもかかわらず、可動体が変位することがある。例えば、角速度が加わった状態で駆動バネ部を構成する梁部が捩れると、可動体の振動モードに質量部の振動モードが結合する場合がある。その結果、慣性センサーの感度特性が悪化し、正確に角速度を検出することができない場合がある。

慣性センサー１００では、式（１），（２）の関係を満たす。そのため、慣性センサー１００では、梁部３３が捩れることを、より確実に抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。

慣性センサー１００では、部分３３２，３３４，３３６，３３８の長さは、部分３３１，３３３，３３５，３３７の長さよりも大きい。そのため、慣性センサー１００では、例えば、梁部３３のＹ軸方向の変形（曲げ変形）を低減し、その結果、梁部３３の曲げ変形をともなう質量部３４のＹ軸方向の変位を低減することができる。

さらに、慣性センサー１００では、部分３３１，３３３，３３５，３３７の長さを部分３３２，３３４，３３６，３３８の長さよりも小さくすることにより、部分３３２，３３４間の間隔、部分３３４，３３８間の間隔、部分３３５，３３８の間隔、質量部３４と第２部分３３２との間隔、および固定部３０と第６部分３３６との間隔を小さくすることができる。これにより、慣性センサー１００では、例えば、梁部３３のＸ軸方向での曲げ変形を規制または制限し、その結果、質量部３４のＹ軸方向の変位を低減することができる。

なお、上記では、慣性センサー１００がＺ軸まわりの角速度ωｚを検出可能なジャイロセンサーである場合について説明したが、本発明に係る慣性センサーは、Ｘ軸まわりの角速度を検出可能なジャイロセンサーであってもよいし、Ｙ軸まわりの角速度を検出可能なジャイロセンサーであってもよい。

１．２． 慣性センサーの製造方法
次に、第１実施形態に係る慣性センサー１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図４は、第１実施形態に係る慣性センサー１００の製造方法の一例を示すフローチャートである。図５および図６は、第１実施形態に係る慣性センサー１００の製造工程を模式的に示す断面図である。

機能素子１０２を形成する（Ｓ１）。具体的には、まず、図５に示すように、ガラス基板を準備し、当該ガラス基板をパターニングして凹部１６およびポスト部１８を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。本工程により、凹部１６およびポスト部１８が設けられた基板１０を得ることができる。

図６に示すように、基板１０の第１面１２に、シリコン基板１１０を接合する。基板１０とシリコン基板１１０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０とシリコン基板１１０とを強固に接合することができる。

図３に示すように、シリコン基板１１０を、例えば研削機によって研削して薄膜化した後、所定の形状にパターニングして、機能素子１０２を形成する。パターニングは、フォトリソグラフィーおよびエッチング（ドライエッチング）によって行われ、具体的なエッチングとして、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）法を用いることができる。

以上の工程により、固定部３０、駆動バネ部３２、質量部３４、可動駆動電極３６、固定駆動電極３８，３９、可動体４０、検出バネ部４２、可動検出電極４４、および固定検出電極４６を有する機能素子１０２を形成することができる。

次に、基板１０と蓋体２０とを接合して、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に、機能素子１０２を収容する（Ｓ２）。基板１０と蓋体２０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０と蓋体２０とを強固に接合することができる。

以上の工程により、慣性センサー１００を製造することができる。

１．３． 慣性センサーの変形例
次に、第１実施形態の変形例に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図７は、第１実施形態の変形例に係る慣性センサー２００を模式的に示す平面図であって、図２に対応する拡大図である。以下、第１実施形態の変形例に係る慣性センサー２００において、第１実施形態に係る慣性センサー１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

上述した慣性センサー１００では、図２に示すように、質量部側梁部３ａ，３ｂの第１部分３３１および第３部分３３３の幅は、第２部分３３２および第４部分３３４の幅と同じであった。さらに、固定部側梁部４ａ，４ｂの第５部分３３５および第７部分３３７の幅は、第６部分３３６および第８部分３３８の幅と同じであった。

これに対し、慣性センサー２００では、図７に示すように、質量部側梁部３ａ，３ｂの第１部分３３１および第３部分３３３の幅は、第２部分３３２および第４部分３３４の幅よりも大きい。さらに、固定部側梁部４ａ，４ｂの第５部分３３５および第７部分３３７の幅は、第６部分３３６および第８部分３３８の幅よりも大きい。図示の例では、接続梁部５の幅は、部分３３１，３３３，３３５，３３７の幅と同じである。

慣性センサー２００では、部分３３１，３３３，３３５，３３７の幅は、部分３３２，３３４，３３６，３３８の幅よりも大きい。そのため、慣性センサー２００では、例えば慣性センサー１００に比べて、梁部３３のＹ軸方向の曲げ変形を低減することができる。

２． 第２実施形態
２．１． 慣性センサー
次に、第２実施形態に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図８は、第２実施形態に係る慣性センサー３００を模式的に示す平面図である。図９は、第２実施形態に係る慣性センサー３００の梁部３３を説明するための図８の拡大図である。なお、便宜上、図８および図９では、基板１０および蓋体２０を省略している。以下、第２実施形態に係る慣性センサー３００において、第１実施形態に係る慣性センサー１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

慣性センサー３００では、図８および図９に示すように、梁部３３が２つの（一対の）分岐梁部６ａ，６ｂを有している点において、上述した慣性センサー１００と異なる。具体的には、慣性センサー３００では、図９に示すように、梁部３３は、２つの質量部側梁部３ａ，３ｂと、２つの固定部側梁部４ａ，４ｂと、２つの接続梁部５ａ，５ｂと、２つの分岐梁部６ａ，６ｂと、を有している。

質量部側梁部３ａ，３ｂの質量部３４と接続する側とは反対側の端部同士は、互い接続されている。具体的には、質量部側梁部３ａ，３ｂは、第１部分３３１および第２部分３
３２を有し、質量部側梁部３ａの第２部分３３２の第１部分３３１側とは反対側の端部５２、および質量部側梁部３ｂの第２部分３３２の第１部分３３１側とは反対側の端部５２は、互いに接続されている。

固定部側梁部４ａ，４ｂの固定部３０と接続する側とは反対側の端部同士は、互い接続されている。具体的には、固定部側梁部４ａ，４ｂは、第５部分３３５および第６部分３３６を有し、固定部側梁部４ａの第６部分３３６の第５部分３３５側とは反対側の端部５６、および固定部側梁部４ｂの第６部分３３６の第５部分３３５側とは反対側の端部５６は、互いに接続されている。

分岐梁部６ａ，６ｂは、梁部３３の途中で分岐している。具体的には、分岐梁部６ａ，６ｂは、接続梁部５ａと接続梁部５ｂから分岐している構造である。接続梁部５ａは、質量部３４側（＋Ｘ軸方向側）に設けられ、接続梁部５ｂは、固定部３０側（−Ｘ軸方向側）に設けられている。分岐梁部６ａ，６ｂは、例えば、平面視において、接続梁部５ａ、５ｂの中心を通りＸ軸方向に延出する仮想直線βに関して対称に設けられている。図示の例では、分岐梁部６ａは、＋Ｙ軸方向側に設けられ、分岐梁部６ｂは、−Ｙ軸方向側に設けられている。分岐梁部６ａ，６ｂの質量部３４側の端部同士は、互いに接続梁部５ａで接続されている。分岐梁部６ａ，６ｂの固定部３０側の端部同士は、互いに接続梁部５ｂで接続されている。

具体的には、分岐梁部６ａ，６ｂの各々は、接続梁部５ａの質量部側梁部３ａ，３ｂ側とは反対側の端部からＹ軸方向に延出している第９部分３３９と、第９部分３３９の接続梁部５ａとは反対側の端部５９からＸ軸方向に延出している第１０部分３４０と、第１０部分３４０の第９部分３３９側とは反対側の端部６０からＹ軸方向に延出している第１１部分３４１と、を有している。第１１部分３４１は、接続梁部５ｂに接続されている。分岐梁部６ａの第９部分３３９の接続梁部５ａ側の端部６９、および分岐梁部６ｂの第９部分３３９の接続梁部５ａ側の端部６９は、互いに接続梁部５ａで接続されている。分岐梁部６ａの第１１部分３４１の接続梁部５ｂ側の端部６１、および分岐梁部６ｂの第１１部分３４１の接続梁部５ｂ側の端部６１は、互いに接続梁部５ｂで接続されている。

分岐梁部６ａ，６ｂの第９部分３３９および第１１部分３４１の長さ（Ｙ軸方向の大きさ）は、例えば、第１０部分３４０の長さ（Ｘ軸方向の大きさ）よりも大きい。第９部分３３９および第１１部分３４１の幅（Ｘ軸方向の大きさ）は、例えば、第１０部分３４０の幅（Ｙ軸方向の大きさ）と同じである。

接続梁部５ａは、質量部側梁部３ａ，３ｂと分岐梁部６ａ，６ｂとを接続している。具体的には、接続梁部５ａは、質量部側梁部３ａ，３ｂの互いに接続されている部分と、分岐梁部６ａ，６ｂの互いに接続されている部分と、を接続している。接続梁部５ａは、質量部側梁部３ａ，３ｂから分岐梁部６ａ，６ｂまでＸ軸方向に延出している。

接続梁部５ｂは、固定部側梁部４ａ，４ｂと分岐梁部６ａ，６ｂとを接続している。具体的には、接続梁部５ｂは、固定部側梁部４ａ，４ｂの互いに接続されている部分と、分岐梁部６ａ，６ｂの互いに接続されている部分と、を接続している。接続梁部５ｂは、固定部側梁部４ａ，４ｂから分岐梁部６ａ，６ｂまでＸ軸方向に延出している。

接続梁部５ａ，５ｂの幅（Ｙ軸方向の大きさ）および部分３３１，３３２，３３５，３３６，３３９，３４０，３４１の幅は、例えば、互いに同じである。なお、図示はしないが、部分３３１，３３５，３４０の幅は、部分３３２，３３６，３３９，３４１の幅より大きくてもよい。

慣性センサー３００では、梁部３３は、質量部３４の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部３ａ，３ｂを有し、質量部側梁部３ａ，３ｂの質量部３４側とは反対側の端部同士は、互いに接続されている。さらに、梁部３３は、固定部３０の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部４ａ，４ｂを有し、固定部側梁部４ａ，４ｂの固定部３０側とは反対側の端部同士は、互いに接続されている。さらに、梁部３３は、梁部３３の途中で分岐している２つの分岐梁部６ａ，６ｂを有し、分岐梁部６ａ，６ｂの質量部３４側の端部同士は、互いに接続され、分岐梁部６ａ，６ｂの固定部３０側の端部同士は、互いに接続されている。そのため、慣性センサー３００では、梁部３３が捩れることを抑制することができる（詳細は後述する「実験例」参照）。したがって、慣性センサー３００は、正確に角速度を検出することができる。

２．２． 慣性センサーの製造方法
次に、第２実施形態に係る慣性センサー３００の製造方法について、説明する。第２実施形態に係る慣性センサー３００の製造方法は、第１実施形態に係る慣性センサー１００の製造方法と基本的に同じである。したがって、その説明を省略する。

２．３． 慣性センサーの変形例
次に、第２実施形態の変形例に係る慣性センサーについて、図面を参照しながら説明する。図１０は、第１実施形態の変形例に係る慣性センサー２００を模式的に示す平面図であって、図９に対応する拡大図である。以下、第２実施形態の変形例に係る慣性センサー４００において、第２実施形態に係る慣性センサー３００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

上述した慣性センサー３００では、図９に示すように、接続梁部５ａ，５ｂは、部分３３１，３３２，３３５，３３６，３３９，３４０，３４１の幅と同じであった。これに対し、慣性センサー４００では、図１０に示すように、接続梁部５ａ，５ｂの幅は、部分３３１，３３２，３３５，３３６，３３９，３４０，３４１の幅よりも大きい。接続梁部５ａ，５ｂの幅は、例えば、部分３３１，３３２，３３９，３４０，３４１の幅の１倍以上１０倍以下である。

３． 実験例
以下に実験例を示し、本発明をより具体的に説明する。なお、本発明は、以下の実験例によってなんら限定されるものではない。

３．１． 第１実験例
第１実験例では、梁部の捩れ度合いを調べた。具体的には、第１部材と、第２部材と、第１部材と第２部材とを連結している梁部と、を含むモデルを用い、有限要素法によるシミュレーションを行って、梁部の捩れ度合いを調べた。

図１１〜図１４は、シミュレーションに用いたモデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４を説明するための図である。

図１１に示すモデルＭ１の梁部３３は、図２に示す慣性センサー１００の梁部３３に対応している。図１２に示すモデルＭ２の梁部３３は、図９に示す慣性センサー３００の梁部３３に対応している。図１３に示すモデルＭ３の梁部３３は、図１０に示す慣性センサー４００の梁部３３に対応している。図１４に示すモデルＭ４の梁部１２３３は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出している。図１４に示す例では、梁部１２３３は、＋Ｙ軸方向側の第１部分１２３３ａと、−Ｙ軸方向側の第２部分１２３３ｂと、を有している。モデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４において梁部３３，１２３３のバネ定数は、同じになるように設計した。

第１実験例では、モデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４において、第１部材１２００をＸ軸方向に変位量Δ１で変位させたときの、第１部材１２００の変位にともない第２部材１２０２がＸ軸方向に変位する変位量Δ２を求めて、比（Δ２／Δ１）を求めた。比（Δ２／Δ１）が１に近いほど、梁部３３，１２３３は、捩れが小さく、第１部材１２００の変位に起因する力を、より第２部材１２０２に伝えることができる。すなわち、比（Δ２／Δ１）が１に近いほど、梁部の捩れが小さいということになる。

図１５は、モデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４における比（Δ２／Δ１）を示す表である。図１５に示すように、モデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３の比（Δ２／Δ１）は、モデルＭ４の比（Δ２／Δ１）よりも大きかった。そのため、モデルＭ１，Ｍ２，Ｍ３の梁部３３は、モデルＭ４の梁部１２３３よりも捩れが小さいということがわかった。したがって、上述した慣性センサー１００，２００，３００，４００では、梁部３３が捩れることを抑制することができるといえる。

さらに、図１５に示すように、モデルＭ１の比（Δ２／Δ１）は、モデルＭ２，Ｍ３の比（Δ２／Δ１）よりも大きかった。したがって、上述した慣性センサー１００，２００は、慣性センサー３００，４００に比べて、梁部３３が捩れることを、より確実に抑制することができるといえる。

３．２． 第２実験例
第２実験例では、梁部の幅と可動体の周波数（検出周波数）との関係を、有限要素法によるシミュレーションを行って調べた。

図１６は、シミュレーションに用いたモデルＭ５を説明するための図である。モデルＭ５の梁部１３３３以外の部分は、図１に示す慣性センサー１００の梁部３３以外の部分と同様の機能を有する。

図１６に示すモデルＭ５では、梁部１３３３は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出している。梁部１３３３は、１つの構造体１１２に対して４つ設けられている。このようなモデルＭ５に対して、梁部１３３３の幅Ｗを２、３、４、５μｍと変化させて可動体４０の周波数（検出周波数）を求めた。質量部３４の共振周波数ｆは、４７ｋＨｚとした。

図１７は、梁部１３３３の幅Ｗと質量部３４の共振周波数（駆動周波数）ｆとの比（Ｗ／ｆ）と、検出周波数と、の関係を示すグラフである。図１７に示すように、 ０．０６＜Ｗ／ｆ、好ましくは、０．０６＜Ｗ／ｆ＜０．１１の関係を満たすことにより、幅Ｗに対する検出周波数の変動を小さくできることがわかった。これは、０．０６＜Ｗ／ｆ、好ましくは、０．０６＜Ｗ／ｆ＜０．１１の関係を満たすことにより、梁部１３３３の捩れを抑制することができたためである。幅Ｗに対する検出周波数の変動を小さくすることができると、駆動周波数と検出周波数との差である離調周波数を安定化させることができ、慣性センサーの感度特性を安定化させることができる。

図１７に示すシミュレーション結果は、図１および図２に示すような慣性センサー１００の梁部３３や、図８および図９に示すような慣性センサー２００の梁部３３、さらに図１０に示すような慣性センサー４００の梁部３３にも適用することができる。したがって、慣性センサー１００，３００，４００では、上述した式（１），（２）の関係を満たすことにより、梁部３３が捩れることを、より確実に抑制することができ、慣性センサーの感度特性を安定化させることができるといえる。なお、図１０に示す慣性センサー４００では、接続梁部５ａ，５ｂ以外の梁部３３の幅が式（１），（２）の関係を満たせば、慣
性センサーの感度特性を安定化させることができる。

４． 第３実施形態
次に、第３実施形態に係る電子機器について図面を参照しながら説明する。図１８は、第３実施形態に係る電子機器１０００の機能ブロック図である。

電子機器１０００は、本発明に係る慣性センサーを含む。以下では、本発明に係る慣性センサーとして、慣性センサー１００を含む場合について説明する。

電子機器１０００は、さらに、演算処理装置（ＣＰＵ）１０２０、操作部１０３０、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１０４０、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１０５０、通信部１０６０、表示部１０７０を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器は、図１８の構成要素（各部）の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

演算処理装置１０２０は、ＲＯＭ１０４０等に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、演算処理装置１０２０は、慣性センサー１００の出力信号や、操作部１０３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部１０６０を制御する処理、表示部１０７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理等を行う。

操作部１０３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を演算処理装置１０２０に出力する。

ＲＯＭ１０４０は、演算処理装置１０２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。

ＲＡＭ１０５０は、演算処理装置１０２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ１０４０から読み出されたプログラムやデータ、慣性センサー１００から入力されたデータ、操作部１０３０から入力されたデータ、演算処理装置１０２０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。

通信部１０６０は、演算処理装置１０２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。

表示部１０７０は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）等により構成される表示装置であり、演算処理装置１０２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。

このような電子機器１０００としては種々の電子機器が考えられ、例えば、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター）、スマートフォンや携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電
図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等が挙げられる。

図１９は、電子機器１０００の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるスマートフォンは、操作部１０３０としてボタンを、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。

図２０は、電子機器１０００の一例である腕装着型の携帯機器（ウェアラブル機器）の外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるウェアラブル機器は、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。

また、電子機器１０００である携帯機器は、例えば、ＧＰＳ受信機（ＧＰＳ：Ｇｌｏｂａｌ Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）等の位置センサーを備え、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することができる。

５． 第４実施形態
次に、第４実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図２１は、第４実施形態に係る移動体１１００として、自動車を模式的に示す斜視図である。

第４実施形態に係る移動体は、本発明に係る慣性センサーを含む。以下では、本発明に係る慣性センサーとして、慣性センサー１００を含む移動体について説明する。

第４実施形態に係る移動体１１００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１１２０、コントローラー１１３０、コントローラー１１４０、バッテリー１１５０およびバックアップ用バッテリー１１６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１１００は、図２１に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。

このような移動体１１００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

１ａ…第１延出部、１ｂ…第２延出部、２…キャビティー、３ａ，３ｂ…質量部側梁部、４ａ，４ｂ…固定部側梁部、５，５ａ，５ｂ…接続梁部、６ａ，６ｂ…分岐梁部、１０…基板、１２…第１面、１４…第２面、１６…凹部、１７…底面、１８…ポスト部、２０…
蓋体、３０…固定部、３０ａ…第１固定部分、３０ｂ…第２固定部分、３２…駆動バネ部、３３…梁部、３４…質量部、３６…可動駆動電極、３８…第１固定駆動電極、３９…第２固定駆動電極、４０…可動体、４２…検出バネ部、４３…梁部、４４…可動検出電極、４６…固定検出電極、５１，５２，５３，５４，５５，５６，５７，５８，５９，６０，６１，６９…端部、１００…慣性センサー、１０２…機能素子、１１０…シリコン基板、１１２…構造体、１１２ａ…第１構造体、１１２ｂ…第２構造体、２００，３００…慣性センサー、３３１…第１部分、３３２…第２部分、３３３…第３部分、３３４…第４部分、３３５…第５部分、３３６…第６部分、３３７…第７部分、３３８…第８部分、３３９…第９部分、３４０…第１０部分、３４１…第１１部分、４００…慣性センサー、１０００…電子機器、１０２０…演算処理装置、１０３０…操作部、１０４０…ＲＯＭ、１０５０…ＲＡＭ、１０６０…通信部、１０７０…表示部、１１００…移動体、１１２０，１１３０，１１４０…コントローラー、１１５０…バッテリー、１１６０…バックアップ用バッテリー、１２００…第１部材、１２０２…第２部材、１２３３…梁部、１２３３ａ…第１部分、１２３３ｂ…第２部分、１３３３…梁部

Claims (8)

1. 基板と、
   前記基板と離間し、第１方向に振動する質量部と、
   前記基板に固定されている固定部と、
   前記質量部と前記固定部とを接続している梁部と、
   を含み、
   前記梁部は、
   前記質量部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部と、
   前記固定部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部と、
   を有し、
   ２つの前記質量部側梁部の各々は、
   前記質量部から前記第１方向に延出している第１部分と、
   前記第１部分の前記質量部側とは反対側の端部から前記第１方向と直交する第２方向に延出している第２部分と、
   前記第２部分の前記第１部分側とは反対側の端部から前記第１方向に延出している第３部分と、
   前記第３部分の前記第２部分側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第４部分と、
   を有し、
   一方の前記質量部側梁部の前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部、および他方の前記質量部側梁部の前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部は、第１の接続部で互い接続され、
   ２つの前記固定部側梁部の各々は、
   前記固定部から前記第１方向に延出している第５部分と、
   前記第５部分の前記固定部側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第６部分と、
   前記第６部分の前記第５部分側とは反対側の端部から前記第１方向に延出している第７部分と、
   前記第７部分の前記第６部分側とは反対側の端部から前記第２方向に延出している第８部分と、
   を有し、
   一方の前記固定部側梁部の前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部、および他方の前記固定部側梁部の前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部は、第２の接続部で互い接続されている、慣性センサー。
2. 請求項１において、
   前記質量部側梁部は、平面視において、前記質量部から前記第４部分の前記第３部分側とは反対側の端部に向けて、階段状の形状を有し、
   前記固定部側梁部は、平面視において、前記固定部から前記第８部分の前記第７部分側とは反対側の端部に向けて、階段状の形状を有する、慣性センサー。
3. 請求項１または２において、
   前記梁部は、前記第１の接続部と前記第２の接続部とを接続している接続梁部を有し、
   ２つの前記質量部側梁部は、平面視において、前記接続梁部の中心を通り前記第１方向に延出する仮想直線に関して対称に設けられ、
   ２つの前記固定部側梁部は、平面視において、前記仮想直線に関して対称に設けられている、慣性センサー。
4. 基板と、
   前記基板と離間している質量部と、
   前記基板に固定されている固定部と、
   前記質量部と前記固定部とを接続している梁部と、
   を含み、
   前記梁部は、
   前記質量部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの質量部側梁部と、
   前記固定部の互いに異なる２つの位置から延出している２つの固定部側梁部と、
   前記梁部の途中で分岐している２つの分岐梁部と、
   を有し、
   ２つの前記質量部側梁部の前記質量部側とは反対側の端部同士は、互いに接続され、
   ２つの前記固定部側梁部の前記固定部側とは反対側の端部同士は、互いに接続され、
   ２つの前記分岐梁部の前記質量部側の端部同士は、互いに接続され、
   ２つの前記分岐梁部の前記固定部側の端部同士は、互いに接続されている、慣性センサー。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
   前記梁部の幅をＷ（μｍ）とし、前記質量部の共振周波数をｆ（ｋＨｚ）とすると、
   ０．０６＜Ｗ／ｆ
   の関係を満たす、慣性センサー。
6. 請求項５において、
   ０．０６＜Ｗ／ｆ＜０．１１
   の関係を満たす、慣性センサー。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の慣性センサーを含む、電子機器。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の慣性センサーを含む、移動体。