JP2019109140A - 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 - Google Patents
物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019109140A JP2019109140A JP2017242453A JP2017242453A JP2019109140A JP 2019109140 A JP2019109140 A JP 2019109140A JP 2017242453 A JP2017242453 A JP 2017242453A JP 2017242453 A JP2017242453 A JP 2017242453A JP 2019109140 A JP2019109140 A JP 2019109140A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- physical quantity
- sensor
- quantity sensor
- portions
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 74
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 20
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 40
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 10
- 230000006870 function Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 6
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 2
- 230000003416 augmentation Effects 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001413 alkali metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0064—Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
- B81B3/0067—Mechanical properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/14—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of gyroscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
- G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5783—Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/0802—Details
-
- G01P9/04—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0228—Inertial sensors
- B81B2201/0242—Gyroscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D1/00—Control of position, course or altitude of land, water, air, or space vehicles, e.g. automatic pilot
- G05D1/02—Control of position or course in two dimensions
- G05D1/021—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles
- G05D1/0268—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles using internal positioning means
- G05D1/027—Control of position or course in two dimensions specially adapted to land vehicles using internal positioning means comprising intertial navigation means, e.g. azimuth detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
Description
<第1実施形態>
先ず、物理量センサーの実施形態として、ジャイロセンサー(角速度センサー)を例示し、図1、図2、および図3を参照して説明する。図1は、本発明の物理量センサーの第1実施形態に係るジャイロセンサー(角速度センサー)の概略構成を示す斜視図である。図2は、図1に示すジャイロセンサーの概略構成を示す断面図である。図3は、図1に示すジャイロセンサー素子を模式的に示す平面図である。なお、図1では、基板(ベース)を概略的に図示し、また、蓋部材の図示を省略している。また、以下、物理量センサーの各実施形態の説明では、互いに直交する三つの軸をX軸(第3軸)、Y軸(第1軸)およびZ軸(第2軸)とする。また、X軸に沿う方向を「X軸方向」とも言い、Y軸方向に沿う方向を「Y軸方向」とも言い、Z軸に沿う方向を「Z軸方向」とも言う。また、Z軸は基板と蓋部材とが重なる厚み方向を示す軸であり、Y軸はジャイロセンサー素子の駆動方向に沿った軸である。さらに、説明の便宜上、Z軸方向から視たときの平面視において、蓋部材側である+Z軸方向側を「上方」もしくは+Z軸方向側の面を「上面」、これと反対側となる−Z軸方向側を「下方」もしくは−Z軸方向側の面を「下面」として説明することがある。また、各図では、説明の便宜上、必要に応じて各部の寸法を適宜誇張して図示しており、各部間の寸法比は実際の寸法比とは必ずしも一致しない。
図1に示すように、物理量センサーの第1実施形態に係るジャイロセンサー1は、X軸まわりの角速度を検知することのできる角速度センサーである。このジャイロセンサー1は、図2に示すように、センサー素子としてのジャイロセンサー素子(角速度センサー素子)4と、ジャイロセンサー素子4を収納しているパッケージ10と、を有している。
パッケージ10は、ジャイロセンサー素子4を支持している基板2(ベース)と、基板2に接合されている蓋部材3と、を有している。基板2と蓋部材3との間には、ジャイロセンサー素子4を収納している空間Sが形成されている。基板2および蓋部材3は、それぞれ、板状をなし、X軸およびY軸を含む平面であるXY平面(基準面)に沿って配置されている。
図3に示すように、センサー素子としてのジャイロセンサー素子(角速度センサー素子)4は、Y軸方向に並んだ二つの素子体40(40a,40b)と、二つの固定検出部49(49a,49b)と、を有している。二つの素子体40a,40bは、図3において、+(プラス)Y軸方向および−(マイナス)Y軸方向の上下対称に構成されており、互いに同様の構成を有する。
図4は、図3に示す弾性部の一部(A部)を模式的に示す平面図である。なお、図4には、図3に示す一点鎖線で囲まれたA部にある弾性部43を代表して図示している。図5は、弾性部の一部を模式的に示す図4のB−B断面図である。図6Aは、ドライエッチング法において、開口率の違いによって生じる形状ばらつきを説明する断面図である。図6Bは、間隔T1/間隔T2と梁部の幅W1(深部幅W2)の変化率との相関を示すグラフである。なお、図6Bにおける間隔T1は梁部と構造体との間隔であり、間隔T2は梁部と隣の梁部との間隔である。
次に、物理量センサーの第2実施形態について、図7、および図8を参照して説明する。図7は、物理量センサーの第2実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す平面図である。図8は、図7に示す弾性部の一部(C部)を模式的に示す平面図である。なお、以下では、第1実施形態と同様の、互いに直交する三つの軸をX軸、Y軸およびZ軸を用いて説明する。また、以下の説明では、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
次に、物理量センサーの第3実施形態について、図9、および図10を参照して説明する。図9は、物理量センサーの第3実施形態に係るジャイロセンサーの概略構成を示す平面図である。図10は、図9に示す弾性部の一部(F部)を模式的に示す平面図である。なお、以下では、第1実施形態と同様の、互いに直交する三つの軸をX軸、Y軸およびZ軸を用いて説明する。また、以下の説明では、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
次に、図11を参照して、前述のジャイロセンサー1,1A,1Bのいずれかを備えた複合センサーの構成例について説明する。図11は、複合センサーの概略構成を示す機能ブロック図である。
次に、図12および図13を参照して、慣性計測ユニット(IMU:Inertial Measurement Unit)について説明する。図12は、慣性計測ユニットの概略構成を示す分解斜視図である。図13は、慣性計測ユニットの慣性センサー素子の配置例を示す斜視図である。
次に、ジャイロセンサー1,1A,1Bのいずれかを用いた携帯型電子機器について、図14および図15に基づき、詳細に説明する。以下、携帯型電子機器の一例として、腕時計型の活動計(アクティブトラッカー)を示し、ジャイロセンサー1を適用した構成として説明する。
1.距離:高精度のGPS機能により計測開始からの合計距離(移動距離)や移動軌跡を計測する。
2.ペース:ペース距離計測値から、現在の走行ペースを表示する。
3.平均スピード:走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
4.標高:GPS機能により、標高を計測し表示する。
5.ストライド:GPS電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
6.ピッチ:1分あたりの歩数を計測し表示する。
7.心拍数:脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
8.勾配:山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
9.オートラップ:事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計測を行う。
10.運動消費カロリー:消費カロリーを表示する。
11.歩数:運動開始からの歩数の合計を表示する。
次に、ジャイロセンサー1,1A,1Bのいずれかを用いた電子機器について、図16〜図18に基づき、詳細に説明する。なお、以下の説明では、ジャイロセンサー1を適用した構成を例示して説明する。
次に、ジャイロセンサー1,1A,1Bのいずれかを用いた移動体を図19に示し、詳細に説明する。なお、以下の説明では、ジャイロセンサー1を適用した構成を例示して説明する。図19は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。
Claims (15)
- 折り返し部を介して接続されている複数の梁部を有する弾性部と、
前記複数の梁部のうちの、外側に位置する外側梁部と対向している構造体と、を備え、
前記外側梁部と前記構造体との間隔をT1、
前記複数の梁部の互いの間隔をT2としたとき、
T2<T1の場合、
前記外側梁部の前記構造体側には、前記外側梁部に対向する第1梁部が設けられている、
物理量センサー。 - 請求項1において、
前記外側梁部と前記第1梁部との間隔をT3としたとき、
0.8<T3/T2<3.0
を満たす、物理量センサー。 - 請求項2において、
0.8<T3/T2≦2.0
を満たす、物理量センサー。 - 請求項3において、
0.9≦T3/T2≦1.1
を満たす、物理量センサー。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項において、
T1≦10μm
を満たす、物理量センサー。 - 請求項5において、
梁部の深さをD1としたとき、
20μm≦D1≦30μm
を満たす、物理量センサー。 - 請求項6において、
梁部の幅をW1としたとき、
0<W1≦10μm
を満たす、物理量センサー。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項において、
前記弾性部、および前記構造体は、センサー素子に設けられ、
前記センサー素子は、角速度を検出可能な角速度センサー素子である、物理量センサー。 - 請求項8に記載の物理量センサーと、
加速度センサーと、
を含む、複合センサー。 - 請求項8に記載の物理量センサーと、
加速度センサーと、
前記物理量センサーおよび前記加速度センサーを制御する制御部と、
を備えている、慣性計測ユニット。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含む、
携帯型電子機器。 - 請求項11において、
衛星測位システムを含み、
ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測する、携帯型電子機器。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて制御を行う制御部と、
を備えている、電子機器。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーから出力された検出信号に基づいて姿勢の制御を行う姿勢制御部と、
を備えている、移動体。 - 請求項14において、
エンジンシステム、ブレーキシステム、およびキーレスエントリーシステムの少なくとも何れかのシステムを含み、
前記姿勢制御部は、前記検出信号に基づいて、前記システムを制御する、移動体。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017242453A JP6787304B2 (ja) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
CN201811547213.0A CN109990772A (zh) | 2017-12-19 | 2018-12-18 | 物理量传感器、复合传感器、电子设备和移动物体 |
US16/224,033 US11092617B2 (en) | 2017-12-19 | 2018-12-18 | Physical quantity sensor, composite sensor, inertial measurement unit, portable electronic apparatus, electronic apparatus, and vehicle |
US17/377,525 US11754594B2 (en) | 2017-12-19 | 2021-07-16 | Physical quantity sensor, composite sensor, inertial measurement unit, portable electronic apparatus, electronic apparatus, and vehicle |
US18/296,184 US20230243864A1 (en) | 2017-12-19 | 2023-04-05 | Physical Quantity Sensor, Composite Sensor, Inertial Measurement Unit, Portable Electronic Apparatus, Electronic Apparatus, And Vehicle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017242453A JP6787304B2 (ja) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020175886A Division JP6879424B2 (ja) | 2020-10-20 | 2020-10-20 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019109140A true JP2019109140A (ja) | 2019-07-04 |
JP2019109140A5 JP2019109140A5 (ja) | 2020-09-24 |
JP6787304B2 JP6787304B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=66814370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017242453A Active JP6787304B2 (ja) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11092617B2 (ja) |
JP (1) | JP6787304B2 (ja) |
CN (1) | CN109990772A (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6787304B2 (ja) | 2017-12-19 | 2020-11-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
JP6870635B2 (ja) * | 2018-03-08 | 2021-05-12 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性計測装置、移動体、携帯型電子機器、及び電子機器 |
JP7192437B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2022-12-20 | セイコーエプソン株式会社 | 慣性センサー、電子機器および移動体 |
JP7188311B2 (ja) * | 2019-07-31 | 2022-12-13 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー、電子機器、及び移動体 |
JP6879424B2 (ja) * | 2020-10-20 | 2021-06-02 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09127151A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JP2000077681A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
JP2002318244A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-10-31 | Denso Corp | 半導体力学量センサとその製造方法 |
JP2014181922A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、電子機器、及び移動体 |
JP2015021787A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、電子機器、および移動体 |
JP2016042074A (ja) * | 2014-08-13 | 2016-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4241045C1 (de) | 1992-12-05 | 1994-05-26 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zum anisotropen Ätzen von Silicium |
US5542295A (en) * | 1994-12-01 | 1996-08-06 | Analog Devices, Inc. | Apparatus to minimize stiction in micromachined structures |
DE19817357B4 (de) * | 1998-04-18 | 2008-10-30 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement |
US6105428A (en) * | 1998-12-10 | 2000-08-22 | Motorola, Inc. | Sensor and method of use |
JP2001330623A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-11-30 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP3435665B2 (ja) * | 2000-06-23 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 複合センサ素子およびその製造方法 |
DE10051973A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-05-02 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanisches Bauelement |
JP2002228680A (ja) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
FR2828185A1 (fr) | 2001-07-31 | 2003-02-07 | Memscap | Procede de fabrication d'un composant optique microelectromecanique |
US7243545B2 (en) * | 2003-03-20 | 2007-07-17 | Denso Corporation | Physical quantity sensor having spring |
JP4455831B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2010-04-21 | 株式会社デンソー | 加速度センサの製造方法 |
US7013730B2 (en) * | 2003-12-15 | 2006-03-21 | Honeywell International, Inc. | Internally shock caged serpentine flexure for micro-machined accelerometer |
US7000473B2 (en) * | 2004-04-20 | 2006-02-21 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEM structure having reduced spring stiction |
US7637160B2 (en) * | 2006-06-30 | 2009-12-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | MEMS suspension and anchoring design |
JP2009175079A (ja) | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 角速度センサ |
JP5081692B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-11-28 | アルプス電気株式会社 | 物理量センサ |
JP2014134481A (ja) * | 2013-01-11 | 2014-07-24 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、電子機器、及び移動体 |
JP2015011002A (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-19 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 複合センサ |
JP2015161640A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP6451076B2 (ja) * | 2014-05-01 | 2019-01-16 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、物理量センサー、電子機器及び移動体 |
JP6481293B2 (ja) * | 2014-09-05 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 |
JP2016057073A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 |
JP6447049B2 (ja) * | 2014-11-20 | 2019-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
US10520526B2 (en) * | 2016-10-11 | 2019-12-31 | Analog Devices, Inc. | Folded tether structure for MEMS sensor devices |
JP6787304B2 (ja) | 2017-12-19 | 2020-11-18 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 |
US10712359B2 (en) * | 2018-05-01 | 2020-07-14 | Nxp Usa, Inc. | Flexure with enhanced torsional stiffness and MEMS device incorporating same |
-
2017
- 2017-12-19 JP JP2017242453A patent/JP6787304B2/ja active Active
-
2018
- 2018-12-18 US US16/224,033 patent/US11092617B2/en active Active
- 2018-12-18 CN CN201811547213.0A patent/CN109990772A/zh active Pending
-
2021
- 2021-07-16 US US17/377,525 patent/US11754594B2/en active Active
-
2023
- 2023-04-05 US US18/296,184 patent/US20230243864A1/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09127151A (ja) * | 1995-11-01 | 1997-05-16 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JP2000077681A (ja) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の製造方法 |
JP2002318244A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-10-31 | Denso Corp | 半導体力学量センサとその製造方法 |
JP2014181922A (ja) * | 2013-03-18 | 2014-09-29 | Seiko Epson Corp | 物理量センサー、電子機器、及び移動体 |
JP2015021787A (ja) * | 2013-07-17 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 機能素子、電子機器、および移動体 |
JP2016042074A (ja) * | 2014-08-13 | 2016-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサー、電子機器および移動体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6787304B2 (ja) | 2020-11-18 |
US11754594B2 (en) | 2023-09-12 |
US11092617B2 (en) | 2021-08-17 |
CN109990772A (zh) | 2019-07-09 |
US20210341511A1 (en) | 2021-11-04 |
US20190187171A1 (en) | 2019-06-20 |
US20230243864A1 (en) | 2023-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6787304B2 (ja) | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP2019070606A (ja) | Memsデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
US11448506B2 (en) | Inertial sensor, method for manufacturing inertial sensor, inertial measurement unit, portable electronic apparatus, electronic apparatus, and vehicle | |
US11852652B2 (en) | Angular velocity sensor, electronic apparatus, and vehicle | |
JP2019109141A (ja) | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、移動体、および物理量センサーの製造方法 | |
JP2019132690A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、移動体および物理量センサーの出力信号調整方法 | |
JP2019113330A (ja) | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、移動体、および物理量センサーの製造方法 | |
JP2019060737A (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 | |
JP2019132593A (ja) | Memsデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP7052345B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP7167425B2 (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP7022364B2 (ja) | 物理量センサー、複合センサー、慣性計測ユニット、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP6969696B2 (ja) | 物理量センサー、慣性計測ユニット、電子機器、および移動体 | |
JP7310988B2 (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP7036273B2 (ja) | 角速度センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP7159548B2 (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 | |
JP7135291B2 (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、電子機器および移動体 | |
JP2019060736A (ja) | 物理量センサー、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器、および移動体 | |
JP2019132688A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 | |
JP2019132689A (ja) | 物理量センサー、物理量センサーデバイス、複合センサーデバイス、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20180910 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20190920 |
|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20200806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200811 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200811 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20200811 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20200813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200929 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201012 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6787304 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |