JP6451076B2 - 機能素子、物理量センサー、電子機器及び移動体 - Google Patents
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Description
上記、加速度センサーは、弾性支持部が、基板上に固定された下層支持部と、下層支持部上に固定された上層支持部と、基板上面に沿って長い形状を有し、且つ一端部が上層支持部に結合され、他端部が可動電極に結合された梁部と、を有している。
図14に示すように、従来の加速度センサー500は、弾性支持部501が、基板502上に固定された下層支持部503と、下層支持部503上に固定された上層支持部504と、基板502の上面に沿ってY軸方向に長い形状を有し、且つ一端部が上層支持部504に結合され、他端部が可動電極505に結合された梁部506と、を有している。
この状態で、図14(b)に示すように、加速度センサー500は、外部からX軸に沿って衝撃が加わった時、例えば、+(プラス)X方向の衝撃が加わった時(破線矢印)、慣性により可動電極505が−(マイナス)X方向へ急激に移動する(実線矢印)。
この際、加速度センサー500は、L1<L2の関係になっていることから、可動電極505が上層支持部504に接触する前に、−X方向へ撓んだ梁部506が上層支持部504の隅部に衝突する。
この結果、加速度センサー500は、上記衝突によって梁部506を損傷する虞があり、耐衝撃性に改善の余地がある。
前記第1固定電極部と間隙を介して対向している第1質量部、前記第2固定電極部と間隙を介して対向している第2質量部および前記第1質量部と前記第2質量部との間に配置されている固定部を含む質量体と、
前記固定部に設けられ、前記基板に固定されている係止部と、
前記第1固定電極部と前記第2固定電極部とが並んでいる方向と直交する第1方向に長手方向が沿い、前記質量体と前記固定部とを接続している支持梁と、
を含み、
前記質量体は、前記基板と前記質量体とが重なる第2方向に、前記支持梁を軸として揺動可能であり、
前記係止部は、前記第2方向からの平面視で、
前記支持梁と前記第1質量部との間に位置し、長手方向が前記第1方向に沿い、前記固定部に接続されている第1部分と、
前記支持梁と前記第2質量部との間に位置し、長手方向が前記第1方向に沿い、前記固定部に接続されている第2部分と、
を含み、
前記第1部分および前記第2部分は、それぞれ、平面視で、前記第1方向と直交する第3方向に沿った幅が前記支持梁よりも大きく、前記基板に固定され、
前記第3方向に沿って、前記第1部分と前記支持梁との距離、および前記第2部分と前記支持梁との距離をそれぞれL1、
前記第1部分と前記第1質量部との距離および前記第2部分と前記第2質量部との距離をそれぞれL2としたとき、
L1>L2
の関係を満たしていることを特徴とする。
[適用例2]上記適用例にかかる機能素子において、前記係止部、前記固定部および前記支持梁は、前記第2方向からの平面視で、前記質量体の内側に配置されていることが好ましい。
[適用例3]上記適用例にかかる機能素子において、前記基板の前記第1固定電極部と前記第2固定電極部との間に設けられている凸部を含み、
前記係止部は、前記凸部に固定されていることが好ましい。
これにより、機能素子は、例えば、外部から第3方向の衝撃が加わった時、質量部が、支持梁より先に係止部に接触することから、支持梁の損傷を抑制することができる。
この結果、機能素子は、従来技術である特許文献1の構成と比較して、耐衝撃性を向上させることができる。
前記支持梁の前記一端側での前記支持梁と前記第2部分との距離は、前記支持梁の前記他端側での前記支持梁と前記第2部分との距離よりも大きいことが好ましい。
[適用例6]上記適用例にかかる機能素子において、前記係止部または前記質量体には、対向する相手側に突出する突起部が設けられ、前記突起部の先端と、対向する相手との距離が、L2であることが好ましい。
この結果、機能素子は、突起部がない場合と比較して、生産性を向上させることができる。
また、機能素子は、突起部によって係止部と質量体との貼り付きを回避することができる。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式図である。図1(a)は、模式平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線での模式断面図である。図2は、図1(a)の2点鎖線で囲まれたB部の模式拡大図である。
なお、図1を含む以降の各図において、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。また、図中のX軸、Y軸及びZ軸は、互いに直交する座標軸であり、矢印の方向が+方向である。
更に、加速度センサー1は、平面視で(Z軸方向から見て)、支持梁20を両側から挟むようにして、質量体30と固定部40との間に配置され、基板10に固定された係止部50と、を備えている。
係止部50は、固定部40から、支持梁20を−X側及び+X側の両側から挟むようにして、Y軸に沿って+Y側及び−Y側に略矩形状に延出している。これにより、固定部40及び係止部50は、互いに一体化され平面視でH字状に形成されていることになる。係止部50は、固定部40とともに基板10に固定されている。
なお、固定部40と係止部50とは、互いに分離され、島状に形成されていてもよい。
第1質量部31及び第2質量部32は、開口部30aの周縁部であって、係止部50の支持梁20側とは反対側に対向する対向部33をそれぞれ有している。
質量体30は、一対の支持梁20を通る軸線Cを回転中心にして、支持梁20が弾性変形範囲内で捩れる(トーションバネ作用)ことにより、Z軸方向にシーソー状に揺動(回動)可能な構成となっている。
第1質量部31及び第2質量部32には、Z軸方向に貫通する貫通孔35が複数形成されている。貫通孔35は、平面視でY軸方向に延びる略矩形状に形成され、X軸方向に並んでいる。
この貫通孔35により、加速度センサー1は、質量体30と基板10との間に存在する気体の流動抵抗(スクイーズフィルムダンピング)を抑制し、加速度印加時における質量体30のZ軸方向へのスムーズな揺動を可能としている。
基板10は、凹部12の底面13の、第1質量部31の可動電極部34と平面視で重なり合う位置に第1固定電極部14を備え、第2質量部32の可動電極部34と平面視で重なり合う位置に第2固定電極部15を備えている。
第1固定電極部14及び第2固定電極部15は、平面形状が略矩形形状であって互いに等面積であり、平面視で、支持梁20(軸線C)に対して線対称形状となっている。
これにより、加速度センサー1は、第1質量部31の可動電極部34と第1固定電極部14との対向面積、及び第2質量部32の可動電極部34と第2固定電極部15との対向面積が、互いに等しくなるように構成されている。
端子部60には、Y軸に沿って−Y側から+Y側へ、共通端子61と、第1端子62と、第2端子63と、がこの順で並んで設けられている。
図示しない配線により、共通端子61は、固定部40、支持梁20を経由して質量体30(可動電極部34)と電気的に接続され、第1端子62は、第1固定電極部14と電気的に接続され、第2端子63は、第2固定電極部15と電気的に接続されている。
これにより、加速度センサー1は、基板10と半導体基板とを陽極接合することができる。また、加速度センサー1は、基板10にアルカリ金属イオンを含むガラスを用いることにより、基板10と半導体基板とを容易に絶縁分離することができる。
また、基板10の材料は、半導体基板の材料との熱膨張係数差ができるだけ小さいことが好ましく、具体的には、基板10の材料と半導体基板の材料との熱膨張係数差が3ppm/℃以下であることが好ましい。これにより、加速度センサー1は、基板10と半導体基板との間の残留応力を低減することができる。
反応性イオンエッチングとしては、例えば、誘導結合型プラズマ(ICP:Inductively Coupled Plasma)を備えたエッチング装置による加工方法を用いることができる。
第1固定電極部14、第2固定電極部15及び配線の形成方法(成膜方法)としては、特に限定されないが、例えば、真空蒸着、スパッタリング(低温スパッタリング)、イオンプレーティングなどの乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキなどの湿式メッキ法、溶射法、薄膜の接合などが挙げられる。
図3は、加速度センサーの動作について説明する模式断面図であり、Z軸方向に物理量としての加速度が印加された状態を示している。なお、断面位置は図1(b)と同様である。
換言すると、加速度センサー1は、質量体30の第1質量部31が第1固定電極部14から離れるとともに、質量体30の第2質量部32が第2固定電極部15に近づく。
このとき、第1固定電極部14と第1質量部31(可動電極部34)との空隙S1は大きくなり、第2固定電極部15と第2質量部32(可動電極部34)との空隙S2は小さくなることから、第1質量部31及び第1固定電極部14間の静電容量は小さくなり、第2質量部32及び第2固定電極部15間の静電容量は大きくなる。
したがって、加速度センサー1は、第1質量部31と第1固定電極部14との空隙S1で発生する静電容量と、第2質量部32と第2固定電極部15との空隙S2で発生する静電容量との違い(差動容量)から、C−V変換することで得られる電圧波形を求めることにより、加速度センサー1に加わる加速度Gを検出することができる。
そして、加速度センサー1は、平面視でY軸方向と交差するX軸方向において、係止部50(詳細には係止部50の支持梁20側の隅部51)と、支持梁20との距離をL1とし、係止部50と対向部33(質量体30)との距離をL2としたとき、L1>L2の関係を満たしている。
図4に示すように、加速度センサー1は、例えば、外部から破線矢印で示す+X方向の衝撃が加わったとき、慣性により質量体30が実線矢印で示す−X方向に急激に移動する。
この際、加速度センサー1は、L1>L2の関係を満たしていることから、第1質量部31及び第2質量部32の対向部33が、支持梁20が係止部50の隅部51に接触する前に、係止部50に接触することになる。
これにより、加速度センサー1は、支持梁20の係止部50への衝突を回避し易くなることから、支持梁20の損傷を抑制することができる。
この結果、加速度センサー1は、従来技術である特許文献1の構成と比較して、耐衝撃性を向上させることができる。
このことから、加速度センサー1は、Z軸方向から印加される加速度Gを、揺動(回動)した第1質量部31及び第2質量部32の可動電極部34と、第1固定電極部14及び第2固定電極部15との間の静電容量の変化として検出することができる。
この結果、加速度センサー1は、温度特性(温度変化に伴う加速度検出特性などの変化の程度)を向上させることができる。
(第1変形例)
図5は、第1実施形態の第1変形例の加速度センサーの要部模式平面図である。
図5に示すように、第1変形例の加速度センサー2は、平面視で係止部50の隅部51の角が、円弧状に丸められている。なお、加速度センサー2は、図示しない−Y側の係止部50についても同様の形状に形成されている。
なお、円弧の曲率は、L1とL2との比や、支持梁20の撓み具合などにより、適宜設定される。また、係止部50の隅部51の角は、複数の円弧の組み合わせや、円弧に替えて任意の曲線で丸められてもよい。
図6は、第1実施形態の第2変形例の加速度センサーの要部模式平面図である。
図6に示すように、第2変形例の加速度センサー3は、平面視で係止部50の隅部51の角が、隅切されている。なお、加速度センサー3は、図示しない−Y側の係止部50についても同様の形状に形成されている。
なお、隅切の大きさや角度は、L1とL2との比や、支持梁20の撓み具合などにより、適宜設定される。
図7は、第1実施形態の第3変形例の加速度センサーの要部模式平面図である。
図7に示すように、第3変形例の加速度センサー4は、係止部50または対向部33に(ここでは係止部50に)、対向する相手側に突出する平面形状が略半円状の突起部52が設けられ、突起部52の先端と、対向する相手(ここでは対向部33)との隙間が、L2となっている。なお、加速度センサー4は、図示しない−Y側の係止部50についても同様の突起部52が設けられている。
この結果、加速度センサー4は、突起部52がない場合と比較して、形状公差が部分的に広くなることから、生産性を向上させることができる。
なお、突起部52は、係止部50に替えて対向部33に設けられてもよい。また、この突起部52を有する構成は、上述した第1変形例、第2変形例及び後述する第2実施形態にも適用可能である。
また、上述した第1変形例、第2変形例の構成は、後述する第2実施形態にも適用可能である。
次に、第2実施形態の加速度センサーについて説明する。
図8は、第2実施形態の加速度センサーの概略構成を示す模式図である。図8(a)は、模式平面図であり、図8(b)は、図8(a)のD−D線での模式断面図である。図9は、図8(a)の2点鎖線で囲まれたE部の模式拡大図である。なお、第1実施形態との共通部分には、同一の符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
詳述すると、加速度センサー5は、固定部40が質量体30をY軸方向から挟むように、質量体30の+Y側と−Y側とにそれぞれ配置され、質量体30の周縁部と一対の固定部40とが一対の支持梁20によって接続されている。
係止部50は、各固定部40から、支持梁20を−X側及び+X側の両側から挟むようにして、Y軸に沿って略矩形状に延出している。
第1質量部31及び第2質量部32は、係止部50の支持梁20側とは反対側に対向するようにY軸に沿って略矩形状に延出した対向部33をそれぞれ有している。
このように構成された加速度センサー5は、第1実施形態と同様に、L1>L2の関係を満たしている。
これにより、加速度センサー5は、質量体30の外形サイズが他の構成と同じ場合であっても、質量体30の質量を大きくできることから、耐衝撃性を向上させつつ、Z軸方向の加速度の検出感度を向上させることができる。
次に、上述した機能素子を備えている電子機器について説明する。
図10は、機能素子を備えている電子機器としてのモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す模式斜視図である。
図10に示すように、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1101を有する表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター1100には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー1(または2〜5のいずれか)が内蔵されている。
図11に示すように、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1201が配置されている。
このような携帯電話機1200には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー1(または2〜5のいずれか)が内蔵されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面(図中手前側)には、表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース1302の正面側(図中奥側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
また、このデジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子1312には、テレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314には、パーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。
このようなデジタルスチルカメラ1300には、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー1(または2〜5のいずれか)が内蔵されている。
なお、上述した機能素子を備えている電子機器としては、これら以外に、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーターなどが挙げられる。
いずれの場合にも、これらの電子機器は、上述した機能素子を備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
次に、上述した機能素子を備えている移動体について説明する。
図13は、機能素子を備えている移動体の一例としての自動車を示す模式斜視図である。
自動車1500は、機能素子を備えている物理量センサーとしての加速度センサー1(または2〜5のいずれか)を、例えば、搭載されているナビゲーション装置、姿勢制御装置などの姿勢検出センサーとして用いている。
これによれば、自動車1500は、上述した機能素子を備えている物理量センサーを備えていることから、上記各実施形態及び各変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
なお、本構成の機能素子は、加速度センサーの他に、角速度センサーなどにも適用可能である。
Claims (9)
- 第1固定電極部および第2固定電極部が並んで設けられている基板と、
前記第1固定電極部と間隙を介して対向している第1質量部、前記第2固定電極部と間隙を介して対向している第2質量部および前記第1質量部と前記第2質量部との間に配置されている固定部を含む質量体と、
前記固定部に設けられ、前記基板に固定されている係止部と、
前記第1固定電極部と前記第2固定電極部とが並んでいる方向と直交する第1方向に長手方向が沿い、前記質量体と前記固定部とを接続している支持梁と、
を含み、
前記質量体は、前記基板と前記質量体とが重なる第2方向に、前記支持梁を軸として揺動可能であり、
前記係止部は、前記第2方向からの平面視で、
前記支持梁と前記第1質量部との間に位置し、長手方向が前記第1方向に沿い、前記固定部に接続されている第1部分と、
前記支持梁と前記第2質量部との間に位置し、長手方向が前記第1方向に沿い、前記固定部に接続されている第2部分と、
を含み、
前記第1部分および前記第2部分は、それぞれ、平面視で、前記第1方向と直交する第3方向に沿った幅が前記支持梁よりも大きく、前記基板に固定され、
前記第3方向に沿って、前記第1部分と前記支持梁との距離および前記第2部分と前記支持梁との距離をそれぞれL1、
前記第1部分と前記第1質量部との距離および前記第2部分と前記第2質量部との距離をそれぞれL2としたとき、
L1>L2
の関係を満たしていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1において、
前記係止部、前記固定部および前記支持梁は、前記第2方向からの平面視で、前記質量体の内側に配置されていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1または2において、
前記基板の前記第1固定電極部と前記第2固定電極部との間に設けられている凸部を含み、
前記係止部は、前記凸部に固定されていることを特徴とする機能素子。 - 請求項1ないし3のいずれか一項において、
前記係止部の前記支持梁側の隅部は、平面視で角が隅切されている、または丸められていることを特徴とする機能素子。 - 請求項4において、
前記支持梁の一端側での前記支持梁と前記第1部分との距離は、前記支持梁の他端側での前記支持梁と前記第1部分との距離よりも大きく、
前記支持梁の前記一端側での前記支持梁と前記第2部分との距離は、前記支持梁の前記他端側での前記支持梁と前記第2部分との距離よりも大きい機能素子。 - 請求項1ないし5のいずれか一項において、
前記係止部または前記質量体には、対向する相手側に突出する突起部が設けられ、
前記突起部の先端と、対向する相手との距離が、L2であることを特徴とする機能素子。 - 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする物理量センサー。
- 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の機能素子を備えていることを特徴とする移動体。
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