JP7003076B2 - センサ - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、センサに関する。

ジャイロセンサなどのセンサがある。センサにおいて、安定した検出が望まれる。

特開２０１８－１６３１４１号公報

本発明の実施形態は、安定した検出が可能なセンサを提供する。

本発明の実施形態によれば、センサは、第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、第１固定部材と、を含む。前記第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にある。前記第１固定部材は、前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、を含む。前記第１固定対向部分は、前記第１可動部分に向かって突出する第１固定突出部を含む。前記第２固定対向部分は、前記第２可動部分に向かって突出する第２固定突出部を含む。

図１は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図２は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図３は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図４は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。 図７は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図８は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図９は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１０は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１１は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１２は、第５実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。 図１３は、第６実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。

以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

（第１実施形態）
図１～図５は、第１実施形態に係るセンサを例示する模式図である。
図２は、実施形態に係るセンサ１１０の平面図である。図１は、センサ１１０の一部を拡大して示す平面図である。図３は、図２のＡ１－Ａ２線断面を含む斜視図である。図４は、センサ１１０の一部の断面を含む斜視図である。図５は、センサ１１０の一部を拡大して示す斜視図である。

図２に示すように、センサ１１０は、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。後述するように、第１固定部材２０は、基体に固定されている。一方、可動部材１０は、基体に固定された別の固定部材に接続部材（ばね部材など）により保持される。例えば、センサ１１０に加速度（または力）が加わった場合、可動部材１０が動く。センサ１１０においては、可動部材１０の動きに基づく信号が取り出される。可動部材１０の動きに基づく信号を取り出す構成の例については、後述する。

第１固定部材２０は、例えば、可動部材１０の過度な動きを抑制する。第１固定部材２０は、例えばストッパである。図１、図４及び図５に示すように、第１固定部材２０と可動部材１０との間に、間隙２０ｇが設けられている。

図１に示すように、可動部材１０に含まれる複数の領域（例えば、複数の部分）の間に、第１固定部材２０が設けられる。可動部材１０に含まれる複数の領域（例えば、複数の部分）は、互いに連続していて良い。例えば、可動部材１０は、第１可動部分１１及び第２可動部分１２を含む。第１可動部分１１は、可動部材１０の第１領域１１Ｒの一部である。第２可動部分１２は、可動部材１０の第２領域１２Ｒの一部である。

第２可動部分１２から第１可動部分１１への方向をＸ軸方向とする。Ｘ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して垂直な方向をＺ軸方向とする。

第１固定部材２０の少なくとも一部は、第１可動部分１１と第２可動部分１２との間にある。例えば、可動部材１０の中に、第１固定部材２０が設けられる。例えば、可動部材１０の孔１０ｈ（図５参照）の中に、第１固定部材２０が設けられる。

可動部材１０の周りにストッパが設けられる第１参考例がある。第１参考例において、ストッパにより、可動部材１０の過度な動きが抑制される。しかしながら、第１参考例においては、可動部材１０の周りに設けられるストッパにより、センサのサイズが大きくなる。または、同じサイズにおいて、可動部材１０の動きに基づく信号を安定して得るための構造を設けることが困難になる。

これに対して、実施形態においては、可動部材１０に含まれる複数の領域（例えば、複数の部分）の間に、第１固定部材２０が設けられる。これにより、センサのサイズが小さくできる。または、同じサイズにおいて、可動部材１０の動きに基づく信号をより安定して得るための構造を設けることが容易になる。実施形態によれば、安定した検出が可能なセンサを提供できる。

図１に示すように、第１固定部材２０は、可動部材１０に対向する部分を含む。第１固定部材２０は、第１固定対向部分２１及び第２固定対向部分２２を含む。第１固定対向部分２１は、第１可動部分１１に対向する。第２固定対向部分２２は、第２可動部分１２に対向する。これらの対向部分は、Ｘ－Ｙ平面内で可動部材１０に対向する。第１固定対向部分２１は、第１可動部分１１に向かって突出する第１固定突出部２１ｐを含む。第２固定対向部分２２は、第２可動部分１２に向かって突出する第２固定突出部２２ｐを含む。

例えば、第１固定部材２０の一部（例えば中心部分２０ｃｐ）は、第１可動部分１１と第２可動部分１２との間にある。例えば、第１固定部材２０の一部（例えば中心部分２０ｃｐ）は、第１固定対向部分２１と第２固定対向部分２２との間にある。第１固定対向部分２１及び第２固定対向部分２２は、第１固定部材２０の対角線上にある。この例では、対角線はＸ軸方向に沿う。例えば、対角線上にある２つの部分のそれぞれに突出部が設けられる。第１固定突出部２１ｐ及び第２固定突出部２２ｐが第１可動部分１１及び第２可動部分１２にそれぞれ対向する。

対角線上の２つの部分にそれぞれ突出部が設けられることで、可動部材１０が過度に動いたときに、第１固定部材２０の突出部が可動部材１０に接触する。

一方、突出部が設けられない場合、可動部材１０が過度に動いたときに、固定部材は、面により、可動部材１０に接触する。このため、固定部材の面と、可動部材１０の面と、が密着して離れ難い場合がある。このため、十分に安定した検出が困難な場合がある。

これに対して、実施形態においては、対角線上の２つの部分にそれぞれ突出部が設けられる。第１固定部材２０の突出部が可動部材１０に接触することで、突出部は可動部材１０から離れ易い。これにより、より安定した検出を維持し易くなる。

図１に示すように、第１固定対向部分２１は、第１固定突出部２１ｐを除く第１固定非突出部２１ｄを含む。例えば、第１固定非突出部２１ｄの曲率は、第１固定突出部２１ｐの曲率よりも低い。例えば、第１固定非突出部２１ｄの曲率半径は、第１固定突出部２１ｐの曲率半径よりも大きい。例えば、第１固定非突出部２１ｄは、実質的に平面である。一方、第１可動部分１１の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

例えば、第２固定対向部分２２は、第２固定突出部２２ｐを除く第２固定非突出部２２ｄを含む。例えば、第２固定非突出部２２ｄの曲率は、第２固定突出部２２ｐの曲率よりも低い。例えば、第２固定非突出部２２ｄの曲率半径は、第２固定突出部２２ｐの曲率半径よりも大きい。例えば、第２固定非突出部２２ｄは、実質的に平面である。一方、第２可動部分１２の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

第１固定対向部分２１は、第１可動部分１１に対向する部分を含む。１つの例において、第１固定対向部分２１の、第１可動部分１１に対向する部分は、曲面状でも良い。別の例において、第１固定対向部分２１の、第１可動部分１１に対向する部分の少なくとも一部は、平面状でも良い。

このような突出部を含む２つの部分（ペア）が、複数設けられても良い。例えば、図１に示すように、可動部材１０は、第３可動部分１３及び第４可動部分１４をさらに含む。第３可動部分１３は、可動部材１０の第３領域１３Ｒに含まれる。第４可動部分１４は、可動部材１０の第４領域１４Ｒに含まれる。第４可動部分１４から第３可動部分１３への方向は、第２可動部分１２から第１可動部分１１への方向（Ｘ軸方向）と交差する。この例では、第４可動部分１４から第３可動部分１３への方向は、Ｘ軸方向に対して傾斜する。第４可動部分１４から第３可動部分１３への方向は、Ｘ軸方向に対して垂直でも良い。

第１固定部材２０は、第３可動部分１３に対向する第３固定対向部分２３と、第４可動部分１４に対向する第４固定対向部分２４と、を含む。第３固定対向部分２３は、第３可動部分１３に向かって突出する第３固定突出部２３ｐを含む。第４固定対向部分２４は、第４可動部分１４に向かって突出する第４固定突出部２４ｐを含む。

第３固定対向部分２３は、第３固定突出部２３ｐを除く第３固定非突出部２３ｄを含む。例えば、第３固定非突出部２３ｄの曲率は、第３固定突出部２３ｐの曲率よりも低い。例えば、第３固定非突出部２３ｄは、実質的に平面である。一方、第３可動部分１３の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

第４固定対向部分２４は、第４固定突出部２４ｐを除く第４固定非突出部２４ｄを含む。例えば、第４固定非突出部２４ｄの曲率は、第４固定突出部２４ｐの曲率よりも低い。例えば、第４固定非突出部２４ｄは、実質的に平面である。一方、第４可動部分１４の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

図１に示すように、可動部材１０は、第５可動部分１５及び第６可動部分１６をさらに含んでも良い。第５可動部分１５は、可動部材１０の第５領域１５Ｒに含まれる。第６可動部分１６は、可動部材１０の第６領域１６Ｒに含まれる。第６可動部分１６から第５可動部分１５への方向は、Ｘ軸方向と交差する。この例では、第６可動部分１６から第５可動部分１５への方向は、Ｘ軸方向に対して実質的に垂直である。

第１固定部材２０は、第５可動部分１５に対向する第５固定対向部分２５と、第６可動部分１６に対向する第６固定対向部分２６と、を含む。第５固定対向部分２５は、第５可動部分１５に向かって突出する第５固定突出部２５ｐを含む。第６固定対向部分２６は、第６可動部分１６に向かって突出する第６固定突出部２６ｐを含む。

第５固定対向部分２５は、第５固定突出部２５ｐを除く第５固定非突出部２５ｄを含む。例えば、第５固定非突出部２５ｄの曲率は、第５固定突出部２５ｐの曲率よりも低い。例えば、第５固定非突出部２５ｄは、実質的に平面である。一方、第５可動部分１５の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

第６固定対向部分２６は、第６固定突出部２６ｐを除く第６固定非突出部２６ｄを含む。例えば、第６固定非突出部２６ｄの曲率は、第６固定突出部２６ｐの曲率よりも低い。例えば、第６固定非突出部２６ｄは、実質的に平面である。一方、第６可動部分１６の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

実施形態において、第１固定部材２０の平面形状（Ｘ－Ｙ平面における形状）は、例えば、実質的に多角形状である。平面形状は、円形状でも良い。第１固定部材２０の突出部は、例えば、第１固定部材２０の平面形状のコーナ部に設けられる。

可動部材１０の孔１０ｈ（図５参照）は、第１固定部材２０の平面形状（突出部を除く平面形状）に実質的に沿っている。

図１に示すように、可動部分（例えば、第１可動部分１１）の両側に、辺部分がある。例えば、可動部材１０は、第１可動辺部分１１ｓａ及び第２可動辺部分１１ｓｂを含む。第１可動部分１１は、第１可動辺部分１１ｓａと第２可動辺部分１１ｓｂとの間において第１可動辺部分１１ｓａ及び第２可動辺部分１１ｓｂに接続される。一方、第１固定部材２０は、第１固定対向辺部分２１ｓａと第２固定対向辺部分２１ｓｂを含む。第１固定対向辺部分２１ｓａは、第１可動辺部分１１ｓａに対向し、第１可動辺部分１１ｓａに沿う。第２固定対向辺部分２１ｓｂは、第２可動辺部分１１ｓｂに対向し、第２可動辺部分１１ｓｂに沿う。

図５に示すように、例えば、第１可動辺部分１１ｓａを含む平面は、第１可動部分１１を含む平面と、交差する。図５に示すように、第２可動辺部分１１ｓｂを含む平面は、第１可動部分１１を含むその平面と、交差する。

センサ１１０の例では、第１可動辺部分１１ｓａを含む平面は、第１可動部分１１を含む平面に対して傾斜している。第２可動辺部分１１ｓｂを含む平面は、第１可動部分１１を含む平面に対して傾斜している。

図１に示すように、例えば、Ｘ－Ｙ平面において、第１可動辺部分１１ｓａ及び第２可動辺部分１１ｓｂのそれぞれの長さは、第１可動部分１１の長さよりも長い。第１可動部分１１は、例えば、コーナ部である。

以下、可動部材１０の保持の状態の例について、説明する。
図２及び図３に示すように、センサ１１０は、基体６１、第２固定部材２０Ｂ及び接続部２０Ｎを含む。第２固定部材２０Ｂは、基体６１に固定される。既に説明したように、第１固定部材２０も、基体６１に固定される（図４参照）。基体６１から第２固定部材２０Ｂへの方向は、Ｚ軸方向に沿う（図３参照）。基体６１から第１固定部材２０への方向は、Ｚ軸方向に沿う（図４参照）。図３及び図４に示すように、基体６１と第２固定部材２０Ｂとの間、及び、基体６１と第１固定部材２０との間に絶縁膜が設けられている。絶縁層６２の上に設けられる導電層６３が、第１固定部材２０及び第２固定部材２０Ｂとなる。

基体６１は、例えば、シリコン基板である。絶縁層６２は、例えば、シリコン酸化膜である。導電層６３は、例えば、不純物を含むシリコンである。これらの材料に関する記載は例であり、実施形態において、これらの材料は、他の材料でも良い。基体６１、絶縁層６２及び導電層６３を含む積層体６０は、例えば、ＳＯＩ基板である。

接続部２０Ｎは、第２固定部材２０Ｂと可動部材１０とを接続する（図２参照）。接続部２０Ｎは、可動部材１０を保持する。可動部材１０として、上記の導電層６３が設けられる。基体６１の上の絶縁層６２が除去された部分が、可動部材１０となる（図３参照）。可動部材１０と基体６１との間には、間隙が設けられる。

接続部２０Ｎは、例えば、弾性構造体である。第２固定部材２０Ｂと可動部材１０との間の距離（第２固定部材２０Ｂから可動部材１０への方向に沿う距離）は、変化可能である。この例では、接続部２０Ｎは、ミアンダ構造を有している。

図２に示すように、この例では、複数の第１固定部材２０が設けられている。複数の第１固定部材２０は、第２固定部材２０Ｂを中心とする円周上に、設けられている。基体６１から第２固定部材２０Ｂへの方向（Ｚ軸方向）と交差する平面（Ｘ－Ｙ平面）において、第２固定部材２０Ｂの周りに複数の第１固定部材２０が設けられている。この平面において、複数の第１固定部材２０の周りに可動部材１０が設けられている。例えば、複数の第１固定部材２０の１つと、複数の第１固定部材２０の別の１つとの間に、第２固定部材２０Ｂがある。例えば、第２固定部材２０Ｂは、複数の第１固定部材２０が設けられる円の実質的な中心にある。例えば、複数の第１固定部材２０は、第２固定部材２０Ｂの中心部分２０Ｂｃ（図２参照）を中心とする実質的に点対称の位置に設けられる。

上記の第１固定突出部２１ｐのような突出部がさらに設けられても良い。図１に示すように、第５～第８可動部分１５～１８は、第５～第８領域１５Ｒ～１８Ｒのそれぞれの一部である。第５～第８固定対向部分２５～２８は、第５～第８可動部分１５～１８にそれぞれ対向する。第５～第８固定対向部分２５～２８は、第５～第８固定突出部２５ｐ～２８ｐをそれぞれ含む。第５～第８固定突出部２５ｐ～２８ｐは、第５～第８可動部分１５～１８にそれぞれ対向する。第５～第８固定対向部分２５～２８は、第５～第８固定突出部２５ｐ～２８ｐを除く第５～第８固定非突出部２５ｄ～２８ｄを含む。

以下、可動部材１０の動きに基づく信号を取り出す構成の例について、説明する。
図２及び図３に示すように、センサ１１０は、第１構造体３１及び制御部７０を含む。第１構造体３１は、基体６１に固定される（図３参照）。第１構造体３１及び可動部材１０は、櫛歯状に互いに対向する。櫛歯状の構造の例については、後述する。

制御部７０は、第１構造体３１及び可動部材１０と電気的に接続される（図３参照）。この例では、第２固定部材２０Ｂに電極パッド２０ＢＰが設けられる。可動部材１０は、接続部２０Ｎ及び第２固定部材２０Ｂを介して、電極パッド２０ＢＰと電気的に接続される。制御部７０は、例えば、配線７０ｂを介して、電極パッド２０ＢＰと電気的に接続される。一方、第１構造体３１に電極パッド３１Ｐが設けられる。制御部７０は、例えば、配線７０ａを介して、電極パッド３１Ｐと電気的に接続される。

制御部７０は、第１構造体３１を基準にした可動部材１０の振動を生じさせる。例えば、制御部７０は、配線７０ａ及び配線７０ｂの間に交流電圧を印加する。交流電圧に応じた静電力が第１構造体３１及び可動部材１０に加わる。これにより、可動部材１０が振動する。

例えば、可動部材１０と第１構造体３１（電極）との間のキャパシタンスを検出することで、可動部材１０の位置（例えば、第１構造体３１を基準にしたときの相対的な位置）を検出することができる。可動部材１０の位置は、可動部材１０の櫛歯方向の位置である。例えば、第１構造体３１は、駆動用、または、検出用に用いることができる。

さらに、振動している可動部材１０に外部から加速度（または力）が加わると、振動の状態が変化する。振動の状態の変化は、例えば、コリオリ力に基づく。振動の状態の変化を検出することで、検出対象である外部の加速度（または力）を検出できる。制御部７０は、可動部材１０に加速度（または力）が加わったときの振動の変化に対応する信号を出力する。センサ１１０は、例えば、ジャイロセンサである。

図２に示すように、複数の第１構造体３１が設けられる。複数の第１構造体３１は、例えば、第２固定部材２０Ｂを中心とする円周上に設けられている。図２においては、図を見やすくするために、複数の第１構造体３１の一部について、電極パッド３１Ｐが図示されており、複数の第１構造体３１の別の一部において、電極パッド３１Ｐは省略されている。

図２に示すように、この例では、複数の別の第１構造体３１Ａが設けられる。複数の第１構造体３１Ａは、例えば、第２固定部材２０Ｂを中心とする円周上に設けられている。例えば、複数の第１構造体３１Ａのそれぞれに電極パッド３１ＡＰが設けられる。図２においては、図を見やすくするために、複数の第１構造体３１Ａの一部について、電極パッド３１ＡＰが図示されており、複数の第１構造体３１Ａの別の一部において、電極パッド３１ＡＰは省略されている。制御部７０は、第１構造体３１Ａ及び可動部材１０と電気的に接続される。制御部７０は、第１構造体３１Ａと可動部材１０との間に電圧（例えば交流電圧）を印加できる。第１構造体３１Ａと可動部材１０との間の電圧により、可動部材１０の振動を生じさせる。

例えば、可動部材１０と第１構造体３１Ａとの間のキャパシタンスを検出することで、可動部材１０の位置を検出することができる。第１構造体３１Ａは、駆動用、または、検出用に用いることができる。複数の第１構造体３１の１つ以上と、複数の第１構造体３１Ａの１つ以上と、を含む組みにより、可動部材１０を振動させることができる。組みにより、可動部材１０の動きを検出することができる。

図２及び図３に示すように、この例では、複数の第２構造体３２が設けられる。複数の第２構造体３２は、例えば、第２固定部材２０Ｂを中心とする円周上に設けられている。例えば、複数の第２構造体３２のそれぞれに電極パッド３２Ｐが設けられる。図２においては、図を見やすくするために、複数の第２構造体３２の一部について、電極パッド３２Ｐが図示されており、複数の第２構造体３２の別の一部において、電極パッド３２Ｐは省略されている。

制御部７０は、第２構造体３２及び可動部材１０と電気的に接続される。制御部７０は、第２構造体３２と可動部材１０との間に電圧を印加できる。例えば、第２構造体３２と可動部材１０との間の静電力により、可動部材１０の実効的なバネ定数を調整できる。例えば、第２構造体３２により、共振周波数の非対称性を補正することが可能になる。

第１構造体３１、別の第１構造体３１Ａ、及び、第２構造体３２は、可動部材１０の中に設けられる。第１構造体３１、別の第１構造体３１Ａ、及び、第２構造体３２の周りに、可動部材１０がある。

例えば、複数の第１構造体３１、複数の別の第１構造体３１Ａ、及び、複数の第２構造体３２のそれぞれは、第２固定部材２０Ｂの中心部分２０Ｂｃ（図２参照）を中心とする実質的に点対称の位置に設けられる。

制御部７０は、第１固定部材２０と電気的に接続されても良い。制御部７０により、第１固定部材２０の電位が制御されても良い。第１固定部材２０の電位は、例えば、可動部材１０の電位と実質的に同じでも良い。安定した特性が得やすくなる。図３に示すように、第１固定部材２０に電極パッド２０Ｐが設けられてもよい。図２においては、電極パッド２０Ｐが省略されている。制御部７０と第１固定部材２０との間の電気的な接続は、電極パッド２０Ｐにより行われても良い。

図２及び図３に示すように、複数の第３固定部材２０Ｃが設けられても良い。複数の第３固定部材２０Ｃは、基体６１に固定される。Ｘ－Ｙ平面において、可動部材１０の周りに複数の第３固定部材２０Ｃが設けられる。制御部７０は、第３固定部材２０Ｃと電気的に接続されても良い。第３固定部材２０Ｃに印加される電圧により、可動部材１０の位置、または、可動部材１０の振動の状態などが制御されても良い。可動部材１０と第３固定部材２０Ｃとのキャパシタンスを検出することで、可動部材１０の位置を検出することができる。制御部７０と第３固定部材２０Ｃとの間の電気的な接続は、電極パッド２０ＣＰ（図３参照）により行われても良い。

複数の第４固定部材２０Ｄがさらに設けられても良い。複数の第４固定部材２０Ｄは、基体６１に固定される。Ｘ－Ｙ平面において、可動部材１０の周りに複数の第４固定部材２０Ｄが設けられる。制御部７０は、第４固定部材２０Ｄと電気的に接続されても良い。第４固定部材２０Ｄに印加される電圧により、可動部材１０の位置、または、可動部材１０の振動の状態などが制御されても良い。可動部材１０と第４固定部材２０Ｄとの間のキャパシタンスを検出することで、可動部材１０の位置を検出することができる。制御部７０と第４固定部材２０Ｄとの間の電気的接続は、電極パッド２０ＤＰ（図３参照）により行われても良い。

複数の第５固定部材２０Ｅがさらに設けられても良い。複数の第５固定部材２０Ｅは、基体６１に固定される。Ｘ－Ｙ平面において、可動部材１０の周りに複数の第５固定部材２０Ｅが設けられる。制御部７０は、第５固定部材２０Ｅと電気的に接続されても良い。第５固定部材２０Ｅは、ストッパとして機能しても良い。例えば、安定した動作が可能になる。制御部７０と第５固定部材２０Ｅとの間の電気的な接続は、電極パッド２０ＥＰ（図３参照）により行われても良い。

例えば、複数の第３～第５固定部材２０Ｃ～２０Ｅのそれぞれは、第２固定部材２０Ｂの中心部分２０Ｂｃ（図２参照）を中心とする実質的に点対称の位置に設けられる。

以下、第１構造体３１及び可動部材１０の櫛歯状の構造の例について説明する。
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、第１実施形態に係るセンサの一部を例示する模式的平面図である。
これらの図は、第１構造体３１及び可動部材１０を拡大して示している。図６（ａ）に示すように、第１構造体３１は、複数の第１構造部分３１ａと、第２構造部分３１ｂと、を含む。複数の第１構造部分３１ａは、第２構造部分３１ｂと接続されている。複数の第１構造部分３１ａのそれぞれは、第２構造部分３１ｂから延びている。複数の第１構造部分３１ａは、枝状部分である。可動部材１０は、複数の第１構造部分３１ａと対向する部分１０Ｔを含む。部分１０Ｔは、枝状部分である。第１構造部分３１ａ及び部分１０Ｔは、交互に並ぶ。

図６（ｂ）においては、図６（ａ）の一部が拡大されている。図６（ｂ）に示すように、第１構造部分３１ａは、複数の延在部分３１ａｐを含む。複数の延在部分３１ａｐは、第１構造部分３１ａから突出する。図６（ｂ）に示すように、部分１０Ｔは、複数の延在部分１０Ｔｐを含む。複数の延在部分１０Ｔｐは、部分１０Ｔから突出する。延在部分３１ａｐ及び延在部分１０Ｔｐは、交互に並ぶ。延在部分３１ａｐ及び延在部分１０Ｔｐは、互いに対向する。延在部分３１ａｐ及び延在部分１０Ｔｐは、互いに実質的に平行である。

第１構造体３１と可動部材１０との間に電圧（例えば交流電圧）が印加されると、延在部分３１ａｐを含む第１構造部分３１ａと、延在部分１０Ｔｐを含む部分１０Ｔと、の間に静電力が加わる。例えば、第１構造部分３１ａと部分１０Ｔとの間の距離が、周期的に変化する。電圧を調整することで、可動部材１０を振動させることができる。

（第２実施形態）
図７は、第２実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図７は、実施形態に係るセンサ１１１の一部を拡大して例示している。センサ１１１も、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。センサ１１１における可動部材１０及び第１固定部材２０の構造は、センサ１１０におけるそれと異なる。センサ１１１におけるその他の構成は、センサ１１０の構成と同じなので、説明を省略する。センサ１１１においては、可動部材１０に突出部が設けられる。

図７に示すように、可動部材１０は、第１可動部分１１及び第２可動部分１２を含む。第１固定部材２０の少なくとも一部は、第１可動部分１１と第２可動部分１２との間にある。第１固定部材２０は、第１可動部分１１に対向する第１固定対向部分２１と、第２可動部分１２に対向する第２固定対向部分２２と、を含む。第１可動部分１１は、第１固定対向部分２１に向かって突出する第１可動突出部１１ｐを含む。第２可動部分１２は、第２固定対向部分２２に向かって突出する第２可動突出部１２ｐを含む。

センサ１１１においても、センサのサイズが小さくできる。または、同じサイズにおいて、可動部材１０の動きに基づく信号をより安定して得やすい。可動部材１０の突出部は第１固定部材２０から離れ易い。本実施形態においても、より安定した検出を維持し易くなる。

図７に示すように、第１可動部分１１は、第１可動突出部１１ｐを除く第１可動非突出部１１ｄを含む。第１可動非突出部１１ｄの曲率は、第１可動突出部１１ｐの曲率よりも低い。例えば、第１可動非突出部１１ｄは、実質的に平面である。第１固定対向部分２１の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

同様に、第２可動部分１２は、第２可動突出部１２ｐを除く第２可動非突出部１２ｄを含む。第２可動非突出部１２ｄの曲率は、第２可動突出部１２ｐの曲率よりも低い。例えば、第２可動非突出部１２ｄは、実質的に平面である。第２固定対向部分２２の少なくとも一部は、実質的に平面状である。

このような構成の突出部が、他の可動部分にも設けられる。例えば、可動部材１０は、第３可動部分１３及び第４可動部分１４をさらに含む。第４可動部分１４から第３可動部分１３への方向は、第２可動部分１２から第１可動部分１１への方向（この例では、Ｘ軸方向）と交差する。

第１固定部材２０は、第３可動部分１３に対向する第３固定対向部分２３と、第４可動部分１４に対向する第４固定対向部分２４と、を含む。第３可動部分１３は、第３固定対向部分２３に向かって突出する第３可動突出部１３ｐを含む。第４可動部分１４は、第４固定対向部分２４に向かって突出する第４可動突出部１４ｐを含む。

同様に、第３可動部分１３は、第３可動突出部１３ｐを除く第３可動非突出部１３ｄを含む。第３可動非突出部１３ｄの曲率は、第３可動突出部１３ｐの曲率よりも低い。第４可動部分１４は、第４可動突出部１４ｐを除く第４可動非突出部１４ｄを含む。第４可動非突出部１４ｄの曲率は、第４可動突出部１４ｐの曲率よりも低い。

この例では、第４可動部分１４から第３可動部分１３への方向は、第２可動部分１２から第１可動部分１１への方向に対して傾斜している。

このような突出部がさらに設けられても良い。図７に示すように、第５～第８可動部分１５～１８は、第５～第８領域１５Ｒ～１８Ｒのそれぞれの一部である。第５～第８可動部分１５～１８は、第５～第８可動突出部１５ｐ～１８ｐをそれぞれ含む。第５～第８可動突出部１５ｐ～１８ｐは、第５～第８固定対向部分２５～２８にそれぞれ対向する。第５～第８可動部分１５～１８は、第５～第８可動突出部１５ｐ～１８ｐを除く第５～第８可動非突出部１５ｄ～１８ｄを含む。

（第３実施形態）
図８は、第３実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図８は、実施形態に係るセンサ１１２の一部を拡大して例示している。センサ１１２も、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。センサ１１２における可動部材１０及び第１固定部材２０の構造は、センサ１１０におけるそれと異なる。センサ１１２におけるその他の構成は、センサ１１０の構成と同じなので、説明を省略する。センサ１１２においては、可動部材１０の一部に突出部が設けられ、第１固定部材２０の一部に突出部が設けられる。

図８に示すように、センサ１１２において、可動部材１０は、第１可動部分１１及び第２可動部分１２を含む。第１固定部材２０の少なくとも一部は、第１可動部分１１と第２可動部分１２との間にある。第１固定部材２０は、第１可動部分１１に対向する第１固定対向部分２１と、第２可動部分１２に対向する第２固定対向部分２２と、を含む。

センサ１１２においては、第１固定対向部分２１は、第１可動部分１１に向かって突出する第１固定突出部２１ｐを含む。第２可動部分１２は、第２固定対向部分２２に向かって突出する第２可動突出部１２ｐを含む。

このように、可動部分及び固定対向部分の少なくともいずれかに突出部が設けられても良い。

センサ１１２においても、センサのサイズが小さくできる。または、同じサイズにおいて、可動部材１０の動きに基づく信号をより安定して得やすい。突出部が設けられることで、可動部材１０と第１固定部材２０とが互いに離れ易い。本実施形態においても、より安定した検出を維持し易くなる。

センサ１１２において、可動部材１０の一部に突出部が設けられ、第１固定部材２０の一部に突出部が設けられてなくても良い。例えば、第１固定部材２０の少なくとも一部は、第３可動部分１３と第４可動部分１４との間にある。第１固定部材２０は、第３可動部分１３に対向する第３固定対向部分２３と、第４可動部分１４に対向する第４固定対向部分２４と、を含む。

第３可動部分１３は、第３固定対向部分２３に向かって突出する第３可動突出部１３ｐを含む。第４固定対向部分２４は、第４可動部分１４に向かって突出する第４固定突出部２４ｐを含む。

第３可動部分１３は、「第１可動部分」でも良く、第４固定対向部分２４は、「第２固定対向部分」でも良い。この場合、「第１可動部分」は、「第１固定対向部分」に向かって突出する「第１可動突出部」を含むことになる。「第２固定対向部分」は、「第２可動部分」に向かって突出する「第２固定突出部」を含むことになる。

（第４実施形態）
図９～図１１は、第４実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図９は、実施形態に係るセンサ１２０の平面図である。図１０は、図９の一部を拡大して例示している。図１１は、図１０の一部をさらに拡大して例示している。

センサ１２０も、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。センサ１２０においては、第１構造体３１の構成が、センサ１１０における第１構造体３１の構成とは異なる。センサ１２０におけるその他の構成は、センサ１１０の構成と同じとしても良い。

センサ１２０においても、可動部材１０に第１～第８可動部分１１～１８が設けられる。第１固定部材２０に第１～第８固定対向部分２１～２８が設けられる。センサ１２０においては、第１～第８固定対向部分２１～２８のそれぞれに、第１～第８固定突出部２１ｐ～２８ｐが設けられる。図１０に示すように、可動部材１０に、孔１０ｉ（または凹部）などが設けられても良い。

（第５実施形態）
図１２は、第５実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１２は、実施形態に係るセンサ１２１の一部を拡大して例示している。センサ１２１も、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。センサ１２１における可動部材１０及び第１固定部材２０の構造は、センサ１２０におけるそれと異なる。センサ１２１におけるその他の構成は、センサ１２０の構成と同じである。センサ１２１においては、可動部材１０に突出部（第１～第８可動突出部１１ｐ～１８ｐ）が設けられる。

（第６実施形態）
図１３は、第６実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図１３は、実施形態に係るセンサ１２２の一部を拡大して例示している。センサ１２２も、可動部材１０及び第１固定部材２０を含む。センサ１２２における可動部材１０及び第１固定部材２０の構造は、センサ１２０におけるそれと異なる。センサ１２２におけるその他の構成は、センサ１２０の構成と同じである。センサ１２２においては、可動部材１０の一部に突出部が設けられ、第１固定部材２０の一部に突出部が設けられる。例えば、第１～第８固定突出部２１ｐ～２８ｐ、または、第１～第８可動突出部１１ｐ～１８ｐが設けられる。

センサ１２０～１２２においても、センサのサイズが小さくできる。または、同じサイズにおいて、可動部材１０の動きに基づく信号をより安定して得やすい。突出部が設けられることで、可動部材１０と第１固定部材２０とが互いに離れ易い。本実施形態においても、より安定した検出を維持し易くなる。

実施形態は、以下の構成（例えば技術案）を含んでも良い。
（構成１）
第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
第１固定部材と、
を備え、
前記第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
前記第１固定部材は、
前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
を含み、
前記第１固定対向部分は、前記第１可動部分に向かって突出する第１固定突出部を含み、
前記第２固定対向部分は、前記第２可動部分に向かって突出する第２固定突出部を含む、センサ。

（構成２）
前記第１固定対向部分は、前記第１固定突出部を除く第１固定非突出部を含み、
前記第１固定非突出部の曲率は、前記第１固定突出部の曲率よりも低い、構成１記載のセンサ。

（構成３）
前記第１固定対向部分は、前記第１固定突出部を除く第１固定非突出部を含み、
前記第１固定非突出部は、実質的に平面であり、
前記第１可動部分の少なくとも一部は、実質的に平面状である、構成１記載のセンサ。

（構成４）
前記可動部材は、第３可動部分及び第４可動部分をさらに含み、
前記第４可動部分から前記第３可動部分への方向は、前記第２可動部分から前記第１可動部分への方向と交差し、
前記第１固定部材は、
前記第３可動部分に対向する第３固定対向部分と、
前記第４可動部分に対向する第４固定対向部分と、
をさらに含み、
前記第３固定対向部分は、前記第３可動部分に向かって突出する第３固定突出部を含み、
前記第４固定対向部分は、前記第４可動部分に向かって突出する第４固定突出部を含む、構成１～３のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成５）
前記第４可動部分から前記第３可動部分への前記方向は、前記第２可動部分から前記第１可動部分への前記方向に対して傾斜した、構成４記載のセンサ。

（構成６）
第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
第１固定部材と、
を備え、
前記第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
前記第１固定部材は、
前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
を含み、
前記第１可動部分は、前記第１固定対向部分に向かって突出する第１可動突出部を含み、
前記第２可動部分は、前記第２固定対向部分に向かって突出する第２可動突出部を含む、センサ。

（構成７）
前記第１可動部分は、前記第１可動突出部を除く第１可動非突出部を含み、
前記第１可動非突出部の曲率は、前記第１可動突出部の曲率よりも低い、構成６記載のセンサ。

（構成８）
前記第１可動部分は、前記第１可動突出部を除く第１可動非突出部を含み、
前記第１可動非突出部は、実質的に平面であり、
前記第１固定対向部分の少なくとも一部は、実質的に平面状である、構成６記載のセンサ。

（構成９）
前記可動部材は、第３可動部分及び第４可動部分をさらに含み、
前記第４可動部分から前記第３可動部分への方向は、前記第２可動部分から前記第１可動部分への方向と交差し、
前記第１固定部材は、
前記第３可動部分に対向する第３固定対向部分と、
前記第４可動部分に対向する第４固定対向部分と、
をさらに含み、
前記第３可動部分は、前記第３固定対向部分に向かって突出する第３可動突出部を含み、
前記第４可動部分は、前記第４固定対向部分に向かって突出する第４可動突出部を含む、構成６～８のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１０）
前記第４可動部分から前記第３可動部分への前記方向は、前記第２可動部分から前記第１可動部分への前記方向に対して傾斜した、構成９記載のセンサ。

（構成１１）
第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
第１固定部材と、
を備え、
前記第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
前記第１固定部材は、
前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
を含み、
前記第１固定対向部分は、前記第１可動部分に向かって突出する第１固定突出部を含み、
前記第２可動部分は、前記第２固定対向部分に向かって突出する第２可動突出部を含む、センサ。

（構成１２）
第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
第１固定部材と、
を備え、
前記第１固定部材の少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
前記第１固定部材は、
前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
を含み、
前記第１可動部分は、前記第１固定対向部分に向かって突出する第１可動突出部を含み、
前記第２固定対向部分は、前記第２可動部分に向かって突出する第２固定突出部を含む、センサ。

（構成１３）
前記可動部材は、第１可動辺部分及び第２可動辺部分を含み、
前記第１可動部分は、前記第１可動辺部分と前記第２可動辺部分との間において前記第１可動辺部分及び前記第２可動辺部分に接続され、
前記第１固定部材は、
前記第１可動辺部分に対向し前記第１可動辺部分に沿う第１固定対向辺部分と、
前記第２可動辺部分に対向し前記第１可動辺部分に沿う第２固定対向辺部分と、
を含み、
前記第１可動辺部分を含む平面は、前記第１可動部分を含む平面と、交差し、
前記第２可動辺部分を含む平面は、前記第１可動部分を含む前記平面と、交差した、構成１～１２のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１４）
前記第１可動辺部分を含む前記平面は、前記第１可動部分を含む前記平面に対して傾斜し、
前記第２可動辺部分を含む前記平面は、前記第１可動部分を含む前記平面に対して傾斜した、構成１３記載のセンサ。

（構成１５）
基体と、
前記基体に固定された第２固定部材と、
接続部と、
をさらに備え、
前記第１固定部材は、前記基体に固定され、
前記接続部は、前記第２固定部材と前記可動部材とを接続し、前記接続部は、前記可動部材を保持する、構成１～１４のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成１６）
複数の前記第１固定部材が設けられ、
前記基体から前記第２固定部材への方向と交差する平面において、前記第２固定部材の周りに前記複数の第１固定部材が設けられた、構成１５記載のセンサ。

（構成１７）
前記平面において、前記複数の第１固定部材の周りに前記可動部材が設けられた、構成１６記載のセンサ。

（構成１８）
前記基体に固定された複数の第３固定部材をさらに備え、
前記平面において、前記可動部材の周りに前記複数の第３固定部材が設けられた、構成１６または１７に記載のセンサ。

（構成１９）
前記基体に固定された第１構造体であって、前記第１構造体及び前記可動部材は、櫛歯状に互いに対向する、前記第１構造体と、
前記第１構造体及び前記可動部材と電気的に接続された制御部と、
をさらに備え、
前記制御部は、前記第１構造体を基準にした前記可動部材の振動を生じさせる、構成１６～１８のいずれか１つに記載のセンサ。

（構成２０）
前記制御部は、前記第２固定部材を介して前記可動部材と電気的に接続された、構成１９記載のセンサ。

（構成２１）
前記制御部は、前記可動部材に力が加わったときの前記振動の変化に対応する信号を出力する、構成１９記載のセンサ。

実施形態によれば、安定した検出が可能なセンサが提供できる。

本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれば良い。

以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、センサに含まれる可動部材、固定部材、突出部及び制御部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。

また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。

その他、本発明の実施の形態として上述したセンサを基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全てのセンサも、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。

その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１０…可動部材、 １０Ｔ…部分、 １０Ｔｐ…延在部分、 １０ｈ、１０ｉ…孔、 １１～１８…第１～第８可動部分、 １１Ｒ～１８Ｒ…第１～第８領域、 １１ｄ～１８ｄ…第１～第８可動非突出部、 １１ｐ～１８ｐ…第１～第８可動突出部、 １１ｓａ、１１ｓｂ…第１、第２可動辺部分、 ２０、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｅ、２０Ｅ…第１～第５固定部材、 ２０Ｂｃ…中心部分、 ２０Ｐ、２０ＢＰ、２０ＣＰ、２０ＤＰ、２０ＥＰ…電極パッド、 ２０Ｎ…接続部、 ２０ｃｐ…中心部分、 ２０ｇ…間隙、 ２１～２８…第１～第８固定対向部分、 ２１ｄ～２８ｄ…第１～第８固定非突出部、 ２１ｐ～２８ｐ…第１～第８固定突出部、 ２１ｓａ、２１ｓｂ…第１、第２固定対向辺部分、 ３１、３１Ａ…第１構造体、 ３１Ｐ、３１ＡＰ…電極パッド、 ３１ａ…第１構造部分、 ３１ａｐ…第１延在部分、 ３１ｂ…第２構造部分、 ３２…第２構造体、 ３２Ｐ…電極パッド、 ６０…積層体、 ６１…基体、 ６２…絶縁層、 ６３…導電層、 ７０…制御部、 ７０ａ、７０ｂ…配線、 １１０～１１２、１２０～１２２…センサ

Claims (11)

1. 第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
   複数の第１固定部材と、
   基体と、
   前記基体に固定された１つの第２固定部材と、
   接続部と、
   を備え、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体に固定され、
   前記接続部は、前記第２固定部材と前記可動部材とを接続し、前記接続部は、前記可動部材を保持し、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体から前記第２固定部材への第１方向と交差する平面において、前記第２固体部材の周りの、前記第２固定部材を中心とする円周上に設けられ、
   前記複数の第１固定部材の１つの少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
   前記複数の第１固定部材の前記１つは、
   前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
   前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
   を含み、
   前記第１固定対向部分は、前記第１可動部分に向かって突出する第１固定突出部を含み、
   前記第２固定対向部分は、前記第２可動部分に向かって突出する第２固定突出部を含む、センサ。
2. 前記第１固定対向部分は、前記第１固定突出部を除く第１固定非突出部を含み、
   前記第１固定非突出部の曲率は、前記第１固定突出部の曲率よりも低い、請求項１記載のセンサ。
3. 前記可動部材は、第３可動部分及び第４可動部分をさらに含み、
   前記第４可動部分から前記第３可動部分への方向は、前記第２可動部分から前記第１可動部分への方向と交差し、
   前記複数の第１固定部材の前記１つは、
   前記第３可動部分に対向する第３固定対向部分と、
   前記第４可動部分に対向する第４固定対向部分と、
   をさらに含み、
   前記第３固定対向部分は、前記第３可動部分に向かって突出する第３固定突出部を含み、
   前記第４固定対向部分は、前記第４可動部分に向かって突出する第４固定突出部を含む、請求項１または２に記載のセンサ。
4. 第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
   複数の第１固定部材と、
   基体と、
   前記基体に固定された１つの第２固定部材と、
   接続部と、
   を備え、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体に固定され、
   前記接続部は、前記第２固定部材と前記可動部材とを接続し、前記接続部は、前記可動部材を保持し、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体から前記第２固定部材への第１方向と交差する平面において、前記第２固体部材の周りの、前記第２固定部材を中心とする円周上に設けられ、
   前記複数の第１固定部材の１つの少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
   前記複数の第１固定部材の前記１つは、
   前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
   前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
   を含み、
   前記第１可動部分は、前記第１固定対向部分に向かって突出する第１可動突出部を含み、
   前記第２可動部分は、前記第２固定対向部分に向かって突出する第２可動突出部を含む、センサ。
5. 前記第１可動部分は、前記第１可動突出部を除く第１可動非突出部を含み、
   前記第１可動非突出部の曲率は、前記第１可動突出部の曲率よりも低い、請求項４記載のセンサ。
6. 第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
   複数の第１固定部材と、
   基体と、
   前記基体に固定された１つの第２固定部材と、
   接続部と、
   を備え、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体に固定され、
   前記接続部は、前記第２固定部材と前記可動部材とを接続し、前記接続部は、前記可動部材を保持し、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体から前記第２固定部材への第１方向と交差する平面において、前記第２固体部材の周りの、前記第２固定部材を中心とする円周上に設けられ、
   前記複数の第１固定部材の１つの少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
   前複数の記第１固定部材の前記１つは、
   前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
   前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
   を含み、
   前記第１固定対向部分は、前記第１可動部分に向かって突出する第１固定突出部を含み、
   前記第２可動部分は、前記第２固定対向部分に向かって突出する第２可動突出部を含む、センサ。
7. 第１可動部分及び第２可動部分を含む可動部材と、
   複数の第１固定部材と、
   基体と、
   前記基体に固定された１つの第２固定部材と、
   接続部と、
   を備え、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体に固定され、
   前記接続部は、前記第２固定部材と前記可動部材とを接続し、前記接続部は、前記可動部材を保持し、
   前記複数の第１固定部材は、前記基体から前記第２固定部材への第１方向と交差する平面において、前記第２固体部材の周りの、前記第２固定部材を中心とする円周上に設けられ、
   前記複数の第１固定部材の１つの少なくとも一部は、前記第１可動部分と前記第２可動部分との間にあり、
   前記複数の第１固定部材の前記１つは、
   前記第１可動部分に対向する第１固定対向部分と、
   前記第２可動部分に対向する第２固定対向部分と、
   を含み、
   前記第１可動部分は、前記第１固定対向部分に向かって突出する第１可動突出部を含み、
   前記第２固定対向部分は、前記第２可動部分に向かって突出する第２固定突出部を含む、センサ。
8. 前記可動部材は、第１可動辺部分及び第２可動辺部分を含み、
   前記第１可動部分は、前記第１可動辺部分と前記第２可動辺部分との間において前記第１可動辺部分及び前記第２可動辺部分に接続され、
   前記第１固定部材は、
   前記第１可動辺部分に対向し前記第１可動辺部分に沿う第１固定対向辺部分と、
   前記第２可動辺部分に対向し前記第１可動辺部分に沿う第２固定対向辺部分と、
   を含み、
   前記第１可動辺部分を含み前記第１方向に沿う平面は、前記第１可動部分を含み前記第１方向に沿う平面と、交差し、
   前記第２可動辺部分を含み前記第１方向に沿う平面は、前記第１可動部分を含み前記第１方向に沿う前記平面と、交差した、請求項１～７のいずれか１つに記載のセンサ。
9. 前記第１可動辺部分を含み前記第１方向に沿う前記平面は、前記第１可動部分を含む前記平面に対して傾斜し、
   前記第２可動辺部分を含み前記第１方向に沿う前記平面は、前記第１可動部分を含み前記第１方向に沿う前記平面に対して傾斜した、請求項８記載のセンサ。
10. 前記基体に固定された第１構造体であって、前記第１構造体及び前記可動部材は、櫛歯状に互いに対向する、前記第１構造体と、
    前記第１構造体及び前記可動部材と電気的に接続された制御部と、
    をさらに備え、
    前記制御部は、前記第１構造体を基準にした前記可動部材の振動を生じさせる、請求項１～９のいずれか１つに記載のセンサ。
11. 前記制御部は、前記可動部材に力が加わったときの前記振動の変化に対応する信号を出力する、請求項１０記載のセンサ。

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