JP6506891B1 - 光学デバイス - Google Patents
光学デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6506891B1 JP6506891B1 JP2019503583A JP2019503583A JP6506891B1 JP 6506891 B1 JP6506891 B1 JP 6506891B1 JP 2019503583 A JP2019503583 A JP 2019503583A JP 2019503583 A JP2019503583 A JP 2019503583A JP 6506891 B1 JP6506891 B1 JP 6506891B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- comb electrode
- torsion bar
- main body
- comb teeth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 99
- 210000001520 comb Anatomy 0.000 description 15
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 14
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
- ベースと、
光学機能部を有する可動部と、
第1方向において前記可動部の一方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第1トーションバーと、
前記第1方向において前記可動部の他方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第2トーションバーと、
前記第1方向に垂直な第2方向において前記第1トーションバーの一方の側に配置され、前記可動部に接続された第1支持部と、
前記第2方向において前記第1トーションバーの他方の側に配置され、前記可動部に接続された第2支持部と、
前記第2方向において前記第2トーションバーの前記一方の側に配置され、前記可動部に接続された第3支持部と、
前記第2方向において前記第2トーションバーの前記他方の側に配置され、前記可動部に接続された第4支持部と、
前記第1支持部に設けられ、複数の第1可動櫛歯を有する第1可動櫛歯電極と、
前記第2支持部に設けられ、複数の第2可動櫛歯を有する第2可動櫛歯電極と、
前記第3支持部に設けられ、複数の第3可動櫛歯を有する第3可動櫛歯電極と、
前記第4支持部に設けられ、複数の第4可動櫛歯を有する第4可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第1可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第1固定櫛歯を有する第1固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第2可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第2固定櫛歯を有する第2固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第3可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第3固定櫛歯を有する第3固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第4可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第4固定櫛歯を有する第4固定櫛歯電極と、を備え、
隣り合う前記第1可動櫛歯と前記第1固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第2可動櫛歯と前記第2固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第3可動櫛歯と前記第3固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第4可動櫛歯と前記第4固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
前記第1可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第1支持部と前記第2方向における前記可動部の前記一方の側の第1端部との間に配置されており、
前記第2可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第2支持部と前記第2方向における前記可動部の前記他方の側の第2端部との間に配置されており、
前記第3可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第3支持部と前記可動部の前記第1端部との間に配置されており、
前記第4可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第4支持部と前記可動部の前記第2端部との間に配置されており、
前記第1支持部は、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向における前記第1支持部の厚さが前記第3方向における前記第1トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第1梁部を有し、
前記第2支持部は、前記第3方向における前記第2支持部の厚さが前記第3方向における前記第1トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第2梁部を有し、
前記第3支持部は、前記第3方向における前記第3支持部の厚さが前記第3方向における前記第2トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第3梁部を有し、
前記第4支持部は、前記第3方向における前記第4支持部の厚さが前記第3方向における前記第2トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第4梁部を有する、光学デバイス。 - 前記第1支持部は、前記第1可動櫛歯電極が設けられた第1本体部を更に有し、
前記第2支持部は、前記第2可動櫛歯電極が設けられた第2本体部を更に有し、
前記第3支持部は、前記第3可動櫛歯電極が設けられた第3本体部を更に有し、
前記第4支持部は、前記第4可動櫛歯電極が設けられた第4本体部を更に有し、
前記第1トーションバー、前記第1本体部及び前記第2本体部、並びに、前記第2トーションバー、前記第3本体部及び前記第4本体部は、前記第1方向に沿って延在している、請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記第1支持部は、前記第1本体部及び前記可動部に接続された第1接続部を更に有し、前記第1接続部は、前記第1トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第2支持部は、前記第2本体部及び前記可動部に接続された第2接続部を更に有し、前記第2接続部は、前記第1トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第3支持部は、前記第3本体部及び前記可動部に接続された第3接続部を更に有し、前記第3接続部は、前記第2トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第4支持部は、前記第4本体部及び前記可動部に接続された第4接続部を更に有し、前記第4接続部は、前記第2トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈している、請求項2に記載の光学デバイス。 - 前記第1トーションバーは、前記第3方向から見た場合に前記第1トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されており、
前記第2トーションバーは、前記第3方向から見た場合に前記第2トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部のうち前記第1端部を含む部分に設けられ、複数の第5可動櫛歯を有する第5可動櫛歯電極と、
前記可動部のうち前記第2端部を含む部分に設けられ、複数の第6可動櫛歯を有する第6可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第5可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第5固定櫛歯を有する第5固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第6可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第6固定櫛歯を有する第6固定櫛歯電極と、を更に備え、
隣り合う前記第5可動櫛歯と前記第5固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第6可動櫛歯と前記第6固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部には、可動櫛歯電極が設けられていない、請求項1〜4のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記可動部は、前記光学機能部が設けられた第5本体部と、前記第3方向から見た場合に前記第5本体部を囲むフレームと、前記第5本体部及び前記フレームに接続された複数の第5接続部と、前記第5本体部に設けられた本体梁部と、前記フレームに沿って延在するフレーム梁部と、を更に有し、
前記第1梁部、前記第2梁部、前記第3梁部及び前記第4梁部は、前記フレーム梁部に接続されている、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部は、前記複数の第5接続部のそれぞれにおいて前記本体梁部及び前記フレーム梁部に接続された接続梁部を更に有する、請求項7に記載の光学デバイス。
- 前記複数の第5接続部は、前記可動部の前記第1端部及び前記第2端部に対応する位置に配置されている、請求項7又は8に記載の光学デバイス。
- 前記光学機能部は、ミラーである、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017220237 | 2017-11-15 | ||
JP2017220237 | 2017-11-15 | ||
PCT/JP2018/032760 WO2019097818A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-09-04 | 光学デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6506891B1 true JP6506891B1 (ja) | 2019-04-24 |
JPWO2019097818A1 JPWO2019097818A1 (ja) | 2019-11-14 |
Family
ID=66324136
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019503583A Active JP6506891B1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-09-04 | 光学デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6506891B1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083122A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 可動構造体及びそれを備えた光学素子 |
JP2009171394A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Oki Semiconductor Co Ltd | 共振器 |
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
US20120099176A1 (en) * | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Zhou Tiansheng | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
JP2014238581A (ja) * | 2014-06-24 | 2014-12-18 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
-
2018
- 2018-09-04 JP JP2019503583A patent/JP6506891B1/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008083122A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 可動構造体及びそれを備えた光学素子 |
JP2009171394A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Oki Semiconductor Co Ltd | 共振器 |
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
US20120099176A1 (en) * | 2010-10-20 | 2012-04-26 | Zhou Tiansheng | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
JP2014238581A (ja) * | 2014-06-24 | 2014-12-18 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2019097818A1 (ja) | 2019-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2019097818A1 (ja) | 光学デバイス | |
US8345336B2 (en) | MEMS scanning micromirror with reduced dynamic deformation | |
JP4385938B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP4982814B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
JP2010197662A (ja) | 光学反射素子 | |
KR20110008336A (ko) | 가동 구조체 및 그것을 사용한 마이크로 미러 소자 | |
JPWO2008044470A1 (ja) | 光走査装置 | |
JP5757034B2 (ja) | マイクロスキャナ | |
WO2010095587A1 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
JP6451078B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2010085506A (ja) | 光スキャナ及びこの光スキャナを備えた画像表示装置 | |
JP5049904B2 (ja) | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
JP2016212221A (ja) | 光走査装置 | |
JP4766353B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
KR20130010896A (ko) | 광학 반사 소자 | |
JP2014006418A (ja) | アクチュエータ | |
JP5053194B2 (ja) | 可動構造体及びそれを用いた光走査ミラー | |
US9097894B2 (en) | Optical deflector including four coupling bars between support body and frame | |
JP6506891B1 (ja) | 光学デバイス | |
JP2009210955A (ja) | 光スキャナ | |
JP5434668B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5157459B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP2020144065A (ja) | センサ | |
JP5039431B2 (ja) | 可動構造体、同構造体を用いた光走査ミラー素子、及び可動構造体の製造方法 | |
JP7221180B2 (ja) | 光学デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190123 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190123 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190305 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6506891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |