JP2009210955A - 光スキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光スキャナ1は、本体部2がベース3に装着されて構成されている。本体部2は、外側に固定枠6を備え、一方、内側には、反射面8Aが形成された平面視略円形の反射ミラー部8を有する振動体10を備えている。振動体10は、更に、反射ミラー部8の外周面から揺動軸15に対して直交する両半径方向外側に同一面上に延びて、該反射ミラー部8の周囲を囲むように配置される平面視四角形のミラー支持枠7に連結される一対のミラー支持梁11、11と、このミラー支持枠7の揺動軸15方向の両側面部から外側方向に同一面上に延びて、そのミラー支持枠7を固定枠6に接合する一対のはり部16A、16Bとを備えている。また、各枠側板ばね部18A〜18Dには、各下部電極21A〜21D、各圧電素子22A、22B、各上部電極23A〜23Dが積層されている。
【選択図】図1
Description
例えば、厚さ約100μmの矩形状に形成された固定枠の中央部に反射ミラー部が配置された光スキャナがある。また、この反射ミラー部の両側部から一対のはり部がそれぞれ互いに固定枠の長手方向逆向きに延びだして、固定枠の内側端面に連結されている。また、この一対のはり部は、それぞれ一端側が反射ミラー部に接続されるミラー側板ばね部と外側端縁部が固定枠に接続される一対の枠側板ばね部と、このミラー側板ばね部と枠側板ばね部とを接続する接続部とから形成されている。
また、本発明のミラー部は揺動軸と直交方向の端面部が枠体部に懸架されているため、ミラー揺動軸の動的歪みも低減することが可能となる。
先ず、本実施例に係る光スキャナ1の概略構成について図1に基づき説明する。図1は光スキャナ1の概略構成を模式的に示す分解斜視図である。
図1に示すように、光スキャナ1は、本体部2がベース3に装着されて構成されている。この本体部2は、シリコン等、弾性を有する材料を用いて形成されている。本体部2の厚さは、約30μm〜200μmとされている。本体部2は、図1の上部に示すように、概略的には、光が通過し得る貫通孔5を有して薄板長方形状を成している。本体部2は、外側には固定枠6を備え、一方、内側には、反射面8Aが形成された平面視略円形の反射ミラー部8を有する振動体10を備えている。尚、反射ミラー部8は、円形に限らず、四角形、多角形であってもよい。
次に、本体部2の製造方法について図2乃至図7に基づいて説明する。
図2は固定枠6、ミラー支持枠7、各ミラー支持梁11、反射ミラー部8及び各はり部16A、16Bの作製を示す説明図である。図3は各下部電極21A〜21Dの作製を示す説明図である。図4は各圧電素子22A、22Bの作製を示す説明図である。図5は各上部電極23A〜23Dの作製を示す説明図である。図6は図5のX1−X1矢視断面を示す模式図である。図7は図5のX2−X2矢視断面を示す模式図である。
図8は本体部2の揺動軸15方向の基準面に対する歪み変化量の一例を示す説明図である。
図8の下部に示すように、各枠側板ばね部18A〜18Dは、固定枠6側を固定端とし、ミラー支持枠7側を自由端として、各枠側板ばね部18A〜18Dの各自由端側の各圧電素子22A、22Bの先端部までの基準面に対する各歪み変化量25は、上方向に約3240nm、即ち、約3.24μmである。
次に、光スキャナ1のミラー支持枠7内に支持された反射ミラー部8を揺動駆動した場合に、この反射ミラー部8の動作状態を検出する方法について図9に基づいて説明する。図9はミラー支持枠7内に支持された反射ミラー部8の揺動駆動及び動作検出の一例を示す説明図である。
他の実施例に係る光スキャナ40について図10及び図11に基づいて説明する。
図10は他の実施例に係る光スキャナ40の本体部41を示す平面図である。図11は図10のX3−X3矢視断面を示す模式図である。尚、図10及び図11において、上記実施例に係る光スキャナ1と同一符号は、上記実施例に係る光スキャナ1と同一あるいは相当部分を示すものである。
2、41 本体部
3 ベース
5 貫通孔
6 固定枠
7 ミラー支持枠
8 反射ミラー部
8A 反射面
11 ミラー支持梁
15 揺動軸
17A、17B ミラー側板ばね部
18A〜18D 枠側板ばね部
20A、20B 接続部
21A〜21D 下部電極
22A、22B 圧電素子
23A〜23D 上部電極
25〜28 歪み変化量
Claims (3)
- ミラー部を揺動軸回りに変位駆動して所定方向に光を走査する光スキャナにおいて、
前記ミラー部の周囲を囲むように配置される枠体部と、
前記揺動軸に直交する軸線上に配置されて前記ミラー部の両側端面部と前記枠体部とを連結する一対の梁部と、
前記枠体部の揺動軸方向両側にそれぞれ連結されて揺動軸に対して対称に配置される各一対の弾性部と、
前記各一対の弾性部の外側端縁部が連結される固定枠と、
前記各一対の弾性部上に積層された駆動部と、
を備え、
前記一対の梁部は、前記枠体部の前記揺動軸方向における基準面に対する歪み変化量が最も大きい頂点位置に配置されていることを特徴とする光スキャナ。 - 前記枠体部の前記揺動軸方向の両側端面部から該揺動軸に沿って外側方向に延出される一対の直交梁部と、
前記各一対の弾性部の前記枠体部側端縁部と前記一対の直交梁部とを接続する一対の接続部と、
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。 - 前記各一対の弾性部の前記枠体部側端縁部は、前記枠体部の前記揺動軸方向の両側端面部に連結されていることを特徴とする請求項1に記載の光スキャナ。
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