WO2019097818A1 - 光学デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- ベースと、
光学機能部を有する可動部と、
第1方向において前記可動部の一方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第1トーションバーと、
前記第1方向において前記可動部の他方の側に配置され、前記ベース及び前記可動部に接続された第2トーションバーと、
前記第1方向に垂直な第2方向において前記第1トーションバーの一方の側に配置され、前記可動部に接続された第1支持部と、
前記第2方向において前記第1トーションバーの他方の側に配置され、前記可動部に接続された第2支持部と、
前記第2方向において前記第2トーションバーの前記一方の側に配置され、前記可動部に接続された第3支持部と、
前記第2方向において前記第2トーションバーの前記他方の側に配置され、前記可動部に接続された第4支持部と、
前記第1支持部に設けられ、複数の第1可動櫛歯を有する第1可動櫛歯電極と、
前記第2支持部に設けられ、複数の第2可動櫛歯を有する第2可動櫛歯電極と、
前記第3支持部に設けられ、複数の第3可動櫛歯を有する第3可動櫛歯電極と、
前記第4支持部に設けられ、複数の第4可動櫛歯を有する第4可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第1可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第1固定櫛歯を有する第1固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第2可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第2固定櫛歯を有する第2固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第3可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第3固定櫛歯を有する第3固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第4可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第4固定櫛歯を有する第4固定櫛歯電極と、を備え、
隣り合う前記第1可動櫛歯と前記第1固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第2可動櫛歯と前記第2固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第3可動櫛歯と前記第3固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第4可動櫛歯と前記第4固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
前記第1可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第1支持部と前記第2方向における前記可動部の前記一方の側の第1端部との間に配置されており、
前記第2可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第2支持部と前記第2方向における前記可動部の前記他方の側の第2端部との間に配置されており、
前記第3可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第3支持部と前記可動部の前記第1端部との間に配置されており、
前記第4可動櫛歯電極は、前記第1方向から見た場合に、前記第4支持部と前記可動部の前記第2端部との間に配置されており、
前記第1支持部は、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向における前記第1支持部の厚さが前記第3方向における前記第1トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第1梁部を有し、
前記第2支持部は、前記第3方向における前記第2支持部の厚さが前記第3方向における前記第1トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第2梁部を有し、
前記第3支持部は、前記第3方向における前記第3支持部の厚さが前記第3方向における前記第2トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第3梁部を有し、
前記第4支持部は、前記第3方向における前記第4支持部の厚さが前記第3方向における前記第2トーションバーの厚さよりも大きくなるように形成された第4梁部を有する、光学デバイス。 - 前記第1支持部は、前記第1可動櫛歯電極が設けられた第1本体部を更に有し、
前記第2支持部は、前記第2可動櫛歯電極が設けられた第2本体部を更に有し、
前記第3支持部は、前記第3可動櫛歯電極が設けられた第3本体部を更に有し、
前記第4支持部は、前記第4可動櫛歯電極が設けられた第4本体部を更に有し、
前記第1トーションバー、前記第1本体部及び前記第2本体部、並びに、前記第2トーションバー、前記第3本体部及び前記第4本体部は、前記第1方向に沿って延在している、請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記第1支持部は、前記第1本体部及び前記可動部に接続された第1接続部を更に有し、前記第1接続部は、前記第1トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第2支持部は、前記第2本体部及び前記可動部に接続された第2接続部を更に有し、前記第2接続部は、前記第1トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第3支持部は、前記第3本体部及び前記可動部に接続された第3接続部を更に有し、前記第3接続部は、前記第2トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈しており、
前記第4支持部は、前記第4本体部及び前記可動部に接続された第4接続部を更に有し、前記第4接続部は、前記第2トーションバーから離れるように屈曲した形状を呈している、請求項2に記載の光学デバイス。 - 前記第1トーションバーは、前記第3方向から見た場合に前記第1トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されており、
前記第2トーションバーは、前記第3方向から見た場合に前記第2トーションバーの外縁及び前記可動部の外縁の曲率が連続するように、前記可動部に接続されている、請求項1~3のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部のうち前記第1端部を含む部分に設けられ、複数の第5可動櫛歯を有する第5可動櫛歯電極と、
前記可動部のうち前記第2端部を含む部分に設けられ、複数の第6可動櫛歯を有する第6可動櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第5可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第5固定櫛歯を有する第5固定櫛歯電極と、
前記ベースに設けられ、前記複数の第6可動櫛歯と互い違いに配置された複数の第6固定櫛歯を有する第6固定櫛歯電極と、を更に備え、
隣り合う前記第5可動櫛歯と前記第5固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っており、
隣り合う前記第6可動櫛歯と前記第6固定櫛歯とは、前記第1方向において互いに向かい合っている、請求項1~4のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部には、可動櫛歯電極が設けられていない、請求項1~4のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記可動部は、前記光学機能部が設けられた第5本体部と、前記第3方向から見た場合に前記第5本体部を囲むフレームと、前記第5本体部及び前記フレームに接続された複数の第5接続部と、前記第5本体部に設けられた本体梁部と、前記フレームに沿って延在するフレーム梁部と、を更に有し、
前記第1梁部、前記第2梁部、前記第3梁部及び前記第4梁部は、前記フレーム梁部に接続されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記可動部は、前記複数の第5接続部のそれぞれにおいて前記本体梁部及び前記フレーム梁部に接続された接続梁部を更に有する、請求項7に記載の光学デバイス。
- 前記複数の第5接続部は、前記可動部の前記第1端部及び前記第2端部に対応する位置に配置されている、請求項7又は8に記載の光学デバイス。
- 前記光学機能部は、ミラーである、請求項1~9のいずれか一項に記載の光学デバイス。
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