KR102591487B1 - 광학 디바이스 - Google Patents

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다츠야 스기모토
도모후미 스즈키
교스케 고타니
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하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
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Abstract

광학 디바이스에서는, 제1, 제2, 제3 및 제4 가동 콤 전극은, 각각, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제1 지지부와 제2 방향에서의 가동부의 일방의 측의 제1 단부와의 사이, 제2 지지부와 제2 방향에서의 가동부의 타방의 측의 제2 단부와의 사이, 제3 지지부와 가동부의 제1 단부와의 사이, 및 제4 지지부와 가동부의 제2 단부와의 사이에 배치되어 있다. 제1 및 제2 지지부는, 각각, 그 두께가 제1 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제1 빔부 및 제2 빔부를 가진다. 제3 및 제4 지지부는, 각각, 그 두께가 제2 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제3 빔부 및 제4 빔부를 가진다.

Description

광학 디바이스
본 개시는, 예를 들면 MEMS(Micro　Electro　Mechanical　Systems) 디바이스로서 구성된 광학 디바이스에 관한 것이다.
베이스와, 광학 기능부를 가지는 가동부와, 가동부의 양측에서 각각이 베이스 및 가동부에 접속된 한쌍의 토션바와, 복수의 가동 콤(comb)을 가지는 가동 콤 전극과, 복수의 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 고정 콤을 가지는 고정 콤 전극을 구비하는 광학 디바이스가 알려져 있다. 특허 문헌 1에 기재된 디바이스에서는, 가동부로부터 토션바를 따라서 연장되는 지지부에 가동 콤 전극이 마련되어 있다.
특허 문헌 1 : 미국특허출원공개 제2005/0194650호 명세서
상술한 바와 같은 가동 콤 전극 및 고정 콤 전극은, 구동용의 전극, 모니터용의 전극, 또는 구동겸 모니터용의 전극으로서 이용된다. 구동용의 전극으로서 가동 콤 전극 및 고정 콤 전극이 이용되는 경우에는, 소정의 축선을 중심선으로 하여 가동부를 요동시키기 위해서, 가동 콤 전극과 고정 콤 전극과의 사이에 전압이 인가된다. 모니터용의 전극으로서 가동 콤 전극 및 고정 콤 전극이 이용되는 경우에는, 소정의 축선을 중심선으로 하여 요동하고 있는 가동부의 위치(요동 각도)를 파악하기 위해서, 가동 콤 전극과 고정 콤 전극과의 사이의 정전 용량이 검출된다.
어느 용도에 가동 콤 전극 및 고정 콤 전극이 이용되는 경우에도, 가동부가 요동하고 있을 때에, 가동 콤 전극이 가동부와 일체적으로 요동하고, 서로 이웃하는 가동 콤과 고정 콤과의 간격이 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 그렇지만, 특허 문헌 1에 기재된 디바이스에서는, 가동 콤 전극이 마련된 지지부가 가동부로부터 토션바를 따라서 연장되어 있기 때문에, 가동부가 요동하고 있을 때에 가동 콤 전극이 변형되어, 디바이스로서의 신뢰성이 저하될 우려가 있다.
본 개시는, 신뢰성이 높은 광학 디바이스를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스는, 베이스와, 광학 기능부를 가지는 가동부와, 제1 방향에서 가동부의 일방의 측에 배치되고, 베이스 및 가동부에 접속된 제1 토션바와, 제1 방향에서 가동부의 타방의 측에 배치되고, 베이스 및 가동부에 접속된 제2 토션바와, 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 제1 토션바의 일방의 측에 배치되고, 가동부에 접속된 제1 지지부와, 제2 방향에서 제1 토션바의 타방의 측에 배치되고, 가동부에 접속된 제2 지지부와, 제2 방향에서 제2 토션바의 일방의 측에 배치되고, 가동부에 접속된 제3 지지부와, 제2 방향에서 제2 토션바의 타방의 측에 배치되고, 가동부에 접속된 제4 지지부와, 제1 지지부에 마련되고, 복수의 제1 가동 콤(comb)을 가지는 제1 가동 콤 전극과, 제2 지지부에 마련되고, 복수의 제2 가동 콤을 가지는 제2 가동 콤 전극과, 제3 지지부에 마련되고, 복수의 제3 가동 콤을 가지는 제3 가동 콤 전극과, 제4 지지부에 마련되고, 복수의 제4 가동 콤을 가지는 제4 가동 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제1 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제1 고정 콤을 가지는 제1 고정 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제2 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제2 고정 콤을 가지는 제2 고정 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제3 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제3 고정 콤을 가지는 제3 고정 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제4 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제4 고정 콤을 가지는 제4 고정 콤 전극을 구비하며, 서로 이웃하는 제1 가동 콤과 제1 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있고, 서로 이웃하는 제2 가동 콤과 제2 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있고, 서로 이웃하는 제3 가동 콤과 제3 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있고, 서로 이웃하는 제4 가동 콤과 제4 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있으며, 제1 가동 콤 전극은, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제1 지지부와 제2 방향에서의 가동부의 일방의 측의 제1 단부와의 사이에 배치되어 있고, 제2 가동 콤 전극은, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제2 지지부와 제2 방향에서의 가동부의 타방의 측의 제2 단부와의 사이에 배치되어 있고, 제3 가동 콤 전극은, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제3 지지부와 가동부의 제1 단부와의 사이에 배치되어 있고, 제4 가동 콤 전극은, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제4 지지부와 가동부의 제2 단부와의 사이에 배치되어 있고, 제1 지지부는, 제1 방향 및 제2 방향에 수직인 제3 방향에서의 제1 지지부의 두께가 제3 방향에서의 제1 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제1 빔부를 가지고, 제2 지지부는, 제3 방향에서의 제2 지지부의 두께가 제3 방향에서의 제1 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제2 빔부를 가지고, 제3 지지부는, 제3 방향에서의 제3 지지부의 두께가 제3 방향에서의 제2 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제3 빔부를 가지고, 제4 지지부는, 제3 방향에서의 제4 지지부의 두께가 제3 방향에서의 제2 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제4 빔부를 가진다.
이 광학 디바이스에서는, 제1 및 제3 가동 콤 전극이, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제2 방향에서의 가동부의 일방의 측의 제1 단부보다도 제1 및 제2 토션바 측에 위치하고 있고, 제2 및 제4 가동 콤 전극이, 제1 방향으로부터 본 경우에, 제2 방향에서의 가동부의 타방의 측의 제2 단부보다도 제1 및 제2 토션바 측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 제1 방향에 평행한 축선을 중심선으로 하여 가동부를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 이 광학 디바이스에서는, 제1 및 제2 빔부가 형성됨으로써, 제3 방향에서의 제1 및 제2 지지부 각각의 두께가, 제3 방향에서의 제1 토션바의 두께보다도 크게 되어 있고, 제3 및 제4 빔부가 형성됨으로써, 제3 방향에서의 제3 및 제4 지지부 각각의 두께가, 제3 방향에서의 제2 토션바의 두께보다도 크게 되어 있다. 이것에 의해, 가동부가 요동하고 있을 때에, 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부가 변형되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 제1, 제2, 제3, 제4 가동 콤 전극을 가동부와 일체적으로 요동시킬 수 있고, 서로 이웃하는 가동 콤과 고정 콤과의 간격이 변동되는 것을 억제할 수 있다. 이상에 의해, 신뢰성이 높은 광학 디바이스가 얻어진다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 제1 지지부는, 제1 가동 콤 전극이 마련된 제1 본체부를 더 가지고, 제2 지지부는, 제2 가동 콤 전극이 마련된 제2 본체부를 더 가지고, 제3 지지부는, 제3 가동 콤 전극이 마련된 제3 본체부를 더 가지고, 제4 지지부는, 제4 가동 콤 전극이 마련된 제4 본체부를 더 가지며, 제1 토션바, 제1 본체부 및 제2 본체부, 그리고 제2 토션바, 제3 본체부 및 제4 본체부는, 제1 방향을 따라서 연장되어 있어도 괜찮다. 이것에 의해, 구조의 단순화를 도모하면서, 각 부를 효율 좋게 배치할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 제1 지지부는, 제1 본체부 및 가동부에 접속된 제1 접속부를 더 가지고, 제1 접속부는, 제1 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고, 제2 지지부는, 제2 본체부 및 가동부에 접속된 제2 접속부를 더 가지고, 제2 접속부는, 제1 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고, 제3 지지부는, 제3 본체부 및 가동부에 접속된 제3 접속부를 더 가지고, 제3 접속부는, 제2 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있으며, 제4 지지부는, 제4 본체부 및 가동부에 접속된 제4 접속부를 더 가지고, 제4 접속부는, 제2 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있어도 괜찮다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바 각각이 가동부에 접속되는 부분의 설계의 자유도를 향상시킬 수 있다. 게다가, 제1 및 제2 본체부를 제1 토션바에 가까이 할 수 있음과 아울러, 제3 및 제4 본체부를 제2 토션바에 가까이 할 수 있다. 그 때문에, 제1 방향에 평행한 축선을 중심선으로 하여 가동부를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것을 억제할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 제1 토션바는, 제3 방향으로부터 본 경우에 제1 토션바의 외부 가장자리 및 가동부의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 가동부에 접속되어 있고, 제2 토션바는, 제3 방향으로부터 본 경우에 제2 토션바의 외부 가장자리 및 가동부의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 가동부에 접속되어 있어도 괜찮다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바 각각이 가동부에 접속되는 부분에서 응력 집중이 일어나기 어려워지기 때문에, 제1 및 제2 토션바가 파손되는 것을 억제할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스는, 가동부 중 제1 단부를 포함하는 부분에 마련되고, 복수의 제5 가동 콤을 가지는 제5 가동 콤 전극과, 가동부 중 제2 단부를 포함하는 부분에 마련되고, 복수의 제6 가동 콤을 가지는 제6 가동 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제5 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제5 고정 콤을 가지는 제5 고정 콤 전극과, 베이스에 마련되고, 복수의 제6 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제6 고정 콤을 가지는 제6 고정 콤 전극을 더 구비하며, 서로 이웃하는 제5 가동 콤과 제5 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있고, 서로 이웃하는 제6 가동 콤과 제6 고정 콤은, 제1 방향에서 서로 마주보고 있어도 괜찮다. 이 경우, 제5 가동 콤 전극과 제5 고정 콤 전극과의 사이, 및 제6 가동 콤 전극과 제6 고정 콤 전극과의 사이의 각각에 전압을 인가함으로써, 이들 전극을 구동용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, 제2 방향에서의 제1 및 제2 토션바로부터의 거리에 대해서는, 제1 가동 콤 전극 및 제3 가동 콤 전극보다도 제5 가동 콤 전극의 쪽이 크게 되고, 제2 가동 콤 전극 및 제4 가동 콤 전극보다도 제6 가동 콤 전극의 쪽이 크게 된다. 그 때문에, 구동용의 전극에 발생시키는 정전기력의 크기(즉, 구동용의 전극에 인가하는 전압의 크기)를 크게 하지 않아도, 가동부를 요동 시키기 위해서 필요한 토크를 얻을 수 있다. 게다가, 제1 가동 콤 전극과 제1 고정 콤 전극과의 사이, 제2 가동 콤 전극과 제2 고정 콤 전극과의 사이, 제3 가동 콤 전극과 제3 고정 콤 전극과의 사이, 및 제4 가동 콤 전극과 제4 고정 콤 전극과의 사이 각각의 정전 용량을 검출함으로써, 이들 전극을 모니터용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, 가동부를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 가동부가 요동하는 범위의 전체에서 가동부의 위치(요동 각도)를 파악할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 가동부에는, 가동 콤 전극이 마련되어 있지 않아도 좋다. 이 경우, 제1 가동 콤 전극과 제1 고정 콤 전극과의 사이, 제2 가동 콤 전극과 제2 고정 콤 전극과의 사이, 제3 가동 콤 전극과 제3 고정 콤 전극과의 사이, 및 제4 가동 콤 전극과 제4 고정 콤 전극과의 사이의 각각에 전압을 인가함으로써, 이들 전극을 구동용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, 가동부를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 인가하는 전압의 크기, 주기 등, 구동 신호의 설정의 제어성을 향상시킬 수 있다. 게다가, 제1 가동 콤 전극과 제1 고정 콤 전극과의 사이, 제2 가동 콤 전극과 제2 고정 콤 전극과의 사이, 제3 가동 콤 전극과 제3 고정 콤 전극과의 사이, 및 제4 가동 콤 전극과 제4 고정 콤 전극과의 사이 각각의 정전 용량을 검출함으로써, 이들 전극을 모니터용의 전극으로서도 이용할 수 있다. 이 때, 가동부를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 가동부가 요동하는 범위의 전체에서 가동부의 위치(요동 각도)를 파악할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 가동부는, 광학 기능부가 마련된 제5 본체부와, 제3 방향으로부터 본 경우에 제5 본체부를 둘러싸는 프레임과, 제5 본체부 및 프레임에 접속된 복수의 제5 접속부와, 제5 본체부에 마련된 본체 빔부와, 프레임을 따라서 연장되는 프레임 빔부를 더 가지며, 제1 빔부, 제2 빔부, 제3 빔부 및 제4 빔부는, 프레임 빔부에 접속되어 있어도 괜찮다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바의 비틀림의 영향이 광학 기능부에 전해지기 어려워지기 때문에, 광학 기능부가 변형되는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 가동부 그리고 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부가 일체로서 변형되기 어려워지기 때문에, 서로 이웃하는 가동 콤과 고정 콤과의 간격이 변동되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 가동부는, 복수의 제5 접속부 각각에서 본체 빔부 및 프레임 빔부에 접속된 접속 빔부를 더 가져도 괜찮다. 이것에 의해, 광학 기능부, 그리고 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부가 변형되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 복수의 제5 접속부는, 가동부의 제1 단부 및 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있어도 괜찮다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바의 비틀림의 영향이 광학 기능부에 더욱 전해지기 어려워지기 때문에, 광학 기능부가 변형되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.
본 개시의 일 측면의 광학 디바이스에서는, 광학 기능부는, 미러라도 좋다. 이것에 의해, 예를 들면 레이저광을 소정의 영역에 바람직하게 주사할 수 있다.
본 개시에 의하면, 신뢰성이 높은 광학 디바이스를 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은, 일 실시 형태의 광학 디바이스의 평면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내어지는 광학 디바이스의 저면도이다.
도 3은, 도 1에 나타내어지는 III－III선을 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 4는, 도 1에 나타내어지는 IV－IV선을 따른 광학 디바이스의 단면도이다.
도 5는, 변형예의 광학 디바이스의 평면도이다.
도 6은, 변형예의 광학 디바이스의 평면도이다.
이하, 본 개시의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또, 각 도면에서, 동일 또는 상당 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복하는 부분을 생략한다.
도 1, 도 2, 도 3 및 도 4에 나타내어지는 바와 같이, 광학 디바이스(1)는, 베이스(5)와, 가동부(7)와, 제1 토션바(11)와, 제2 토션바(12)를 구비하고 있다. 광학 디바이스(1)는, SOI(Silicon　On　Insulator) 기판(9)에 의해서, MEMS 디바이스로서 구성되어 있다. 광학 디바이스(1)는, 예를 들면, 직사각형 판 모양을 나타내고 있다. 광학 디바이스(1)는, 예를 들면, 9mm×7mm×0.4mm(두께) 정도의 사이즈를 가지고 있다.
베이스(5)는, SOI 기판(9)을 구성하는 핸들층(91), 디바이스층(92) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 핸들층(91)은, 제1 실리콘층이다. 디바이스층(92)은, 제2 실리콘층이다. 중간층(93)은, 핸들층(91)과 디바이스층(92)과의 사이에 배치된 절연층이다.
가동부(7)는, 축선(L1)과 축선(L2)과의 교점을 중심(中心) 위치(중심(重心) 위치)로 하여 배치되어 있다. 축선(L1)은, X축 방향(X축에 평행한 방향, 제1 방향)으로 연장되는 직선이다. 축선(L2)은, Y축 방향(Y축에 평행한 방향, 제1 방향에 수직인 제2 방향)으로 연장되는 직선이다. 가동부(7)는, Z축 방향(Z축에 평행한 방향, 제1 방향 및 제2 방향에 수직인 제3 방향)으로부터 본 경우에, 축선(L1)에 관해서 선대칭이 되고 또한 축선(L2)에 관해서 선대칭이 되는 형상을 나타내고 있다.
가동부(7)는, 광학 기능부(71)와, 제5 본체부(72)와, 프레임(73)과, 복수의 제5 접속부(74)와, 본체 빔부(beam部)(75)와, 프레임 빔부(76)와, 복수의 접속 빔부(77)를 가지고 있다. 광학 기능부(71)는, 제5 본체부(72)에 마련되어 있다. 광학 기능부(71)는, 제5 본체부(72)를 구성하는 디바이스층(92)에서의 핸들층(91)과는 반대측의 표면(92a)에 형성된 미러이다. 이러한 미러는, 예를 들면, 제5 본체부(72)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92a)에 증착에 의해서 금속막을 형성함으로써 얻어진다.
제5 본체부(72)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제5 본체부(72)는, 예를 들면, Z축 방향으로부터 본 경우에 원형 모양을 나타내고 있다. 프레임(73)은, Z축 방향으로부터 본 경우에 제5 본체부(72)를 둘러싸고 있다. 프레임(73)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 프레임(73)은, 예를 들면, Z축 방향으로부터 본 경우에 팔각형 고리 모양을 나타내고 있다. 복수의 제5 접속부(74)는, 축선(L1) 상에서의 제5 본체부(72)의 양측, 및 축선(L2) 상에서의 제5 본체부(72)의 양측에 각각 배치되어 있다. 구체적으로는, 복수의 제5 접속부(74)는, 각각, 제1 단부(7a)에 대응하는 위치(제1 단부(7a)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치), 제2 단부(7b)에 대응하는 위치(제2 단부(7b)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치), 제1 토션바(11)의 연장선 상의 위치, 및 제2 토션바(12)의 연장선 상의 위치에 배치되어 있다. 각 제5 접속부(74)는, 제5 본체부(72) 및 프레임(73)에 접속되어 있다. 각 제5 접속부(74)는, 제5 본체부(72)와 프레임(73)과의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 각 제5 접속부(74)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다.
본체 빔부(75)는, 제5 본체부(72)의 외부 가장자리를 따라서 연장되어 있다. 본체 빔부(75)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 본체 빔부(75)는, 제5 본체부(72)를 구성하는 디바이스층(92)에서의 핸들층(91) 측의 표면(92b)에 형성되어 있다. 본체 빔부(75)는, 예를 들면, Z축 방향으로부터 본 경우에 원형 고리 모양을 나타내고 있다. 프레임 빔부(76)는, 프레임(73)을 따라서 연장되어 있다. 프레임 빔부(76)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 프레임 빔부(76)는, 프레임(73)을 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다. 프레임 빔부(76)는, 예를 들면, Z축 방향으로부터 본 경우에 팔각형 고리 모양을 나타내고 있다. 복수의 접속 빔부(77)는, 복수의 제5 접속부(74)에 각각 배치되어 있다. 각 접속 빔부(77)는, 본체 빔부(75) 및 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 각 접속 빔부(77)는, 본체 빔부(75)와 프레임 빔부(76)와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 각 접속 빔부(77)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 각 접속 빔부(77)는, 각 제5 접속부(74)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다.
제1 토션바(11)는, X축 방향에서 가동부(7)의 일방의 측에 배치되어 있다. 제1 토션바(11)는, 축선(L1) 상에서 X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제1 토션바(11)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 토션바(11)는, 베이스(5) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제1 토션바(11)는, 베이스(5)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제1 토션바(11)는, Z축 방향으로부터 본 경우에 제1 토션바(11)의 외부 가장자리 및 가동부(7)의 외부 가장자리(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73)의 외부 가장자리)의 곡률이 연속되도록, 가동부(7)에 접속되어 있다. 구체적으로는, 제1 토션바(11) 중 가동부(7)에 접속되는 부분은, Y축 방향에서의 해당 부분의 폭이 가동부(7)에 가까워질수록 커지도록 해당 부분의 양측면이 오목 모양으로 만곡된 형상을 나타내고 있다. 제1 토션바(11) 중 베이스(5)에 접속되는 부분도 마찬가지로, Y축 방향에서의 해당 부분의 폭이 베이스(5)에 가까워질수록 커지도록 해당 부분의 양측면이 오목 모양으로 만곡된 형상을 나타내고 있다.
제2 토션바(12)는, X축 방향에서 가동부(7)의 타방의 측에 배치되어 있다. 제2 토션바(12)는, 축선(L1) 상에서 X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제2 토션바(12)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제2 토션바(12)는, 베이스(5) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제2 토션바(12)는, 베이스(5)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제2 토션바(12)는, Z축 방향으로부터 본 경우에 제2 토션바(12)의 외부 가장자리 및 가동부(7)의 외부 가장자리(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73)의 외부 가장자리)의 곡률이 연속되도록, 가동부(7)에 접속되어 있다. 구체적으로는, 제2 토션바(12) 중 가동부(7)에 접속되는 부분은, Y축 방향에서의 해당 부분의 폭이 가동부(7)에 가까워질수록 커지도록 해당 부분의 양측면이 오목 모양으로 만곡된 형상을 나타내고 있다. 제2 토션바(12) 중 베이스(5)에 접속되는 부분도 마찬가지로, Y축 방향에서의 해당 부분의 폭이 베이스(5)에 가까워질수록 커지도록 해당 부분의 양측면이 오목 모양으로 만곡된 형상을 나타내고 있다.
광학 디바이스(1)는, 제1 지지부(21)와, 제2 지지부(22)와, 제3 지지부(23)와, 제4 지지부(24)를 더 구비하고 있다. 제1 지지부(21)는, Y축 방향에서 제1 토션바(11)의 일방의 측에 배치되어 있고, 가동부(7)에 접속되어 있다. 제2 지지부(22)는, Y축 방향에서 제1 토션바(11)의 타방의 측에 배치되어 있고, 가동부(7)에 접속되어 있다. 제3 지지부(23)는, Y축 방향에서 제2 토션바(12)의 일방의 측에 배치되어 있고, 가동부(7)에 접속되어 있다. 제4 지지부(24)는, Y축 방향에서 제2 토션바(12)의 타방의 측에 배치되어 있고, 제4 지지부(24)는, 가동부(7)에 접속되어 있다.
제1 지지부(21)는, 제1 본체부(21a)와, 제1 접속부(21b)와, 제1 빔부(21c)를 가지고 있다. 제1 본체부(21a)는, 제1 본체부(21a)와 제1 토션바(11)와의 사이에 간극이 형성된 상태로, X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제1 본체부(21a)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 접속부(21b)는, 제1 본체부(21a) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제1 접속부(21b)는, 제1 본체부(21a)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제1 접속부(21b)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 접속부(21b)는, 제1 토션바(11) 중 가동부(7)에 접속되는 부분으로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있다. 제1 빔부(21c)는, Z축 방향에서의 제1 지지부(21)의 두께가 Z축 방향에서의 제1 토션바(11)의 두께보다도 크게 되도록, 제1 본체부(21a) 및 제1 접속부(21b)에 형성되어 있다. 제1 빔부(21c)는, 제1 본체부(21a)와 제1 접속부(21b)에 걸쳐 연장되어 있고, 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 제1 빔부(21c)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. Y축 방향에서의 제1 빔부(21c)의 폭은, Y축 방향에서의 제1 본체부(21a)의 폭보다도 작다. 제1 빔부(21c)는, 제1 본체부(21a) 및 제1 접속부(21b)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다. 광학 디바이스(1)에서는, 제1 빔부(21c)는, Z축 방향에서, 제1 및 제2 토션바(11, 12)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)으로부터 돌출된 부분이다.
제2 지지부(22)는, 제2 본체부(22a)와, 제2 접속부(22b)와, 제2 빔부(22c)를 가지고 있다. 제2 본체부(22a)는, 제2 본체부(22a)와 제1 토션바(11)와의 사이에 간극이 형성된 상태로, X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제2 본체부(22a)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제2 접속부(22b)는, 제2 본체부(22a) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제2 접속부(22b)는, 제2 본체부(22a)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제2 접속부(22b)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제2 접속부(22b)는, 제1 토션바(11) 중 가동부(7)에 접속되는 부분으로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있다. 제2 빔부(22c)는, Z축 방향에서의 제2 지지부(22)의 두께가 Z축 방향에서의 제1 토션바(11)의 두께보다도 크게 되도록, 제2 본체부(22a) 및 제2 접속부(22b)에 형성되어 있다. 제2 빔부(22c)는, 제2 본체부(22a)와 제2 접속부(22b)에 걸쳐 연장되어 있고, 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 제2 빔부(22c)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. Y축 방향에서의 제2 빔부(22c)의 폭은, Y축 방향에서의 제2 본체부(22a)의 폭보다도 작다. 제2 빔부(22c)는, 제2 본체부(22a) 및 제2 접속부(22b)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다. 광학 디바이스(1)에서는, 제2 빔부(22c)는, Z축 방향에서, 제1 및 제2 토션바(11, 12)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)으로부터 돌출된 부분이다.
제3 지지부(23)는, 제3 본체부(23a)와, 제3 접속부(23b)와, 제3 빔부(23c)를 가지고 있다. 제3 본체부(23a)는, 제3 본체부(23a)와 제2 토션바(12)와의 사이에 간극이 형성된 상태로, X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제3 본체부(23a)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제3 접속부(23b)는, 제3 본체부(23a) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제3 접속부(23b)는, 제3 본체부(23a)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제3 접속부(23b)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제3 접속부(23b)는, 제2 토션바(12) 중 가동부(7)에 접속되는 부분으로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있다. 제3 빔부(23c)는, Z축 방향에서의 제3 지지부(23)의 두께가 Z축 방향에서의 제2 토션바(12)의 두께보다도 크게 되도록, 제3 본체부(23a) 및 제3 접속부(23b)에 형성되어 있다. 제3 빔부(23c)는, 제3 본체부(23a)와 제3 접속부(23b)에 걸쳐 연장되어 있고, 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 제3 빔부(23c)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. Y축 방향에서의 제3 빔부(23c)의 폭은, Y축 방향에서의 제3 본체부(23a)의 폭보다도 작다. 제3 빔부(23c)는, 제3 본체부(23a) 및 제3 접속부(23b)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다. 광학 디바이스(1)에서는, 제3 빔부(23c)는, Z축 방향에서, 제1 및 제2 토션바(11, 12)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)으로부터 돌출된 부분이다.
제4 지지부(24)는, 제4 본체부(24a)와, 제4 접속부(24b)와, 제4 빔부(24c)를 가지고 있다. 제4 본체부(24a)는, 제4 본체부(24a)와 제2 토션바(12)와의 사이에 간극이 형성된 상태로, X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 제4 본체부(24a)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제4 접속부(24b)는, 제4 본체부(24a) 및 가동부(7)에 접속되어 있다. 제4 접속부(24b)는, 제4 본체부(24a)와 가동부(7)(광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73))와의 사이에 걸쳐 놓여져 있다. 제4 접속부(24b)는, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제4 접속부(24b)는, 제2 토션바(12) 중 가동부(7)에 접속되는 부분으로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있다. 제4 빔부(24c)는, Z축 방향에서의 제4 지지부(24)의 두께가 Z축 방향에서의 제2 토션바(12)의 두께보다도 크게 되도록, 제4 본체부(24a) 및 제4 접속부(24b)에 형성되어 있다. 제4 빔부(24c)는, 제4 본체부(24a)와 제4 접속부(24b)에 걸쳐 연장되어 있고, 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 제4 빔부(24c)는, 핸들층(91) 및 중간층(93)의 일부에 의해서 형성되어 있다. Y축 방향에서의 제4 빔부(24c)의 폭은, Y축 방향에서의 제4 본체부(24a)의 폭보다도 작다. 제4 빔부(24c)는, 제4 본체부(24a) 및 제4 접속부(24b)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)에 형성되어 있다. 광학 디바이스(1)에서는, 제4 빔부(24c)는, Z축 방향에서, 제1 및 제2 토션바(11, 12)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92b)으로부터 돌출된 부분이다.
광학 디바이스(1)는, 제1 가동 콤(comb) 전극(31)과, 제2 가동 콤 전극(32)과, 제3 가동 콤 전극(33)과, 제4 가동 콤 전극(34)과, 제5 가동 콤 전극(35)과, 제6 가동 콤 전극(36)을 더 구비하고 있다. 제1 가동 콤 전극(31)은, 제1 지지부(21)의 제1 본체부(21a)에 마련되어 있다. 제2 가동 콤 전극(32)은, 제2 지지부(22)의 제2 본체부(22a)에 마련되어 있다. 제3 가동 콤 전극(33)은, 제3 지지부(23)의 제3 본체부(23a)에 마련되어 있다. 제4 가동 콤 전극(34)은, 제4 지지부(24)의 제4 본체부(24a)에 마련되어 있다. 제5 가동 콤 전극(35)은, 가동부(7) 중 제1 단부(7a)를 포함하는 부분에 마련되어 있다. 제1 단부(7a)는, Y축 방향에서의 가동부(7)의 일방의 측의 단부이다. 광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73) 중, 제1 지지부(21)의 제1 접속부(21b)와 제3 지지부(23)의 제3 접속부(23b)와의 사이의 부분으로서, 제1 단부(7a)를 포함하는 부분에, 제5 가동 콤 전극(35)이 마련되어 있다. 제6 가동 콤 전극(36)은, 가동부(7) 중 제2 단부(7b)를 포함하는 부분에 마련되어 있다. 제2 단부(7b)는, Y축 방향에서의 가동부(7)의 타방의 측의 단부이다. 광학 디바이스(1)에서는, 프레임(73) 중, 제2 지지부(22)의 제2 접속부(22b)와 제4 지지부(24)의 제4 접속부(24b)와의 사이의 부분으로서, 제2 단부(7b)를 포함하는 부분에, 제6 가동 콤 전극(36)이 마련되어 있다.
제1 가동 콤 전극(31)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 가동 콤 전극(31)은, X축 방향으로부터 본 경우에, 제1 지지부(21)의 제1 본체부(21a)와 가동부(7)의 제1 단부(7a)와의 사이에 배치되어 있다. 제1 가동 콤 전극(31)은, 복수의 제1 가동 콤(31a)을 가지고 있다. 각 제1 가동 콤(31a)은, 제1 지지부(21)의 제1 본체부(21a)에서의 제1 토션바(11)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제1 가동 콤(31a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제1 가동 콤(31a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제1 가동 콤(31a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
제2 가동 콤 전극(32)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제2 가동 콤 전극(32)은, X축 방향으로부터 본 경우에, 제2 지지부(22)의 제2 본체부(22a)와 가동부(7)의 제2 단부(7b)와의 사이에 배치되어 있다. 제2 가동 콤 전극(32)은, 복수의 제2 가동 콤(32a)을 가지고 있다. 각 제2 가동 콤(32a)은, 제2 지지부(22)의 제2 본체부(22a)에서의 제1 토션바(11)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제2 가동 콤(32a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제2 가동 콤(32a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제2 가동 콤(32a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
제3 가동 콤 전극(33)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제3 가동 콤 전극(33)은, X축 방향으로부터 본 경우에, 제3 지지부(23)의 제3 본체부(23a)와 가동부(7)의 제1 단부(7a)와의 사이에 배치되어 있다. 제3 가동 콤 전극(33)은, 복수의 제3 가동 콤(33a)을 가지고 있다. 각 제3 가동 콤(33a)은, 제3 지지부(23)의 제3 본체부(23a)에서의 제2 토션바(12)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제3 가동 콤(33a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제3 가동 콤(33a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제3 가동 콤(33a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
제4 가동 콤 전극(34)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제4 가동 콤 전극(34)은, X축 방향으로부터 본 경우에, 제4 지지부(24)의 제4 본체부(24a)와 가동부(7)의 제2 단부(7b)와의 사이에 배치되어 있다. 제4 가동 콤 전극(34)은, 복수의 제4 가동 콤(34a)을 가지고 있다. 각 제4 가동 콤(34a)은, 제4 지지부(24)의 제4 본체부(24a)에서의 제2 토션바(12)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제4 가동 콤(34a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제4 가동 콤(34a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제4 가동 콤(34a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
제5 가동 콤 전극(35)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제5 가동 콤 전극(35)은, 복수의 제5 가동 콤(35a)을 가지고 있다. 각 제5 가동 콤(35a)은, 프레임(73) 중 제1 단부(7a)를 포함하는 부분에서의 제5 본체부(72)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제5 가동 콤(35a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제5 가동 콤(35a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제5 가동 콤(35a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
제6 가동 콤 전극(36)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제6 가동 콤 전극(36)은, 복수의 제6 가동 콤(36a)을 가지고 있다. 각 제6 가동 콤(36a)은, 프레임(73) 중 제2 단부(7b)를 포함하는 부분에서의 제5 본체부(72)와는 반대측의 측면에 마련되어 있다. 각 제6 가동 콤(36a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제6 가동 콤(36a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제6 가동 콤(36a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있다.
광학 디바이스(1)는, 제1 고정 콤 전극(41)과, 제2 고정 콤 전극(42)과, 제3 고정 콤 전극(43)과, 제4 고정 콤 전극(44)과, 제5 고정 콤 전극(45)과, 제6 고정 콤 전극(46)을 더 구비하고 있다. 제1 고정 콤 전극(41), 제2 고정 콤 전극(42), 제3 고정 콤 전극(43), 제4 고정 콤 전극(44), 제5 고정 콤 전극(45) 및 제6 고정 콤 전극(46)은, 베이스(5)에 마련되어 있다.
제1 고정 콤 전극(41)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제1 고정 콤 전극(41)은, 복수의 제1 고정 콤(41a)을 가지고 있다. 각 제1 고정 콤(41a)은, 복수의 제1 가동 콤(31a)이 마련된 제1 본체부(21a)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제1 고정 콤(41a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제1 고정 콤(41a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제1 고정 콤(41a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제1 가동 콤(31a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제1 가동 콤(31a)과 제1 고정 콤(41a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제1 가동 콤(31a)과 제1 고정 콤(41a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
제2 고정 콤 전극(42)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제2 고정 콤 전극(42)은, 복수의 제2 고정 콤(42a)을 가지고 있다. 각 제2 고정 콤(42a)은, 복수의 제2 가동 콤(32a)이 마련된 제2 본체부(22a)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제2 고정 콤(42a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제2 고정 콤(42a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제2 고정 콤(42a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제2 가동 콤(32a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제2 가동 콤(32a)과 제2 고정 콤(42a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제2 가동 콤(32a)과 제2 고정 콤(42a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
제3 고정 콤 전극(43)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제3 고정 콤 전극(43)은, 복수의 제3 고정 콤(43a)을 가지고 있다. 각 제3 고정 콤(43a)은, 복수의 제3 가동 콤(33a)이 마련된 제3 본체부(23a)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제3 고정 콤(43a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제3 고정 콤(43a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제3 고정 콤(43a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제3 가동 콤(33a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제3 가동 콤(33a)과 제3 고정 콤(43a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제3 가동 콤(33a)과 제3 고정 콤(43a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
제4 고정 콤 전극(44)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제4 고정 콤 전극(44)은, 복수의 제4 고정 콤(44a)을 가지고 있다. 각 제4 고정 콤(44a)은, 복수의 제4 가동 콤(34a)이 마련된 제4 본체부(24a)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제4 고정 콤(44a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제4 고정 콤(44a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제4 고정 콤(44a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제4 가동 콤(34a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제4 가동 콤(34a)과 제4 고정 콤(44a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제4 가동 콤(34a)과 제4 고정 콤(44a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
제5 고정 콤 전극(45)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제5 고정 콤 전극(45)은, 복수의 제5 고정 콤(45a)을 가지고 있다. 각 제5 고정 콤(45a)은, 복수의 제5 가동 콤(35a)이 마련된 프레임(73)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제5 고정 콤(45a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제5 고정 콤(45a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제5 고정 콤(45a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제5 가동 콤(35a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제5 가동 콤(35a)과 제5 고정 콤(45a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제5 가동 콤(35a)과 제5 고정 콤(45a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
제6 고정 콤 전극(46)은, 디바이스층(92)의 일부에 의해서 형성되어 있다. 제6 고정 콤 전극(46)은, 복수의 제6 고정 콤(46a)을 가지고 있다. 각 제6 고정 콤(46a)은, 복수의 제6 가동 콤(36a)이 마련된 프레임(73)의 측면과 대향하는 베이스(5)의 측면에 마련되어 있다. 각 제6 고정 콤(46a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있다. 복수의 제6 고정 콤(46a)은, X축 방향에서 서로 이웃하는 제6 고정 콤(46a) 사이의 간격이 일정하게 되도록 배열되어 있고, 복수의 제6 가동 콤(36a)과 엇갈리게 배치되어 있다. 서로 이웃하는 제6 가동 콤(36a)과 제6 고정 콤(46a)은, X축 방향에서 서로 마주보고 있다. 서로 이웃하는 제6 가동 콤(36a)과 제6 고정 콤(46a)과의 간격은, 예를 들면, 수μm 정도이다.
베이스(5)를 구성하는 디바이스층(92)의 표면(92a)에는, 복수의 전극 패드(2, 3, 4)가 마련되어 있다. 베이스(5)를 구성하는 디바이스층(92)에는, 그 일부가 홈에 의해서 획정됨으로써, 복수의 배선부(51, 52, 53)가 형성되어 있다. 각 전극 패드(2)는, 각 배선부(51)를 매개로 하여, 제1 가동 콤 전극(31), 제2 가동 콤 전극(32), 제3 가동 콤 전극(33), 제4 가동 콤 전극(34), 제5 가동 콤 전극(35) 및 제6 가동 콤 전극(36)과 전기적으로 접속되어 있다. 제5 고정 콤 전극(45)의 근방에 위치하는 전극 패드(3)는, 제5 고정 콤 전극(45)의 근방에 위치하는 배선부(52)를 매개로 하여, 제5 고정 콤 전극(45)에 전기적으로 접속되어 있다. 제6 고정 콤 전극(46)의 근방에 위치하는 전극 패드(3)는, 제6 고정 콤 전극(46)의 근방에 위치하는 배선부(52)를 매개로 하여, 제6 고정 콤 전극(46)과 전기적으로 접속되어 있다. 제1 고정 콤 전극(41)의 근방에 위치하는 전극 패드(4)는, 제1 고정 콤 전극(41)의 근방에 위치하는 배선부(53)를 매개로 하여, 제1 고정 콤 전극(41)과 전기적으로 접속되어 있다. 제2 고정 콤 전극(42)의 근방에 위치하는 전극 패드(4)는, 제2 고정 콤 전극(42)의 근방에 위치하는 배선부(53)를 매개로 하여, 제2 고정 콤 전극(42)과 전기적으로 접속되어 있다. 제3 고정 콤 전극(43)의 근방에 위치하는 전극 패드(4)는, 제3 고정 콤 전극(43)의 근방에 위치하는 배선부(53)를 매개로 하여, 제3 고정 콤 전극(43)과 전기적으로 접속되어 있다. 제4 고정 콤 전극(44)의 근방에 위치하는 전극 패드(4)는, 제4 고정 콤 전극(44)의 근방에 위치하는 배선부(53)를 매개로 하여, 제4 고정 콤 전극(44)과 전기적으로 접속되어 있다. 또, 도 3 및 도 4에서는, 복수의 전극 패드(2, 3, 4)의 도시가 생략되어 있다.
제5 가동 콤 전극(35) 및 제5 고정 콤 전극(45), 그리고 제6 가동 콤 전극(36) 및 제6 고정 콤 전극(46)은, 구동용의 전극으로서 이용된다. 구체적으로는, 복수의 전극 패드(2, 3)를 통해서, 제5 가동 콤 전극(35)과 제5 고정 콤 전극(45)과의 사이, 및 제6 가동 콤 전극(36)과 제6 고정 콤 전극(46)과의 사이 각각에 전압이 주기적으로 인가된다. 이것에 의해, 제5 가동 콤 전극(35)과 제5 고정 콤 전극(45)과의 사이, 및 제6 가동 콤 전극(36)과 제6 고정 콤 전극(46)과의 사이 각각에 정전기력이 발생하고, 해당 정전기력과, 제1 토션바(11) 및 제2 토션바(12)에 발생하는 반발력과의 협동에 의해서, 축선(L1)을 중심선으로 하여 가동부(7)가 요동된다(즉, 광학 기능부(71)가 요동된다).
제1 가동 콤 전극(31) 및 제1 고정 콤 전극(41), 제2 가동 콤 전극(32) 및 제2 고정 콤 전극(42), 제3 가동 콤 전극(33) 및 제3 고정 콤 전극(43), 그리고 제4 가동 콤 전극(34) 및 제4 고정 콤 전극(44)은, 모니터용의 전극으로서 이용된다. 구체적으로는, 복수의 전극 패드(2, 4)를 통해서, 제1 가동 콤 전극(31)과 제1 고정 콤 전극(41)과의 사이, 제2 가동 콤 전극(32)과 제2 고정 콤 전극(42)과의 사이, 제3 가동 콤 전극(33)과 제3 고정 콤 전극(43)과의 사이, 그리고 제4 가동 콤 전극(34)과 제4 고정 콤 전극(44)과의 사이 각각의 정전 용량이 검출된다. 해당 정전 용량은, 가동부(7)의 요동 각도(즉, 광학 기능부(71)의 요동 각도)에 따라 변화된다. 따라서, 검출된 정전 용량에 따라 구동 신호(인가하는 전압의 크기, 주기 등)를 조정함으로써, 가동부(7)의 요동 각도(즉, 광학 기능부(71)의 요동 각도)를 피드백 제어할 수 있다.
광학 디바이스(1)에서는, 광학 기능부(71) 및 복수의 전극 패드(3, 4)를 제외한 부분이, MEMS 기술(패터닝 및 에칭)에 의해서 SOI 기판(9)에서 일체적으로 형성되어 있다. 광학 디바이스(1)에서는, 적어도, SOI 기판(9)에서 일체적으로 형성된 부분이, Z축 방향으로부터 본 경우에, 축선(L1)에 관해서 선대칭이 되고 또한 축선(L2)에 관해서 선대칭이 되는 형상을 나타내고 있다.
이상 설명한 바와 같이, 광학 디바이스(1)에서는, 제1 및 제3 가동 콤 전극(31, 33)이, X축 방향으로부터 본 경우에, 가동부(7)의 제1 단부(7a)보다도 제1 및 제2 토션바(11, 12) 측에 위치하고 있고, 제2 및 제4 가동 콤 전극(32, 34)이, X축 방향으로부터 본 경우에, 가동부(7)의 제2 단부(7b)보다도 제1 및 제2 토션바(11, 12) 측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 축선(L1)을 중심선으로 하여 가동부(7)를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤(제1 고정 콤(41a), 제2 고정 콤(42a), 제3 고정 콤(43a) 및 제4 고정 콤(44a) 각각) 사이의 영역으로부터 가동 콤(제1 가동 콤(31a), 제2 가동 콤(32a), 제3 가동 콤(33a) 및 제4 가동 콤(34a) 각각)의 전체가 빠지는 것을 억제할 수 있다. 게다가, 광학 디바이스(1)에서는, 제1 및 제2 빔부(21c, 22c)가 형성됨으로써, Z축 방향에서의 제1 및 제2 지지부(21, 22) 각각의 두께가, Z축 방향에서의 제1 토션바(11)의 두께보다도 크게 되어 있고, 제3 및 제4 빔부(23c, 24c)가 형성됨으로써, Z축 방향에서의 제3 및 제4 지지부(23, 24) 각각의 두께가, Z축 방향에서의 제2 토션바(12)의 두께보다도 크게 되어 있다. 이것에 의해, 가동부(7)가 요동하고 있을 때에, 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 변형되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 제1, 제2, 제3, 제4 가동 콤 전극(31, 32, 33, 34)을 가동부(7)와 일체적으로 요동시킬 수 있고, 서로 이웃하는 가동 콤과 고정 콤과의 간격이 변동되는 것을 억제할 수 있다. 이상에 의해, 신뢰성이 높은 광학 디바이스(1)가 얻어진다.
또, 제1, 제2, 제3, 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 변형되는 것을 억제하기 위해서, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 폭을 크게 하는 것도 고려되지만, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 폭을 크게 하는 것에는, 다음과 같은 디메리트가 있다. 즉, 가동부(7)의 요동에 기인하는 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 변형에 대해서는, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 폭을 크게 하는 것과 비교하여, Z축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 두께를 크게 하는 쪽이, 해당 변형을 억제하는데 있어서 큰 효과가 있다. 그 때문에, Z축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 두께를 크게 하는 것과 동일한 정도의 효과가 얻어지도록, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 폭을 크게 하면, 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 질량이 크게 되어, 공진 주파수 레벨로 가동부(7)를 요동시키는데 있어서 불리하게 된다. 또, Y축 방향에서 제1 및 제2 토션바(11, 12)로부터 제1, 제2, 제3, 제4 가동 콤 전극(31, 32, 33, 34) 각각에 도달하는 거리는, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 폭을 크게 한 분(分)만큼 커진다. 그 때문에, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것을 억제하려고 하면, 가동부(7)의 요동 각도가 제한되어 버린다. 광학 디바이스(1)와 같이, Z축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)의 두께를 크게 하면, 이상과 같은 디메리트를 회피하면서, 제1, 제2, 제3, 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 변형되는 것을 억제할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 적어도, SOI 기판(9)에서 일체적으로 형성된 부분으로서, 복수의 전극 패드(3, 4)를 제외한 부분이, Z축 방향으로부터 본 경우에, 축선(L1)에 관해서 선대칭이 되고 또한 축선(L2)에 관해서 선대칭이 되는 형상을 나타내고 있다. 이것에 의해, 축선(L1)을 중심선으로 하여 가동부(7)를 밸런스 좋게 요동시킬 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 제1 토션바(11), 제1 지지부(21)의 제1 본체부(21a) 및 제2 지지부(22)의 제2 본체부(22a), 그리고 제2 토션바(12), 제3 지지부(23)의 제3 본체부(23a) 및 제4 지지부(24)의 제4 본체부(24a)가, X축 방향을 따라서 연장되어 있다. 이것에 의해, 구조의 단순화를 도모하면서, 각 부를 효율 좋게 배치할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 제1 지지부(21)의 제1 접속부(21b)가, 제1 토션바(11)로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고, 제2 지지부(22)의 제2 접속부(22b)가, 제1 토션바(11)로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고, 제3 지지부(23)의 제3 접속부(23b)가, 제2 토션바(12)로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있으며, 제4 지지부(24)의 제4 접속부(24b)가, 제2 토션바(12)로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바(11, 12) 각각이 가동부(7)에 접속되는 부분의 설계의 자유도를 향상시킬 수 있다. 게다가, 제1 및 제2 본체부(21a, 22a)를 제1 토션바(11)에 가까이 할 수 있음과 아울러, 제3 및 제4 본체부(23a, 24a)를 제2 토션바(12)에 가까이 할 수 있다. 그 때문에, 축선(L1)을 중심선으로 하여 가동부(7)를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것을 억제할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 제1 토션바(11)가, Z축 방향으로부터 본 경우에 제1 토션바(11)의 외부 가장자리 및 가동부(7)의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 가동부(7)에 접속되어 있으며, 제2 토션바(12)가, Z축 방향으로부터 본 경우에 제2 토션바(12)의 외부 가장자리 및 가동부(7)의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 가동부(7)에 접속되어 있다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바(11, 12) 각각이 가동부(7)에 접속되는 부분에서 응력 집중이 일어나기 어려워지기 때문에, 제1 및 제2 토션바(11, 12)가 파손되는 것을 억제할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 제5 가동 콤 전극(35)과 제5 고정 콤 전극(45)과의 사이, 및 제6 가동 콤 전극(36)과 제6 고정 콤 전극(46)과의 사이 각각에 전압을 인가함으로써, 이들 전극을 구동용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, Y축 방향에서의 제1 및 제2 토션바(11, 12)로부터의 거리에 대해서는, 제1 가동 콤 전극(31) 및 제3 가동 콤 전극(33)보다도 제5 가동 콤 전극(35)의 쪽이 크게 되고, 제2 가동 콤 전극(32) 및 제4 가동 콤 전극(34)보다도 제6 가동 콤 전극(36)의 쪽이 크게 된다. 그 때문에, 구동용의 전극에 발생시키는 정전기력의 크기(즉, 구동용의 전극에 인가하는 전압의 크기)를 크게 하지 않아도, 가동부(7)를 요동시키기 위해서 필요한 토크를 얻을 수 있다. 게다가, 제1 가동 콤 전극(31)과 제1 고정 콤 전극(41)과의 사이, 제2 가동 콤 전극(32)과 제2 고정 콤 전극(42)과의 사이, 제3 가동 콤 전극(33)과 제3 고정 콤 전극(43)과의 사이, 및 제4 가동 콤 전극(34)과 제4 고정 콤 전극(44)과의 사이의 각각의 정전 용량을 검출함으로써, 이들 전극을 모니터용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, 가동부(7)를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 가동부(7)가 요동하는 범위의 전체에서 가동부(7)의 위치(요동 각도)를 파악할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 제5 본체부(72)에 마련된 본체 빔부(75), 프레임(73)을 따라서 연장되는 프레임 빔부(76), 그리고 각 제5 접속부(74)에서 본체 빔부(75) 및 프레임 빔부(76)에 접속된 접속 빔부(77)가 가동부(7)에 마련되어 있고, 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 각각 가지는 제1, 제2, 제3 및 제4 빔부(21c, 22c, 23c, 24c)가, 프레임 빔부(76)에 접속되어 있다. 이것에 의해, 제1 및 제2 토션바(11, 12)의 비틀림의 영향이 광학 기능부(71)에 전해지기 어려워지기 때문에, 광학 기능부(71)가 변형되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다. 게다가, 가동부(7) 그리고 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 일체로서 변형되기 어려워지기 때문에, 서로 이웃하는 가동 콤과 고정 콤과의 간격이 변동되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 복수의 제5 접속부(74)가, 각각, 제1 단부(7a)에 대응하는 위치(제1 단부(7a)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치), 제2 단부(7b)에 대응하는 위치(제2 단부(7b)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치), 제1 토션바(11)의 연장선 상의 위치, 및 제2 토션바(12)의 연장선 상의 위치에 배치되어 있다. 이것에 의해, 공진 주파수 레벨로 가동부(7)를 요동시킬 때에, 가동부(7)의 요동의 공진 주파수와 다른 모드의 공진 주파수와의 차이를 크게 하여, 가동부(7)의 요동에 다른 모드가 중첩되는 것을 억제할 수 있다.
또, 광학 디바이스(1)에서는, 광학 기능부(71)가 미러이다. 이것에 의해, 예를 들면 레이저광을 소정의 영역에 바람직하게 주사할 수 있다.
이상, 본 개시의 일 실시 형태에 대해 설명했지만, 본 개시는, 상기 실시 형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 각 구성의 재료 및 형상에는, 상술한 재료 및 형상에 한정하지 않고, 여러가지 재료 및 형상을 채용할 수 있다. 일 예로서, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 빔부(21c, 22c, 23c, 24c)의 폭은, 각각, Y축 방향에서의 제1, 제2, 제3 및 제4 본체부(21a, 22a, 23a, 24a)의 폭과 동일해도 괜찮다. 또, 제1, 제2, 제3 및 제4 빔부(21c, 22c, 23c, 24c)는, X축 방향에 대해서 경사지게 연장되어 있거나, 지그재그 모양으로 연장되어 있거나 해도 괜찮다. 다만, 그 경우에도, 축선(L1)을 중심선으로 하여 가동부(7)를 밸런스 좋게 요동시키는 관점으로부터, 제1, 제2, 제3 및 제4 빔부(21c, 22c, 23c, 24c)는, Z축 방향으로부터 본 경우에, 축선(L1)에 관해서 선대칭이 되고 또한 축선(L2)에 관해서 선대칭이 되는 형상을 나타내고 있는 것이 바람직하다.
또, 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 가동부(7)에서, 복수의 제5 접속부(74)는, 각각, 제1 단부(7a)에 대응하는 위치(제1 단부(7a)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치), 및 제2 단부(7b)에 대응하는 위치(제2 단부(7b)와 가동부(7)의 중심 위치와의 사이의 위치)에 배치되어 있고, 제1 토션바(11)의 연장선 상의 위치, 및 제2 토션바(12)의 연장선 상의 위치에 배치되어 있지 않아도 괜찮다. 이 경우, 제1 및 제2 토션바(11, 12)의 비틀림의 영향이 광학 기능부(71)에 더욱 전해지기 어려워지기 때문에, 광학 기능부(71)가 변형되는 것을 보다 확실히 억제할 수 있다.
또, 도 6에 나타내어지는 바와 같이, 광학 디바이스(1)는, 제5 및 제6 가동 콤 전극(35, 36)과, 제5 및 제6 고정 콤 전극(45, 46)을 구비하고 있지 않아도 괜찮다. 즉, 가동부(7)에 가동 콤 전극이 마련되어 있지 않아도 괜찮다. 이 경우, 제1 가동 콤 전극(31)과 제1 고정 콤 전극(41)과의 사이, 제2 가동 콤 전극(32)과 제2 고정 콤 전극(42)과의 사이, 제3 가동 콤 전극(33)과 제3 고정 콤 전극(43)과의 사이, 그리고 제4 가동 콤 전극(34)과 제4 고정 콤 전극(44)과의 사이의 각각에 전압을 인가함으로써, 이들 전극을 구동용의 전극으로서 이용할 수 있다. 이 때, 가동부(7)를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 인가하는 전압의 크기, 주기 등, 구동 신호의 설정의 제어성을 향상시킬 수 있다. 게다가, 제1 가동 콤 전극(31)과 제1 고정 콤 전극(41)과의 사이, 제2 가동 콤 전극(32)과 제2 고정 콤 전극(42)과의 사이, 제3 가동 콤 전극(33)과 제3 고정 콤 전극(43)과의 사이, 및 제4 가동 콤 전극(34)과 제4 고정 콤 전극(44)과의 사이의 각각의 정전 용량을 검출함으로써, 이들 전극을 모니터용의 전극으로서도 이용할 수 있다. 이 때, 가동부(7)를 크게 요동시켰다고 해도, 서로 이웃하는 고정 콤 사이의 영역으로부터 가동 콤 전체가 빠지는 것이 억제된다. 그 때문에, 가동부(7)가 요동하는 범위의 전체에서 가동부(7)의 위치(요동 각도)를 파악할 수 있다. 또, 이 경우, 가동부(7)의 구조의 단순화를 도모할 수 있다. 게다가, 가동부(7)의 경량화, 나아가서는, 가동부(7)의 요동의 공진 주파수의 향상을 도모하고, 가동부(7)를 보다 고속으로 요동시킬 수 있다.
광학 기능부(71)는, 미러 이외라도 괜찮고, 예를 들면, 렌즈 등의 광학 소자가 배치되어 있어도 괜찮다. 또, 본체 빔부(75)는, 제5 본체부(72)의 외부 가장자리를 따라서 연장되는 것에 한정되지 않고, 예를 들면, 제5 본체부(72)를 횡단하도록 연장되는 것이라도 괜찮다. 또, 가동부(7)는, 각 제5 접속부(74)에서 본체 빔부(75) 및 프레임 빔부(76)에 접속된 접속 빔부(77)를 가지지 않아도 괜찮다. 그 경우에도, 광학 기능부(71), 그리고 제1, 제2, 제3 및 제4 지지부(21, 22, 23, 24)가 변형되는 것을 확실히 억제할 수 있다. 또, 서로 이웃하는 제1 가동 콤(31a)과 제1 고정 콤(41a)이, X축 방향에서 서로 마주보고 있으면, 제1 가동 콤(31a) 및 제1 고정 콤(41a)은, X축 방향에 수직인 평면을 따라서 연장되어 있지 않아도 된다. 일 예로서, 제1 가동 콤(31a) 및 제1 고정 콤(41a)은, X축 방향에 수직인 평면에 대해서 경사지게 연장되어 있어도 괜찮고, 혹은, Z축 방향으로부터 본 경우에 호(弧) 모양으로 만곡된 형상을 나타내고 있어도 괜찮다. 즉, 서로 마주하는 제1 가동 콤(31a)의 측면과 제1 고정 콤(41a)의 측면이, X축 방향에서 서로 마주보고 있으면 된다. 이들의 점은, 제2 가동 콤(32a) 및 제2 고정 콤(42a), 제3 가동 콤(33a) 및 제3 고정 콤(43a), 제4 가동 콤(34a) 및 제4 고정 콤(44a), 제5 가동 콤(35a) 및 제5 고정 콤(45a), 제5 가동 콤(35a) 및 제5 고정 콤(45a) 각각에 대해서도 동일하다.
1 - 광학 디바이스 5 - 베이스
7 - 가동부 7a - 제1 단부
7b - 제2 단부 11 - 제1 토션바
12 - 제2 토션바 21 - 제1 지지부
21a - 제1 본체부 21b - 제1 접속부
21c - 제1 빔부 22 - 제2 지지부
22a - 제2 본체부 22b - 제2 접속부
22c - 제2 빔부 23 - 제3 지지부
23a - 제3 본체부 23b - 제3 접속부
23c - 제3 빔부 24 - 제4 지지부
24a - 제4 본체부 24b - 제4 접속부
24c - 제4 빔부 31 - 제1 가동 콤 전극
31a - 제1 가동 콤 32 - 제2 가동 콤 전극
32a - 제2 가동 콤 33 - 제3 가동 콤 전극
33a - 제3 가동 콤 34 - 제4 가동 콤 전극
34a - 제4 가동 콤 35 - 제5 가동 콤 전극
35a - 제5 가동 콤 36 - 제6 가동 콤 전극
36a - 제6 가동 콤 41 - 제1 고정 콤 전극
41a - 제1 고정 콤 42 - 제2 고정 콤 전극
42a - 제2 고정 콤 43 - 제3 고정 콤 전극
43a - 제3 고정 콤 44 - 제4 고정 콤 전극
44a - 제4 고정 콤 45 - 제5 고정 콤 전극
45a - 제5 고정 콤 46 - 제6 고정 콤 전극
46a - 제6 고정 콤 71 - 광학 기능부
72 - 제5 본체부 73 - 프레임
74 - 제5 접속부 75 - 본체 빔부
76 - 프레임 빔부 77 - 접속 빔부

Claims (19)

  1. 베이스와,
    광학 기능부를 가지는 가동부와,
    제1 방향에서 상기 가동부의 일방의 측에 배치되고, 상기 베이스 및 상기 가동부에 접속된 제1 토션바와,
    상기 제1 방향에서 상기 가동부의 타방의 측에 배치되고, 상기 베이스 및 상기 가동부에 접속된 제2 토션바와,
    상기 제1 방향에 수직인 제2 방향에서 상기 제1 토션바의 일방의 측에 배치되고, 상기 가동부에 접속된 제1 지지부와,
    상기 제2 방향에서 상기 제1 토션바의 타방의 측에 배치되고, 상기 가동부에 접속된 제2 지지부와,
    상기 제2 방향에서 상기 제2 토션바의 상기 일방의 측에 배치되고, 상기 가동부에 접속된 제3 지지부와,
    상기 제2 방향에서 상기 제2 토션바의 상기 타방의 측에 배치되고, 상기 가동부에 접속된 제4 지지부와,
    상기 제1 지지부에 마련되고, 복수의 제1 가동 콤(comb)을 가지는 제1 가동 콤 전극과,
    상기 제2 지지부에 마련되고, 복수의 제2 가동 콤을 가지는 제2 가동 콤 전극과,
    상기 제3 지지부에 마련되고, 복수의 제3 가동 콤을 가지는 제3 가동 콤 전극과,
    상기 제4 지지부에 마련되고, 복수의 제4 가동 콤을 가지는 제4 가동 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제1 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제1 고정 콤을 가지는 제1 고정 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제2 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제2 고정 콤을 가지는 제2 고정 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제3 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제3 고정 콤을 가지는 제3 고정 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제4 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제4 고정 콤을 가지는 제4 고정 콤 전극을 구비하며,
    서로 이웃하는 상기 제1 가동 콤과 상기 제1 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있고,
    서로 이웃하는 상기 제2 가동 콤과 상기 제2 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있고,
    서로 이웃하는 상기 제3 가동 콤과 상기 제3 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있고,
    서로 이웃하는 상기 제4 가동 콤과 상기 제4 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있으며,
    상기 제1 가동 콤 전극은, 상기 제1 방향으로부터 본 경우에, 상기 제1 지지부와 상기 제2 방향에서의 상기 가동부의 상기 일방의 측의 제1 단부와의 사이에 배치되어 있고,
    상기 제2 가동 콤 전극은, 상기 제1 방향으로부터 본 경우에, 상기 제2 지지부와 상기 제2 방향에서의 상기 가동부의 상기 타방의 측의 제2 단부와의 사이에 배치되어 있고,
    상기 제3 가동 콤 전극은, 상기 제1 방향으로부터 본 경우에, 상기 제3 지지부와 상기 가동부의 상기 제1 단부와의 사이에 배치되어 있고,
    상기 제4 가동 콤 전극은, 상기 제1 방향으로부터 본 경우에, 상기 제4 지지부와 상기 가동부의 상기 제2 단부와의 사이에 배치되어 있으며,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직인 제3 방향에서의 상기 제1 지지부의 두께가 상기 제3 방향에서의 상기 제1 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제1 빔부(beam部)를 가지고,
    상기 제2 지지부는, 상기 제3 방향에서의 상기 제2 지지부의 두께가 상기 제3 방향에서의 상기 제1 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제2 빔부를 가지고,
    상기 제3 지지부는, 상기 제3 방향에서의 상기 제3 지지부의 두께가 상기 제3 방향에서의 상기 제2 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제3 빔부를 가지고,
    상기 제4 지지부는, 상기 제3 방향에서의 상기 제4 지지부의 두께가 상기 제3 방향에서의 상기 제2 토션바의 두께보다도 크게 되도록 형성된 제4 빔부를 가지는 광학 디바이스.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 가동 콤 전극이 마련된 제1 본체부를 더 가지고,
    상기 제2 지지부는, 상기 제2 가동 콤 전극이 마련된 제2 본체부를 더 가지고,
    상기 제3 지지부는, 상기 제3 가동 콤 전극이 마련된 제3 본체부를 더 가지고,
    상기 제4 지지부는, 상기 제4 가동 콤 전극이 마련된 제4 본체부를 더 가지며,
    상기 제1 토션바, 상기 제1 본체부 및 상기 제2 본체부, 그리고 상기 제2 토션바, 상기 제3 본체부 및 상기 제4 본체부는, 상기 제1 방향을 따라서 연장되어 있는 광학 디바이스.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 지지부는, 상기 제1 본체부 및 상기 가동부에 접속된 제1 접속부를 더 가지고, 상기 제1 접속부는, 상기 제1 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고,
    상기 제2 지지부는, 상기 제2 본체부 및 상기 가동부에 접속된 제2 접속부를 더 가지고, 상기 제2 접속부는, 상기 제1 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있고,
    상기 제3 지지부는, 상기 제3 본체부 및 상기 가동부에 접속된 제3 접속부를 더 가지고, 상기 제3 접속부는, 상기 제2 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있으며,
    상기 제4 지지부는, 상기 제4 본체부 및 상기 가동부에 접속된 제4 접속부를 더 가지고, 상기 제4 접속부는, 상기 제2 토션바로부터 멀어지도록 굴곡된 형상을 나타내고 있는 광학 디바이스.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 토션바는, 상기 제3 방향으로부터 본 경우에 상기 제1 토션바의 외부 가장자리 및 상기 가동부의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 상기 가동부에 접속되어 있으며,
    상기 제2 토션바는, 상기 제3 방향으로부터 본 경우에 상기 제2 토션바의 외부 가장자리 및 상기 가동부의 외부 가장자리의 곡률이 연속되도록, 상기 가동부에 접속되어 있는 광학 디바이스.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동부 중 상기 제1 단부를 포함하는 부분에 마련되고, 복수의 제5 가동 콤을 가지는 제5 가동 콤 전극과,
    상기 가동부 중 상기 제2 단부를 포함하는 부분에 마련되고, 복수의 제6 가동 콤을 가지는 제6 가동 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제5 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제5 고정 콤을 가지는 제5 고정 콤 전극과,
    상기 베이스에 마련되고, 상기 복수의 제6 가동 콤과 엇갈리게 배치된 복수의 제6 고정 콤을 가지는 제6 고정 콤 전극을 더 구비하며,
    서로 이웃하는 상기 제5 가동 콤과 상기 제5 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있고,
    서로 이웃하는 상기 제6 가동 콤과 상기 제6 고정 콤은, 상기 제1 방향에서 서로 마주보고 있는 광학 디바이스.
  6. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동부에는, 가동 콤 전극이 마련되어 있지 않은 광학 디바이스.
  7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 광학 기능부가 마련된 제5 본체부와, 상기 제3 방향으로부터 본 경우에 상기 제5 본체부를 둘러싸는 프레임과, 상기 제5 본체부 및 상기 프레임에 접속된 복수의 제5 접속부와, 상기 제5 본체부에 마련된 본체 빔부와, 상기 프레임을 따라서 연장되는 프레임 빔부를 더 가지며,
    상기 제1 빔부, 상기 제2 빔부, 상기 제3 빔부 및 상기 제4 빔부는, 상기 프레임 빔부에 접속되어 있는 광학 디바이스.
  8. 청구항 5에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 광학 기능부가 마련된 제5 본체부와, 상기 제3 방향으로부터 본 경우에 상기 제5 본체부를 둘러싸는 프레임과, 상기 제5 본체부 및 상기 프레임에 접속된 복수의 제5 접속부와, 상기 제5 본체부에 마련된 본체 빔부와, 상기 프레임을 따라서 연장되는 프레임 빔부를 더 가지며,
    상기 제1 빔부, 상기 제2 빔부, 상기 제3 빔부 및 상기 제4 빔부는, 상기 프레임 빔부에 접속되어 있는 광학 디바이스.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 광학 기능부가 마련된 제5 본체부와, 상기 제3 방향으로부터 본 경우에 상기 제5 본체부를 둘러싸는 프레임과, 상기 제5 본체부 및 상기 프레임에 접속된 복수의 제5 접속부와, 상기 제5 본체부에 마련된 본체 빔부와, 상기 프레임을 따라서 연장되는 프레임 빔부를 더 가지며,
    상기 제1 빔부, 상기 제2 빔부, 상기 제3 빔부 및 상기 제4 빔부는, 상기 프레임 빔부에 접속되어 있는 광학 디바이스.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 복수의 제5 접속부 각각에서 상기 본체 빔부 및 상기 프레임 빔부에 접속된 접속 빔부를 더 가지는 광학 디바이스.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 복수의 제5 접속부 각각에서 상기 본체 빔부 및 상기 프레임 빔부에 접속된 접속 빔부를 더 가지는 광학 디바이스.
  12. 청구항 9에 있어서,
    상기 가동부는, 상기 복수의 제5 접속부 각각에서 상기 본체 빔부 및 상기 프레임 빔부에 접속된 접속 빔부를 더 가지는 광학 디바이스.
  13. 청구항 7에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  14. 청구항 8에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  15. 청구항 9에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  16. 청구항 10에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  17. 청구항 11에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  18. 청구항 12에 있어서,
    상기 복수의 제5 접속부는, 상기 가동부의 상기 제1 단부 및 상기 제2 단부에 대응하는 위치에 배치되어 있는 광학 디바이스.
  19. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광학 기능부는, 미러인 광학 디바이스.
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