CN111344623A - 光学器件 - Google Patents

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CN111344623A CN201880073424.7A CN201880073424A CN111344623A CN 111344623 A CN111344623 A CN 111344623A CN 201880073424 A CN201880073424 A CN 201880073424A CN 111344623 A CN111344623 A CN 111344623A
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杉本达哉
铃木智史
港谷恭辅
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Abstract

在光学器件中，第1、第2、第3和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下分别配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间、第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间、第3支承部与可动部的第1端部之间和第4支承部与可动部的第2端部之间。第1和第2支承部分别具有以其厚度大于第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部和第2梁部。第3和第4支承部分别具有以其厚度大于第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部和第4梁部。

Description

光学器件
技术领域
本发明例如涉及作为MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))器件构成的光学器件。
背景技术
已知有一种光学器件，其包括：底座；具有光学功能部的可动部；在可动部的两侧分别与底座和可动部连接的一对扭力杆；具有多个可动梳齿的可动梳齿电极；和具有与多个可动梳齿交错地配置的多个固定梳齿的固定梳齿电极。在专利文献1所记载的器件中，在从可动部沿扭力杆延伸的支承部设置有可动梳齿电极。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利申请公开第2005/0194650号说明书
发明内容
发明所要解决的问题
上述那样的可动梳齿电极和固定梳齿电极用作驱动用的电极、监视用的电极或驱动兼监视用的电极。在作为驱动用的电极使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，为了以规定的轴线为中心线使可动部摇动，向可动梳齿电极与固定梳齿电极之间施加电压。在作为监视用的电极使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，为了把握以规定的轴线为中心线摇动的可动部的位置(摇动角度)，检测可动梳齿电极与固定梳齿电极之间的静电容量。
在任一用途中使用可动梳齿电极和固定梳齿电极的情况下，均优选在可动部摇动时，可动梳齿电极与可动部一体地摇动，彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔被维持为一定。但是，在专利文献1所记载的器件中，由于设置有可动梳齿电极的支承部从可动部沿扭力杆延伸，所以存在在可动部摇动时可动梳齿电极发生变形，作为器件的可靠性下降的担忧。
本发明的目的在于提供可靠性高的光学器件。
解决问题的技术手段
本发明的一个方面的光学器件，包括：底座；具有光学功能部的可动部；在第1方向上配置于可动部的一侧，且与底座和可动部连接的第1扭力杆；在第1方向上配置于可动部的另一侧，且与底座和可动部连接的第2扭力杆；在与第1方向垂直的第2方向上配置于第1扭力杆的一侧，且与可动部连接的第1支承部；在第2方向上配置于第1扭力杆的另一侧，且与可动部连接的第2支承部；在第2方向上配置于第2扭力杆的一侧，且与可动部连接的第3支承部；在第2方向上配置于第2扭力杆的另一侧，且与可动部连接的第4支承部；设置于第1支承部，且具有多个第1可动梳齿的第1可动梳齿电极；设置于第2支承部，且具有多个第2可动梳齿的第2可动梳齿电极；设置于第3支承部，且具有多个第3可动梳齿的第3可动梳齿电极；设置于第4支承部，且具有多个第4可动梳齿的第4可动梳齿电极；设置于底座，且具有与多个第1可动梳齿交错地配置的多个第1固定梳齿的第1固定梳齿电极；设置于底座，且具有与多个第2可动梳齿交错地配置的多个第2固定梳齿的第2固定梳齿电极；设置于底座，且具有与多个第3可动梳齿交错地配置的多个第3固定梳齿的第3固定梳齿电极；和设置于底座，且具有与多个第4可动梳齿交错地配置的多个第4固定梳齿的第4固定梳齿电极，相邻的第1可动梳齿与第1固定梳齿在第1方向上彼此相对，相邻的第2可动梳齿与第2固定梳齿在第1方向上彼此相对，相邻的第3可动梳齿与第3固定梳齿在第1方向上彼此相对，相邻的第4可动梳齿与第4固定梳齿在第1方向上彼此相对，第1可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，配置于第1支承部与第2方向上的可动部的一侧的第1端部之间，第2可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，配置于第2支承部与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部之间，第3可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，配置于第3支承部与可动部的第1端部之间，第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，配置于第4支承部与可动部的第2端部之间，第1支承部具有以与第1方向和第2方向垂直的第3方向上的第1支承部的厚度大于第3方向上的第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部，第2支承部具有以第3方向上的第2支承部的厚度大于第3方向上的第1扭力杆的厚度的方形成的第2梁部，第3支承部具有以第3方向上的第3支承部的厚度大于第3方向上的第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部，第4支承部具有以第3方向上的第4支承部的厚度大于第3方向上的第2扭力杆的厚度的方式形成的第4梁部。
在该光学器件中，第1和第3可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，位于与第2方向上的可动部的一侧的第1端部相比更靠近第1和第2扭力杆侧的位置，第2和第4可动梳齿电极在从第1方向看的情况下，位于与第2方向上的可动部的另一侧的第2端部相比更靠近第1和第2扭力杆侧的位置。由此，即使以与第1方向平行的轴线为中心线地使可动部大幅摇动，也能够抑制整个可动梳齿从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。再有，在该光学器件中，通过形成第1和第2梁部，第3方向上的第1和第2支承部各自的厚度大于第3方向上的第1扭力杆的厚度，通过形成第3和第4梁部，第3方向上的第3和第4支承部各自的厚度大于第3方向上的第2扭力杆的厚度。由此，在可动部摇动时，能够抑制第1、第2、第3和第4支承部发生变形。因此，能够使第1、第2、第3、第4可动梳齿电极与可动部一体地摇动，能够抑制彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔发生变动。根据以上所述，可得到可靠性高的光学器件。
在本发明的一个方面的光学器件中，也可以是第1支承部还具有设置有第1可动梳齿电极的第1主体部，第2支承部还具有设置有第2可动梳齿电极的第2主体部，第3支承部还具有设置有第3可动梳齿电极的第3主体部，第4支承部还具有设置有第4可动梳齿电极的第4主体部，第1扭力杆、第1主体部和第2主体部以及第2扭力杆、第3主体部和第4主体部沿第1方向延伸。由此，能够在实现结构的单纯化的同时高效地配置各部。
在本发明的一个方面的光学器件中，也可以是第1支承部还具有与第1主体部和可动部连接的第1连接部，第1连接部呈以从第1扭力离开的方式弯曲的形状，第2支承部还具有与第2主体部和可动部连接的第2连接部，第2连接部呈以从第1扭力杆离开的方式弯曲的形状，第3支承部还具有与第3主体部和可动部连接的第3连接部，第3连接部呈以从第2扭力杆离开的方式弯曲的形状，第4支承部还具有与第4主体部和可动部连接的第4连接部，第4连接部呈以从第2扭力杆离开的方式弯曲的形状。由此，能够提高第1和第2扭力杆各自与可动部连接的部分的设计的自由度。再有，能够使第1和第2主体部靠近第1扭力杆，并且使第3和第4主体部靠近第2扭力杆。因此，即使以与第1方向平行的轴线为中心线地使可动部大幅摇动，也能够抑制整个可动梳齿的彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。
在本发明的一个方面的光学器件中，也可以是第1扭力杆以在从第3方向看的情况下第1扭力杆的外缘和可动部的外缘的曲率连续的方式，与可动部连接，第2扭力杆以在从第3方向看的情况下第2扭力杆的外缘和可动部的外缘的曲率连续的方式，与可动部连接。由此，在第1和第2扭力杆各自与可动部连接的部分不易发生应力集中，因此能够抑制第1和第2扭力杆的破损。
本发明的一个方面的光学器件也可以还包括：设置于可动部中包含第1端部的部分，且具有多个第5可动梳齿的第5可动梳齿电极；设置于可动部中包含第2端部的部分，且具有多个第6可动梳齿的第6可动梳齿电极；设置于底座，且具有与多个第5可动梳齿交错地配置的多个第5固定梳齿的第5固定梳齿电极；和设置于底座，且具有与多个第6可动梳齿交错地配置的多个第6固定梳齿的第6固定梳齿电极，相邻的第5可动梳齿与第5固定梳齿在第1方向上彼此相对，相邻的第6可动梳齿与第6固定梳齿第1方向上彼此相对。在这种情况下，通过向第5可动梳齿电极与第5固定梳齿电极之间和第6可动梳齿电极与第6固定梳齿电极之间分别施加电压，能够将这些电极作为驱动用的电极使用。此时，关于第2方向上的距第1和第2扭力杆的距离，第5可动梳齿电极比第1可动梳齿电极和第3可动梳齿电极更大，第6可动梳齿电极比第2可动梳齿电极和第4可动梳齿电极更大。因此，即使不使在驱动用的电极产生的静电力的大小(即，向驱动用的电极施加的电压的大小)变大，也能够得到使可动部摇动所需的扭矩。再有，通过分别检测第1可动梳齿电极与第1固定梳齿电极之间、第2可动梳齿电极与第2固定梳齿电极之间、第3可动梳齿电极与第3固定梳齿电极之间和第4可动梳齿电极与第4固定梳齿电极之间的静电容量，能够将这些电极作为监视用的电极使用。此时，即使使可动部大幅摇动，也能够抑制整个可动梳齿从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。因此，能够在可动部摇动的整个范围把握可动部的位置(摇动角度)。
在本发明的一个方面的光学器件中，也可以是在可动部未设置可动梳齿电极。在这种情况下，通过分别向第1可动梳齿电极与第1固定梳齿电极之间、第2可动梳齿电极与第2固定梳齿电极之间、第3可动梳齿电极与第3固定梳齿电极之间和第4可动梳齿电极与第4固定梳齿电极之间施加电压，能够将这些电极作为驱动用的电极使用。此时，即使使可动部大幅摇动，也能够抑制整个可动梳齿从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。因此，能够提高施加的电压的大小、周期等，驱动信号的设定的控制性。再有，通过分别检测第1可动梳齿电极与第1固定梳齿电极之间、第2可动梳齿电极与第2固定梳齿电极之间、第3可动梳齿电极与第3固定梳齿电极之间和第4可动梳齿电极与第4固定梳齿电极之间的静电容量，还能够将这些电极作为监视用的电极使用。此时，即使使可动部大幅摇动，也能够抑制整个可动梳齿从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。因此，能够在可动部摇动的整个范围把握可动部的位置(摇动角度)。
在本发明的一个方面的光学器件中，也可以是可动部还具有设置有光学功能部的第5主体部、在从第3方向看的情况下包围第5主体部的框架、与第5主体部和框架连接的多个第5连接部、在第5主体部设置的主体梁部和沿框架延伸的框架梁部，第1梁部、第2梁部、第3梁部和第4梁部与框架梁部连接。由此，第1和第2扭力杆的扭矩的影响不易传达至光学功能部，因此能够抑制光学功能部的变形。再有，可动部以及第1、第2、第3和第4支承部作为一体不易变形，因此能够更可靠地抑制彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔发生变动。在本发明的一个方面的光学器件中，可动部也可以进一步具有在多个第5连接部的各个与主体梁部和框架梁部连接的连接梁部。由此，能够更可靠地抑制光学功能部以及第1、第2、第3和第4支承部发生变形。
在本发明的一个方面的光学器件中，多个第5连接部也可以配置于与可动部的第1端部和第2端部对应的位置。由此，第1和第2扭力杆的扭矩的影响不易传达至光学功能部，因此能够更可靠地抑制光学功能部的变形。
在本发明的一个方面的光学器件中，光学功能部也可以为镜。由此，例如能够在规定的区域适当地扫描激光。
发明的效果
根据本发明，能够提供可靠性高的光学器件。
附图说明
图1是一个实施方式的光学器件的俯视图。
图2是图1所示的光学器件的底面图。
图3是沿图1所示的III－III线的光学器件的截面图。
图4是沿图1所示的IV－IV线的光学器件的截面图。
图5是变形例的光学器件的俯视图。
图6是变形例的光学器件的俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细的说明。另外，在各图中对相同或相当的要素标注相同的符号，省略重复的部分。
如图1、图2、图3和图4所示，光学器件1包括底座5、可动部7、第1扭力杆11和第2扭力杆12。光学器件1利用SOI(Silicon On Insulator(绝缘层上硅))基板9而作为MEMS器件构成。光学器件1例如呈矩形板状。光学器件1例如具有9mm×7mm×0.4mm(厚度)左右的尺寸。
底座5由构成SOI基板9的处理层91、器件层92和中间层93的一部分形成。处理层91是第1硅层。器件层92是第2硅层。中间层93是配置于处理层91与器件层92之间的绝缘层。
可动部7以轴线L1与轴线L2的交点为中心位置(重心位置)配置。轴线L1是沿X轴方向(与X轴平行的方向，第1方向)延伸的直线。轴线L2是沿Y轴方向(与Y轴平行的方向，与第1方向垂直的第2方向)延伸的直线。可动部7在从Z轴方向(与Z轴平行的方向，与第1方向和第2方向垂直的第3方向)看的情况下，呈关于轴线L1线对称且关于轴线L2线对称的形状。
可动部7具有光学功能部71、第5主体部72、框架73、多个第5连接部74、主体梁部75、框架梁部76和多个连接梁部77。光学功能部71设置在第5主体部72。光学功能部71是形成于构成第5主体部72的器件层92中的与处理层91相反侧的表面92a的镜。这样的镜例如通过蒸镀在构成第5主体部72的器件层92的表面92a形成金属膜而得到。
第5主体部72由器件层92的一部分形成。第5主体部72例如在从Z轴方向看的情况下呈圆形状。框架73在从Z轴方向看的情况下包围第5主体部72。框架73由器件层92的一部分形成。框架73例如在从Z轴方向看的情况下呈八边形环状。多个第5连接部74在轴线L1上的第5主体部72的两侧和轴线L2上的第5主体部72的两侧分别配置。具体而言，多个第5连接部74分别配置于与第1端部7a对应的位置(第1端部7a与可动部7的中心位置之间的位置)、与第2端部7b对应的位置(第2端部7b与可动部7的中心位置之间的位置)、第1扭力杆11的延长线上的位置和第2扭力杆12的延长线上的位置。各第5连接部74与第5主体部72和框架73连接。各第5连接部74架设于第5主体部72与框架73之间。各第5连接部74由器件层92的一部分形成。
主体梁部75沿第5主体部72的外缘延伸。主体梁部75由处理层91和中间层93的一部分形成。主体梁部75在构成第5主体部72的器件层92的处理层91侧的表面92b形成。主体梁部75例如在从Z轴方向看的情况下呈圆形环状。框架梁部76沿框架73延伸。框架梁部76由处理层91和中间层93的一部分形成。框架梁部76形成于构成框架73的器件层92的表面92b。框架梁部76例如在从Z轴方向看的情况下呈八边形环状。多个连接梁部77分别配置于多个第5连接部74。各连接梁部77与主体梁部75和框架梁部76连接。各连接梁部77架设于主体梁部75与框架梁部76之间。各连接梁部77由处理层91和中间层93的一部分形成。各连接梁部77在构成各第5连接部74的器件层92的表面92b形成。
第1扭力杆11在X轴方向上配置于可动部7的一侧。第1扭力杆11在轴线L1上沿X轴方向延伸。第1扭力杆11由器件层92的一部分形成。第1扭力杆11与底座5和可动部7连接。第1扭力杆11架设于底座5与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第1扭力杆11以在从Z轴方向看的情况下第1扭力杆11的外缘和可动部7的外缘(在光学器件1为框架73的外缘)的曲率连续的方式，与可动部7连接。具体而言，第1扭力杆11中与可动部7连接的部分呈以Y轴方向上的该部分的宽度越接近可动部7而越大的方式该部分的两侧面凹状地弯曲的形状。第1扭力杆11中与底座5连接的部分也一样，呈Y轴方向上的该部分的宽度越接近底座5而越大的方式该部分的两侧面凹状地弯曲的形状。
第2扭力杆12在X轴方向上配置于可动部7的另一侧。第2扭力杆12在轴线L1上沿X轴方向延伸。第2扭力杆12由器件层92的一部分形成。第2扭力杆12与底座5和可动部7连接。第2扭力杆12架设于底座5与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第2扭力杆12以在从Z轴方向看的情况下第2扭力杆12的外缘和可动部7的外缘(在光学器件1中为框架73的外缘)的曲率连续的方式与可动部7连接。具体而言，第2扭力杆12中与可动部7连接的部分呈Y轴方向上的该部分的宽度越接近可动部7而越大的方式该部分的两侧面凹状地弯曲的形状。第2扭力杆12中与底座5连接的部分也一样，呈Y轴方向的该部分的宽度越接近底座5而越大的方式该部分的两侧面凹状地弯曲的形状。
光学器件1进一步包括第1支承部21、第2支承部22、第3支承部23和第4支承部24。第1支承部21在Y轴方向上配置于第1扭力杆11的一侧，与可动部7连接。第2支承部22在Y轴方向上配置于第1扭力杆11的另一侧，与可动部7连接。第3支承部23在Y轴方向上配置于第2扭力杆12的一侧，与可动部7连接。第4支承部24在Y轴方向上配置于第2扭力杆12的另一侧，第4支承部24与可动部7连接。
第1支承部21具有第1主体部21a、第1连接部21b和第1梁部21c。第1主体部21a以在第1主体部21a与第1扭力杆11之间形成有间隙的状态，沿X轴方向延伸。第1主体部21a由器件层92的一部分形成。第1连接部21b与第1主体部21a和可动部7连接。第1连接部21b架设于第1主体部21a与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第1连接部21b由器件层92的一部分形成。第1连接部21b呈以从第1扭力杆11中与可动部7连接的部分离开的方式弯曲的形状。第1梁部21c以Z轴方向上的第1支承部21的厚度大于Z轴方向上的第1扭力杆11的厚度的方式，在第1主体部21a和第1连接部21b形成。第1梁部21c跨越第1主体部21a和第1连接部21b地延伸，与框架梁部76连接。第1梁部21c由处理层91和中间层93的一部分形成。Y轴方向上的第1梁部21c的宽度小于Y轴方向上的第1主体部21a的宽度。第1梁部21c形成于构成第1主体部21a和第1连接部21b的器件层92的表面92b。在光学器件1中，第1梁部21c是在Z轴方向上从构成第1和第2扭力杆11、12的器件层92的表面92b突出的部分。
第2支承部22具有第2主体部22a、第2连接部22b和第2梁部22c。第2主体部22a以在第2主体部22a与第1扭力杆11之间形成有间隙的状态，沿X轴方向延伸。第2主体部22a由器件层92的一部分形成。第2连接部22b与第2主体部22a和可动部7连接。第2连接部22b架设于第2主体部22a与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第2连接部22b由器件层92的一部分形成。第2连接部22b呈以从第1扭力杆11中与可动部7连接的部分离开的方式弯曲的形状。第2梁部22c以Z轴方向上的第2支承部22的厚度大于Z轴方向上的第1扭力杆11的厚度的方式，形成于第2主体部22a和第2连接部22b。第2梁部22c跨越第2主体部22a和第2连接部22b地延伸，与框架梁部76连接。第2梁部22c由处理层91和中间层93的一部分形成。Y轴方向上的第2梁部22c的宽度小于Y轴方向上的第2主体部22a的宽度。第2梁部22c形成于构成第2主体部22a和第2连接部22b的器件层92的表面92b。在光学器件1中，第2梁部22c是在Z轴方向上从构成第1和第2扭力杆11、12的器件层92的表面92b突出的部分。
第3支承部23具有第3主体部23a、第3连接部23b和第3梁部23c。第3主体部23a以在第3主体部23a与第2扭力杆12之间形成有间隙的状态，沿X轴方向延伸。第3主体部23a由器件层92的一部分形成。第3连接部23b与第3主体部23a和可动部7连接。第3连接部23b架设于第3主体部23a与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第3连接部23b由器件层92的一部分形成。第3连接部23b呈以从第2扭力杆12中与可动部7连接的部分离开的方式弯曲的形状。第3梁部23c以Z轴方向上的第3支承部23的厚度大于Z轴方向上的第2扭力杆12的厚度的方式，形成于第3主体部23a和第3连接部23b。第3梁部23c跨越第3主体部23a和第3连接部23b地延伸，与框架梁部76连接。第3梁部23c由处理层91和中间层93的一部分形成。Y轴方向上的第3梁部23c的宽度小于Y轴方向上的第3主体部23a的宽度。第3梁部23c形成于构成第3主体部23a和第3连接部23b的器件层92的表面92b。在光学器件1中，第3梁部23c是在Z轴方向上从构成第1和第2扭力杆11、12的器件层92的表面92b突出的部分。
第4支承部24具有第4主体部24a、第4连接部24b和第4梁部24c。第4主体部24a以在第4主体部24a与第2扭力杆12之间形成有间隙的状态，沿X轴方向延伸。第4主体部24a由器件层92的一部分形成。第4连接部24b与第4主体部24a和可动部7连接。第4连接部24b架设于第4主体部24a与可动部7(在光学器件1中为框架73)之间。第4连接部24b由器件层92的一部分形成。第4连接部24b呈以从第2扭力杆12中与可动部7连接的部分离开的方式弯曲的形状。第4梁部24c以Z轴方向上的第4支承部24的厚度大于Z轴方向上的第2扭力杆12的厚度的方式，形成于第4主体部24a和第4连接部24b。第4梁部24c跨越第4主体部24a和第4连接部24b地延伸，与框架梁部76连接。第4梁部24c由处理层91和中间层93的一部分形成。Y轴方向上的第4梁部24c的宽度小于Y轴方向上的第4主体部24a的宽度。第4梁部24c形成于构成第4主体部24a和第4连接部24b的器件层92的表面92b。在光学器件1中，第4梁部24c是在Z轴方向上从构成第1和第2扭力杆11、12的器件层92的表面92b突出的部分。
光学器件1进一步包括第1可动梳齿电极31、第2可动梳齿电极32、第3可动梳齿电极33、第4可动梳齿电极34、第5可动梳齿电极35和第6可动梳齿电极36。第1可动梳齿电极31设置于第1支承部21的第1主体部21a。第2可动梳齿电极32设置于第2支承部22的第2主体部22a。第3可动梳齿电极33设置于第3支承部23的第3主体部23a。第4可动梳齿电极34设置于第4支承部24的第4主体部24a。第5可动梳齿电极35设置于可动部7中包含第1端部7a的部分。第1端部7a是Y轴方向上的可动部7的一侧的端部。在光学器件1中，在框架73中第1支承部21的第1连接部21b与第3支承部23的第3连接部23b之间的部分、即包含第1端部7a的部分，设置有第5可动梳齿电极35。第6可动梳齿电极36设置于可动部7中包含第2端部7b的部分。第2端部7b是Y轴方向上的可动部7的另一侧的端部。在光学器件1中，在框架73中第2支承部22的第2连接部22b与第4支承部24的第4连接部24b之间的部分、即包含第2端部7b的部分，设置有第6可动梳齿电极36。
第1可动梳齿电极31由器件层92的一部分形成。第1可动梳齿电极31在从X轴方向看的情况下，配置于第1支承部21的第1主体部21a与可动部7的第1端部7a之间。第1可动梳齿电极31具有多个第1可动梳齿31a。各第1可动梳齿31a设置于第1支承部21的第1主体部21a的与第1扭力杆11相反侧的侧面。各第1可动梳齿31a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第1可动梳齿31a以在X轴方向上彼此相邻的第1可动梳齿31a间的间隔为一定的方式排列。
第2可动梳齿电极32由器件层92的一部分形成。第2可动梳齿电极32在从X轴方向看的情况下，配置于第2支承部22的第2主体部22a与可动部7的第2端部7b之间。第2可动梳齿电极32具有多个第2可动梳齿32a。各第2可动梳齿32a设置于第2支承部22的第2主体部22a的与第1扭力杆11相反侧的侧面。各第2可动梳齿32a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第2可动梳齿32a以在X轴方向上彼此相邻的第2可动梳齿32a间的间隔为一定的方式排列。
第3可动梳齿电极33由器件层92的一部分形成。第3可动梳齿电极33在从X轴方向看的情况下，配置于第3支承部23的第3主体部23a与可动部7的第1端部7a之间。第3可动梳齿电极33具有多个第3可动梳齿33a。各第3可动梳齿33a设置于第3支承部23的第3主体部23a的与第2扭力杆12相反侧的侧面。各第3可动梳齿33a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第3可动梳齿33a以在X轴方向上彼此相邻的第3可动梳齿33a间的间隔为一定的方式排列。
第4可动梳齿电极34由器件层92的一部分形成。第4可动梳齿电极34在从X轴方向看的情况下，配置于第4支承部24的第4主体部24a与可动部7的第2端部7b之间。第4可动梳齿电极34具有多个第4可动梳齿34a。各第4可动梳齿34a设置于第4支承部24的第4主体部24a的与第2扭力杆12相反侧的侧面。各第4可动梳齿34a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第4可动梳齿34a以在X轴方向上彼此相邻的第4可动梳齿34a间的间隔为一定的方式排列。
第5可动梳齿电极35由器件层92的一部分形成。第5可动梳齿电极35具有多个第5可动梳齿35a。各第5可动梳齿35a设置于框架73中包含第1端部7a的部分的与第5主体部72相反侧的侧面。各第5可动梳齿35a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第5可动梳齿35a以在X轴方向上彼此相邻的第5可动梳齿35a间的间隔为一定的方式排列。
第6可动梳齿电极36由器件层92的一部分形成。第6可动梳齿电极36具有多个第6可动梳齿36a。各第6可动梳齿36a设置于框架73中包含第2端部7b的部分的与第5主体部72相反侧的侧面。各第6可动梳齿36a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第6可动梳齿36a以在X轴方向上彼此相邻的第6可动梳齿36a间的间隔为一定的方式排列。
光学器件1进一步包括第1固定梳齿电极41、第2固定梳齿电极42、第3固定梳齿电极43、第4固定梳齿电极44、第5固定梳齿电极45和第6固定梳齿电极46。第1固定梳齿电极41、第2固定梳齿电极42、第3固定梳齿电极43、第4固定梳齿电极44、第5固定梳齿电极45和第6固定梳齿电极46设置于底座5。
第1固定梳齿电极41由器件层92的一部分形成。第1固定梳齿电极41具有多个第1固定梳齿41a。各第1固定梳齿41a设置于与设置有多个第1可动梳齿31a的第1主体部21a的侧面相对的、底座5的侧面。各第1固定梳齿41a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第1固定梳齿41a以在X轴方向上彼此相邻的第1固定梳齿41a间的间隔为一定的方式排列，与多个第1可动梳齿31a交错地配置。相邻的第1可动梳齿31a与第1固定梳齿41a在X轴方向上彼此相对。相邻的第1可动梳齿31a与第1固定梳齿41a的间隔例如为几μm左右。
第2固定梳齿电极42由器件层92的一部分形成。第2固定梳齿电极42具有多个第2固定梳齿42a。各第2固定梳齿42a设置于与设置有多个第2可动梳齿32a的第2主体部22a的侧面相对的、底座5的侧面。各第2固定梳齿42a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第2固定梳齿42a以在X轴方向上彼此相邻的第2固定梳齿42a间的间隔为一定的方式排列，与多个第2可动梳齿32a交错地配置。相邻的第2可动梳齿32a与第2固定梳齿42a在X轴方向上彼此相对。相邻的第2可动梳齿32a与第2固定梳齿42a的间隔例如为几μm左右。
第3固定梳齿电极43由器件层92的一部分形成。第3固定梳齿电极43具有多个第3固定梳齿43a。各第3固定梳齿43a设置于与设置有多个第3可动梳齿33a的第3主体部23a的侧面相对的、底座5的侧面。各第3固定梳齿43a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第3固定梳齿43a以在X轴方向上彼此相邻的第3固定梳齿43a间的间隔为一定的方式排列，与多个第3可动梳齿33a交错地配置。相邻的第3可动梳齿33a与第3固定梳齿43a在X轴方向上彼此相对。相邻的第3可动梳齿33a与第3固定梳齿43a的间隔例如为几μm左右。
第4固定梳齿电极44由器件层92的一部分形成。第4固定梳齿电极44具有多个第4固定梳齿44a。各第4固定梳齿44a设置于与设置有多个第4可动梳齿34a的第4主体部24a的侧面相对的、底座5的侧面。各第4固定梳齿44a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第4固定梳齿44a以在X轴方向上彼此相邻的第4固定梳齿44a间的间隔为一定的方式排列，与多个第4可动梳齿34a交错地配置。相邻的第4可动梳齿34a与第4固定梳齿44a在X轴方向上彼此相对。相邻的第4可动梳齿34a与第4固定梳齿44a的间隔例如为几μm左右。
第5固定梳齿电极45由器件层92的一部分形成。第5固定梳齿电极45具有多个第5固定梳齿45a。各第5固定梳齿45a设置于与设置有多个第5可动梳齿35a的框架73的侧面相对的、底座5的侧面。各第5固定梳齿45a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第5固定梳齿45a以在X轴方向上彼此相邻的第5固定梳齿45a间的间隔为一定的方式排列，与多个第5可动梳齿35a交错地配置。相邻的第5可动梳齿35a与第5固定梳齿45a在X轴方向上彼此相对。相邻的第5可动梳齿35a与第5固定梳齿45a的间隔例如为几μm左右。
第6固定梳齿电极46由器件层92的一部分形成。第6固定梳齿电极46具有多个第6固定梳齿46a。各第6固定梳齿46a设置于与设置有多个第6可动梳齿36a的框架73的侧面相对的、底座5的侧面。各第6固定梳齿46a沿与X轴方向垂直的平面延伸。多个第6固定梳齿46a以在X轴方向上彼此相邻的第6固定梳齿46a间的间隔为一定的方式排列，与多个第6可动梳齿36a交错地配置。相邻的第6可动梳齿36a与第6固定梳齿46a在X轴方向上彼此相对。相邻的第6可动梳齿36a与第6固定梳齿46a的间隔例如为几μm左右。
在构成底座5的器件层92的表面92a设置有多个电极垫2、3、4。在构成底座5的器件层92，通过由槽划分其一部分，形成多个配线部51、52、53。各电极垫2经由各配线部51与第1可动梳齿电极31、第2可动梳齿电极32、第3可动梳齿电极33、第4可动梳齿电极34、第5可动梳齿电极35和第6可动梳齿电极36电连接。位于第5固定梳齿电极45的附近的电极垫3经由位于第5固定梳齿电极45的附近的配线部52与第5固定梳齿电极45电连接。位于第6固定梳齿电极46的附近的电极垫3经由位于第6固定梳齿电极46的附近的配线部52与第6固定梳齿电极46电连接。位于第1固定梳齿电极41的附近的电极垫4经由位于第1固定梳齿电极41的附近的配线部53与第1固定梳齿电极41电连接。位于第2固定梳齿电极42的附近的电极垫4经由位于第2固定梳齿电极42的附近的配线部53与第2固定梳齿电极42电连接。位于第3固定梳齿电极43的附近的电极垫4经由位于第3固定梳齿电极43的附近的配线部53与第3固定梳齿电极43电连接。位于第4固定梳齿电极44的附近的电极垫4经由位于第4固定梳齿电极44的附近的配线部53与第4固定梳齿电极44电连接。另外，在图3和图4中，省略多个电极垫2、3、4的图示。
第5可动梳齿电极35和第5固定梳齿电极45以及第6可动梳齿电极36和第6固定梳齿电极46作为驱动用的电极使用。具体而言，经由多个电极垫2、3，向第5可动梳齿电极35与第5固定梳齿电极45之间和第6可动梳齿电极36与第6固定梳齿电极46之间分别周期性地施加电压。由此，在第5可动梳齿电极35与第5固定梳齿电极45之间和第6可动梳齿电极36与第6固定梳齿电极46之间分别产生静电力，通过该静电力与在第1扭力杆11和第2扭力杆12产生的排斥力的协同作用，可动部7以轴线L1为中心线摇动(即，光学功能部71摇动)。
第1可动梳齿电极31和第1固定梳齿电极41、第2可动梳齿电极32和第2固定梳齿电极42、第3可动梳齿电极33和第3固定梳齿电极43、以及第4可动梳齿电极34和第4固定梳齿电极44作为监视用的电极使用。具体而言，经由多个电极垫2、4，检测第1可动梳齿电极31与第1固定梳齿电极41之间、第2可动梳齿电极32与第2固定梳齿电极42之间、第3可动梳齿电极33与第3固定梳齿电极43之间和第4可动梳齿电极34与第4固定梳齿电极44之间各自的静电容量。该静电容量与可动部7的摇动角度(即，光学功能部71的摇动角度)相应地变化。因此，通过与检测的静电容量相应地调整驱动信号(施加的电压的大小，周期等)，能够对可动部7的摇动角度(即，光学功能部71的摇动角度)进行反馈控制。
在光学器件1中，除了光学功能部71和多个电极垫3、4的部分通过MEMS技术(图案形成和蚀刻)在SOI基板9一体地形成。在光学器件1中，至少在SOI基板9一体地形成的部分在从Z轴方向看的情况下呈关于轴线L1线对称且关于轴线L2线对称的形状。
如以上说明的那样，在光学器件1中，第1和第3可动梳齿电极31、33在从X轴方向看的情况下，位于与可动部7的第1端部7a相比更靠近第1和第2扭力杆11、12侧的位置，第2和第4可动梳齿电极32、34在从X轴方向看的情况下，位于与可动部7的第2端部7b相比更靠近第1和第2扭力杆11、12侧的位置。由此，即使以轴线L1为中心线使可动部7大幅摇动，也能够抑制可动梳齿(第1可动梳齿31a、第2可动梳齿32a、第3可动梳齿33a和第4可动梳齿34a的各个)的整体从彼此相邻的固定梳齿(第1固定梳齿41a、第2固定梳齿42a、第3固定梳齿43a和第4固定梳齿44a的各个)间的区域脱离。再有，在光学器件1中，通过形成第1和第2梁部21c、22c，Z轴方向上的第1和第2支承部21、22各自的厚度大于Z轴方向上的第1扭力杆11的厚度，通过形成第3和第4梁部23c、24c，Z轴方向上的第3和第4支承部23、24各自的厚度大于Z轴方向上的第2扭力杆12的厚度。由此，能够抑制可动部7摇动时，第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24发生变形。因此，能够使第1、第2、第3、第4可动梳齿电极31、32、33、34与可动部7一体地摇动，能够抑制彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔发生变动。根据以上所述，可得到可靠性高的光学器件1。
另外，为了抑制第1、第2、第3、第4支承部21、22、23、24的变形，还考虑加大Y轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的宽度，但加大Y轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的宽度存在以下那样的缺点。即，关于起因于可动部7的摇动的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的变形，与加大Y轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的宽度相比，加大Z轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的厚度在抑制该变形上具有更大的效果。因此，当加大Y轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的宽度，以得到与加大Z轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的厚度相同程度的效果时，第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的质量变大，在以共振频率水平使可动部7摇动上是不利的。此外，Y轴方向上从第1和第2扭力杆11、12分别至第1、第2、第3、第4可动梳齿电极31、32、33、34的距离与将Y轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的宽度加大的量相应地变大。因此，在要抑制可动梳齿整体从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离时，可动部7的摇动角度会受到限制。只要如光学器件1那样，加大Z轴方向上的第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的厚度，就能够避免以上那样的缺点，抑制第1、第2、第3、第4支承部21、22、23、24的变形。
此外，在光学器件1中，至少在SOI基板9中一体地形成的部分、即除了多个电极垫3、4的部分在从Z轴方向看的情况下，呈关于轴线L1线对称且关于轴线L2线对称的形状。由此，能够以轴线L1为中心线使可动部7均衡地摇动。
此外，在光学器件1中，第1扭力杆11、第1支承部21的第1主体部21a和第2支承部22的第2主体部22a、以及第2扭力杆12、第3支承部23的第3主体部23a和第4支承部24的第4主体部24a沿X轴方向延伸。由此，能够实现结构的单纯化且高效地配置各部。
此外，在光学器件1中，第1支承部21的第1连接部21b呈以从第1扭力杆11离开的方式弯曲的形状，第2支承部22的第2连接部22b呈以从第1扭力杆11离开的方式弯曲的形状，第3支承部23的第3连接部23b呈以从第2扭力杆12离开的方式弯曲的形状，第4支承部24的第4连接部24b呈以从第2扭力杆12离开的方式弯曲的形状。由此，能够提高第1和第2扭力杆11、12的各个与可动部7连接的部分的设计的自由度。再有，能够使第1和第2主体部21a、22a靠近第1扭力杆11，并且能够使第3和第4主体部23a、24a靠近第2扭力杆12。因此，即使使可动部7以轴线L1为中心线大幅摇动，也能够抑制可动梳齿整体从彼此相邻的固定梳齿间的区域脱离。
此外，在光学器件1中，第1扭力杆11以在从Z轴方向看的情况下第1扭力杆11的外缘和可动部7的外缘的曲率连续的方式与可动部7连接，第2扭力杆12以在从Z轴方向看的情况下第2扭力杆12的外缘和可动部7的外缘的曲率连续的方式与可动部7连接。由此，在第1和第2扭力杆11、12的各个与可动部7连接的部分不易发生应力集中，因此能够抑制第1和第2扭力杆11、12的破损。
此外，在光学器件1中，通过向第5可动梳齿电极35与第5固定梳齿电极45之间和第6可动梳齿电极36与第6固定梳齿电极46之间分别施加电压，能够将这些电极作为驱动用的电极使用。此时，关于Y轴方向上的距第1和第2扭力杆11、12的距离，第5可动梳齿电极35比第1可动梳齿电极31和第3可动梳齿电极33更大，第6可动梳齿电极36比第2可动梳齿电极32和第4可动梳齿电极34更大。因此，即使不加大使驱动用的电极产生的静电力的大小(即，向驱动用的电极施加的电压的大小)，也能够得到用于使可动部7摇动所需的扭矩。再有，通过检测第1可动梳齿电极31与第1固定梳齿电极41之间、第2可动梳齿电极32与第2固定梳齿电极42之间、第3可动梳齿电极33与第3固定梳齿电极43之间和第4可动梳齿电极34与第4固定梳齿电极44之间的各个的静电容量，能够将这些电极作为监视用的电极使用。此时，即使使可动部7大幅摇动，可动梳齿整体从彼此相邻的固定梳齿间的区域的脱离也受到抑制。因此，能够在可动部7摇动的整个范围把握可动部7的位置(摇动角度)。
此外，在光学器件1中，设置在第5主体部72的主体梁部75、沿框架73延伸的框架梁部76、以及在各第5连接部74中与主体梁部75和框架梁部76连接的连接梁部77设置于可动部7，第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24分别具有的第1、第2、第3和第4梁部21c、22c、23c、24c与框架梁部76连接。由此，第1和第2扭力杆11、12的扭转的影响不易传达至光学功能部71，因此能够更可靠地抑制光学功能部71变形。再有，可动部7以及第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24作为一体不易变形，因此能够更可靠地抑制彼此相邻的可动梳齿与固定梳齿的间隔发生变动。
此外，在光学器件1中，多个第5连接部74分别配置于与第1端部7a对应的位置(第1端部7a与可动部7的中心位置之间的位置)、与第2端部7b对应的位置(第2端部7b与可动部7的中心位置之间的位置)、第1扭力杆11的延长线上的位置和第2扭力杆12的延长线上的位置。由此，在以共振频率水平使可动部7摇动时，能够加大可动部7的摇动的共振频率与其它模式的共振频率的差，抑制在可动部7的摇动中重叠其它模式。
此外，在光学器件1中，光学功能部71为镜。由此，例如能够适当地在规定的区域扫描激光。
以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，在各结构的材料和形状中，并不限定于上述的材料和形状，能够采用各种各样的材料和形状。作为一个例子，也可以是Y轴方向上的第1、第2、第3和第4梁部21c、22c、23c、24c的宽度分别与Y轴方向上的第1、第2、第3和第4主体部21a、22a、23a、24a的宽度相同。此外，第1、第2、第3和第4梁部21c、22c、23c、24c也可以相对于X轴方向斜向延伸，或者呈之字形延伸。但是，在这种情况下，从以轴线L1为中心线使可动部7平衡地摇动的观点出发，也优选第1、第2、第3和第4梁部21c、22c、23c、24c在从Z轴方向看的情况下呈关于轴线L1线对称且关于轴线L2线对称的形状。
此外，如图5所示，在可动部7中，多个第5连接部74也可以分别配置于与第1端部7a对应的位置(第1端部7a与可动部7的中心位置之间的位置)和与第2端部7b对应的位置(第2端部7b与可动部7的中心位置之间的位置)，未配置于第1扭力杆11的延长线上的位置和第2扭力杆12的延长线上的位置。在这种情况下，第1和第2扭力杆11、12的扭转的影响更加不易传达至光学功能部71，因此能够更可靠地抑制光学功能部71变形。
此外，如图6所示，光学器件1也可以不包括第5和第6可动梳齿电极35、36和第5和第6固定梳齿电极45、46。即，在可动部7也可以不设置可动梳齿电极。在这种情况下，通过向第1可动梳齿电极31与第1固定梳齿电极41之间、第2可动梳齿电极32与第2固定梳齿电极42之间、第3可动梳齿电极33与第3固定梳齿电极43之间和第4可动梳齿电极34与第4固定梳齿电极44之间分别施加电压，能够将这些电极作为驱动用的电极使用。此时，即使使可动部7大幅摇动，可动梳齿整体从彼此相邻的固定梳齿间的区域的脱离也受到抑制。因此，能够提高施加的电压的大小、周期等，驱动信号的设定的控制性。再有，通过检测第1可动梳齿电极31与第1固定梳齿电极41之间、第2可动梳齿电极32与第2固定梳齿电极42之间、第3可动梳齿电极33与第3固定梳齿电极43之间和第4可动梳齿电极34与第4固定梳齿电极44之间各自的静电容量，也能够将这些电极作为监视用的电极使用。此时，此时，即使使可动部7大幅摇动，可动梳齿整体从彼此相邻的固定梳齿间的区域的脱离也受到抑制。因此，能够在可动部7摇动的整个范围把握可动部7的位置(摇动角度)。此外，在这种情况下，能够实现可动部7的结构的单纯化。再有，能够实现可动部7的轻量化乃至可动部7的摇动的共振频率的提高，能够以使可动部7更高速地摇动。
光学功能部71也可以是镜以外的部件，例如，也可以配置透镜等光学元件。此外，主体梁部75并不限定于沿第5主体部72的外缘延伸，例如也可以以横穿第5主体部72的方式延伸的结构。此外，可动部7也可以不具有在各第5连接部74与主体梁部75和框架梁部76连接的连接梁部77。在这种情况下，也能够可靠地抑制光学功能部71以及第1、第2、第3和第4支承部21、22、23、24的变形。此外，只要相邻的第1可动梳齿31a与第1固定梳齿41a在X轴方向上彼此相对，第1可动梳齿31a和第1固定梳齿41a也可以不沿与X轴方向垂直的平面延伸。作为一个例子，第1可动梳齿31a和第1固定梳齿41a也可以相对于与X轴方向垂直的平面倾斜地延伸，或者，也可以呈在从Z轴方向看的情况下弧状地弯曲的形状。即，彼此相对的第1可动梳齿31a的侧面与第1固定梳齿41a的侧面在X轴方向上彼此相对即可。这些方面对于第2可动梳齿32a和第2固定梳齿42a、第3可动梳齿33a和第3固定梳齿43a、第4可动梳齿34a和第4固定梳齿44a、第5可动梳齿35a和第5固定梳齿45a、第5可动梳齿35a和第5固定梳齿45a的各个也一样。
符号的说明
1…光学器件、5…底座、7…可动部、7a…第1端部、7b…第2端部、11…第1扭力杆、12…第2扭力杆、21…第1支承部、21a…第1主体部、21b…第1连接部、21c…第1梁部、22…第2支承部、22a…第2主体部、22b…第2连接部、22c…第2梁部、23…第3支承部、23a…第3主体部、23b…第3连接部、23c…第3梁部、24…第4支承部、24a…第4主体部、24b…第4连接部、24c…第4梁部、31…第1可动梳齿电极、31a…第1可动梳齿、32…第2可动梳齿电极、32a…第2可动梳齿、33…第3可动梳齿电极、33a…第3可动梳齿、34…第4可动梳齿电极、34a…第4可动梳齿、35…第5可动梳齿电极、35a…第5可动梳齿、36…第6可动梳齿电极、36a…第6可动梳齿、41…第1固定梳齿电极、41a…第1固定梳齿、42…第2固定梳齿电极、42a…第2固定梳齿、43…第3固定梳齿电极、43a…第3固定梳齿、44…第4固定梳齿电极、44a…第4固定梳齿、45…第5固定梳齿电极、45a…第5固定梳齿、46…第6固定梳齿电极、46a…第6固定梳齿、71…光学功能部、72…第5主体部、73…框架、74…第5连接部、75…主体梁部、76…框架梁部、77…连接梁部。

Claims (10)

1.一种光学器件，其特征在于，
包括：
底座；
具有光学功能部的可动部；
第1扭力杆，在第1方向上配置于所述可动部的一侧，且与所述底座和所述可动部连接；
第2扭力杆，在所述第1方向上配置于所述可动部的另一侧，且与所述底座和所述可动部连接；
第1支承部，在与所述第1方向垂直的第2方向上配置于所述第1扭力杆的一侧，且与所述可动部连接；
第2支承部，在所述第2方向上配置于所述第1扭力杆的另一侧，且与所述可动部连接；
第3支承部，在所述第2方向上配置于所述第2扭力杆的所述一侧，且与所述可动部连接；
第4支承部，在所述第2方向上配置于所述第2扭力杆的所述另一侧，且与所述可动部连接；
第1可动梳齿电极，设置于所述第1支承部，且具有多个第1可动梳齿；
第2可动梳齿电极，设置于所述第2支承部，且具有多个第2可动梳齿；
第3可动梳齿电极，设置于所述第3支承部，且具有多个第3可动梳齿；
第4可动梳齿电极，设置于所述第4支承部，且具有多个第4可动梳齿；
第1固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第1可动梳齿交错地配置的多个第1固定梳齿；
第2固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第2可动梳齿交错地配置的多个第2固定梳齿；
第3固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第3可动梳齿交错地配置的多个第3固定梳齿；和
第4固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第4可动梳齿交错地配置的多个第4固定梳齿，
相邻的所述第1可动梳齿与所述第1固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，
相邻的所述第2可动梳齿与所述第2固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，
相邻的所述第3可动梳齿与所述第3固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，
相邻的所述第4可动梳齿与所述第4固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，
所述第1可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第1支承部与所述第2方向上的所述可动部的所述一侧的第1端部之间，
所述第2可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第2支承部与所述第2方向上的所述可动部的所述另一侧的第2端部之间，
所述第3可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第3支承部与所述可动部的所述第1端部之间，
所述第4可动梳齿电极在从所述第1方向看的情况下，配置于所述第4支承部与所述可动部的所述第2端部之间，
所述第1支承部具有以与所述第1方向和所述第2方向垂直的第3方向上的所述第1支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第1扭力杆的厚度的方式形成的第1梁部，
所述第2支承部具有以所述第3方向上的所述第2支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第1扭力杆的厚度的方形成的第2梁部，
所述第3支承部具有以所述第3方向上的所述第3支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第2扭力杆的厚度的方式形成的第3梁部，
所述第4支承部具有以所述第3方向上的所述第4支承部的厚度大于所述第3方向上的所述第2扭力杆的厚度的方式形成的第4梁部。
2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于，
所述第1支承部还具有设置有所述第1可动梳齿电极的第1主体部，
所述第2支承部还具有设置有所述第2可动梳齿电极的第2主体部，
所述第3支承部还具有设置有所述第3可动梳齿电极的第3主体部，
所述第4支承部还具有设置有所述第4可动梳齿电极的第4主体部，
所述第1扭力杆、所述第1主体部和所述第2主体部、以及所述第2扭力杆、所述第3主体部和所述第4主体部沿所述第1方向延伸。
3.如权利要求2所述的光学器件，其特征在于，
所述第1支承部还具有与所述第1主体部和所述可动部连接的第1连接部，所述第1连接部呈以从所述第1扭力离开的方式弯曲的形状，
所述第2支承部还具有与所述第2主体部和所述可动部连接的第2连接部，所述第2连接部呈以从所述第1扭力杆离开的方式弯曲的形状，
所述第3支承部还具有与所述第3主体部和所述可动部连接的第3连接部，所述第3连接部呈以从所述第2扭力杆离开的方式弯曲的形状，
所述第4支承部还具有与所述第4主体部和所述可动部连接的第4连接部，所述第4连接部呈以从所述第2扭力杆离开的方式弯曲的形状。
4.如权利要求1～3中的任一项所述的光学器件，其特征在于：
所述第1扭力杆以在从所述第3方向看的情况下所述第1扭力杆的外缘和所述可动部的外缘的曲率连续的方式，与所述可动部连接，
所述第2扭力杆以在从所述第3方向看的情况下所述第2扭力杆的外缘和所述可动部的外缘的曲率连续的方式，与所述可动部连接。
5.如权利要求1～4中的任一项所述的光学器件，其特征在于，
还包括：
第5可动梳齿电极，设置于所述可动部中包含所述第1端部的部分，且具有多个第5可动梳齿；
第6可动梳齿电极，设置于所述可动部中包含所述第2端部的部分，且具有多个第6可动梳齿；
第5固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第5可动梳齿交错地配置的多个第5固定梳齿；和
第6固定梳齿电极，设置于所述底座，且具有与所述多个第6可动梳齿交错地配置的多个第6固定梳齿，
相邻的所述第5可动梳齿与所述第5固定梳齿在所述第1方向上彼此相对，
相邻的所述第6可动梳齿与所述第6固定梳齿所述第1方向上彼此相对。
6.如权利要求1～4中的任一项所述的光学器件，其特征在于，
在所述可动部，未设置可动梳齿电极。
7.如权利要求1～6中的任一项所述的光学器件，其特征在于，
所述可动部还具有设置有所述光学功能部的第5主体部、在从所述第3方向看的情况下包围所述第5主体部的框架、与所述第5主体部和所述框架连接的多个第5连接部、设置于所述第5主体部的主体梁部和沿所述框架延伸的框架梁部，
所述第1梁部、所述第2梁部、所述第3梁部和所述第4梁部与所述框架梁部连接。
8.如权利要求7所述的光学器件，其特征在于，
所述可动部还具有在所述多个第5连接部的各个与所述主体梁部和所述框架梁部连接的连接梁部。
9.如权利要求7或8所述的光学器件，其特征在于：
所述多个第5连接部配置于与所述可动部的所述第1端部和所述第2端部对应的位置。
10.如权利要求1～9中的任一项所述的光学器件，其特征在于：
所述光学功能部是镜。
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