JP2008292703A - 可動構造体、同構造体を用いた光走査ミラー素子、及び可動構造体の製造方法 - Google Patents
可動構造体、同構造体を用いた光走査ミラー素子、及び可動構造体の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】可動構造体としての光走査ミラー素子1は、2つのヒンジ部3によりフレーム部4に可動板2を揺動可能に軸支して成っている。各ヒンジ部3の両側部近傍部位には、それぞれ、フレーム部4から可動板2に向け略水平に突設された側部ストッパ8aが設けられている。また、ヒンジ部3の下方には、フレーム部4から突設された下部ストッパが設けられている。外部から振動や衝撃が加わったとき、ヒンジ部3が側部ストッパ8a、下部ストッパに接触し可動板2の異常変位が妨げられるので、ヒンジ部3の折損が防止される。
【選択図】図1
Description
2 可動板
2a ミラー膜(ミラー)
3 ヒンジ部
4 フレーム部
5 垂直コム(櫛歯電極)
8a,28a 側部ストッパ(ストッパ)
8b,28b 下部ストッパ(ストッパ)
8c 蛇腹部(突起部)
11 SOI基板
11a 第1シリコン層
11b 第2シリコン層
11c 酸化膜(絶縁膜)
Claims (7)
- 可動板と、前記可動板を揺動可能に軸支する梁状のヒンジ部と、前記ヒンジ部を支持するフレーム部とを備えた可動構造体において、
前記ヒンジ部と前記可動板の両方又はいずれか一方の近傍に、前記可動板の異常変位を妨げるためのストッパを設けたことを特徴とする可動構造体。 - 前記ストッパは、前記ヒンジ部の側部に設けられていることを特徴とする請求項1記載の可動構造体。
- 前記ストッパは、前記ヒンジ部の上下の両方又はいずれか一方に設けられていることを特徴とする請求項1記載の可動構造体。
- 前記ストッパは、前記ヒンジ部と同電位となるように形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 前記ストッパの前記ヒンジ部又は前記可動板に面する部位には、スティッキング防止膜又は突起部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の可動構造体。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の可動構造体を備え、
前記可動板は、ミラーを有し、
前記可動板の一部及びそれに対向するフレーム部には、互いに噛合うように設けられた複数の櫛歯からなる櫛歯電極が設けられていることを特徴とする光走査ミラー素子。 - 請求項3に記載の可動構造体の製造方法であって、
第1シリコン層と第2シリコン層とが絶縁膜を介し互いに接合されて成るSOI(Silicon on Insulator)基板を用い、
前記第1シリコン層に前記ヒンジ部及び前記可動板を形成する第1工程と、
前記第2シリコン層に前記ストッパを形成する第2工程と、
前記第1工程及び第2工程の後、前記絶縁膜をエッチングすることにより前記可動板を揺動可能にする第3工程と、を備えることを特徴とする可動構造体の製造方法。
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