JP5988592B2 - 可動ミラー、波面補正デバイスおよび眼底検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、可動ミラー、波面補正デバイスおよび眼底検査装置に関するものである。

静電引力によって変位させるタイプの可動ミラーは、光を利用した様々な分野への応用が期待されている。例えば眼底検査装置、天体望遠鏡などに入る補償光学用波面補正デバイスとして利用することが出来る。このような静電引力で変位さる可動ミラーの典型例として２枚の平行平板電極を使って可動させる手法が挙げられるが、この平行平板型の欠点として可動量が小さいことが挙げられる。

それに対してより大きな可動量を得ることが出来る櫛歯電極を用いた可動ミラーが昨今提案されている。その一例が特許文献１に開示されている。図１３に示したように、この可動ミラーでは、可動側の櫛歯電極５２０を支持する支持部５３０と、固定側の櫛歯電極５１０を支持している支持部５７０が、紙面上ではそれぞれ垂直方向上下に位置している。可動櫛歯電極と固定櫛歯電極はお互いに対向し、かつ交互になるように配置している。これにより従来の平行平板型よりも大きな重なり面積が発生するので静電引力が大きくなり可動量を大きくすることが出来る。

米国特許出願公開第２００２／０１０９８９４号公報

しかしながら特許文献１に開示されている構造では、可動櫛歯電極の可動方向に櫛歯電極と支持部が配置されるので、静電引力がばねの復元力に比べて過大となって可動側の櫛歯が固定側の支持部に衝突するプルイン（引き込み）という現象が起きる。よってこの構造ではより大きな可動量を得ることが困難であるという課題がある。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、櫛歯電極を含むアクチュエータを用いる可動ミラーにおいて、プルインの発生を抑止する技術を提供することを目的とする。

本発明は以下の構成を採用する。すなわち、
反射面を有する反射部材と、アクチュエータと、を有する可動ミラーであって、
前記アクチュエータは、
可動部と、前記反射部材と前記可動部を接続するポストと、
前記反射部材と距離を隔てて位置し、前記可動部によって支持されて前記反射面に対して平行な方向に延出する可動櫛歯電極と、
支持部と、
前記支持部によって支持されて前記反射面に対して平行な方向に延出し、かつ、前記可動櫛歯電極と交互に配置される固定櫛歯電極と、
前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極に電圧を印加して、前記可動櫛歯電極と前記可動部を前記反射面の法線方向に変位させる電圧制御手段と、
前記可動部に接続され、前記可動櫛歯電極と前記可動部が前記反射面の前記法線方向以外に変位することを抑制するばねと、を有し、
前記可動部の前記可動櫛歯電極を支持する部位と、前記支持部の前記固定櫛歯電極を支持する部位とは、前記可動櫛歯電極の前記反射面の法線方向への変位の際に前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極とがすれ違えるように配置されている
ことを特徴とする可動ミラーである。

本発明はまた、以下の構成を採用する。すなわち、
反射面を有する反射部材と、アクチュエータと、を有する可動ミラーであって、
前記アクチュエータは、
可動部と、
前記反射部材と前記可動部を接続するポストと、
前記反射部材と距離を隔てて位置し、前記可動部によって支持されて前記反射面に対して平行な方向に延出する可動櫛歯電極と、
支持部と、
前記支持部によって支持されて前記反射面に対して平行な方向に延出し、かつ、前記可動櫛歯電極と交互に配置される固定櫛歯電極と、
前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極に電圧を印加して、前記可動櫛歯電極と前記可動部を前記反射面の法線方向に変位させる電圧制御手段と、
前記可動部に接続され、前記可動櫛歯電極と前記可動部が前記反射面の前記法線方向以外に変位することを抑制するばねと、を有し、
前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極とは、前記可動櫛歯電極の前記反射面の法線方向への変位の際にすれ違えるように配置されている
ことを特徴とする可動ミラーである。

本発明によれば、櫛歯電極を含むアクチュエータを用いる可動ミラーにおいて、プルインの発生を抑止する技術を提供することができる。

本発明の構造を模式的に示す斜視図。 本発明の構造を模式的に示す上面図および断面図。 本発明における反射部の構造を示す断面図。 本発明において可動櫛歯が可動する方法を説明した模式図。 実施例１の構造を模式的に示す斜視図。 実施例１の構造を模式的に示す上面図および断面図。 実施例１における反射部の構造を示す断面図。 実施例１において可動櫛歯が可動する方法を説明した模式図。 実施例２の構造を模式的に示す斜視図。 実施例２の構造を模式的に示す上面図および断面図。 実施例２における反射部の構造を示す断面図。 実施例２において可動櫛歯が可動する方法を説明した模式図。 従来技術を説明するための図。

以下、図１を参照して、本発明に係る静電櫛歯型可動ミラーについて説明する。ここで、図１は本発明の実施形態である櫛歯静電型可動ミラーの斜視図である。図１に示す可動ミラー１０１は、駆動機能を持つアクチュエータ部１０２と、反射機能を持つ反射部１０３を有する。

図２（ａ）にアクチュエータ部１０２の上面図を示す。図２（ａ）では紙面横方向をｘ方向、紙面縦方向をｙ方向、紙面鉛直方向をｚ方向とする。図で示されているｘｙ面は基板に平行な面である。アクチュエータ部１０２は、可動櫛歯電極２０１、固定櫛歯電極２０２、可動部２０３、ばね２０４、支持部２０５（２０５ａ、２０５ｂ）によって構成される。
可動部２０３は、ばね２０４に連結されており、可動櫛歯電極２０１及び反射部１０３と接続している。ばね２０４の一端は支持部２０５ａに固定されている。可動櫛歯電極２０１及びばね２０４は可動部２０３の側壁と接続しており、反射部１０３は可動部２０３の上面と接続している。
可動櫛歯電極２０１は可動部２０３のｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びており、固定櫛歯電極２０２は支持部２０５ｂのｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びている。可動部および支持部の側壁が対向しているため、可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２はお互いに向き合うように配置され、かつそれぞれの櫛歯が交互に並ぶように配置されている。

図２（ｂ）は可動ミラー１０１の断面図を示している。可動櫛歯電極２０１の側面と固定櫛歯電極２０２の側面のｚ方向の高さが異なっており、お互いに重なり合わない部分が存在する必要がある。すなわち、櫛歯電極同士は、反射部１０３の反射面に垂直な方向において、重なり合わない部分を持つ。なお、ここで「高さが異なる」とは、双方の櫛歯電極のｚ方向のサイズが異なることを言うのではなく、電圧が印加されない初期状態では、両者がｚ方向においてずれて配置されることを指す。これは、本発明が、櫛歯電極同士が静電引力で引かれる時に、重なり合う方向に力が働き可動する現象を利用した方式（可変重なり型）であるためである。この現象において櫛歯電極同士が全て重なりあった場合それ以上可動しなくなるので、初期位置では重なり合う部分を少なくし、電圧を印加した時に重なり合う部分を増大させる必要がある。本図に示したように、可動櫛歯電極２０１と反射部１０３はｚ方向において所定の距離を隔てて位置しており、固定櫛歯電極２０２はｚ方向において他の部材と接触していない。したがって櫛歯電極同士で静電引力が発生して引きあっても、いずれかの櫛歯電極が他の櫛歯電極に接続された部材と衝突することがない。図２（ａ）および図２（ｂ）から分かるように、可動櫛歯電極２０１は可動部２０３の所定の部位により片持ち状に支持されて、反射面と平行な方向に延出している。また、固定櫛歯電極２０２は支持部２０５ｂの所定の部位により片持ち状に支持されて、反射面と平行な方向に延出している。なお、後述するように反射部が複数のアクチュエータを連続的に覆う場合、反射部が変形するため反射面の角度が一様ではなくなる可能性がある。その場合であっても、それぞれの櫛歯電極は反射面のうち少なくとも可動部に接続された部位に平行な方向に伸びている。

図２（ｂ）では固定櫛歯電極２０２に対して可動櫛歯電極２０１がｚ方向上部に位置するように配置して記載したが、両者の位置関係は逆でもよい。
ばね２０４は可動部２０３のｙｚ面に平行な側壁よりｘ方向に伸びており、支持部２０５ａのｙｚ面に平行な側壁に固定されている。可動部２０３がｚ方向以外の方向に変位した場合、可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２で干渉する可能性がある。よって、ｚ方向以外の方向（言い換えると、反射部１０３の反射面の法線方向以外の方向）への変位を抑制する必要がある。

固定櫛歯電極２０２とばね２０４はそれぞれ支持部２０５ｂと２０５ａにより固定されている。固定櫛歯電極２０２と、可動櫛歯電極２０１にそれぞれ独立に電位を与える。そのため、絶縁用溝２０６により、固定櫛歯電極２０２に属する支持部２０５ｂと、可動櫛歯電極２０２に属する支持部２０５ａを電気的に分離している。分離した支持部にそれぞれ配線を配置し電圧制御回路２０７に接続する。
反射部１０３は、補正する光を反射する光学的反射機能を有する。反射部１０３は、光を反射するために反射面を持つ。この反射部１０３はアクチュエータ部１０２を覆うように配置されており、可動部２０３と連結している。反射部は本発明の反射部材に相当する。

図３は複数のアクチュエータ部１０２が配置されている場合を示す図である。これに対して反射部は図３（ａ）で示すような、複数のアクチュエータ部１０２を全体的に覆うような連続な面３０１でもよいし、図３（ｂ）で示すような、各アクチュエータ部を個別に覆うような独立した面３０２でもよい。各アクチュエータの可動部２０３が個別に可動することにより所望の形状を得ることが出来る。これにより各アクチュエータ部で反射する
光の光路長を変化することが出来るので、波面補正デバイスとして使用することが出来る。

次に可動部２０３の可動の方法を、図４を参照して説明する。図４は可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２が交互に配列した部分の断面図である。それぞれ可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２に符号が逆の電荷を与えることで可動櫛歯電極２０１をｚ方向（反射部１０３の反射面の法線方向）に可動することが出来る。可動櫛歯電極と固定櫛歯電極に電位差を与えた時に働くｚ方向の静電引力Ｆｚは以下の式（１）で表わされる。

ここでε_０：真空の誘電率、Ｎ：櫛歯電極間ギャップの数、ｈ：可動櫛歯電極と固定櫛歯電極のオーバーラップ長、Ｖｍ：可動櫛歯電極の電位、Ｖｆ：固定櫛歯電極の電位、ｇ：櫛歯電極間ギャップ幅である。

例えば図４に示すように可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２を配置した場合に、可動櫛歯電極２０１をｚ方向下側に可動させるには以下の方法が挙げられる。まず図４（ａ）に示した電圧印加直後の状態のように、可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２にそれぞれ符号が逆の電荷を与えることにより静電引力が発生し、電極同士が互いに引き合う。これにより可動櫛歯電極２０１は固定櫛歯電極２０２に近づこうとするが、ｘ方向に関しては左右概均等に静電引力を受けるので、ｚ方向下側に変位することになる。
続いて図４（ｂ）に示すようなつりあい状態となる。すなわち、ばね２０４の復元力と、可動部２０３を可動させた静電引力が釣り合う位置で、可動櫛歯電極２０１が停止する。
続いて可動櫛歯電極２０１と固定櫛歯電極２０２との電位差を０にすると、図４（ｃ）に示すように、電荷が与えられない状態となる。電圧開放後、ばね２０４の復元力により可動櫛歯電極２０１は初期位置にまで戻る。この変位後の様子を図４（ｄ）に示す。
本実施形態では静電引力による変位を記載したが、静電斥力による変位も可能である。

可動櫛歯電極２０１が可動した時、特許文献１で示す構造であれば、可動櫛歯電極の可動方向であるz方向に櫛歯電極と支持部が配置されている。そのため、櫛歯電極の先端面
と支持部の面で静電引力が発生し、静電引力がばねの復元力に比べて過大となった時にプルインが生じ櫛歯電極と支持部が衝突する。しかし本実施形態の構造によれば、可動櫛歯方向の可動方向であるｚ方向に支持部が配置されていないので、プルインが発生しない。つまり、本発明の構造であれば、静電引力が働いた時でも両方の櫛歯電極が衝突せずにすれ違うことができる。従ってプルインは発生せず、電極のショートが起こることもない。
可動量に関しては、静電容量値を測定することで可動量を見積もることが出来るので、フィードバック制御をすることが可能である。
また、本発明の構造を使う場所は、真空中でもあり得るし、空気中の可能性もある。もし空気中で用いる場合、特許文献１に記載されたような構造では、櫛歯が移動したときに支持部間に挟まれた空気がダンピングを起こし、応答速度が低下する可能性がある。しかし本実施形態の構造によれば、ダンピングの影響を抑制することができる。

本実施形態では、発明の要旨を逸脱しない範囲内において、様々に変形や修正が施されてもよい。
例えば本実施形態では反射部１０３と可動部２０３を接続しているが、この間にポストを設置することも可能である。このとき反射部１０３が櫛歯電極に干渉しない範囲でポストを設置する必要がある。
また可動櫛歯電極２０１および固定櫛歯電極２０２に電位を与えるために、本実施例で
は可動部２０３、ばね２０４、支持部２０５を導電性不純物ドープシリコンで構成した。しかし、これらを導電性材料にせず、替わりに配線を形成して給電させる、若しくはワイヤーボンディングで給電する方法も可能である。

＜実施例１＞
以下、図５を参照して、本発明の実施例１に係る静電櫛歯型可動ミラーについて説明する。ここで、図５は本発明の実施例１に係る櫛歯静電型可動ミラー５０１の斜視図である。図５に示す可動ミラー５０１は、駆動機能を持つアクチュエータ部５０２と、反射機能５０３をもつ反射部を有する。

図６（ａ）はアクチュエータ部５０２の上面図を示す。図６（ａ）では紙面横方向をｘ方向、紙面縦方向をｙ方向、紙面鉛直方向をｚ方向とする。図で示されているｘｙ面は基板に平行な面である。アクチュエータ部５０２は、可動櫛歯電極６０１、固定櫛歯電極６０２、可動部６０３、ばね６０４、支持部６０５（６０５ａ、６０５ｂ）、ポスト６１０によって構成される。
可動部６０３は、ばね６０４に連結されており、可動櫛歯電極６０１及びポスト６１０と接続している。ばね６０４の一端は支持部６０５ａに固定されている。本実施例では可動部６０３の形状は四角柱とし、４面ある側壁の内、ｘｚ面に平行な２面に可動櫛歯電極６０１が配置され、ｙｚ面に平行な２面にはそれぞれ前記一端が支持部６０５ｂに固定されているばね６０４が連結されている。また上面には可動部６０３の変位を反射部５０３に伝達するためのポスト６１０を有している。

可動櫛歯電極６０１は可動部６０３のｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びており、固定櫛歯電極６０２は支持部６０５ｂのｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びている。可動部および支持部の側壁が対向しているため、可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２はお互いに向き合うように配置され、かつそれぞれの櫛歯が交互に並ぶように配置されている。本実施例では、可動櫛歯電極６０１および固定櫛歯電極６０２はどちらも厚さ２００ｕｍであり、長さは２００ｕｍである。櫛歯電極の本数は、１アクチュエータにつき可動櫛歯電極が４０本、可動櫛歯電極が４２本であり、よって櫛歯電極間のギャップ数は８０箇所である。なお、櫛歯電極の厚さとはｚ方向のサイズを、長さとはｙ方向のサイズを、幅とはｘ方向のサイズを指す。

可動櫛歯電極６０１の側面と固定櫛歯電極６０２の側面のｚ方向の高さが異なっており、お互いに重なり合わない部分が存在する必要がある。これは、本発明が、櫛歯電極同士が静電引力で引かれる時に、重なり合う方向に力が働き可動する方式を利用した方式（可変重なり型）であるためである。この現象において櫛歯電極同士が全て重なりあった場合それ以上可動しなくなるので、初期位置では重なり合う部分を少なくし、電圧を印加した時に重なり合う部分を増大させる必要がある。

図６（ｂ）は可動ミラー５０１の断面図を示しており、本実施例における可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２の位置関係を示している。それぞれの位置関係は、固定櫛歯電極６０２に対して可動櫛歯電極６０１が上部に位置するように配置する。この時のズレ量は１０ｕｍである。また可動櫛歯電極６０１および固定櫛歯電極６０２の幅はどちらも１０ｕｍで形成し、この２つの電極間ギャップは５ｕｍで形成する。本図に示したように、可動櫛歯電極６０１と反射部５０３はｚ方向において所定の距離を隔てて位置しており、固定櫛歯電極６０２はｚ方向において他の部材と接触していない。したがって櫛歯電極同士で静電引力が発生して引きあっても、いずれかの櫛歯電極が他の櫛歯電極に接続された部材と衝突することがない。

ばね６０４は可動部６０３のｙｚ面に平行な側壁よりｘ方向に伸びており、支持部６０
５ａのｙｚ面に平行な側壁に固定されている。可動部６０３がｚ方向以外の方向に変位した場合、可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２で干渉する可能性がある。よって、ｚ方向以外の方向への変位を抑制する必要がある。本実施例では、ｘｙ方向に拡がる形状にすることでｘ方向、ｙ方向および、ｘｙ面内回転、ｙｚ面内回転等の方向へのばね定数を大きくし、それらの変位を抑制する構成にしている。本実施例でのばね６０３の寸法は、厚さ５ｕｍ、ｘ方向長さ５００ｕｍ、ｙ方向幅３００ｕｍで形成する。
ポスト６１０は、可動部６０３の変位を反射部５０３に正確に伝達するために十分な剛性を持つ必要がある。またポスト６１０の高さは可動部６０３が可動した時に固定櫛歯電極６０２と反射部５０３が干渉しない高さである必要がある。本実施例ではポスト６１０の高さを２０ｕｍで形成した。

固定櫛歯電極６０２とばね６０４はそれぞれ支持部６０５ｂと６０５ａにより固定されている。可動櫛歯電極６０１と、固定櫛歯電極６０２にそれぞれ異なる電圧を印加する。そのため、絶縁用溝６０６により可動櫛歯電極６０１に属する支持部６０５ａと、固定櫛歯電極６０２に属する支持部６０５ｂを電気的に分離している。分離した支持部６０５にそれぞれ配線を配置し電圧制御回路６０７に接続する。
反射部５０３は、補正する光を反射する光学的反射機能を有する。反射部５０３は、光を反射するために反射面を持つ。この反射部５０３はアクチュエータ部５０２を覆うように配置されており、ポスト６１０を介してアクチュエータ部５０２と連結している。反射部５０３の膜厚は５ｕｍで形成する。反射部は本発明の反射部材に相当する。

図７は複数のアクチュエータ部５０２が配置されている場合を示す図である。これに対して反射部は図７（ａ）で示すような、複数のアクチュエータ部を全体的に覆うような連続な面７０１でもよいし、図７（ｂ）で示すような、各アクチュエータ部を個別に覆うような独立した面７０２でもよい。本実施例では、複数のアクチュエータ部を全体的に覆うように反射部を配置する。各アクチュエータ部５０１は個別に可動することにより所望の形状を得ることが出来る。これにより各アクチュエータ部５０１で反射する光の光路長を変化することが出来るので、波面補正デバイスとして使用することが出来る。

次に可動部５０２の可動の方法を、図８を参照して説明する。図８は可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２が交互に配列した部分の断面図である。それぞれ可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２に符号が逆の電荷を与えることで可動櫛歯電極６０１をｚ方向に可動することが出来る。
例えば図８に示すように可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２を配置した場合に、可動櫛歯電極６０１をｚ方向下側に可動させるには以下の方法が挙げられる。まず図８（ａ）に示した電圧印加直後の状態のように、可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２にそれぞれ符号が逆の電荷を与えることにより静電引力が発生し、電極同士が互いに引き合う。これにより可動櫛歯電極６０１は固定櫛歯電極６０２に近づこうとするが、水平方向（ｘ方向）に関しては左右概均等に静電引力を受けるので、ｚ方向下側に変位することになる。本実施例では可動櫛歯電極６０１に負の電荷を、固定櫛歯電極６０２に正の電荷を与えている。
続いて図８（ｂ）に示すような釣り合い状態となる。すなわち、ばね６０４の復元力と、可動部６０３を可動させた静電引力が釣り合う位置で、可動櫛歯電極６０１が停止する。
続いて可動櫛歯電極６０１と固定櫛歯電極６０２との電位差を０にすると、図８（ｃ）に示すように、電荷が与えられない状態となる。電圧開放後、ばね６０４の復元力により可動櫛歯電極６０１は初期位置にまで戻る。この変位後の様子を図８（ｄ）に示す。

本実施例では静電引力による変位を記載したが、静電斥力による変位も可能である。
可動量に関しては、静電容量値を測定することで可動量を見積もることが出来るので、
フィードバック制御をすることが可能である。本実施例では、櫛歯電極の静電容量値に基づいて閉ループ制御（可動量フィードバック）を行っている。また、上下に伸びる可動櫛歯電極６０１の可動量をフィードバック制御することで、両可動櫛歯を等しく可動することが出来るので、ｙｚ面内回転方向の変位を抑制することが出来る。

可動櫛歯電極６０１および固定櫛歯電極６０２は、各々の電極に個別の電圧が掛けられるようにする必要がある。本実施例では、可動部６０３、ばね６０４、支持部６０５を、電極に電圧を印加させるため不純物が導入された導電性のシリコンで構成している。また電圧制御回路６０７に接続するために配線を形成しているが、この配線は導電性材料で形成される必要があり、本実施例では銅で形成する。
反射部５０３は光学的反射機能を有し、また可動部６０３の可動により変形した時に所望の形状を得るために適切な剛性を持っている必要がある。本実施例では反射部５０３は２層で構成し、下層は反射部５０３の形状を決めるシリコン膜であり、上層は反射性能を決める金薄膜である。この場合、金薄膜が反射面となる。

本実施形態では、発明の要旨を逸脱しない範囲内において、様々に変形や修正が施されてもよい。
例えば、可動櫛歯電極６０１および固定櫛歯電極６０２に電位を与えるために、本実施例では、可動部６０３、ばね６０４、支持部６０５を導電性不純物ドープシリコンで構成した。しかし、これらを導電性材料にせず、替わりに配線を形成して給電させる、若しくはワイヤーボンディングで給電する方法も可能である。
また記載した寸法は設計事項であるので、自由に設定してもよい。

＜実施例２＞
以下、図９を参照して、本発明の実施例２に係る静電櫛歯型可動ミラーについて説明する。ここで、図９は本発明の実施例２に係る櫛歯静電型可動ミラー９０１の斜視図である。図９に示す可動ミラーは、駆動機能を持つアクチュエータ部９０２と、反射機能を持つ反射部９０３を有する。

図１０（ａ）はアクチュエータ部９０２の上面図を示す。図１０（ａ）では紙面横方向をｘ方向、紙面縦方向をｙ方向、紙面鉛直方向をｚ方向とする。図で示されているｘｙ面は基板に平行な面である。アクチュエータ部９０２は、可動櫛歯電極１００１、固定櫛歯電極１００２、可動部１００３、ばね１００４、支持部１００５（１００５ａ、１００５ｂ）、ポスト１０１０によって構成される。
可動部１００３は、ばね１００４に連結されており、可動櫛歯電極及１００１びポスト１０１０に接続している。ばね１００４の一端は支持部１００５ａに固定されている。本実施例では可動部１００３の形状は四角柱とし、４面ある側壁の内、ｘｚ面に平行な２面に可動櫛歯電極１００１が配置され、ｙｚ面に平行な２面にはそれぞれ前記一端が支持部１００５ａに固定されているばね１００４が連結されている。また上面には可動部１００３の変位を反射部９０３に伝達するためのポスト１０１０を有している。

可動櫛歯電極１００１および固定櫛歯電極１００２は、ｚ方向に対して分割された電極を持つ。本実施例では、Ｓｉ層−ＳｉＯ２埋め込み絶縁層−Ｓｉ層からなるＳＯＩ（Silicon On Insulator）ウエハより形成する。ウエハとしては、大きさは４インチサイズ、厚さはＳｉ層（１００ｕｍ）−ＳｉＯ２埋め込み層（１ｕｍ）−Ｓｉ層（１００ｕｍ）のものを用いた。

可動櫛歯電極１００１は可動部１００３のｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びており、固定櫛歯電極１００２は支持部１００５ｂのｘｚ面に平行な側壁よりｙ方向に伸びている。可動部および支持部の側壁が対向しているため、可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電
極１００２はお互いに向き合うように配置され、かつそれぞれの櫛歯が交互に並ぶように配置されている。本実施例では、可動櫛歯電極１００１および固定櫛歯電極１００２はどちらも厚さ２００ｕｍであり、長さは２００ｕｍである。櫛歯電極の本数は、１アクチュエータにつき可動櫛歯電極が４０本、可動櫛歯電極が４２本であり、よって櫛歯電極間のギャップ数は８０箇所である。

可動櫛歯電極１００１の側面と固定櫛歯電極１００２の側面のｚ方向の位置関係は、本発明の実施例１とは異なり、必ずしも重なり合わない部分が存在する必要がない。これは本実施例では、可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２がどちらもｚ方向に電気的に分割されているために、同じ高さであっても電圧の掛け方次第で重なり合わない部分を作ることが出来るからである。

図１０（ｂ）は可動ミラー９０１の断面図を示しており、本実施例における可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２の位置関係を示している。それぞれの位置関係は、可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２が同じ高さに位置するように配置する。すなわち、櫛歯電極同士は、反射部９０３の反射面に垂直な方向において、重なり合っている。本実施例では、可動櫛歯電極１００１および固定櫛歯電極１００２の幅はどちらも１０ｕｍで形成し、この２つの電極間ギャップは５ｕｍで形成する。本図に示したように、可動櫛歯電極１００１と反射部９０３はｚ方向において所定の距離を隔てて位置しており、固定櫛歯電極１００２はｚ方向において他の部材と接触していない。したがって櫛歯電極同士で静電引力が発生して引きあっても、いずれかの櫛歯電極が他の櫛歯電極に接続された部材と衝突することがない。

ばね１００４は可動部１００３のｙｚ面に平行な側壁よりｘ方向に伸びており、支持部１００５ａのｙｚ面に平行な側壁により固定されている。アクチュエータ部９０２がｚ方向以外の方向に変位した場合、可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２で干渉する可能性がある。よって、ばね１００４によりｚ方向以外の方向への変位を抑制する必要がある。本実施例では、ｘｙ方向に拡がる形状にすることでｘ方向、ｙ方向および、ｘｙ面内回転、ｙｚ面内回転等の方向へのばね定数を大きくし、それらの変位を抑制する構成にしている。本実施例でのばね１００４の寸法は、厚さ５ｕｍ、ｘ方向長さ５００ｕｍ、ｙ方向幅３００ｕｍで形成する。
ポスト１０１０は、可動部１００３の変位を反射部９０３に正確に伝達するために十分な剛性を持つ必要がある。またポスト１０１０の高さは可動部１００３が可動した時に固定櫛歯電極１００２と反射部９０３が干渉しない高さである必要がある。本実施例ではポスト１０１０の高さを２０ｕｍで形成した。

固定櫛歯電極１００２とばね１００４は、それぞれ支持部１００５ｂと１００５ａにより固定されている。固定櫛歯電極１００２と、可動櫛歯電極１００１にそれぞれ異なる電圧を印加するため、絶縁部１００６により固定櫛歯電極に属する支持部と可動櫛歯電極に属する支持部を電気的に分離している。また固定櫛歯電極および可動櫛歯電極のそれぞれに対して、絶縁層１０１１を介してｚ方向上下に２つの電極をもつので、アクチュエータ部９０２には合計４つの電極が配置されることになる。これら４つに分離した支持部１００３にそれぞれ配線を配置し電圧制御回路１００７に接続する。
反射部９０３は、補正する光を反射する光学的反射機能を有する。反射部９０３は、光を反射するために反射面を持つ。この反射部９０３はアクチュエータ部９０２を覆うように配置されており、ポスト１０１０を介してアクチュエータ部９０２と連結している。反射部９０３の膜厚は５ｕｍで形成する。反射部は本発明の反射部材に相当する。

図１１は複数のアクチュエータ部９０２が配置されている場合を示す図である。これに対して反射部は図１１（ａ）で示すような、複数のアクチュエータ部を全体的に覆うよう
な連続な面１１０１でもよいし、図１１（ｂ）で示すような、各アクチュエータ部を個別に覆うような独立した面１１０２でもよい。本実施例では、複数のアクチュエータ部９０２を全体的に覆うように反射部９０３を配置する。各アクチュエータ９０２部は個別に可動することにより所望の形状を得ることが出来る。これにより各アクチュエータ部で反射する光の光路長を変化することが出来るので、波面補正デバイスとして使用することが出来る。

次に可動部１００３の可動の方法を、図１２を参照して説明する。図１２は可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２が交互に配列した部分の断面図である。可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２およびそれらのｚ方向に分割された電極に符号が逆の電荷を与えることで、可動櫛歯電極１００１をｚ方向に対して上下に可動することが出来る。
例えば可動櫛歯電極１００１をｚ方向下側に可動させるには以下の方法が挙げられる。まず図１２（ａ）に示した電圧印加直後の状態のように、可動櫛歯電極１００１の上部電極と固定櫛歯電極１００２の下部電極にそれぞれ符号が逆の電荷を与えることにより静電引力が発生し、電極のうち電荷を与えた部分同士が互いに引き合う。本実施例では図１２（ａ）で示すように可動櫛歯電極１００１の上部電極に負の電荷を、固定櫛歯電極１００２の下部電極に正の電荷を与えている。これにより可動櫛歯電極１００１の上部電極は固定櫛歯電極１００２の下部電極に近づこうとするが、水平方向に関しては左右概均等に静電引力を受けるので、ｚ方向下側に変位することになる。

続いて図１２（ｂ）に示すような釣り合い状態となる。すなわち、ばね１００４の復元力と、可動部１００３を可動させた静電引力が釣り合う位置で、可動櫛歯電極１００１が停止する。
続いて可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２との電位差を０にすると、図１２（ｃ）に示すように、電荷が与えられない状態となる。電圧開放後、ばね１００４の復元力により可動櫛歯電極１００１は初期位置にまで戻る。この変位後の様子を図１２（ｄ）に示す。

一方、可動櫛歯電極１００１をｚ上側に可動させる例として以下の方法が挙げられる。まず図１２（ｅ）に示した電圧印加直後の状態のように、可動櫛歯電極１００１の下部電極と固定櫛歯電極１００２の上部電極にそれぞれ符号が逆の電荷を与えることにより静電引力が発生し、電極のうち電荷を与えた部分が互いに引き合う。本実施例では図１２（ｅ）で示すように可動櫛歯電極１００１の下部電極に負の電荷を、固定櫛歯電極１００２の上部電極に正の電荷を与えている。これにより可動櫛歯電極１００１の下部電極は固定櫛歯電極１００２の上部電極に近づこうとするが、水平方向に関しては左右概均等に静電引力を受けるので、ｚ方向上側に変位することになる。
続いて図１２（ｆ）に示すような釣り合い状態となる。すなわち、ばね１００４の復元力と、可動部１００３を可動させた静電引力が釣り合う位置で、可動櫛歯電極１００１が停止する。
続いて可動櫛歯電極１００１と固定櫛歯電極１００２との電位差を０にすると、図１２（ｇ）に示すように、電荷が与えられない状態となる。電圧開放後、ばね１００４の復元力により可動櫛歯電極１００１は初期位置にまで戻る。この変位後の様子を図１２（ｈ）に示す。

本実施例では静電引力による変位を記載したが、静電斥力による変位も可能である。
可動量に関しては、静電容量値を測定することで可動量を見積もることが出来るので、フィードバック制御をすることが可能である。本実施例では、櫛歯電極の静電容量値に基づいて閉ループ制御（可動量フィードバック）を行っている。また、上下に伸びる可動櫛歯電極１００１の可動量をフィードバック制御することで、両可動櫛歯を等しく可動する
ことが出来るので、ｙｚ面内回転方向の変位を抑制することが出来る。

可動櫛歯電極１００１および固定櫛歯電極１００２は、各々の電極に個別の電圧が掛けられるようにする必要がある。本実施例では、可動部１００３、ばね１００４、支持部１００５を電極に電圧を印加させるため不純物が導入された導電性のシリコンで構成している。また電圧制御回路１００７に接続するために配線を形成しているが、この配線は導電性材料で形成される必要があり、本実施例では銅で形成する。
反射部は光学的反射機能を有し、また可動部１００３の可動により変形した時に所望の形状を得るために適切な剛性を持っている必要がある。本実施例では反射部９０３は２層で構成し、下層は反射部の形状を決めるシリコン膜であり、上層は反射性能を決める金薄膜である。この場合、金薄膜が反射面となる。

本実施形態では、発明の要旨を逸脱しない範囲内において、様々に変形や修正が施されてもよい。
例えば、可動櫛歯電極１００１および固定櫛歯電極１００２に電位を与えるために、本実施例では、可動部１００３、ばね１００４、支持部１００５を導電性不純物ドープシリコンで構成した。しかし、これらを導電性材料にせず、替わりに配線を形成して給電させる、若しくはワイヤーボンディングで給電する方法も可能である。
また記載した寸法は設計事項であるので、自由に設定してもよい。

本発明の構造体は、応答速度が速い可動ミラーを可能にするので、眼底検査装置、天体望遠鏡などに入る補償光学用波面補正デバイスとして利用することが出来る。

１０１…可動ミラー，１０２…アクチュエータ部，１０３…反射部，２０１…可動櫛歯電極，２０２…固定櫛歯電極，２０３…可動部，２０４…ばね，２０５…支持部，２０７…電圧制御回路

Claims (18)

1. 反射面を有する反射部材と、アクチュエータと、を有する可動ミラーであって、
   前記アクチュエータは、
   可動部と、
   前記反射部材と前記可動部を接続するポストと、
   前記反射部材と距離を隔てて位置し、前記可動部によって支持されて前記可動部から延出する可動櫛歯電極と、
   支持部と、
   前記支持部によって支持されて前記支持部から延出し、かつ、前記可動櫛歯電極と交互に配置される固定櫛歯電極と、
   前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極に電圧を印加して、前記可動櫛歯電極と前記可動部を前記反射面の法線方向に変位させる電圧制御手段と、
   前記可動部に接続され、前記可動櫛歯電極と前記可動部が前記法線方向以外の方向に変位することを抑制するばねと、を有し、
   前記可動部の前記可動櫛歯電極を支持する部位と、前記支持部の前記固定櫛歯電極を支持する部位とは、前記可動櫛歯電極と前記可動部の前記法線方向への変位の際に前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極とがすれ違えるように配置されている
   ことを特徴とする可動ミラー。
2. 前記可動櫛歯電極は、前記可動部によって片持ち状に支持され、
   前記固定櫛歯電極は、前記支持部によって片持ち状に支持され、
   前記可動部の前記可動櫛歯電極を支持する部位と前記支持部の前記固定櫛歯電極を支持する部位とが対向して配置されることにより、前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極が交互に噛み合うように配置される
   ことを特徴とする請求項１に記載の可動ミラー。
3. 前記電圧制御手段は、前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極ごとに異なる電圧を印加するものである
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の可動ミラー。
4. 前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極は、前記電圧制御手段が電圧を印加しないとき、前記法線方向において重なり合わない部分を持つように配置される
   ことを特徴とする請求項３に記載の可動ミラー。
5. 前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極は、前記電圧制御手段が電圧を印加しないとき、前記法線方向において重なり合う部分と重なり合わない部分を有し、前記可動櫛歯電極の前記重なり合わない部分は、前記重なり合う部分に対して前記法線方向における第１の向きに突出し、かつ、前記固定櫛歯電極の前記重なり合わない部分は、前記重なり合う部分に対して前記法線方向における前記第１の向きと逆の向きに突出し、
   前記電圧制御手段が電圧を印加すると、前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極は、前記重なる部分が増大するように変位する
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の可動ミラー。
6. 前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極はそれぞれ、前記法線方向において電気的に分割された複数の電極を含む
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の可動ミラー。
7. 前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極は、前記電圧制御手段が電圧を印加しないとき、前記法線方向において重なり合うように配置される
   ことを特徴とする請求項６に記載の可動ミラー。
8. 前記ばねは、前記支持部と電気的に分離した第２の支持部に固定され、前記可動部と前記第２の支持部を接続することにより、前記可動櫛歯電極と前記可動部が前記法線方向以外の方向に変位するのを抑制する
   ことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の可動ミラー。
9. 前記ばねは、前記反射面に対して水平方向に拡がる
   ことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の可動ミラー。
10. 前記ばねによる前記変位の抑制は、前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極の静電容量値に基づいてフィードバック制御される
    ことを特徴とする請求項８に記載の可動ミラー。
11. 複数のアクチュエータを有し、
    前記複数のアクチュエータの少なくとも１つが請求項１ないし１０のいずれか１項に記載されたアクチュエータであることを特徴とする可動ミラー。
12. 前記反射部材は、前記複数のアクチュエータを連続して覆うものである
    ことを特徴とする請求項１１に記載の可動ミラー。
13. 前記反射部材は、複数に分割されており、分割された反射部材それぞれは、前記複数のアクチュエータそれぞれを個別に覆うものである
    ことを特徴とする請求項１１に記載の可動ミラー。
14. 前記ばねの前記法線方向における厚みは、前記可動部の前記法線方向における厚みよりも小さい
    ことを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の可動ミラー。
15. 前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極の長さは等しい
    ことを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の可動ミラー。
16. 反射面を有する反射部材と、アクチュエータと、を有する可動ミラーであって、
    前記アクチュエータは、
    可動部と、
    前記反射部材と前記可動部を接続するポストと、
    前記反射部材と距離を隔てて位置し、前記可動部によって支持されて前記可動部から延出する可動櫛歯電極と、
    支持部と、
    前記支持部によって支持されて前記支持部から延出し、かつ、前記可動櫛歯電極と交互に配置される固定櫛歯電極と、
    前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極に電圧を印加して、前記可動櫛歯電極と前記可動部を前記反射面の法線方向に変位させる電圧制御手段と、
    前記可動部に接続され、前記可動櫛歯電極と前記可動部が前記法線方向以外の方向に変位することを抑制するばねと、を有し、
    前記可動櫛歯電極と前記固定櫛歯電極とは、前記可動櫛歯電極と前記可動部の前記法線方向への変位の際にすれ違えるように配置されている
    ことを特徴とする可動ミラー。
17. 請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の可動ミラーを備える波面補正デバイス。
18. 請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の可動ミラーを備える眼底検査装置。

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