JP5774779B2 - 静電アクチュエーターおよび可変容量デバイス - Google Patents
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Description
これに対し、単に、上部電極の上方に第3の電極を追加し、上部電極と当該第3の電極との間に静電気力を生じさせて可動電極を引き離す構成を考えた。しかしながら、この構成では、上部電極の支持部材(梁やアンカー)とは別に、第3の電極の支持部材が必要である上、離間動作の開始時に、効果的に静電気力が発生しないという問題が想定される。すなわち、静電気力が、上部電極および第3電極の離間距離の2乗に反比例するのに対し、離間動作の開始時には、上部電極が下部電極に近接した状態であり、上部電極が第3の電極から最大限離れた状態になっている。そのため、離間動作の開始時に強い静電気力が生じない。これによって、初動が遅く離間動作全体の動作速度が遅くなるので、静電アクチュエーターの動作を安定的に行うことができないという問題が生じる。
これに対し、上記構成によれば、固定電極にプルイン動作電圧を印加し、引離し電極にプルアウト動作電圧を印加して、可動電極を離接することで、可動電極にプルイン動作電圧やプルアウト動作電圧を印加する必要がなく、電位制御を簡単な構成で行うことができる。なお、「所定のプルイン動作電圧」は、静電気力により可動電極の近接移動(プルイン)が生じる電圧(いわゆるプルイン電圧)以上の電圧である。また、「所定のプルアウト動作電圧」は、静電気力により可動電極の離間移動(プルアウト)が生じる電圧(いわゆるプルアウト電圧)以上の電圧である。
これに対し、上記構成によれば、高い引離し力を得ることができる静電アクチュエーターを用いることで、ホットスイッチングを安定的に行うことができる。
f(x)=(G1−G0)×x/L+G0
となる。ここで、xは、固定部分をゼロとした位置座標とする。
これを利用して上記静電気力F1を計算すると、
F1=(1/2)×ε0×W×L×V2/(G0×G1)
となる。一方、引離し電極24を、可動駆動電極22の上方に且つ平行に対面して配設させた構成では、引離し電極24との離間距離が全域でG1となり、プルアウト動作電圧Vを印加した場合の両電極22、24間の静電気力F0を計算すると、
F0=(1/2)×ε0×W×L×V2/(G1)2
となる。G1がG0より格段に高い数値であることを考慮すれば、前者の静電気力F1が、後者の静電気力F0より格段に高い数値であることがわかる。
Claims (10)
- 基板に対し固定的に設けられた固定電極と、
前記固定電極に表裏一方の面で対面し、前記固定電極との間の静電気力により、前記固定電極に近接する可動電極と、
前記可動電極の表裏他方の面に対面し、前記可動電極との間の静電気力により、前記可動電極を前記固定電極から引き離す引離し電極と、を備え、
前記引離し電極は、前記可動電極を部分的に固定し、
前記可動電極および前記引離し電極は、相互の固定部分を中心に拡開するように、前記可動電極および/または前記引離し電極が変形して、前記可動電極の前記固定電極に対する離接可動を受容することを特徴とする静電アクチュエーター。 - 前記可動電極および/または前記引離し電極は、弾性を持って変形すると共に、当該変形の復元力を、前記可動電極の引離し力として作用させることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエーター。
- 前記固定電極は、近接時の静電気力を生じさせるための所定のプルイン動作電圧を印加する第1の印加電源に接続され、
前記可動電極は、基準電位点に接続され、
前記引離し電極は、引離し時の静電気力を生じさせるための所定のプルアウト動作電圧を印加する第2の印加電源に接続されることを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエーター。 - 前記引離し電極から、前記可動電極の引離し方向に連結したn(n≧1)個の追加引離し電極を、更に備え、
連結した前記引離し電極および前記n個の追加引離し電極は、連結した前後の電極が相互に対面し、相互間の静電気力を、前記引離し電極を介した前記可動電極の引離し力として作用させると共に、前記可動電極と合わせて蛇腹状に変形して、前記可動電極の前記固定電極に対する離接可動を受容することを特徴とする請求項1に記載の静電アクチュエーター。 - 連結した前記引離し電極および前記n個の追加引離し電極は、弾性を持って変形すると共に、当該変形の復元力を、前記可動電極の引離し力として作用させることを特徴とする請求項4に記載の静電アクチュエーター。
- 請求項1に記載の静電アクチュエーターと、
前記静電アクチュエーターを駆動源として駆動する静電容量を可変する可変容量素子と、を備えたことを特徴とする可変容量デバイス。 - 前記静電アクチュエーターは、前記可変容量素子に電圧を印加した状態で、前記可動電極の離接動作を行うことを特徴とする請求項6に記載の可変容量デバイス。
- 前記可変容量素子は、
直列に接続され、静電容量が可変の2個の可変容量部と、
前記2個の可変容量部の上下流側のそれぞれに直列に接続され、静電容量が固定の2個の固定容量部と、を備え、
前記各可変容量部は、
前記基板に固定的に設けられた固定容量電極と、
前記固定容量電極に対面し、前記可動電極と一体に変位して前記固定容量電極に対し離接する可動容量電極と、を有することを特徴とする請求項6に記載の可変容量デバイス。 - 基板に対し固定的に設けられた固定電極と、
前記固定電極に表裏一方の面で対面し、前記固定電極との間の静電気力により、前記固定電極に近接する可動電極と、
前記可動電極の表裏他方の面に対面し、前記可動電極との間の静電気力により、前記可動電極を前記固定電極から引き離す引離し電極と、を備え、
前記引離し電極は、前記可動電極を部分的に固定し、
前記可動電極および前記引離し電極は、相互の固定部分を中心に拡開するように、前記可動電極および/または前記引離し電極が変形して、前記可動電極の前記固定電極に対する離接可動を受容する静電アクチュエーターの駆動方法であって、
前記固定電極に、近接時の静電気力を生じさせるための所定のプルイン動作電圧を印加し、
前記可動電極に、基準電位点を接続し、
前記引離し電極に、引離し時の静電気力を生じさせるための所定のプルアウト動作電圧を印加することを特徴とする静電アクチュエーターの駆動方法。 - 基板に対し固定的に設けられた平面状の固定電極と、
前記固定電極に表裏一方の面で対面する平面状の可動電極と、
前記可動電極の表裏他方の面に対面する平面状の対面電極と、
前記基板に立設されると共に、前記対面電極を支持する電極支持部と、を備え、
前記対面電極は、前記可動電極を部分的に固定し、
前記可動電極および前記対面電極は、相互の固定部分を中心として拡開変形自在に構成されていることを特徴とする静電アクチュエーター。
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