JP2007234448A - マイクロリレースイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】感度にバラツキが無いマイクロリレースイッチを提供する。
【解決手段】絶縁材料から成る固定基板10と、固定基板10の上面に形成したパターンコイル11a、11bと、固定基板10の上面にパターンコイル11a、11bとは絶縁状態で形成した2本の高周波線路14a、14bと、水晶材料から成り少なくとも固定基板10上に形成された2本の高周波線路14a、14bと対向する位置が薄肉部10bとなるように形成されている可動基板20と、可動基板20の底面外側にパターンコイル11a、11bと同一方向に形成したパターンコイル21a、21bと、可動基板20の底面外側にパターンコイル21a、21bとは絶縁状態でコンタクト片24を形成するようにした。
【選択図】図2
【解決手段】絶縁材料から成る固定基板10と、固定基板10の上面に形成したパターンコイル11a、11bと、固定基板10の上面にパターンコイル11a、11bとは絶縁状態で形成した2本の高周波線路14a、14bと、水晶材料から成り少なくとも固定基板10上に形成された2本の高周波線路14a、14bと対向する位置が薄肉部10bとなるように形成されている可動基板20と、可動基板20の底面外側にパターンコイル11a、11bと同一方向に形成したパターンコイル21a、21bと、可動基板20の底面外側にパターンコイル21a、21bとは絶縁状態でコンタクト片24を形成するようにした。
【選択図】図2
Description
本発明は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて作製したマイクロリレースイッチに関するものである。
近年、MEMSと呼ばれる微小な電気機械システムが注目されている。そして、このようなMEMS技術を用いて作製したマイクロリレースイッチ(以下、「MEMSスイッチ」という)が各種提案されている。
例えば特許文献1には、面状のベース電極と、少なくとも1つの固定の対応コンタクト片と支持するベース基板が設けられており、さらに少なくとも1つの可動子が設けられており、該可動子が舌片の形で一方の支持体に弾性的に結合されており、ベース電極に対向して位置する可動子電極ならびに対応コンタクト片に対向して位置する可動子コンタクト片を有していて、可動子電極とベース電極との間に電圧が印加された時に、可動子がベース基板に引き付けられるようになっている形式のものにおいて、可動子が少なくとも部分的に撓みトランスデューサとして作用する圧電層を備えており、該圧電層の撓み力が励起時に、ベース電極と可動子電極相互間の静電引付け力を助成するようになっていることを特徴とするマイクロメカニカルなリレーが開示されている。
特表平8−506690号公報
例えば特許文献1には、面状のベース電極と、少なくとも1つの固定の対応コンタクト片と支持するベース基板が設けられており、さらに少なくとも1つの可動子が設けられており、該可動子が舌片の形で一方の支持体に弾性的に結合されており、ベース電極に対向して位置する可動子電極ならびに対応コンタクト片に対向して位置する可動子コンタクト片を有していて、可動子電極とベース電極との間に電圧が印加された時に、可動子がベース基板に引き付けられるようになっている形式のものにおいて、可動子が少なくとも部分的に撓みトランスデューサとして作用する圧電層を備えており、該圧電層の撓み力が励起時に、ベース電極と可動子電極相互間の静電引付け力を助成するようになっていることを特徴とするマイクロメカニカルなリレーが開示されている。
ところで、上記特許文献1に開示されているマイクロメカニカルなリレーは、圧電体から成る可動子が付着されているベース基体がシリコンにより構成されている。しかしながら、シリコンはエッチングする際に厚みをコントロールすることが難しいため、可動子のベース基体をシリコンにより作製した場合は感度にバラツキが発生するという問題点があった。
そこで、本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、感度にバラツキを抑制できるマイクロリレースイッチを提供することを目的とする。
そこで、本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、感度にバラツキを抑制できるマイクロリレースイッチを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は、絶縁材料から成る固定基板と、固定基板の上面に形成した第1のパターンコイルと、固定基板の上面に第1のパターンコイルとは絶縁状態で形成した2本の高周波線路と、水晶材料から成り、少なくとも固定基板上に形成された2本の高周波線路との間に空隙を介して対向配置された薄肉部を有する可動基板と、可動基板の底面外側に第1のパターンコイルと同一方向に形成した第2のパターンコイルと、可動基板の底面外側に第2のパターンコイルとは絶縁状態で形成したコンタクト片と、を備え、第1のパターンコイルと、第2のパターンコイルに電流を流したときに、第1のパターンコイル及び第2のパターンコイルに発生する磁界の静電引力により、可動基板の薄肉部を変位させて固定基板に形成した2本の高周波線路と可動基板に形成したコンタクト片とが接触するように構成した。このような本発明においては、コンタクト片が形成された可動基板を従来のシリコン材料に代えて水晶材料を用いて形成するようにした。水晶材料は、その圧電効果から厚みを周波数にてモニタリングすることが可能であるため、可動基板の薄肉部の厚みを数10nm以内の精度で制御することができる。従って、従来のように可動基板を、シリコン材料を用いて作製する場合に比べて感度のバラツキを抑制することができる。
また本発明は、コンタクト片を第1のパターンコイル及び第2のパターンコイルに電流を流したときに変位量が最大となる位置に形成するようにした。このように構成すると、第1のパターンコイルと第2のパターンコイルに電流を流したときに発生する磁界の静電引力により、可動基板の薄肉部に形成したコンタクト片の変位量が最大になるので、可動基板に形成したコンタクト片により固定基板に形成した2本の高周波線路間を確実に接触させることが可能になる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るマイクロリレースイッチ全体の概略構成を斜視図、図2は本実施形態のマイクロリレースイッチを構成する可動基板と固定基板の平面図、図3は図2に示したA−A断面図である。なお、図2(a)に示す可動基板の平面図は可動基板の底面外側の構成を上方から見た図が示されている。
図1は、本発明の実施形態に係るマイクロリレースイッチ全体の概略構成を斜視図、図2は本実施形態のマイクロリレースイッチを構成する可動基板と固定基板の平面図、図3は図2に示したA−A断面図である。なお、図2(a)に示す可動基板の平面図は可動基板の底面外側の構成を上方から見た図が示されている。
図1に示すように本実施形態のマイクロリレースイッチ1は、固定基板10と、この固定基板10の上方に配置された可動基板20とにより構成される。
固定基板10は、例えばシリコンなどの絶縁材料からなり、その形状は、図3に示すように凹陥部10aと、この凹陥部10aを取り囲むように壁部10bが形成されている。そして、この凹陥部10a上の左右両側に図2(b)に示すようにパターンコイル(第1のパターンコイル)11a、11bを形成するようにしている。これらパターンコイル11a、11bは巻方向が同一とされる。この場合、パターンコイル11a、11bの中心からパターンを引き出すために、パターンコイル11a、11bの一部に絶縁膜12a、12bを成膜しており、この絶縁膜12a、12b上に引き出し用のパターン13a、13bを形成するようにしている。これにより、パターンコイル11aと引き出し用のパターン13a及びパターンコイル11bと引き出し用のパターン13bとが短絡するのを防止するようにしている。また、固定基板10の凹陥部10aのほぼ中央には、図2(b)に示すような2本の高周波線路14a、14bが形成されている。またこの場合は、パターンコイル11aとパターンコイル11bを接続する接続パターン13c上に絶縁膜12cを成膜したうえで、高周波線路14aを形成するようにしている。これにより、高周波線路14aと接続パターン13cとが短絡するのを防止して高周波線路14a、14bを絶縁状態に保つようにしている。
固定基板10は、例えばシリコンなどの絶縁材料からなり、その形状は、図3に示すように凹陥部10aと、この凹陥部10aを取り囲むように壁部10bが形成されている。そして、この凹陥部10a上の左右両側に図2(b)に示すようにパターンコイル(第1のパターンコイル)11a、11bを形成するようにしている。これらパターンコイル11a、11bは巻方向が同一とされる。この場合、パターンコイル11a、11bの中心からパターンを引き出すために、パターンコイル11a、11bの一部に絶縁膜12a、12bを成膜しており、この絶縁膜12a、12b上に引き出し用のパターン13a、13bを形成するようにしている。これにより、パターンコイル11aと引き出し用のパターン13a及びパターンコイル11bと引き出し用のパターン13bとが短絡するのを防止するようにしている。また、固定基板10の凹陥部10aのほぼ中央には、図2(b)に示すような2本の高周波線路14a、14bが形成されている。またこの場合は、パターンコイル11aとパターンコイル11bを接続する接続パターン13c上に絶縁膜12cを成膜したうえで、高周波線路14aを形成するようにしている。これにより、高周波線路14aと接続パターン13cとが短絡するのを防止して高周波線路14a、14bを絶縁状態に保つようにしている。
一方、可動基板20は、例えば水晶材料からなり、その形状は図3に示すように薄肉部(ダイヤフラム)20aと、この薄肉部20aを取り囲むように厚肉部20bが形成されている。この場合、薄肉部20aは固定基板10上に形成された2本の高周波線路14a、14bとの間に空隙を介して対向配置される。そしてこの薄肉部20aの外側底面の左右両側に図2(a)に示すようにパターンコイル(第2のパターンコイル)21a、21bを形成するようにしている。この場合もパターンコイル21a、21bの巻方向は同一とされる。即ち、本実施形態では固定基板10と可動基板20の対向する面上に同一方向のパターンコイル11a、11b、21a、21bを形成するようにしている。さらにパターンコイル21a、21bの中心からパターンを引き出すために、パターンコイル21a、21bの一部に絶縁膜22a、22bを成膜しており、この絶縁膜22a、22b上に引き出し用のパターン23a、23bを形成するようにしている。これにより、パターンコイル21aと引き出し用のパターン23a及びパターンコイル21bと引き出し用のパターン23bとが短絡するのを防止するようにしている。また、可動基板20の薄肉部20aのほぼ中央には、図2(a)に示すようなコンタクト片24が形成されている。
そして、このように構成される本実施形態のマイクロリレースイッチ1においては、固定基板10の凹陥部10aに形成したパターンコイル11a、11bと、可動基板20の薄肉部20aの底面外側に形成したパターンコイル21a、21bに電流を流したときに、パターンコイル11a、11b及びパターンコイル21a、21bに発生する磁界の静電引力により、図4に示すように可動基板20の薄肉部20aが固定基板10の方向に変位する。これにより、固定基板10に形成した2本の高周波線路14aと高周波線路14bとの間に可動基板20に形成したコンタクト片24が接触して高周波線路14a、14b間を導通させるように動作することになる。
そして、このような本実施形態のマイクロリレースイッチ1は、コンタクト片24を形成した可動基板20の材料を、従来のシリコン材料に代えて水晶材料を用いて形成した点に特徴がある。この場合、水晶材料は、その圧電効果から厚みを周波数にてモニタリングすることが可能であるため、本実施形態のように水晶材料を用いて可動基板20を構成すると、可動基板20の薄肉部20aの厚みを数10nm以内の精度で制御することが可能になる。従って、従来のように可動基板20をシリコンにより作製した場合に比べて感度のバラツキを抑制することができる。
また本実施の形態では、コンタクト片24をパターンコイル11a、11b及びパターンコイル12a、12bに電流を流したときに変位量が最大となる位置に形成するようにした。このように構成すると、パターンコイル11a、11b及びパターンコイル12a、12bに電流を流したときに発生する磁界の静電引力により可動基板20の薄肉部20aに形成したコンタクト片24の変位量が最大になるので、可動基板20のコンタクト片24により固定基板10に形成した2本の高周波線14a、14bとの間を確実に接触させることが可能になる。
1…マイクロリレースイッチ、10…固定基板、20a…薄肉部、20b…厚肉部、11a、11b、11c、21a、21b…パターンコイル、12、22…絶縁膜、14a、14b…高周波線路、20…可動基板、24…コンタクト片
Claims (2)
- 絶縁材料から成る固定基板と、
該固定基板の上面に形成した第1のパターンコイルと、
前記固定基板の上面に前記第1のパターンコイルとは絶縁状態で形成した2本の高周波線路と、
水晶材料から成り、少なくとも前記固定基板上に形成された2本の高周波線路との間に空隙を介して対向配置された薄肉部を有する可動基板と、
該可動基板の底面外側に前記第1のパターンコイルと同一方向に形成した第2のパターンコイルと、
前記可動基板の底面外側に前記第2のパターンコイルとは絶縁状態で形成したコンタクト片と、を備え、
前記第1のパターンコイルと、前記第2のパターンコイルに電流を流したときに、前記第1のパターンコイル及び前記第2のパターンコイルに発生する磁界の静電引力により、前記可動基板の薄肉部を変位させて前記固定基板に形成した前記2本の高周波線路と前記可動基板に形成した前記コンタクト片とが接触するように構成したことを特徴とするマイクロリレースイッチ。 - 請求項1に記載のマイクロリレースイッチにおいて、前記コンタクト片を前記第1のパターンコイル及び第2のパターンコイルに電流を流したときに変位量が最大となる位置に形成したことを特徴とするマイクロリレースイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006055882A JP2007234448A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | マイクロリレースイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006055882A JP2007234448A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | マイクロリレースイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007234448A true JP2007234448A (ja) | 2007-09-13 |
Family
ID=38554820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006055882A Withdrawn JP2007234448A (ja) | 2006-03-02 | 2006-03-02 | マイクロリレースイッチ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2007234448A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012210668A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Tohoku Univ | マイクロアクチュエータ |
-
2006
- 2006-03-02 JP JP2006055882A patent/JP2007234448A/ja not_active Withdrawn
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JP2012210668A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-11-01 | Tohoku Univ | マイクロアクチュエータ |
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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