JP4126308B2 - 静電駆動型アクチュエータ - Google Patents
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on Insulator)を主材料としている。
絶縁層(101)を第1導電層(102)と第2導電層(103)とで挟む3層構造の一枚のSOI基板(100)に対するエッチング処理により一体的に形成され、
枠板状の固定部(21)と、該固定部の枠内に配置された可動部(22、22′)と、前記可動部の一端側外縁から前記固定部の内縁まで直線的に延びて前記固定部と可動部との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形自在な第1連結部(23)と、該第1連結部と同軸で前記可動部の他端側外縁から前記固定部の内縁まで直線的に延びて前記固定部と可動部との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形自在な第2連結部(24)と、前記固定部の一面側に形成され、前記第1連結部と第2連結部を結ぶ線を中心に前記可動部を回動させる静電的な力を付与するための第1面電極(30、30′、31、31′)と、前記固定部の反対面側に形成され、前記第1連結部と第2連結部を結ぶ線を中心に前記可動部を回動させる静電的な力を付与するため第2面電極(32、32′、33、33′)とを有する静電駆動型アクチュエータであって、
前記固定部、前記可動部、第1連結部および第2連結部は、前記絶縁層を前記第1導電層と前記第2導電層とで挟む3層構造で連続した状態で形成され、
前記第1面電極は前記SOI基板の第1導電層に対するエッチング処理で形成されたギャップ(40、41)により前記固定部の第1導電層部から絶縁されて形成され、前記第2面電極は前記SOI基板の第2導電層部に対するエッチング処理で形成されたギャップ(42、43)により前記固定部の第2導電層部から絶縁されて形成されているとともに、
前記可動部の第1導電層部と第2導電層部とを導通させる導通手段(35、35′、105′)を設けたことを特徴としている。
前記導通手段は、前記可動部の第1導電層部から第2導電層部の間を貫通する導体(35)によって形成されていることを特徴としている。
前記導通手段は、前記固定部の第1導電層部から第2導電層部の間を貫通する導体(35′)によって形成されていることを特徴としている。
前記導通手段は、前記固定部の外周面に蒸着されて、第1導電層部と第2導電層部の間を電気的に接続する金属膜(105′)によって形成されていることを特徴としている。
図1および図2は、本発明を適用した両面電極の静電駆動型アクチュエータ20の構造を示している。
始めに、ICP−RIE装置によるエッチング処理ができるように、図4の(a)のように、SOI基板100の第1導電層102の表面のうち、アクチュエータ20の固定部21、可動部22、各連結部23、34、各第1面電極30、31の形成部分にマスク201をフォトリソグラフィ技術を用いて形成する。
Claims (4)
- 絶縁層(101)を第1導電層(102)と第2導電層(103)とで挟む3層構造の一枚のSOI基板(100)に対するエッチング処理により一体的に形成され、
枠板状の固定部(21)と、該固定部の枠内に配置された可動部(22、22′)と、前記可動部の一端側外縁から前記固定部の内縁まで直線的に延びて前記固定部と可動部との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形自在な第1連結部(23)と、該第1連結部と同軸で前記可動部の他端側外縁から前記固定部の内縁まで直線的に延びて前記固定部と可動部との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形自在な第2連結部(24)と、前記固定部の一面側に形成され、前記第1連結部と第2連結部を結ぶ線を中心に前記可動部を回動させる静電的な力を付与するための第1面電極(30、30′、31、31′)と、前記固定部の反対面側に形成され、前記第1連結部と第2連結部を結ぶ線を中心に前記可動部を回動させる静電的な力を付与するため第2面電極(32、32′、33、33′)とを有する静電駆動型アクチュエータであって、
前記固定部、前記可動部、第1連結部および第2連結部は、前記絶縁層を前記第1導電層と前記第2導電層とで挟む3層構造で連続した状態で形成され、
前記第1面電極は前記SOI基板の第1導電層に対するエッチング処理で形成されたギャップ(40、41)により前記固定部の第1導電層部から絶縁されて形成され、前記第2面電極は前記SOI基板の第2導電層部に対するエッチング処理で形成されたギャップ(42、43)により前記固定部の第2導電層部から絶縁されて形成されているとともに、
前記可動部の第1導電層部と第2導電層部とを導通させる導通手段(35、35′、105′)を設けたことを特徴とする静電駆動型アクチュエータ。 - 前記導通手段は、前記可動部の第1導電層部から第2導電層部の間を貫通する導体(35)によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の静電駆動型アクチュエータ。
- 前記導通手段は、前記固定部の第1導電層部から第2導電層部の間を貫通する導体(35′)によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の静電駆動型アクチュエータ。
- 前記導通手段は、前記固定部の外周面に蒸着されて、第1導電層部と第2導電層部の間を電気的に接続する金属膜(105′)によって形成されていることを特徴とする請求項1記載の静電駆動型アクチュエータ。
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JP2005083157A JP4126308B2 (ja) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | 静電駆動型アクチュエータ |
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JP5032949B2 (ja) * | 2007-11-14 | 2012-09-26 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | マイクロアクチュエータ、ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びディスク・ドライブ装置 |
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