JP5783568B2 - マイクロスキャナ - Google Patents
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以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、第1の実施の形態に係るマイクロスキャナ1を示す上面図である。図2は、図1のA−A線断面模式図である。
まず、櫛歯電極間に段差構造を形成するための動作について説明する。
図3は、櫛歯電極間に段差構造を形成した状態における図1のA−A線断面模式図である。図4は、櫛歯電極間に段差構造を形成した状態のマイクロスキャナ1を示す斜視図であり、反射部材10、固定櫛歯電極部14a,14b、接触部19および上部電極20を抜き出して示している。
以下、第2の実施の形態に係るマイクロスキャナ3について、図5および図6に基づいて説明する。図5は、第2の実施の形態に係るマイクロスキャナ3を示す上面図である。図6は、第2の実施の形態に係るマイクロスキャナ3のB−B線断面模式図である。なお、第1の実施の形態に係るマイクロスキャナ1と共通する構成については同一の符号を付与してその説明を省略し、第1の実施の形態とは異なる構造について主に説明する。マイクロスキャナ3は、固定櫛歯電極部31a,31bおよび接触部32の構造が、第1の実施の形態と相違する。
10 反射部材
10a ミラー面(反射ミラー)
11 トーションバー
12 固定部(第1の支持部、第2の支持部)
13a,13b 可動櫛歯電極
14a,14b 固定櫛歯電極部
141 凸辺部
15a,15b 固定櫛歯電極
16 トーションバー
17 固定部
18 梁
19 接触部
20 上部電極(電極部)
21 下部基板
21a 活性層
21b 絶縁層
21c 支持層
211 開口部
22 上部基板
221 外壁部
23 貫通孔
24 電圧印加部
3 マイクロスキャナ
31a,31b 固定櫛歯電極部
311 凹部
312 凸辺部
32 接触部
321 凸辺部
Claims (3)
- 反射ミラーと、前記反射ミラーを支持するための第1の支持部と、前記反射ミラーを回転駆動可能とするように前記反射ミラーと前記第1の支持部とを連結する第1のトーションバーと、前記反射ミラーの自由端に形成された第1の櫛歯電極と、前記第1の櫛歯電極と対向し互いの櫛歯が交互に噛み合うように配置された第2の櫛歯電極と、前記第2の櫛歯電極を支持するための第2の支持部と、前記第2の櫛歯電極を回転駆動可能とするように前記第2の櫛歯電極と前記第2の支持部とを連結する第2のトーションバーと、前記第2の櫛歯電極と梁を介して結合された接触部と、前記接触部の上部または下部の少なくとも一方と向かい合う位置に固定配置された電極部と、を有し、
前記接触部と前記電極部との間に静電引力を発生させて、前記接触部を変位させることを特徴とするマイクロスキャナ。 - 前記接触部と前記電極部との間に直流電圧を印加するための電圧印加部を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロスキャナ。
- 前記接触部を前記電極部に接触させて、前記第1の櫛歯電極と前記第2の櫛歯電極との段差構造を維持することを特徴とする請求項1または請求項2記載のマイクロスキャナ。
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