KR100400231B1 - 2축 구동 액튜에이터 - Google Patents

Abstract

2축 구동이 가능한 마이크로미러 액튜에이터가 개시되어 있다.

이 개시된 마이크로미러 액튜에이터는, 기판; 상기 기판에 형성된 적어도 한 쌍 이상의 트렌치; 상기 기판 위에 제1회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트가 위치하는 층과 다른 층에 상기 제1회동축과 직교되는 제2회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 마이크로미러; 상기 지지 플레이트 또는 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전인력을 발생시키는 적어도 하나 이상의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터는, 2층 구조로 되어 있어 동일한 전압하에서 조절 가능한 구동각의 범위가 넓어 다단계의 아날로그 구동이 용이하고, 동일한 구동각 범위를 구현하기 위한 구동 전압이 상대적으로 낮아 전력 소모를 줄일 수 있다.

Description

2축 구동 액튜에이터{Two-axes drive actuator}

본 발명은 2축 구동이 가능한 마이크로미러 액튜에이터에 관한 것이다.

마이크로미러가 정전인력으로 구동되는 액튜에이터에 있어서, 정전인력의 크기는 두 전극 사이의 거리의 제곱에 반비례하고 가해진 전압의 제곱에 비례한다. 이를 식으로 나타내면 다음과 같다.

위 식에서 ε은 유전률, A는 전극의 면적, V는 전압, d는 전극간의 거리를 각각 나타낸다. 상기 수학식 1에 따르면, 정전인력이 전극 사이의 거리의 제곱에 반비례하므로 거리가 가까워짐에 따라 정전인력에 미치는 영향이 점점 더 커진다. 따라서, 마이크로미러를 구동시 전극 사이의 거리가 너무 가까우면 구동 전압에 의해 조절 가능한 구동각의 범위가 작고 이에 따라 다단계의 예각 구동을 위한 제어가 어려위진다. 이는 전극 사이의 거리가 가까우면 그 영향이 매우 급속하게 나타나므로 제어하기가 어렵기 때문이다.

반면에, 두 전극 사이의 거리가 증가하면 제어가능한 구동각의 범위도 넓어지고 다단계의 예각 구동이 용이하게 되지만, 구동전압이 증가하고 제조 공정상 희생층의 높이를 증가시켜야 되므로 제조공정상 어려운 단점이 초래된다.

도 1은 종래의 2축 구동 액튜에이터를 도시한 것으로서, 마이크로미러(100) 둘레에 가동 프레임(105)이 설치되고, 상기 마이크로미러(100)와 가동 프레임(105) 사이에 제1힌지축(103)이 결합되어 상기 마이크로미러(100)가 상기 제1힌지축(103)을 중심으로 회동가능하도록 되어 있다. 또한, 상기 가동 프레임(105) 둘레에 고정 프레임(110)이 설치되고, 상기 가동 프레임(105)과 고정 프레임(110) 사이에 제2힌지축(107)이 결합되어 상기 가동 프레임(105)이 상기 제2힌지축(107)을 중심으로 회동가능하도록 되어 있다. 상기 제1힌지축(103)과 제2힌지축(107)은 상호 직교하도록 배치된다. 따라서, 상기 마이크로미러(100)가 상기 제1힌지축(103)을 중심으로 회전되고, 상기 가동 프레임(105)이 상기 제2힌지축(107)을 중심으로 회전됨으로써 상기 마이크로미러(100)가 2축 구동을 할 수 있다. 여기에, 상기 마이크로머러(100)가 구동될 수 있는 공간과 제어 가능한 마이크로미러의 구동각을 확보하기 위해 상기 고정 프레임(110) 전체의 높이를 조절할 수 있도록 된 가동 아암(113)이 상기 고정 프레임(110)의 외주면에 결합된다.

도면에 도시되지는 않았지만, 상기와 같은 구조에서는 상기 가동 아암(113)을 작동시키기 위한 별도의 액튜에이터가 요구된다. 따라서, 제조 공정이 복잡해지고 제조 단가가 상승되며, 전체 장치의 부피가 커지는 문제점이 있다.

이밖에 도 2에 도시된 바와 같이 SDA(Scratch Drive Actuator)로 구동되는 가동 아암(128)에 의해 마이크로미러(145)의 높이를 증가시키는 방법도 있다. 여기서도, 상기한 바와 같이 마이크로미러(145)를 중심으로 그 둘레에 가동 프레임(120)과 고정 프레임(125)이 차례로 설치되고, 제1 및 제2 힌지축(118)(123)에 의해 상기 마이크로미러(145)의 2축 구동이 가능하도록 되어 있다. 하지만, 이때에도 별도의 액튜에이터를 구비하여야 하므로 제작 공정이 복잡하고 칩 사이즈가 커지는 문제가 발생된다.

또한, 피에죠 구동을 이용한 2축 구동 방식의 액튜에이터도 있으나, 피에죠 재질의 히스테리시스 현상으로 구동 재현성이 어렵고 구동각의 범위가 작아 다단계의 예각 구동을 위한 컨트롤이 어려운 단점이 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 별도의 액튜에이터 없이도 2축 구동을 할 수 있고, 제조 공정을 단순화할 수 있는 2축 구동 액튜에이터를 제공하는데 목적이 있다.

도 1 및 도 2는 종래의 2축 구동 액튜에이터를 나타낸 도면이다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 2축 구동 액튜에이터의 사시도이다.

도 4a 및 도 4b는 도 3의 A-A' 방향에서 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터의 작동 설명도이다.

도 5a 및 도 5b는 도 3의 B-B' 방향에서 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터의 작동 설명도이다.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 2축 구동 액튜에이터의 사시도이다.

도 7a 내지 도 7h는 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터의 제조공정을 도 3의 A-A' 방향에서 도시한 도면이다.

도 8a 내지 도 8h는 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터의 제조공정을 도 3의 B-B' 방향에서 도시한 도면이다.

<도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1...기판, 3,3'...제1트렌치

5,5...제2트렌치, 7,15,35...포스트

10,17,37...회동축, 13...지지 플레이트

20,40...마이크로미러

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터는, 기판; 상기 기판에 형성된 적어도 한 쌍 이상의 트렌치; 상기 기판 위에 제1회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트가 위치하는 층과 다른 층에 상기 제1회동축과 직교되는 제2회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 마이크로미러; 상기 지지 플레이트 또는 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전인력을 발생시키는 적어도 하나 이상의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적어도 하나 이상의 전극은, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치의 하부 및 측면에 각각 형성된 하부전극과 측면전극인 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 측면전극에 연이어 상기 트렌치의 외측에 보조전극이 더 구비된것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1 및 제2 회동축은 비틀림 스프링인 것으로 특징으로 한다.

또한, 상기 제2회동축이 제2포스트에 의해 지지되고, 상기 마이크로미러가 상기 제2회동축에 의해 탄력적으로 회동 가능하게 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는, 상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는, 상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제1트렌치; 상기 제2회동축을 중심으로 상기 마이크로미러의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제2트렌치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제2회동축을 중심으로 상기 마이크로미러가 회동시 상기 제1회동축에 대응되는 상기 마이크로미러의 양측에 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터는, 기판; 상기 기판에 마주 보는 적어도 한 쌍 이상의 트렌치; 상기 기판 위에 제1회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트가 위치하는 층과 다른 층에 상기 제1회동축과 직교되는 제2회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 마이크로미러; 상기 제1회동축을 지지하고, 상기 마이크로미러의 하부 내측 방향으로 배치된 제1포스트; 상기 지지 플레이트 또는 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전인력을 발생시키는 적어도 하나 이상의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 2축 구동 액튜에이터에 대해 상세히 설명한다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터는, 기판(1) 상에 상호 마주보고 쌍을 이루는 제1 및 제2 트렌치(3)(3')(5)(5')가 형성되고, 상기 마주보는 제1트렌치(3)(3')의 바깥쪽 양측에 각각 제1포스트(7)가 세워지며, 지지 플레이트(13)가 상기 제1포스트(7)에 연결된 제1회동축(10)에 의해 탄력적으로 회동가능하게 지지되어 있다.

그리고, 상기 지지 플레이트(13)에는 상기 제1회동축(10)에 대해 직교되는 방향에 한쌍의 제2포스트(15)가 배치되고, 상기 제2포스트(15)에 일체로 연결된 제2회동축(17)에 의해 마이크로미러(20)가 탄력적으로 회동가능하게 지지되어 있다. 여기서, 상기 마이크로미러(20)가 상기 제2회동축(17)을 중심으로 회동될 때, 상기 마이크로미러(20)가 상기 제1회동축(10)에 접촉되지 않도록 상기 제1회동축(10)에 대응되는 위치에 홈(21)이 형성된다. 상기 홈(21)은 상기 마이크로미러(20)의 소정의 구동각을 확보할 수 있도록 적당한 폭과 깊이로 형성된다.

상기 지지 플레이트(13)는 상기 제1회동축(10)을 중심으로 그 양측부가 각각 상기 제2트렌치(5)(5')에 대해 대향되게 위치하고, 상기 마이크로미러(20)는 상기 제2회동축(17)을 중심으로 그 양측부가 각각 상기 제1트렌치(3)(3')에 대해 대향되게 위치한다. 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 제2 트렌치(5)(5')의 하부면 및 측면에는 각각 제2 하부전극(22) 및 제2 측면전극(23)이 구비된다. 또한, 상기 제2 측면전극(23)에 연이어 상기 제2트렌치(5)(5')의 외측에 제2 보조전극(24)을 더 구비할 수 있다.

한편, 도 5a에 도시된 바와 같이 상기 제1 트렌치(3)(3')의 하부면 및 측면에도 또한 각각 제1 하부전극 및 제1 측면전극(32)(33)이 구비된다. 또한, 상기 제1 측면전극(33)에 연이어 상기 제1 트렌치(3)(3')의 외측에 제1 보조전극(34)을 더 구비할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예가 도 6에 도시되어 있다. 여기서, 도 3에 표시된 참조번호와 같은 번호로 표시된 것은 동일한 구성 및 기능을 가지는 것으로 자세한 설명은 생략하기로 한다.

기판(1) 상에 상호 마주보고 쌍을 이루는 제1 및 제2 트렌치(3)(3')(5)(5')가 형성되고, 상기 마주보는 제1트렌치(3)(3')의 안쪽 양측에 각각 제1포스트(35)가 세워지며, 상기 제1포스트(35)에 연결된 제1회동축(37)에 의해 지지 플레이트(13)가 회동 가능하게 결합되어 있다. 그리고, 상기 지지 플레이트(13)에 상기 제1회동축(37)과 직교되도록 제2포스트(15), 제2회동축(17)이 형성되고, 마이크로미러(40)가 상기 제2회동축(17)에 의해 탄력적으로 회동 가능하게 지지되어 있다.

상기 실시예에서는 상기 제1포스트(35)가 상기 제1트렌치(3)(3')의 안쪽 양측에 위치하므로 상기 마이크로미러(40)가 상기 제2회동축(17)을 중심으로 회동될 때 상기 제1회동축(37)에 의해 방해받을 염려가 없다. 다시 말하면, 상기 제1포스트(35)가 상기 마이크로미러(40)의 하부의 내측 방향에 배치되되 상기 마이크로미러(40)의 회동시 접촉되지 않도록 상기 마이크로미러의 회동 스트로크 범위를 벗어나서 위치하도록 배치된다. 따라서, 상기 실시예에서는 상기 마이크로미러(40)의 회동시 상기 제1회동축(37)과의 접촉을 막기 위한 별도의 장치를 요하지 않는다.

상기 제1 및 제2회동축(10)(17)(37)은 예를 들어 비틀림 스프링일 수 있다. 따라서, 상기 마이크로미러(20)(40)는 이들 회동축(10)(17)(37)에 의해 탄력적으로 회동되며, 전압 제거시 그 탄성적인 복원력에 의해 원위치로 복원된다.

이상과 같은 구성에 의해 상기 마이크로미러(20)(40)는 제1 및 제2 회동축의 두 축을 중심으로 회동된다. 다음은 상기 마이크로미러(20)(40)의 2축 구동에 대해 설명한다.

도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 제2 트렌치(5)(5')에 있는 제2 하부전극(22) 및 제2 측면전극(23)에 전압이 가해질 때, 상기 지지 플레이트(13)와 상기 제2 하부전극(22) 및 제2 측면전극(23)과의 사이에 발생되는 정전인력에 의해 상기 지지 플레이트(13)가 회동된다. 이때, 상기 기판(1)에 내장된 구동원(미도시)으로부터 상기 제1포스트(7)에 전압이 가해지면, 상기 제1회동축(10), 지지 플레이트(13), 제2포스트(15), 제2회동축(17)을 거쳐 상기 마이크로미러(20)까지 전기적으로 연결되어 소정의 기준 전압으로 등전위를 이룬다. 이 기준 전압과 일정한 전압차가 생기도록 상기 하부전극(22) 및 측면전극(23)에 전압이 가해지고, 그 전위차에 의해 정전인력이 발생된다. 이때, 상기 마이크로미러(20)와 전극들(22)(23) 사이의 거리는 이미 결정되어 있으므로 정전인력의 크기는 전압차에 의해 조절될 수 있다. 여기서, 상기 지지 플레이트(13)와 하부 전극 및 측면 전극(22)(23) 사이에 발생되는 정전력에 의해 상기 지지 플레이트(13)가 회동됨에 따라 상기 마이크로미러(20)가 함께 회전된다.

또한, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 상기 제1트렌치(3)(3')에 있는 제1 하부전극(32) 및 제1 측면전극(33)과 상기 마이크로미러(20)와의 사이에 발생되는 정전인력에 의해 상기 마이크로미러(20)가 상기 제2회동축(17)을 중심으로 회전된다. 이때, 상기 마이크로미러(20)의 측부에 홈(21)이 형성되어 있기 때문에 상기 제1회동축(10)에 걸릴 염려가 없다.

한편, 상기 보조전극(24)(34)을 더 구비하여 상기 지지 플레이트(13)나 마이크로미러(20)와의 상호작용에 의한 정전인력을 발생시킬 수 있는 전극면적을 증가시킬 수 있다. 이로써, 낮은 구동전압으로 큰 구동각을 얻는데 기여할 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예의 경우에도, 상기한 작동 관계가 동일하게 적용되므로 상세한 설명을 생략한다. 다만, 본 발명의 다른 실시예에서는 상기 제1포스트(35)가 상기 제1 트렌치(3)(3') 안쪽에 위치하므로 상기 마이크로미러(40)의 회동시 상기 제1회동축(37)에 부딪칠 염려가 없다.

한편, 상기 마이크로미러(20)(40)의 길이방향으로의 양측에 대해 마주보는 기판상에는 트렌치를 형성하지 않을 수 있다. 예를 들어, 상기 제1트렌치(3)(3')를 구비하지 않아도 무방하다. 왜냐하면, 상기 마이크로미러(20)(40)와 지지 플레이트(13)가 이층 구조로 되어 있어 상기 마이크로미러(20)(40)가 상기 지지 플레이트(13)에 비해 상기 기판(1)으로부터 상대적으로 높게 위치하게 되므로 상기 마이크로미러에 대향되는 트렌치가 없어도 큰 구동각을 얻을 수 있기 때문이다. 이와 같이 상기 제1트렌치(3)(3')가 마련되지 않은 경우에는 상기 제1포스트(35)를상기 마이크로미러(40)의 하부 내측 방향에 형성하는 것이 바람직하다.

다음은, 본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 7a 내지 도 7h는 도 3의 A-A'방향에서의 제조 공정을 도시한 것이고, 도 8a 내지 도 8h는 도 3의 B-B' 방향에서의 제조공정을 도시한 것으로, 본 발명에 따른 제조공정에 대해 양쪽 방향에 대해 같이 설명하기로 한다.

도 7a 및 도 8a에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(50)에 포토레지스트(53)를 도포하고 패터닝한 다음 식각공정을 이용하여 제1 및 제2 트렌치(55)(55')(57)(57')를 형성한다. 그리고, 상기 포토레지스트(53)를 제거하고, 상기 웨이퍼(50) 위에 도 7b 및 도 8b와 같이 절연막(60)을 도포한다. 도 7c 및 도 8d에 도시된 바와 같이 상기 절연막(60) 위에 제1금속막(63)을 도포한 다음 패터닝하고 식각 공정을 이용하여 상기 제1 및 제2 트렌치(55)(55')(57)(57')에 각각 제1 및 제2 하부전극(65)(75)과 제1 및 제2 측면전극(67)(77)을 형성한다. 여기에, 상기 제1 및 제2 트렌치(55)(55')(57)(57')의 외부에 제1 및 제2 보조전극(70)(80)을 더 형성할 수 있다.

상기 결과물에 위에 도 7d 및 도 8d에 도시된 바와 같이 필름 형태의 유기막(83)을 적층하고 온도와 압력을 가하여 라미네이션한다. 그리고, 제11포스트용 홀(84)을 형성한 다음, 도 7e 및 도 8e에 도시된 바와 같이 그 위에 제2금속막(85)을 증착하고 패터닝을 통하여 제1포스트(86), 제1회동축(87) 및 지지 플레이트(90)를 형성한다. 그런 다음, 도 7f 및 도 8f에 도시된 바와 같이 포토레지스트(93)를 도포하고, 사진식각공정을 이용하여 제2포스트용 홀(95)을 형성하고, 도 7g 및 도 8g에 도시된 바와 같이 그 위에 제3금속막(98)을 증착한다. 그리고, 패터닝 및 식각공정을 이용하여 제2포스트(100), 제2회동축(103) 및 마이크로미러(105)를 형성한다. 이때, 상기 마이크로미러(105)의 양측에 홈(107)이 형성된다. 최종적으로 도 7f 및 도 8f에 도시된 바와 같이, 상기 유기막(83)과 포토레지스트(93)를 제거함으로써 액튜에이터를 완성한다.

본 발명에 따른 2축 구동 액튜에이터는 2층 구조로 되어 있어 동일한 전압하에서 조절 가능한 구동각의 범위가 넓어 다단계의 아날로그 구동이 용이하고, 동일한 구동각 범위를 구현하기 위한 구동 전압이 상대적으로 낮아 전력 소모를 줄일 수 있다. 또한, 기판에 트렌치를 형성함으로써 트렌치로부터 마이크로미러 또는 지지 플레이트까지의 거리가 상대적으로 높아 희생층의 높이를 증가시킬 필요가 없으므로 공정이 간단하고, 액튜에이터 사이즈를 크게 감소시킬 수 있다.

Claims (15)

1. 기판;

   상기 기판에 형성된 적어도 한 쌍 이상의 트렌치;

   상기 기판 위에 제1회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 지지 플레이트;

   상기 지지 플레이트가 위치하는 층과 다른 층에 상기 제1회동축과 직교되는제2회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 마이크로미러;

   상기 지지 플레이트 또는 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전인력을 발생시키는 적어도 하나 이상의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
2. 제 1항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 전극은,

   상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치의 하부 및 측면에 각각 형성된 하부전극과 측면전극인 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 측면전극에 연이어 상기 트렌치의 외측에 보조전극이 더 구비된 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
4. 제 1항 내지 제 3항에 있어서,

   상기 제1 및 제2 회동축은 비틀림 스프링인 것으로 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 제2회동축이 제2포스트에 의해 지지되고, 상기 마이크로미러가 상기 제2회동축에 의해 탄력적으로 회동 가능하게 된 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
6. 제 1항에 있어서, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는,

   상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
7. 제 1항에 있어서, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는,

   상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제1트렌치;

   상기 제2회동축을 중심으로 상기 마이크로미러의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제2트렌치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서,

   상기 제2회동축을 중심으로 상기 마이크로미러가 회동시 상기 제1회동축에 대응되는 상기 마이크로미러의 양측에 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
9. 기판;

   상기 기판에 마주 보는 적어도 한 쌍 이상의 트렌치;

   상기 기판 위에 제1회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 지지 플레이트;

   상기 지지 플레이트가 위치하는 층과 다른 층에 상기 제1회동축과 직교되는 제2회동축을 중심으로 회동 가능하도록 설치된 마이크로미러;

   상기 제1회동축을 지지하고, 상기 마이크로미러의 하부 내측 방향으로 배치된 제1포스트;

   상기 지지 플레이트 또는 상기 마이크로미러와 상호작용하여 정전인력을 발생시키는 적어도 하나 이상의 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
10. 제 9항에 있어서, 상기 적어도 하나 이상의 전극은,

    상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치의 하부 및 측면에 각각 형성된 하부전극과 측면전극인 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
11. 제 10항에 있어서,

    상기 측면전극에 연이어 상기 트렌치의 외측에 보조전극이 더 구비된 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
12. 제 9항 내지 제 11항에 있어서,

    상기 제1 및 제2 회동축은 비틀림 스프링인 것으로 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
13. 제 12항에 있어서,

    상기 제2회동축이 제2포스트에 의해 지지되고, 상기 마이크로미러가 상기 제2회동축에 의해 탄력적으로 회동 가능하게 된 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
14. 제 9항에 있어서, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는,

    상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.
15. 제 9항에 있어서, 상기 적어도 한 쌍 이상의 트렌치는,

    상기 제1회동축을 중심으로 상기 지지 플레이트의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제1트렌치;

    상기 제2회동축을 중심으로 상기 마이크로미러의 양측에 대해 대향되는 곳에 형성되는 제2트렌치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 구동 액튜에이터.