JP5588663B2 - マイクロ電気機械システムスイッチ - Google Patents
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Description
12 片持ビーム/第1の部分
14 上部基板
16 アクチュエータ
17 絶縁層
18 第2のビーム
19 位置
20 位置
22 導電層
24 基板
26 ベース
28 独立した先端部
32 「開」位置にあるMEMSスイッチ
34 面外方向
36 面内方向
38 位置
40 「閉」位置にあるMEMSスイッチ
42 位置
44 MEMSスイッチ
48 第1の機械的止めバンプ
50 第2の機械的止めバンプ
54 MEMSスイッチ
56 上部基板
58 第1のビーム
60 固定端
62 位置
64 位置
66 予め規定された空隙
68 静電力
72 MEMSスイッチ
74 第1のビーム
76 自由移動端
78 自由移動端
80 第2のビーム
82 第3のビーム
84 上部基板
86 MEMSスイッチ
88 静電力
90 静電力
94 ベース基板、絶縁層、上部基板を設ける
95 絶縁層
96 上部基板
98 第2のビームを画成する
100 上部基板材料を除去する
102 絶縁層を配置する
104 片持ビームを固定し、導電層を設ける
108 MEMSスイッチを製造する例示的方法
110 ベース基板を設ける
112 ベース基板上に第1の絶縁層を配置する
114 第1の絶縁層上に上部基板を設ける
116 上部基板上に第2のビームを形成する
118 上部基板と第2のビームとの上に第2の絶縁層を設ける
119 上部基板上に片持ビームを配置する
120 導電層を設けて第2のビーム上に電気接点を形成する
Claims (10)
- マイクロ電気機械システムスイッチであって、
第1の部分と第2の部分とを備え、第2の部分が前記第1の部分に対して重複しない位置に位置づけられる電気経路と、
前記第1の部分と前記第2の部分とが接触するようにこれらの部分を移動させるアクチュエータとを備え、
前記重複しない位置は、前記第1及び第2の部分の移動方向において重複していない、マイクロ電気機械システムスイッチ。 - 前記電気経路が電流を搬送するように構成される、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。
- 前記アクチュエータが静電力を発生するように構成される、請求項1又は2に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。
- 前記アクチュエータの上方において、前記アクチュエータから離れて配置された基板を備え、
前記第1の部分は、前記アクチュエータの上方に配置された前記基板から懸架された固定端を備える、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。 - ベース基板と、
ベース基板上に設けられた第1の電気絶縁面と、
前記第1の電気絶縁面上に設けられた半導電性の上部基板と、
を備え、
前記第2の部分が前記上部基板上に画成され、
前記第2の部分と前記上部基板上に第2の電気絶縁面が設けられ、
前記第2の部分上に導電層が形成され、
前記第1の部分が前記上部基板上に配置され、
前記上部基板の少なくとも一部が前記アクチュエータとして構成される、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。 - 前記アクチュエータは、平板状であり、
前記第1の部分は、前記第2の部分と接触する平板状の部分を有し、
前記第2の部分は、前記第1の部分と接触する平板状の部分を有し、
前記第1の部分は前記アクチュエータの上面に沿って配置され、前記アクチュエータの上面の方向に駆動され、前記第2の部分は前記アクチュエータの側面に沿って配置され、前記アクチュエータの側面の方向に駆動され、
前記第1の部分の前記平板状の部分の底面と、前記第2の部分の平板状の部分の側面が接触する、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。 - 前記アクチュエータと前記第1の部分との短絡を防止する第1の機械的止めバンプと、
前記アクチュエータと前記第2の部分との短絡を防止する第2の機械的止めバンプと、
を備える、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。 - 前記第1の部分は、前記アクチュエータの上面に沿って配置され、前記アクチュエータの上面の方向に駆動される第1の端と第2の端とを備え、
前記第2の部分は、前記アクチュエータの第1の側面に沿って配置され、前記アクチュエータの前記第1の側面の方向に駆動される第1のビームと、前記アクチュエータの第2の側面に沿って配置され、前記アクチュエータの前記第2の側面の方向に駆動される第2のビームとを備え、
前記第1の部分の前記第1の端と前記第2の部分の第1のビームが接触し、前記第1の部分の前記第2の端と前記第2の部分の第2のビームが接触する、請求項1に記載のマイクロ電気機械システムスイッチ。 - マイクロ電気機械システムスイッチの製造方法であって、
ベース基板に第1の電気絶縁面を設けるステップと、
前記第1の電気絶縁面上に半導電性の上部基板を設けるステップと、
前記上部基板上に第2のビームを画成するステップと、
前記第2のビームと前記上部基板上に第2の電気絶縁面を設けるステップと、
前記第2のビーム上に導電層を形成するステップと、
片持ビームと前記第2のビームとの間に重複しない領域を設けるように、前記上部基板上に前記片持ビームを配置するステップと、
前記上部基板をアクチュエータとして構成するステップと、
作動時には前記片持ビームと前記第2のビームとの間に電気経路を設けるステップとを含む方法。 - 前記重複しない位置は、前記第1及び第2の部分の移動方向において重複していない、請求項9に記載の方法。
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