CN103943420B - Mems继电器、悬臂梁开关及其形成方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种MEMS继电器，包括：至少一个悬臂梁开关对，其包括两个呈轴对称分布且自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个悬臂梁开关包括：悬臂结构；与悬臂结构的固定端相连的驱动上电极；位于悬臂结构下方的驱动下电极；位于悬臂结构的自由端的且与其绝缘的开关动触点；位于开关动触点下方的两个开关静触点；开关引线，开关引线与开关静触点相连，用于输出控制信号，其中，当两个悬臂梁开关为并联时，开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线；其中，当两个悬臂梁开关为串联时，开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线和两个L形引线。本发明的MEMS继电器具有布局紧凑，承载电压或承载功率高的优点。本发明还公开了一种悬臂梁开关及其形成方法。

Description

MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法

技术领域

本发明属于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技术领域，具体涉及一种MEMS继电器和一种悬臂梁开关及其形成方法。

背景技术

微机电系统（MEMS）是二十一世纪重要的科学技术之一，其涉及电子、机械、材料、信息、制造、生物、物理和化学等多种学科，具有微型化、智能化、多功能、高集成度、高可靠和适于批量生产等特点。MEMS继电器是MEMS技术领域中最基本且最重要的器件之一，在电子、生物、医学、能源、环境、航空和航天等领域有广阔的应用前景。

MEMS继电器主要的驱动方式包括静电、电磁、电热及混合驱动几种类型。电磁型MEMS继电器驱动电压较低、驱动力较大，但其使用频率较低、难于集成与封装；电热型驱动力较大，但其响应时间长、驱动功耗大；目前MEMS继电器主要的驱动方式是静电驱动，该类型的MEMS继电器响应快、频带宽、结构简单、易于制备与集成。静电继电器以平板电容极板或梳齿电容极板间的静电力为驱动力，通常驱动电压大于60V，很难在实际中获得应用。同时其提供的接触力一般也小于500μN，导致接触电阻较大（Ω级）。目前的MEMS继电器承载电流都较小（小于100mA），主要受电极工艺及接触电阻的限制。静电型MEMS继电器的驱动电压高、接触电阻大、承载电流小的缺点限制了其在实际中的广泛应用。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述技术问题之一或至少提供一种有用的商业选择。为此，本发明的目的在于提出一种承载电压高、承载功率高的MEMS继电器。本发明的另一个目的在于提出一种开关性能良好的悬臂梁开关及其形成方法。

为实现上述目的，本发明第一方面实施例的MEMS继电器包括：至少一个悬臂梁开关对，所述悬臂梁开关对包括两个呈轴对称分布且二者的悬臂结构的自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个所述悬臂梁开关包括：悬臂结构；驱动上电极，所述驱动上电极与所述悬臂结构的固定端相连；驱动下电极，所述驱动下电极位于所述悬臂结构的下方，其中，所述驱动上电极和驱动下电极极性相反，用于输入驱动信号；开关动触点，所述开关动触点位于所述悬臂结构的自由端且与所述悬臂结构绝缘；两个开关静触点，两个所述开关静触点分别位于所述开关动触点的下方，所述开关动触点和所述两个开关静触点根据所述驱动信号而接触或分离；开关引线，所述开关引线与所述开关静触点相连，用于输出控制信号，其中，当两个所述悬臂梁开关为并联时，所述开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线，其中，每个所述F形引线的位于两条横边的两个末端各自与两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点分别相连；其中，当两个所述悬臂梁开关为串联时，所述开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线和两个L形引线，所述U形引线的两个末端将两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点相连，所述两个L形引线的一个末端分别与剩下的两个开关静触点中的一个相连。

根据本发明实施例的MEMS继电器，通过将两个悬臂梁开关并联/串联，可以提高MEMS继电器的承载功率/承载电压。通过巧妙布局开关引线，使得开关信号能够顺利引出，并且具有布局紧凑的优点，有利于提高单位面积中悬臂梁开关数目，使得最终制得的MEMS继电器具有体积小的优点。

在本发明的一个实施例中，所述悬臂结构包括：悬臂梁，所述悬臂梁位于所述悬臂结构的固定端；接触梁，所述接触梁位于所述悬臂结构的自由端；驱动极板，所述驱动极板位于所述悬臂梁和所述接触梁之间。

在本发明的一个实施例中，所述悬臂梁和所述接触梁中的至少之一具有镂空。

在本发明的一个实施例中，所述驱动极板上设有阻尼孔。

在本发明的一个实施例中，在同一所述悬臂梁开关对中，分属所述两个悬臂梁开关的两个悬臂结构是通过先在两个固定端之间形成连桥结构、然后从中间截断而得到的。

在本发明的一个实施例中，当所述悬臂梁开关对的数目为多个时，多个所述悬臂梁开关对之间的连接关系为串联、并联或者串并联综合。

为实现本发明的目的，本发明第二方面实施例的悬臂梁开关，所述悬臂梁开关中的悬臂结构包括：悬臂梁，所述悬臂梁位于所述悬臂结构的固定端；接触梁，所述接触梁位于所述悬臂结构的自由端；驱动极板，所述驱动极板位于所述悬臂梁和所述接触梁之间。

根据本发明实施例的悬臂梁开关，具有刚度小、驱动电压小、稳定可靠的优点。

在本发明的一个实施例中，所述悬臂梁和所述接触梁中的至少之一具有镂空。

在本发明的一个实施例中，所述驱动极板上设有阻尼孔。

为实现本发明的目的，本发明第三方面实施例的悬臂梁开关的形成方法，所述悬臂梁开关为上文所述的悬臂梁开关，包括以下步骤：硅衬底完成键合步骤后，先光刻出所述悬臂梁、接触梁和驱动极板的大致结构，然后进行划片，然后通过ICP刻蚀出所述镂空和阻尼孔，最后进行裂片。

根据本发明实施例的悬臂梁开关的形成方法，能够得到结构精细、稳定可靠的悬臂梁开关，具有良率高的优点。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本发明一个实施例的包括一对并联的悬臂梁开关的MEMS继电器的示意图。

图2是图1所示的MEMS继电器的俯视方向的简化示意图。

图3是图1所示的MEMS继电器的侧视方向的简化示意图。

图4是本发明一个实施例的包括一对串联的悬臂梁开关的MEMS继电器的示意图。

图5是图4所示的MEMS继电器的俯视方向的简化示意图。

图6是图4所示的MEMS继电器的侧视方向的简化示意图。

图7是MEMS继电器中悬臂梁开关中的悬臂结构的示意图。

图8是包括两对内部为并联关系的悬臂梁开关的MEMS继电器的示意图。

图9是本发明一个实施例的悬臂梁开关中的悬臂结构的示意图。

图10-17是本发明一个实施例的MEMS继电器的形成方法的过程示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

图1是本发明一个实施例的包括一对并联的悬臂梁开关的MEMS继电器的示意图。图2是图1所示的MEMS继电器的俯视方向的简化示意图（仅示出与基板相接触的部分）。图3是图1所示的MEMS继电器的侧视方向的简化示意图（省略了开关引线部分）。如图1-图3所示，该MEMS继电器包括：至少一个悬臂梁开关对以及开关引线。悬臂梁开关对包括两个呈轴对称分布且二者的悬臂结构的自由端位置邻近的悬臂梁开关。每个所述悬臂梁开关包括：悬臂结构1、驱动上电极2、驱动下电极3、开关动触点4、两个开关静触点5-1和5-2。悬臂结构1可以通过支撑体固定在基板上（如图1所示），也可以省略支撑体，直接将悬臂结构1制成带支脚的形式直接固定在基板上。悬臂结构1由半导体或导体制成。驱动上电极2与悬臂结构1的固定端相连。驱动下电极3位于悬臂结构1的下方。驱动上电极2和驱动下电极3极性相反，用于输入驱动信号。开关动触点4位于悬臂结构1的自由端且与悬臂结构1绝缘。例如，可以在二者之间设置二氧化硅材料的绝缘层。两个开关静触点5-1和5-2分别位于开关动触点4的下方。开关动触点4和开关静触点5-1和5-2均由导电性良好的材料制成。并且通常将开关动触点4做成较大面积的块状、将开关静触点5-1和5-2做成较小面积的点状，以保证二者顺利接触。开关动触点4和开关静触点5-1和5-2根据驱动信号而接触或分离。具体地，当驱动上电极2和驱动下电极3之间输入的驱动信号是高电平时，悬臂结构1和驱动下电极3之间产生静电吸引力，悬臂结构1带动开关动触点4向下运动，开关动触点与开关静触点5-1和5-2接触，开关静触点5-1和5-2之间形成通路。当驱动上电极2和驱动下电极3之间输入的驱动信号是低电平时，悬臂结构1和驱动下电极3之间的静电吸引力撤销，悬臂结构1带动开关动触点4向上复位，开关动触点与开关静触点5-1和5-2分离，开关静触点5-1和5-2之间为断路。开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线6-1。两个F形引线6-1的对称中心点即一对悬臂梁开关中四个开关静触点的中心点。每个F形引线6-1的位于两条横边的两个末端各自与两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点分别相连。具体地，其中一条F形引线的位于两条横边的两个末端与属于第一个悬臂梁开关的开关静触点5-1和属于第二个悬臂梁开关的开关静触点5-1相连，另一条F形引线的位于两条横边的两个末端与属于第一个悬臂梁开关的开关静触点5-2和属于第二个悬臂梁开关的开关静触点5-2相连。此时，两条F型引线6-1的竖边的端点可以作为开关信号的两个输出端。

根据本发明上述实施例的包括一对并联的悬臂梁开关的MEMS继电器，通过将两个悬臂梁开关并联，可以提高MEMS继电器的承载功率。而且通过巧妙布局开关引线，使得开关信号能够顺利引出，并且具有布局紧凑的优点，有利于提高单位面积中悬臂梁开关数目，使得最终制得的MEMS继电器具有体积小的优点。

图4是本发明一个实施例的包括一对串联的悬臂梁开关的MEMS继电器的示意图。图5是图4所示的MEMS继电器的俯视方向的简化示意图（仅示出与基板相接触的部分）。图6是图4所示的MEMS继电器的侧视方向的简化示意图（省略了开关引线部分）。如图4-图6所示，该MEMS继电器包括：至少一个悬臂梁开关对以及开关引线。悬臂梁开关对包括两个呈轴对称分布且二者的悬臂结构的自由端位置邻近的悬臂梁开关。每个所述悬臂梁开关包括：悬臂结构1、驱动上电极2、驱动下电极3、开关动触点4、两个开关静触点5-1和5-2。悬臂结构1可以通过支撑体固定在基板上（如图1所示），也可以省略支撑体，直接将悬臂结构1制成带支脚的形式直接固定在基板上。悬臂结构1由半导体或导体制成。驱动上电极2与悬臂结构1的固定端相连。驱动下电极3位于悬臂结构1的下方。驱动上电极2和驱动下电极3极性相反，用于输入驱动信号。开关动触点4位于悬臂结构1的自由端且与悬臂结构1绝缘。例如，可以在二者之间设置二氧化硅材料的绝缘层。两个开关静触点5-1和5-2分别位于开关动触点4的下方。开关动触点4和开关静触点5-1和5-2均有导电性良好的材料制成。开关动触点4和开关静触点5-1和5-2根据驱动信号而接触或分离。具体地，当驱动上电极2和驱动下电极3之间输入的驱动信号是高电平时，悬臂结构1和驱动下电极3之间产生静电吸引力，悬臂结构1带动开关动触点4向下运动，开关动触点与开关静触点5-1和5-2接触，开关静触点5-1和5-2之间形成通路。当驱动上电极2和驱动下电极3之间输入的驱动信号是低电平时，悬臂结构1和驱动下电极3之间的静电吸引力撤销，悬臂结构1带动开关动触点4向上复位，开关动触点与开关静触点5-1和5-2分离，开关静触点5-1和5-2之间为断路。开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线6-2和两个L形引线6-3。开关引线的对称轴与一对悬臂梁开关的对称轴重合。U形引线6-2的两个末端将两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点相连。具体地，U形引线6-2的两个末端将属于第一个悬臂梁开关的开关静触点5-1和属于第二个悬臂梁开关的开关静触点5-1相连。其中一个L形引线6-3的一个末端与属于第一个悬臂梁开关的开关静触点5-2相连，另一个末端作为开关信号的输出端之一。另一个L形引线6-3的一个末端与属于第二个悬臂梁开关的开关静触点5-2相连，另一个末端作为开关信号的输出端之一。

根据本发明上述实施例的包括一对串联的悬臂梁开关的MEMS继电器，通过将两个悬臂梁开关串联，可以提高MEMS继电器的承载电压。而且通过巧妙布局开关引线，使得开关信号能够顺利引出，并且具有布局紧凑的优点，有利于提高单位面积中悬臂梁开关数目，使得最终制得的MEMS继电器具有体积小的优点。

在本发明一个实施例中，MEMS继电器中悬臂梁开关中的悬臂结构1可以如图7所示，包括：位于悬臂结构1的固定端的悬臂梁1-1、位于悬臂结构1的自由端的接触梁1-2，以及位于悬臂梁1-1和接触梁1-2之间的驱动极板1-3。其中，悬臂梁1-1和接触梁1-2优选采用半导体材料制成，以保证悬臂结构能够传导来自驱动上电极的电信号。驱动极板1-3优选采用表面镀有金属层的半导体材料，使得驱动极板1-3能够与悬臂结构1下方的驱动下电极3形成类似电容结构，二者之间的静电吸引力将更强。

优选地，悬臂梁1-1和接触梁1-2中的至少之一具有镂空。镂空的形状可以为方格孔、圆孔等等，其形状和数目可以根据需要灵活设置。具有镂空结构的梁与传统的实体结构的梁相比，更为轻巧，刚度更小，容易发生形变，驱动梁发生形变所需的驱动电压小，梁的稳定性也有所提高。

优选地，驱动极板1-3上设有阻尼孔。阻尼孔可以优化悬臂梁开关的动态特性，使开关接触时不产生二次跳动，断开时不产生剧烈震荡。

优选地，在同一悬臂梁开关对中，分属两个悬臂梁开关的两个悬臂结构1是通过先在两个固定端之间形成连桥结构然后从中间截断而得到的。具体地，由于两个悬臂梁开关对称设置，因此可以通过先在两个固定端之间形成一个整体的两端固定的连桥结构、然后从中间截断成两个半固定半悬空的悬臂结构得到的。这样既简化了制造工艺，提高了生产效率；也保证了两个悬臂梁开关基本相同，对称均匀；还使得分属两个悬臂梁开关的两组开关静触点位置邻近，便于紧凑排布开关引线。

优选地，MEMS继电器中包括多对悬臂梁开关对，多个悬臂梁开关对之间的连接关系为串联、并联或者串并联综合。将多个悬臂梁开关对进行串联和/或并联，可以进一步提高MEMS继电器的承载电压和/或承载功率。以两对内部为并联关系的悬臂梁开关的MEMS继电器为例，如图8所示。两个悬臂梁开关的开关引线上分别设有A、B和C、D四个端点。如果将B点与C点相连，然后以A点和D点作为MEMS继电器的开关信号的两个输出端，即是将两个悬臂梁开关对进行了串联。如果将A点和C点共同作为MEMS继电器的开关信号的一个输出端，并且将B点和D点作为MEMS继电器的开关信号的另一个输出端，即是将两个悬臂梁开关对进行了并联。

本发明还提出一种悬臂梁开关。图9是本发明一个实施例的悬臂梁开关中的悬臂结构的示意图。如图所示，悬臂结构可以包括：位于悬臂结构的固定端的悬臂梁101、位于悬臂结构的自由端的接触梁102，以及位于悬臂梁101和接触梁102之间的驱动极板103。其中，悬臂梁101和接触梁102优选采用半导体材料制成，以保证悬臂结构能够传导驱动信号。驱动极板103优选采用表面镀有金属层的半导体材料，使得驱动极板103能够与其他结构之间的静电吸引力将更强。

优选地，悬臂梁101和接触梁102中的至少之一具有镂空。镂空的形状可以为方格孔、圆孔等等，可以根据需要灵活设置。具有镂空结构的梁与传统的实体结构的梁相比，更为轻巧，刚度更小，容易发生形变，驱动梁发生形变所需的驱动电压小，梁的稳定性也有所提高。

优选地，驱动极板103上设有阻尼孔。阻尼孔可以优化悬臂梁开关的动态特性，使开关接触时不产生二次跳动，断开时不产生剧烈震荡。

本发明还提出一种上文所公开的悬臂梁开关的形成方法，包括以下步骤：硅衬底完成键合步骤后，先光刻出所述悬臂梁、接触梁和驱动极板的大致结构，然后进行划片，然后通过ICP刻蚀出所述镂空和阻尼孔，最后进行裂片。通过“光刻-划片-ICP刻蚀释放-裂片”的特定工艺顺序，保证了得到的悬臂梁开关的精细结构不受损伤，产品良率高。

为使本领域技术人员更好地理解本发明，申请人详细介绍下本发明实施例的MEMS继电器的形成方法。

步骤1.制备MEMS继电器的下半部分

选取尺寸合适的Pyrex或Corning7740玻璃片，按标准流程清洗备用。在玻璃片上旋涂光刻胶，光刻形成驱动下电极、开关静触点和引线的图案。利用HF腐蚀以形成3000～5000埃浅槽，然后溅射钛/铂/金组合，厚度为200～400/100～300/3000～5000埃。随后去除残胶并剥离多余金属。此时得到的带有驱动下电极30、开关静触点50和引线60的MEME继电器的下半部分，如图10所示。

步骤2.制备MEMS继电器的上半部分

选取尺寸合适的、厚度在200～500μm之间，电阻率低于0.05Ω·cm的单晶硅衬底或绝缘体上硅衬底（SOI），按标准流程清洗备用。对硅或SOI衬底进行重掺杂处理，扩散P或B以使该单晶硅或SOI衬底转为低阻。

然后在预设支撑体区域（又称“锚区”）通过低压化学气相沉积（LPCVD）或热氧化的方式沉积SiO2材料的硬掩膜11。此时的硅衬底如图11所示。

结合光刻、刻蚀和沉积工艺，将硅衬底加工成预设支撑体区域最厚、预设开关动触点区域次之、其他区域最薄的形状，如图12所示。

在预设开关动触点区域通过低压化学气相沉积（LPCVD）或热氧化的方式沉积SiO2材料以形成绝缘层41，如图13所示。

溅射铬/金（Cr/Au）层，厚度为100～500/3000～5000埃。旋涂或喷涂光刻胶，然后光刻，以在绝缘层41之上形成开关动触点40。此时硅衬底如图14所示。

步骤3.将MEMS继电器的上半部分和下半部分键合

将上半部分的硅衬底垂直翻转180°，与下半部分的玻璃对齐后进行键合，形成硅—玻璃组合结构，如图15所示。其中，键合温度300～500℃，键合电压800～1200V。

需要说明的是，键合之前的步骤可以由技术人员根据实际需要灵活选择，不改变本发明的原理。本发明实施例的悬臂梁开关的形成方法的改进点主要体现在后续步骤中。

步骤4、光刻和划片

利用KOH腐蚀减薄硅—玻璃组合结构的硅衬底，减薄厚度至5～50μm。

然后硅—玻璃组合结构的硅衬底上，溅射Al掩膜层，然后旋涂光刻胶，再光刻形成包括悬臂梁、驱动极板、接触梁的大致结构，如图16所示。紧接着进行划片。

步骤5、结构释放

在完成划片后，ICP刻蚀出细小镂空和阻尼孔结构，实现继电器的结构释放。

步骤6、裂片

在ICP刻蚀完成后进行裂片，以形成单个悬臂梁开关。如图17所示。

在上述实施例中，通过“光刻-划片-ICP刻蚀释放-裂片”的特定工艺顺序，保证了得到的悬臂梁开关的精细结构不受损伤，产品良率高。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (6)

1.一种MEMS继电器，其特征在于，包括：

至少一个悬臂梁开关对，所述悬臂梁开关对包括两个呈轴对称分布且二者的悬臂结构的自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个所述悬臂梁开关包括：

悬臂结构；

驱动上电极，所述驱动上电极与所述悬臂结构的固定端相连；

驱动下电极，所述驱动下电极位于所述悬臂结构的下方，其中，所述驱动上电极和驱动下电极极性相反，用于输入驱动信号；

开关动触点，所述开关动触点位于所述悬臂结构的自由端且与所述悬臂结构绝缘；

两个开关静触点，两个所述开关静触点分别位于所述开关动触点的下方，所述开关动触点和所述两个开关静触点根据所述驱动信号而接触或分离；

开关引线，所述开关引线与所述开关静触点相连，用于输出控制信号，

其中，当两个所述悬臂梁开关为并联时，所述开关引线包括呈中心对称分布的两个F形引线，其中，每个所述F形引线的位于两条横边的两个末端各自与两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点分别相连；

其中，当两个所述悬臂梁开关为串联时，所述开关引线包括呈轴对称分布的一个U形引线和两个L形引线，所述U形引线的两个末端将两个分属不同悬臂梁开关的开关静触点相连，所述两个L形引线的一个末端分别与剩下的两个开关静触点中的一个相连。

2.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，所述悬臂结构包括：

悬臂梁，所述悬臂梁位于所述悬臂结构的固定端；

接触梁，所述接触梁位于所述悬臂结构的自由端；

驱动极板，所述驱动极板位于所述悬臂梁和所述接触梁之间。

3.根据权利要求2所述的MEMS继电器，其特征在于，所述悬臂梁和所述接触梁中的至少之一具有镂空。

4.根据权利要求2所述的MEMS继电器，其特征在于，所述驱动极板上设有阻尼孔。

5.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，在同一所述悬臂梁开关对中，分属所述两个悬臂梁开关的两个悬臂结构是通过先在两个固定端之间形成连桥结构、然后从中间截断而得到的。

6.根据权利要求1所述的MEMS继电器，其特征在于，当所述悬臂梁开关对的数目为多个时，多个所述悬臂梁开关对之间的连接关系为串联、并联或者串并联综合。