CN101866780A - 微机电系统开关 - Google Patents

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Abstract

本发明提出了一种具有电路径的微机电系统开关。该开关包括第一部分和第二部分。在开关处于打开位置(或处于闭合位置，取决于开关架构)时，第二部分相对于第一部分而偏移至零重叠位置。该开关还包括用于移动第一部分和第二部分使其接触的致动器。

Description

微机电系统开关
技术领域
本发明通常涉及一种开关，尤其是涉及微机电系统开关。
背景技术
已经发现使用微机电系统(MEMS)开关比传统的固态开关更具优势。例如，已经发现MEMS开关具有高功效、低插入损耗以及优良的电绝缘性。
MEMS开关是使用机械运动以实现电路中的短路(连接)或开路(断开)的装置。可使用诸如静电的、磁的、压电的或热的致动等各种类型的致动机构来获得机械运动所需的力。静电致动的开关已被证明具有高可靠性和晶片规模的制造技术。这种MEMS开关的构造和设计已在不断地改进。
诸如关态电压(开关的触点之间)和吸合电压(致动器和触点之间)的开关特征在MEMS开关的设计中被考虑。典型地，在努力获得更高的关态电压时，出现吸合电压降低的矛盾的特性。传统上，增加梁厚度和间隙尺寸能提高关态电压。然而，这也增加了吸合电压且这是不期望的。
存在着对改进的MEMS开关的需求，该MEMS开关具有相当高的关态电压并同时具有相当低的吸合电压，且不需要开关设计的额外复杂性。
发明内容
简单来说，提出了一种具有电路径的微机电系统开关。该开关包括第一部分和第二部分。当开关处于打开位置(或处于闭合位置，取决于开关架构)时，第二部分相对于第一部分而偏移至零重叠位置。该开关还包括用于移动第一部分和第二部分使其接触的致动器。
在一个实施例中，提出了一种产生或断开电连接的装置。该装置包括致动器和承载电流的悬臂梁。该装置还包括承载电流的终端，其中，终端相对于悬臂梁而设置在零重叠位置。
在一个实施例中，提出了一种具有电路径的微机电系统开关。该开关包括第一部分和第二部分，其中，第二部分相对于第一部分而偏移至零重叠位置。该开关还包括致动器，该致动器用于移动第一部分和第二部分使其在致动时接触，或在致动解除时分离。
在一个实施例中，提出了一种具有电路径的开关。该开关包括第一部分和第二部分，其中，第二部分相对于第一部分而偏移至零重叠位置。第二部分相对于第一部分而设置在平面内。提供了用于移动第一部分和第二部分使其接触的致动器。
在一个实施例中，提出了具有电路径的开关。该开关包括第一梁和第二梁，其中，第二梁相对于第一梁而偏移至零重叠位置。第一梁从上基板悬停。提供了用于移动第一梁和第二梁以产生接触的致动器。此外，提供了第二致动器或第三致动器，以积极地打开开关的第一梁和第二梁。
在一个实施例中，一对以上的平面内和平面外的移动部分可以布置在同一个致动器周围，以形成开关。
在一个实施例中，提出了一种制造微机电开关的方法。该方法包括提供具有电绝缘第一表面的底基板，提供具有形成在底基板的第一表面上的第二表面的导电或半导电的顶基板。该方法还包括将顶基板的第二表面附接到底基板的第一表面上，蚀刻顶基板以限定电极，用绝缘层涂覆顶基板，以及在顶基板上形成单一或复合的悬臂梁，且在悬臂梁和电极之间形成零重叠区域。使用半导体晶片键合技术可以将顶基板和底基板附接在一起，或可以使用绝缘体上的硅(SOI)以替代两个键合的基板。在又一实施例中，通过硅片键合技术或其他技术，可一个悬臂梁形成在第三基板上并附接到顶基板上，且在悬臂梁和顶基板之间形成有所需间隙。
附图说明
当参照附图并阅读以下的详细描述时，将更好地理解本发明的这些以及其他的特征、方面以及优点，在所有附图中，相似的符号代表相似的部件，其中：
图1是根据本技术的一个方面实施的微机电系统(MEMS)开关的顶视图；
图2是图1中的MEMS开关的局部透视图；
图3是图2中的MEMS开关的横截面图；
图4是图1的MEMS开关的另一个实施例；
图5是根据本技术的一个方面的示范性MEMS开关的横截面图；
图6是根据本技术的一个方面的实施三梁构造的MENS开关的横截面图；
图7是制造根据本发明的MEMS开关的示范性阶段；以及
图8是制造根据本发明的MEMS开关的示范性方法的流程。
构件列表
10MEMS开关
12悬臂梁/第一部分
14顶基板
16致动器
17绝缘层
18第二梁
19位置
20位置
22导电层
24基板
26底部
28自由直立尖端
32处于“打开”位置的MEMS开关
34平面外方向
36平面内方向
38位置
40处于“闭合”位置的MEMS开关
42位置
44MEMS开关
48第一机械止动凸点
50第二机械止动凸点
54MEMS开关
56上基板
58第一梁
60固定端
62位置
64位置
66预定的间隙
68静电力
72MEMS开关
74第一梁
76自由移动端
78自由移动端
80第二梁
82第三梁
84顶基板
86MEMS开关
88静电力
90静电力
94提供底基板、绝缘层、顶基板
95绝缘层
96顶基板
98限定第二梁
100移除顶基板材料
102设置绝缘层
104固定悬臂梁，提供导电层
108制作MEMS开关的示范性方法
110提供底基板
112将第一绝缘层设置底基板上
114在第一绝缘层上提供顶基板
116在顶基板上形成第二梁
118在顶基板和第二梁上提供第二绝缘层
119在顶基板上设置悬臂梁
120在第二梁上提供形成电接触的导电层
具体实施方式
MEMS开关可以控制电的、机械的或光学的信号流。MEMS开关通常提供低损耗和高绝缘性。此外，与固态开关相比，MEMS开关提供了显著的尺寸缩小、低功耗以及成本优势。MEMS开关还提供诸如宽带运行的优势(可以在宽的频率范围内运行)。MEMS开关的这些属性显著增加了功率处理能力。低损耗、低失真和低功耗使得MEMS开关可适用于诸如电信应用、模拟开关电路以及开关电源。MEMS开关也理想地适用于目前采用高性能机电、簧片继电器以及其他的单功能开关技术的应用。
MEMS开关可采用诸如静电的、磁的、压电的或热的致动的一个或多个致动机构。与其他致动方法相比，静电致动提供了快速的致动速度和适度的力。静电致动要求超低功率，因为对应于各开关事件通常要求纳米焦耳级的功率，当开关处于关闭或打开状态时，不消耗功率。该方法比更耗功率的磁性开关激活方法更适合于功率敏感的应用，磁性开关激活方法在这种应用中传统上由机械继电器使用。例如，常规的继电器用高的机械力(接触和返回)运行短的寿命(通常大约100万次)。MEMS开关用更低的力运行更长的寿命。低接触力的好处是增加接触寿命。然而，较低的接触力定性地改变接触行为，尤其增加了对表面形貌和污染物的敏感性，并且相应的低返回力使开关容易受粘附的影响。
现转到图1，根据本技术的一个方面实施的MEMS开关的顶视图。MEMS开关10包括具有第一部分12和第二部分18的电路径。第一部分12(悬臂梁)设置在致动器16上。绝缘层17设置在致动器16和悬臂梁12之间。第二部分18(第二梁或终端)设置在顶基板14上。第二梁18设置在相对于悬臂梁12的偏移位置，从而形成零重叠位置。致动器16配置成在操作开关10的期间提供用于移动悬臂梁12和第二梁18使其接触的静电力。在示范性实施例中，当开关10处于“打开”状态时，第二梁18在位置19处待机，而当开关10处于“闭合”状态时，移动至位置20制动。
图2是参考数字10所示的图1的MEMS开关的局部透视图。作为悬臂梁而引用的第一部分12设置在致动器16之上。悬臂梁12包括设置在绝缘层17上的底部26和自由直立尖端28。悬臂梁12的自由直立尖端28悬停在第二梁18(终端)之上。第二梁18包括导电层22，该导电层设置在将与悬臂梁12接触的表面。基底容纳了大量的电子装置，例如使MEMS开关10运行所需的驱动电路和保护电路。悬臂梁12和终端18也可以被称为电极对。MEMS开关设计人员面临的挑战之一是电极对的不期望的接触。当处于“打开”位置时，MEMS开关的电极理想地定位成非常接近。通过将电极放置得很近，从而减少使梁偏转至“闭合”位置所需的功率(或吸合电压)。然而，电极的不需要的接触可能从这种设计中产生。理想情况下，MEMS开关要求致动器16和电极对12、18之间的电压(关态电压)高且吸合电压低。为了实现更高的关态电压，必须将电极彼此远离地放置，这将导致更高的吸合电压。为了实现高关断比率和低的吸合电压是如上所述的矛盾。关断比率定义为关态电压对吸合电压的比率。然而，本发明的实施例巧妙地接合以增加关断比率。
图3是图2的MEMS开关的横截面图。处于“打开”位置(一种运行状态)的MEMS开关通常由参考数字32表示。在悬臂梁12可以相对于致动器16沿平面外方向34自由地移动(弯曲)。例如，当处于“打开”位置时，悬臂梁12从位置38移动；当处于“闭合”位置时，移动至42。类似地，第二梁18配置成相对于致动器16沿平面内方向36弯曲。当MEMS开关处于“打开”情形时，悬臂梁在待机位置19，类似地，第二梁18在第一位置19。在运行期间，处于“闭合”位置的MEMS开关由参考数字40表示，向致动器16施加电压，产生的静电力将第二梁18向致动器16拉至位置20。类似地，从致动器16相对于悬臂梁12的电压产生静电力，该静电力将悬臂梁12向致动器16拉至位置42。在这一点，开关是闭合的，电路径是穿过悬臂梁12和第二梁18而形成。由于致动是静电的，因而不需要静态电流来保持闭合。
在本发明的一个实施例中，悬臂梁12和第二梁18被设计成具有稍稍不同的机械特性。不同的诸如硬度的机械特性有助于在MEMS开关的一个运行期间实现悬臂梁12和第二梁18的不同的运动速度。在闭合期间，第二梁18相对悬臂梁12移动得更快，导致悬臂梁12靠近第二梁18的顶部。在打开期间，悬臂梁12相对于第二梁18移动以断开接触。通过使用相对于第二梁18更硬的悬臂梁12，可以实现推荐的运行顺序。悬臂梁12和第二梁18的材料选择和几何尺寸(长度、宽度、厚度)可确定机械特性。在一个示范性实施例中，可施加不同的致动电压以实现闭合悬臂梁12和第二梁18的运行顺序。例如，可向致动器16施加多级步进电压，包括第一步进电压和第二步进电压。悬臂梁12可配置成第一吸合电压，第二梁可配置成比第一吸合电压小的第二吸合电压。最初，可向致动器16施加第一步进电压，其中，第一步进电压大于第二吸合电压而小于第一吸合电压，致动第二梁18至闭合。随后，可向致动器16施加第二步进电压，其中，第二步进电压大于第一吸合电压，致动悬臂梁12移动并与第二梁18接触。
在示范性实施例中，顶基板14可配置成形成针对第二梁18的第二致动器。在MEMS开关的打开期间，可激活第二致动器14，以向第二梁18提供静电力，并将第二梁18拉离悬臂梁12。
图4中图示了MEMS开关的另一实施例(参考数字44)。在MEMS开关的“闭合”位置，悬臂梁12可配置成在第一机械止动凸点48上待机，类似地，第二梁18可配置成在第二机械止动凸点50上待机。在示范性实施例中，止动凸点由绝缘材料、半导电材料或导电材料中的至少一种制成。如本领域的技术人员能够领会的，提供这种机械止动凸点48和50可避免在悬臂梁和致动器之间发生意外和不期望的短路。
图5是根据本技术的一个方面的示范性MEMS开关的横截面图。开关54配置成提供具有第一梁58和第二梁18的电路径。第二梁18相对于第一梁58偏移到零重叠位置。第一梁58具有从上基板56悬停的固定端60。当MEMS开关处于打开位置62时，上基板56设有预定的间隙66以保持第一梁58和致动器16之间的绝缘。此外，绝缘层17设置在上基板和第一梁之间。
在MEMS开关54的运行期间，施加电压以使致动器16偏置。该偏置提供了静电力68。由于该产生的静电力，悬臂梁58沿平面外方向从位置62致动至位置64。类似地，第二梁18沿平面内方向从位置19致动至位置20。当处于“闭合”状态时，处于位置64悬臂梁58和处于位置20的第二梁18形成电路径。如前面所讨论的，通过梁的不同机械特性或多级步进电压致动而实现致动顺序。
图6是根据本技术的一个方面的实施三梁构造的MEMS开关的横截面图。MEMS开关72包括具有绝缘层17的底基板24。顶基板84设置在绝缘层17上。具有至少两个自由移动端76、78的第一梁74锚定在顶基板84上。绝缘层85将顶基板84和第一梁74电绝缘。顶基板还限定了相对于第一梁74的自由移动端76、78而设置在平面外的第二梁80和第三梁82。这种平面外的设置提供了第二梁80和第一梁74的自由移动端76之间的零重叠位置。类似地，第三梁82和第一梁74的自由移动端78之间也存在着零重叠位置。
在运行期间，由参考数字86所示的MEMS开关处于“闭合”位置。顶基板84配置成形成致动器84。一旦向致动器84提供电压(致动)，则产生静电力，以向第一梁74的自由移动端76、78，第二梁80以及第三梁82提供运动。可以发现，自由移动端76、78沿平面外方向(90)致动，而第二梁80、第三梁82沿平面内方向(88)致动。致动器84产生静电力88、90。静电力88为第二梁80和第三梁82提供了吸引力以用于平面内致动。类似地，静电力90为自由运动端76、78提供了吸引力以用于平面外致动。在这种“闭合”状态(MEMS开关的运行状态)中，电路径形成在第一梁74、第二梁80以及第三梁82之间。
图7图示了制造MEMS开关的示范性阶段。在最初阶段(94)，提供底基板24。在一个实施例中，底基板24是硅基板。在第二阶段，绝缘层95形成在底基板24上。此外，在第二阶段，顶基板96形成在绝缘层95上。在一个实施例中，顶基板是导电层。在另一实施例中，顶基板是半导电层。在第三阶段98，通过从顶基板96部分地移除顶基板材料100而限定第二梁18。在第四阶段102，绝缘层17设置在顶基板上。绝缘层覆盖顶基板和第二梁18。在第五阶段104，具有固定端26的悬臂梁12锚定在顶基板16上。可以发现，悬臂梁12和致动器16通过绝缘层17而电绝缘。导电层22形成在第二梁18的顶部上，以在处于“闭合”位置时提供悬臂梁12和第二梁18之间的电路径。
图8是制造图1的MEMS开关的示范性方法的流程。该方法108包括提供底基板(步骤110)。在底基板上设置第一绝缘层(步骤112)。在第一绝缘层上设置顶基板(步骤114)。在顶基板上限定第二梁18，如步骤116。在第二梁和顶基板上提供第二绝缘层(步骤118)。在步骤119，在顶基板上设置悬臂梁。在步骤120，提供在第二梁上限定电接触的导电层。
通过这种设计，梁沿平面外方向和平面内方向有利地致动。这导致两个梁之间无重叠区域。该开关的设计将吸合电压与关态电压分离并消除了重叠领域。这种零重叠往往导致高关态电压以及可调吸合电压。
虽然本文中仅图示并描述了本发明的某些特征，但本领域的技术人员将想到许多修改和变化。因此，应当理解，所附的权利要求旨在覆盖落入本发明的真实要旨内的所有这些修改和变化。

Claims (10)

1.一种微机电系统开关，包括：
电路径，包括第一部分和第二部分，其中，所述第二部分相对于所述第一部分而偏移至零重叠位置；
致动器，用于移动所述第一部分和所述第二部分使其接触。
2.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述电路径配置成承载电流。
3.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述致动器配置成产生静电力。
4.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述第一部分相对于所述第二部分而设置在平面外。
5.一种产生或断开电连接的装置，该装置包括：
致动器；
承载电流的悬臂梁；
承载电流的终端，其中，所述终端相对于所述悬臂梁而设置在零重叠区域。
6.一种微机电系统开关，包括：
电路径，包括第一部分和第二部分，其中，所述第二部分相对于所述第一部分而偏移至零重叠位置；
致动器，用于移动所述第一部分和所述第二部分使其在致动时接触，或在致动解除时分离。
7.一种开关，包括：
电路径，包括第一梁和第二梁，其中，所述第二梁相对于所述第一梁而偏移至零重叠位置，所述第一梁从上基板悬停。
致动器，用于移动所述第一梁和所述第二梁以产生接触和断开接触。
8.一种微机电系统开关，包括：
电路径，包括第一梁，其中，所述第一梁包括至少两个自由移动端；
第二梁，相对于所述第一梁而设置在平面外；
第三梁，相对于所述第一梁而设置在平面外，其中，所述第二梁和所述第三梁相对于所述第一梁而偏移至零重叠位置；以及
致动器，用于移动所述第一梁、所述第二梁以及所述第三梁，以产生接触和断开接触。
9.根据权利要求8所述的微机电系统开关，其特征在于，所述接触包括所述第一梁、所述第二梁以及所述第三梁。
10.一种制造微机电开关的方法，包括：
提供具有第一电绝缘表面的底基板；
在所述第一电绝缘表面上提供半导电的顶基板；
在所述顶基板上限定第二梁；
在所述第二梁和所述顶基板上提供第二电绝缘表面；
在所述第二梁上形成导电层；
在所述顶基板上设置悬臂梁，在所述悬臂梁和所述第二梁之间提供零重叠区域；
配置所述顶基板以作为致动器；以及
致动时在所述悬臂梁和所述第二梁之间提供电路径。
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US12/340,775 US8093971B2 (en) 2008-12-22 2008-12-22 Micro-electromechanical system switch
US12/340775 2008-12-22

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US (1) US8093971B2 (zh)
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JP (1) JP5588663B2 (zh)
KR (1) KR101745722B1 (zh)
CN (1) CN101866780B (zh)
CA (1) CA2688117A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102163516A (zh) * 2011-01-10 2011-08-24 东南大学 一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关
CN103183309A (zh) * 2012-01-03 2013-07-03 国际商业机器公司 微机电系统（mems）结构和设计结构
CN103943420A (zh) * 2014-04-15 2014-07-23 清华大学 Mems继电器、悬臂梁开关及其形成方法
CN107078000A (zh) * 2014-10-21 2017-08-18 埃尔曼斯公司 坚固的微机电开关

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8779886B2 (en) * 2009-11-30 2014-07-15 General Electric Company Switch structures
US9371222B2 (en) * 2013-03-15 2016-06-21 Honeywell International Inc. Microstructure plating systems and methods
GB201414811D0 (en) 2014-08-20 2014-10-01 Ibm Electromechanical switching device with electrodes comprising 2D layered materials having distinct functional areas
KR101943763B1 (ko) * 2017-11-20 2019-01-29 주식회사 풍산 전자식 소형 충격 스위치
KR20240002545A (ko) 2022-06-29 2024-01-05 서울대학교산학협력단 나노 전기기계 소자
FR3138657A1 (fr) * 2022-08-08 2024-02-09 Airmems Commutateur MEMS à multiples déformations et commutateur comprenant un ou plusieurs commutateurs MEMS

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6020564A (en) 1998-06-04 2000-02-01 Wang Electro-Opto Corporation Low-voltage long life electrostatic microelectromechanical system switches for radio-frequency applications
US6160230A (en) * 1999-03-01 2000-12-12 Raytheon Company Method and apparatus for an improved single pole double throw micro-electrical mechanical switch
KR100335046B1 (ko) * 2000-05-24 2002-05-03 윤덕용 푸시-풀 형태의 미소 기전 초고주파 스위치
US6483419B1 (en) * 2000-09-12 2002-11-19 3M Innovative Properties Company Combination horizontal and vertical thermal actuator
US6529093B2 (en) * 2001-07-06 2003-03-04 Intel Corporation Microelectromechanical (MEMS) switch using stepped actuation electrodes
US6917268B2 (en) * 2001-12-31 2005-07-12 International Business Machines Corporation Lateral microelectromechanical system switch
JP4191942B2 (ja) * 2002-03-25 2008-12-03 株式会社アドバンテスト スイッチ及びアクチュエータ
JP2004134370A (ja) * 2002-07-26 2004-04-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd スイッチ
KR20040092228A (ko) * 2003-04-25 2004-11-03 엘지전자 주식회사 저전압 마이크로 스위치
US7432788B2 (en) * 2003-06-27 2008-10-07 Memscap, Inc. Microelectromechanical magnetic switches having rotors that rotate into a recess in a substrate
JP4540443B2 (ja) * 2004-10-21 2010-09-08 富士通コンポーネント株式会社 静電リレー
US7453339B2 (en) * 2005-12-02 2008-11-18 Palo Alto Research Center Incorporated Electromechanical switch
EP1974364A1 (en) * 2006-01-20 2008-10-01 Joachim Oberhammer Switch, method and system for switching the state of a signal path
WO2007130913A2 (en) 2006-05-01 2007-11-15 The Regents Of The University Of California Metal-insulator-metal (mim) switching devices
US7473859B2 (en) * 2007-01-12 2009-01-06 General Electric Company Gating voltage control system and method for electrostatically actuating a micro-electromechanical device
US7602267B1 (en) * 2007-05-25 2009-10-13 National Semiconductor Corporation MEMS actuator and relay with horizontal actuation

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102163516A (zh) * 2011-01-10 2011-08-24 东南大学 一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关
CN102163516B (zh) * 2011-01-10 2013-04-03 东南大学 一种无电荷注入效应高可靠性电容式射频微机电系统开关
CN103183309A (zh) * 2012-01-03 2013-07-03 国际商业机器公司 微机电系统（mems）结构和设计结构
CN103183309B (zh) * 2012-01-03 2015-10-28 国际商业机器公司 微机电系统（mems）结构和设计结构
US9233831B2 (en) 2012-01-03 2016-01-12 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures
US9580298B2 (en) 2012-01-03 2017-02-28 International Business Machines Corporation Micro-electro-mechanical system (MEMS) structures and design structures
CN103943420A (zh) * 2014-04-15 2014-07-23 清华大学 Mems继电器、悬臂梁开关及其形成方法
CN107078000A (zh) * 2014-10-21 2017-08-18 埃尔曼斯公司 坚固的微机电开关
CN107078000B (zh) * 2014-10-21 2019-06-18 埃尔曼斯公司 坚固的微机电开关

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