JP5688757B2 - 回路装置 - Google Patents
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Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1は、本発明の実施の形態1における回路装置の構成を示す構成図である。この回路装置は、入力信号に対して既知の信号量を出力する第1素子101と、入力信号に対して未知の信号量を出力する第2素子102と、第1素子101および第2素子102に同じ入力信号を供給する電源103と、電源103より供給される電圧が印加された第1素子101より出力される信号量を検出する第1検出回路104と、電源103より供給される電圧が印加された第2素子102より出力される信号量を検出する第2検出回路105と、第1検出回路104が検出した信号量と第2検出回路105が検出した信号量との差分に対応する信号を出力する差分回路106とを備える。
はじめに、参考例1について説明する。図2は、参考例1における回路装置の構成を示す回路図である。この回路装置は、半導体容量素子(第1素子)201と、MEMS技術を用いて作製した静電アクチュエータ(第2素子)202と、パルス電圧P1を出力する電源203とを備える。静電アクチュエータ202は、図3に示すように、基板221の上に支持部212により支持された梁部223を備え、基板221に形成された固定電極224に対向し、梁部223に可動電極225を備えている。可動電極225が、端子210に接続されている。ここで、半導体容量素子201の容量値は、静電アクチュエータ202の容量値より小さい値であることが望ましい。
次に、実施例1について説明する。図6は、実施例1における回路装置の構成を示す回路図である。この回路装置は、第1素子601と、静電アクチュエータ(第2素子)202と、電源203と、第1検出回路604と、第2検出回路605と、差分回路206と、第1スイッチ207と、第2スイッチ208を備えている。本実施例では、まず、第1素子601を図7に示す回路構成とした。また、参考例1の第1検出回路204を構成している容量素子を図7に示す回路構成の回路641とした第1検出回路604とし、参考例1の第2検出回路205を構成している容量素子を図7に示す回路構成の回路651とした第2検出回路605としている。他の構成は、参考例1と同様である。
次に,参考例2について説明する。図8は、参考例2における回路装置の構成を示す回路図である。この回路装置は、半導体容量素子(第1素子)201と、静電アクチュエータ(第2素子)202と、第1検出回路204と、第2検出回路205と、差分回路206と、第1スイッチ207と、第2スイッチ208を備えている。これらの構成は、参考例1と同様である。
次に、参考例3について説明する。図9は、参考例3における回路装置の構成を示す回路図である。この回路装置は、参考例2の回路装置の第1スイッチ207,第2スイッチ208,PMOSFET831,およびPMOSFET832を、図10に示す回路構成とした第1スイッチ907,第2スイッチ908,第3スイッチ931,第4スイッチ932に変更している。
次に、実施例2について説明する。図11は、実施例2における回路装置の構成を示す回路図である。この回路装置は、参考例3における回路装置の半導体容量素子201,第1検出回路204の容量素子,第2検出回路205の容量素子を、図7に示す回路構成とした第1素子601,回路641,回路651に変更し、第1検出回路204および第2検出回路205を、第1検出回路604および第2検出回路605としている。他の構成は、参考例3と同様である。
次に、参考例4について説明する。図12は、参考例4における回路装置の構成を示す構成図である。この回路装置は、入力信号に対して未知の信号量を出力する素子1201と、素子1201に入力信号を供給する電源1202と、電源1202より供給される電圧が印加された素子1201より出力される信号量を検出する検出回路1203と、入力信号が未入力の素子1201より出力される信号量を検出回路1203で検出した初期信号量が記憶されている記憶部1204と、検出回路1203が検出した信号量と記憶部1204より出力される初期信号量との差分に対応する信号を出力する差分回路1205とを少なくとも備える。なお、記憶部1204には、様々な記憶方法による手段を組み合わせ可能な範囲で適用可能であることは言うまでもない。
Claims (3)
- 入力信号に対して既知の信号量を出力する第1素子と、
入力信号に対して未知の信号量を出力する第2素子と、
前記第1素子および前記第2素子に同じ入力信号を供給する電源と、
前記電源より供給される電圧が印加された前記第1素子より出力される信号量を検出する第1検出回路と、
前記電源より供給される電圧が印加された前記第2素子より出力される信号量を検出する第2検出回路と、
前記第1検出回路が検出した信号量と前記第2検出回路が検出した信号量との差分に対応する信号を出力する差分回路と
を少なくとも備え、
前記第1素子は、各々容量が異なる複数の容量素子から構成され、
前記第2素子は、対向して配置されて互いの距離が可変とされた2つの電極から構成され、
前記第1検出回路および前記第2検出回路は、前記第1素子と同一の構成とした複数の容量素子を備える
ことを特徴とする回路装置。 - 請求項1記載の回路装置において、
前記第1素子より前記第1検出回路に出力される信号の切り替えを行う第1スイッチと、
前記第2素子より前記第2検出回路に出力される信号の切り替えを行う第2スイッチと
を備えることを特徴とする回路装置。 - 請求項1または2記載の回路装置において、
前記電源は、周期的に変化する電圧を供給することを特徴とする回路装置。
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