JP6041309B2 - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6041309B2 JP6041309B2 JP2013046396A JP2013046396A JP6041309B2 JP 6041309 B2 JP6041309 B2 JP 6041309B2 JP 2013046396 A JP2013046396 A JP 2013046396A JP 2013046396 A JP2013046396 A JP 2013046396A JP 6041309 B2 JP6041309 B2 JP 6041309B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- gap
- pressure sensor
- pressure
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
この圧力センサによれば、通気孔を介して収納容器内に伝わる圧力変動と、この圧力変動に遅れて追従する透孔又は凹部内部の圧力との差圧の大きさに応じて圧電素子が振動する。その結果、上記圧力センサは、圧電素子に生ずる電圧変化に基づいて、収納容器に伝わる圧力変動を検出することが可能とされる。
(1)本発明の一態様に係る圧力センサは、圧力変動を検出する圧力センサであって、内部にキャビティを形成し、前記キャビティと外部とを連通する連通開口を有する中空のセンサ本体と、先端部が自由端かつ基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口を塞ぐように配置され、前記キャビティと前記センサ本体の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を検出する変位検出部と、前記カンチレバーの先端部との間に前記連通開口の一部を構成するギャップを形成するギャップ形成部材と、を備え、前記カンチレバーおよび前記ギャップ形成部材のうち少なくとも何れかは、前記ギャップの大きさを変更するようにして相対的に近接または離間する方向に変位可能である。
また、複数の圧力センサのギャップに製造時などのばらつきが存在する場合であっても、ギャップの大きさを均一化することができるとともに、圧力センサが適用される状況などに応じてギャップの大きさを調整可能であり、圧力センサの特性を最適化することができる。
上記(2)に記載の態様に係る圧力センサによれば、圧力変動に起因するカンチレバーの撓み変形に応じた変位に基づき、ギャップの大きさを制御することによって、検出期間中において常に圧力センサの特性を最適化することができる。また、過大な圧力変動に起因して圧力センサが損傷することを防止することができる。
上記(3)に記載の態様に係る圧力センサによれば、圧電アクチュエータまたは電磁アクチュエータなどの各種のアクチュエータを用いることができ、構成の自由度を向上させることができる。
上記(4)に記載の態様に係る圧力センサによれば、圧力センサの構成が複雑化することを防止することができる。
上記(5)に記載の態様に係る圧力センサによれば、カンチレバーを変位させるレバーアクチュエータによって構成の自由度を向上させることができる。
上記(6)または(7)に記載の態様に係る圧力センサによれば、カンチレバーの撓み変形の有無にかかわらずにギャップの大きさを均一化することができる。
上記(8)に記載の態様に係る圧力センサによれば、過大な圧力変動に起因して圧力センサが損傷することを防止することができる。
以下、本発明の実施形態に係る圧力センサについて添付図面を参照しながら説明する。
本実施形態の圧力センサ1は、所定の周波数帯域の圧力変動を検出するセンサであり、適宜の圧力伝達媒体(例えば、空気などの気体や液体など)が存在する空間などに配置さている。
図1および図2に示すように、圧力センサ1は、例えば、SOI基板2とセンサ本体3とを一体的に固定した形状からなり、SOI基板2に形成されたカンチレバー4と、カンチレバー4に接続されてカンチレバー4の変位を検出する変位検出部5と、SOI基板2に形成されたギャップ形成部材6と、ギャップ制御部7と、を備えている。
センサ本体3は、例えば樹脂材で構成された中空の箱型の形状を有し、内部に形成されたキャビティ10と、キャビティ10と外部とを連通する連通開口11と、を備えている。センサ本体3は、キャビティ10として機能する凹部10aを備え、この凹部10aの開口をキャビティ10の内部と外部とを連通する連通開口11としている。
センサ本体3に一体的に固定されたSOI基板2は、センサ本体3の壁部3aと同様の環状に形成されたシリコン支持層2aおよび酸化層2bと、カンチレバー4を成すシリコン活性層2cとを備えている。環状に形成されたシリコン支持層2aおよび酸化層2bは、箱型のセンサ本体3の環状の壁部3aによって形成された連通開口11と同一形状の連通開口2Aを有し、センサ本体3の環状の壁部3aに環状のシリコン支持層2aおよび酸化層2bが積層されることによって、センサンサ本体3の連通開口11と、シリコン支持層2aおよび酸化層2bの連通開口2Aとは互いに臨んで連通している。
カンチレバー4は、基端部4aを固定端とし、先端部4bを自由端とした片持ち梁構造によって、基端部4aを中心としてキャビティ10の内部と外部との圧力差(つまりギャップ13を介してキャビティ10の内部と外部との間を流通可能な圧力伝達媒体による圧力の差)に応じて撓み変形可能とされている。
カンチレバー4の基端部4aには、該カンチレバー4が撓み変形し易くなるようにして、貫通孔15が形成されている。
ピエゾ抵抗20は、カンチレバー4の撓み量(変位量)に応じて電気抵抗値が変化する抵抗素子であり、図1におけるカンチレバー4の短手方向において、貫通孔15を挟んだ両側に対となって配置されている。これら一対のピエゾ抵抗20は、導電性材料からなる配線部21を介して相互に電気的に接続されている。検出回路22は一対のピエゾ抵抗20に接続され、ピエゾ抵抗20の電気抵抗値変化に基づいてカンチレバー4の変位を検出する。
また、ピエゾ抵抗20は、圧電薄膜であってもよい。この場合、カンチレバー4の基端部4aに加わる応力に応じて、起電力が発生する。検出回路22は、この起電力を検出することで、カンチレバー4の変位を検出する。
可動電極部34は、2つの櫛歯型の第1および第2固定電極部31,32に噛み合うように配置される櫛歯型の2つの第1および第2電極部34a,34bを備え、センサ本体3に固定された第3固定電極部33に積層されるようにして配置されている。可動電極部34は、先端部34cとカンチレバー4の先端部4bとの間に連通開口11の一部を構成するギャップ13を形成している。
なお、所定値記憶部41に記憶されている所定値は、圧力センサ1の状態などに応じて適宜に変更されてもよい。
また、信号処理回路43は、検出回路22から出力された検出出力、つまり検出回路22によって検出されたカンチレバー4の変位の検出値が、所定の下限閾値を超えた場合、または所定の許容範囲内の値となった場合、または所定条件を満たした場合などにおいて、ギャップ形成部材6による制御動作を許可し、この制御動作を開始する。
第2電圧可変直流電源45bは、第2固定電極部32と可動電極部34とに接続されている。第2電圧可変直流電源45bは、第2固定電極部32と可動電極部34との間に所定電圧を印加することによって、第2固定電極部32と可動電極部34の第2電極部34bとの間に静電引力を発生させ、可動電極部34の先端部34cがカンチレバー4の先端部4bから離間するように可動電極部34を変位させる。
第3電圧可変直流電源45cは、可動電極部34と第3固定電極部33とに接続されている。第3電圧可変直流電源45cは、可動電極部34と第3固定電極部33との間に静電引力を発生させ、可動電極部34が第3固定電極部33に向かい近接および接触するように可動電極部34を変位させる。
さらに、駆動回路44は、可動電極部34を第3固定電極部33に接触させることによって、カンチレバー4に対する可動電極部34の相対位置を固定する。
また、可動電極部34と第3固定電極部33とを接触させて、カンチレバー4に対する可動電極部34の相対位置を固定する場合には、駆動回路44は、図3(C)に示すように、第3電圧可変直流電源45cによって第3固定電極部33と可動電極部34との間に所定電圧を印加する。
まず、上述した圧力センサ1を用いて、微小な圧力変動を検出する場合について、図4を用いて説明する。なお、図4においては、上述した本実施形態と、本実施形態の圧力センサ1からギャップ形成部材6およびギャップ制御部7が省略された比較例とに対して、センサ出力、キャビティ10の内圧、外圧と内圧との差圧および可動電極部34の変位量の変化を示した。
そして、時刻t1以降の期間のように、外圧が上昇すると、キャビティ10の外部と内部との間に圧力差が生じるので、カンチレバー4はキャビティ10内部に向けて撓み変形する。これに伴い、カンチレバー4の撓み変形に応じてピエゾ抵抗20に歪みが生じ、電気抵抗値が変化するので、圧力センサ1のセンサ出力が増大する。
これに対して、ギャップ形成部材6およびギャップ制御部7が省略された比較例では、カンチレバー4の撓み変形の増大に伴ってギャップ13の開き(つまり、カンチレバー4の先端部4bと枠部12との間の間隔)が大きくなり、圧力差に応じてキャビティ10の外部から内部へと流動する圧力伝達媒体の流動量は本実施形態よりも増大する。
これによって、キャビティ10の外部から内部へと流動する圧力伝達媒体の流動量の増大が抑制される本実施形態の圧力センサ1に比べて、より流動量が増大する比較例では、外圧の上昇がカンチレバー4の変位に適正に反映されずに内圧が上昇して、センサ出力がより小さくなる。
これに対して、ギャップ形成部材6およびギャップ制御部7が省略された比較例では、カンチレバー4の撓み変形は急速に解消され、元の状態に戻るまで(つまり圧力差に応じたカンチレバー4の撓み変形が無くなるまで)の緩和時間がより短くなる。
そして、カンチレバー4の変位に基づいたセンサ出力(出力信号)の変動をモニタすることで、キャビティ10の外部の圧力変動を検出することができる。
特に、SOI基板2のシリコン活性層2cを用いて半導体プロセス技術によりカンチレバー4およびギャップ形成部材6を形成できるので、従来の圧電素子に比べて薄型化(例えば、数十〜数百nm)し易い。したがって、微小な圧力変動の検出を精度よく行うことができる。
さらに、複数の圧力センサ1のギャップ13の大きさに製造時などのばらつきが存在する場合であっても、ギャップ13の大きさを均一化することができるとともに、圧力センサ1が適用される状況などに応じてギャップ13の大きさを調整可能であり、圧力センサ1の特性を最適化することができる。
また、信号処理回路43から出力される指令値が所定の上限値を超えた場合などにおいて、リセット信号を出力して、ギャップ13の大きさを増大させることによって、過大な圧力変動に起因して圧力センサ1が損傷することを防止することができる。
なお、上述した実施形態において、ギャップ形成部材6を静電アクチュエータとしたが、これに限定されず、電磁アクチュエータなどの他のアクチュエータであってもよい。
なお、上述した実施形態において、信号処理回路43がリセット信号を出力する機能は省略されてもよい。
また、上述した実施形態において、第3電圧可変直流電源45cおよび第3固定電極部33と、駆動回路44が可動電極部34を第3固定電極部33に向かい近接および接触させる機能と、は省略されてもよい。
なお、上述した実施形態において、可動電極部34の変位に応じて変形または変位する膜状部材やベローズ型の伸縮管などを備え、可動電極部34の変位に応じて膜状部材またはベローズ型の伸縮管の端部をカンチレバー4の先端部4bに対して近接または離間させてもよい。
なお、上述した実施形態においては、ギャップ形成部材6を静電アクチュエータとしたが、これに限定されず、例えば図6および図7に示す第1変形例のように、ギャップ形成部材6を枠部12とし、ギャップ制御部7がカンチレバー4の基端部4aに一体に接続された静電アクチュエータを備えてもよい。
この第1変形例のギャップ制御部7は、上述した実施形態での所定値記憶部41と、比較回路42と、信号処理回路43と、駆動回路44と、第1〜第3電圧可変直流電源45a,45b,45cと、に加えて、静電アクチュエータとして、2つの櫛歯型の第1および第2固定電極部31,32と、平板状の第3固定電極部33と、可動電極部34と、可動電極部34に弾性力を作用させる板ばね部35と、板ばね部35を支持する固定部36と、を備えている。
この第1変形例の可動電極部34はカンチレバー4に一体に接続されており、可動電極部34の先端部34cは対向するカンチレバー4の基端部4aに接続されている。第1変形例のギャップ13は、カンチレバー4の先端部4bと枠部12の内周端部12aとの間に形成されている。
なお、上述した実施形態および第1変形例においては、ギャップ形成部材6またはギャップ制御部7は静電アクチュエータを備えるとしたが、これに限定されず、静電アクチュエータの代わりに圧電アクチュエータを備えてもよい。
この第2変形例によれば、圧力センサ1の構成が複雑化することを防止することができる。
なお、上述した実施形態および第1変形例においては、ギャップ形成部材6またはギャップ制御部7は静電アクチュエータを備えるとしたが、これに限定されず、静電アクチュエータの代わりに、各種のアクチュエータによって可変部材を変形または変位させるアクチュエータ部52を備えてもよい。
この可変部材53の先端部53aは、例えば膜状部材によって形成され、カンチレバー4の先端部4bに近接または離間するように撓み変形可能である。
なお、この第3変形例において、可変部材53は、膜状部材の代わりに、内部に配置されたアクチュエータ54によって伸縮変形するベローズ型の伸縮管(図示略)を備え、この伸縮管の伸縮変形によって、カンチレバー4の先端部4bに対向する伸縮管の先端部をカンチレバー4の先端部4bに近接または離間させてもよい。
なお、上述した実施形態においては、例えば図12に示す第4変形例のように、所定値記憶部41の代わりに、ローパスフィルタ61を備えてもよい。
この第4変形例のローパスフィルタ61は、検出回路22から出力されるカンチレバー4の変位の検出値に対して、所定の低域通過処理を行ない、処理後の検出値を比較回路42に出力する。比較回路42は、検出回路22から出力された検出出力、つまり検出回路22によって検出されたカンチレバー4の変位の検出値と、ローパスフィルタ61から出力された処理後の検出値とを比較し、比較結果(例えば、差など)を出力する。
この第4変形例によれば、圧力センサ1の出力が不安定な場合などであっても、フィードバック制御を適正に行なうことができる。
5…変位検出部 6…ギャップ形成部材 7…ギャップ制御部(ギャップ制御手段、レバーアクチュエータ) 10…キャビティ 11…連通開口 12…枠部(ギャップ形成部材) 34…可動電極部(可変部材) 31,32…第1および第2固定電極部(アクチュエータ) 34a,34b…第1および第2電極部(アクチュエータ) 51…圧電アクチュエータ(アクチュエータ) 53…可変部材 53a…先端部 54…アクチュエータ
Claims (8)
- 圧力変動を検出する圧力センサであって、
内部にキャビティを形成し、前記キャビティと外部とを連通する連通開口を有する中空のセンサ本体と、
先端部が自由端かつ基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口を塞ぐように配置され、前記キャビティと前記センサ本体の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、
前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を検出する変位検出部と、
前記カンチレバーの先端部との間に前記連通開口の一部を構成するギャップを形成するギャップ形成部材と、
を備え、
前記カンチレバーおよび前記ギャップ形成部材のうち少なくとも何れかは、前記ギャップの大きさを変更するようにして相対的に近接または離間する方向に変位可能である、
ことを特徴とする圧力センサ。 - 前記変位検出部によって検出された前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位に基づき、前記ギャップの大きさを制御するギャップ制御手段を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ形成部材は、前記カンチレバーの先端部に対向する先端部を変位可能な可変部材と、電磁相互作用または伸縮によって前記可変部材の前記先端部を変位させるアクチュエータと、を備え、
前記ギャップ制御手段は、前記アクチュエータの電磁相互作用または前記アクチュエータの伸縮を制御する、
ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ形成部材は、前記カンチレバーの先端部に向かい伸縮可能なアクチュエータを備え、
前記ギャップ制御手段は、前記アクチュエータの伸縮を制御する、
ことを特徴とする請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ制御手段は、
電磁相互作用または伸縮によって前記ギャップ形成部材の先端部に対向する前記カンチレバーの先端部を変位させるレバーアクチュエータを備え、
前記レバーアクチュエータの電磁相互作用または前記レバーアクチュエータの伸縮を制御する、
ことを特徴とする請求項2から請求項4の何れか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ制御手段は、前記圧力差に応じた前記カンチレバーの撓み変形時に、前記圧力差または前記撓み変形が無い場合に比べて、前記カンチレバーの先端部および前記ギャップ形成部材の先端部の少なくとも何れかを相対的に近接するように変位させる、
ことを特徴とする請求項2から請求項5の何れか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ制御手段は、前記圧力差に応じた前記カンチレバーの撓み変形時に前記ギャップの大きさが一定値となるように制御する、
ことを特徴とする請求項2から請求項6の何れか1つに記載の圧力センサ。 - 前記ギャップ制御手段は、前記圧力差または前記撓み変形が所定上限値よりも大きい場合に、前記ギャップの大きさを増大させる、
ことを特徴とする請求項2から請求項7の何れか1つに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013046396A JP6041309B2 (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013046396A JP6041309B2 (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014173977A JP2014173977A (ja) | 2014-09-22 |
JP6041309B2 true JP6041309B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=51695326
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013046396A Active JP6041309B2 (ja) | 2013-03-08 | 2013-03-08 | 圧力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6041309B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108088599A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-29 | 中国直升机设计研究所 | 一种直升机电磁作动器输出力变化特性测试方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6521441B2 (ja) * | 2015-06-26 | 2019-05-29 | 国立大学法人 東京大学 | 圧力センサ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH071215B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1995-01-11 | 住友金属鉱山株式会社 | 空気圧変化検出器 |
JP3276536B2 (ja) * | 1995-07-12 | 2002-04-22 | 株式会社群馬コイケ | ガス供給装置における同調制御装置及び呼吸センサ |
JP3391295B2 (ja) * | 1999-04-26 | 2003-03-31 | 日本電気株式会社 | マイクロアクチュエータ |
KR100908124B1 (ko) * | 2007-07-09 | 2009-07-16 | 삼성전자주식회사 | 혈압측정용 압력 센서 및 그 제조방법 |
US9188497B2 (en) * | 2011-01-28 | 2015-11-17 | The University Of Tokyo | Differential pressure sensor |
-
2013
- 2013-03-08 JP JP2013046396A patent/JP6041309B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108088599A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-05-29 | 中国直升机设计研究所 | 一种直升机电磁作动器输出力变化特性测试方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014173977A (ja) | 2014-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106488366B (zh) | 具有位置传感器的mems扬声器 | |
JP7303121B2 (ja) | マイクロメカニカル音響変換器 | |
JP6267407B1 (ja) | ばね力補償を有する加速度センサ | |
JP5816903B2 (ja) | Memsアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法 | |
WO2013076490A1 (en) | Mems inertial sensor and method of inertial sensing | |
JP6041308B2 (ja) | 圧力センサ | |
EP2240750A1 (en) | Piezoelectric vibration type force sensor | |
JP6041309B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6144594B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6184006B2 (ja) | 圧力センサ | |
CN111065889B (zh) | 振动陀螺仪 | |
Mansour et al. | Piezoelectric bimorph actuator with integrated strain sensing electrodes | |
WO2015190104A1 (ja) | 物理量センサ | |
JP6150565B2 (ja) | 圧力センサ | |
US8978470B2 (en) | Inertial sensor | |
JP2017181501A (ja) | 傾斜情報計測装置および気圧変動センサの調整方法 | |
JP2010216846A (ja) | センサデバイス | |
JP2014013735A (ja) | 圧力スイッチ | |
CN112865590B (zh) | 致动器驱动装置、以及致动器驱动装置的控制方法 | |
JP6521442B2 (ja) | 圧力センサ | |
CN220872772U (en) | Piezoelectric micro-mirror with self-detection electrode based on temperature feedback | |
JP6521441B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6815910B2 (ja) | 圧力センサ | |
US20240093804A1 (en) | Mems for controlling a fluid flow | |
EP4228286A1 (en) | Audio-tactile transducer device based on dielectric electro-active elastomers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161018 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6041309 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |