JP5816903B2 - Memsアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法 - Google Patents
Memsアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5816903B2 JP5816903B2 JP2011139760A JP2011139760A JP5816903B2 JP 5816903 B2 JP5816903 B2 JP 5816903B2 JP 2011139760 A JP2011139760 A JP 2011139760A JP 2011139760 A JP2011139760 A JP 2011139760A JP 5816903 B2 JP5816903 B2 JP 5816903B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mems actuator
- capacitance
- camera module
- foreign matter
- mems
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B3/00—Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
- G03B3/10—Power-operated focusing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/09—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted for automatic focusing or varying magnification
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
- G02B7/04—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
- G02B7/08—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B2205/00—Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
- G03B2205/0053—Driving means for the movement of one or more optical element
- G03B2205/0084—Driving means for the movement of one or more optical element using other types of actuators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Camera Bodies And Camera Details Or Accessories (AREA)
- Studio Devices (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
Description
110 静電容量測定部
120 異物判断部
130 MEMSアクチュエータ駆動部
131 固定コーム電極
132 可動コーム電極
150 コーム駆動部
210 レンズ
221 レンズマウンティングステージ
222 第1連結部
231 第1ヒンジ
232 第2ヒンジ
235 スプリング
250 ハウジング
261、262 接着剤
Claims (11)
- 焦点調整のために、レンズを静電気力で移動させるMEMSアクチュエータと、
前記MEMSアクチュエータから発生した静電容量を測定する静電容量測定部と、
前記静電容量測定部で測定された静電容量の変化量により、前記MEMSアクチュエータに異物が存在するか否かを判断し、異物が存在するとトリガー信号を出力する異物判断部と、
前記異物判断部から出力された前記トリガー信号によって前記MEMSアクチュエータを反復振動駆動させるMEMSアクチュエータ駆動部と、
を含むことを特徴とするMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。 - 前記MEMSアクチュエータは、レンズが着座しているレンズマウンティングステージが、第1ヒンジで第1連結部に連結されており、前記第1連結部は、第2ヒンジで第2連結部に連結されており、前記第1連結部は、固定されたスプリングに更に連結されている、請求項1に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- 前記MEMSアクチュエータは、外部からの異物侵入の防止及び保護のためのハウジングを含む、請求項1に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- 前記ハウジングの内部における底面、前記ハウジングの内部における上面、又は、前記ハウジングの内部における底面及び前記ハウジングの内部における上面の両面に、前記異物が付着するように接着剤が形成されている、請求項3に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- 前記MEMSアクチュエータは、前記レンズの焦点を調整するための静電気力を発生させるために、コーム状に配列された電極を有するコーム駆動部を含む、請求項1に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- 前記異物判断部は、前記MEMSアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上である場合、前記MEMSアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項1に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- 前記異物判断部は、前記MEMSアクチュエータにN回印加された電圧に対応する静電容量間の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記MEMSアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項1に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュール。
- MEMSアクチュエータで静電気力によりレンズの焦点を調整する時に発生した静電容量を測定する段階と、
前記MEMSアクチュエータから発生した静電容量にヒステリシスエラーが存在するか否かを判断する段階と、
前記静電容量に前記ヒステリシスエラーが存在する場合、前記MEMSアクチュエータを反復振動駆動させて、前記MEMSアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階と、
を含むことを特徴とするMEMSアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。 - 前記MEMSアクチュエータから発生した静電容量にヒステリシスエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記MEMSアクチュエータに印加された所定範囲の電圧に対応するヒステリシスのフォワード静電容量とバックワード静電容量との差を計算し、前記計算されたフォワード静電容量とバックワード静電容量との差のうちの最大値が臨界値以上であれば、前記MEMSアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項8に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
- 前記MEMSアクチュエータから発生した静電容量にヒステリシスエラーが存在するか否かを判断する段階は、前記MEMSアクチュエータにN回印加された電圧に対応する静電容量間の偏差を計算し、前記計算された偏差のうちの最大偏差が臨界値以上であれば、前記MEMSアクチュエータの内部に異物が存在すると判断する、請求項8に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
- 前記MEMSアクチュエータのハウジング内部における底面、前記ハウジングの内部における上面、又は、前記ハウジングの内部における底面及び前記ハウジングの内部における上面の両面に接着剤が形成されており、
前記MEMSアクチュエータを反復振動駆動させて、前記MEMSアクチュエータ内に存在する異物を除去する段階は、前記MEMSアクチュエータを反復振動駆動させて、前記MEMSアクチュエータ内に存在する異物を前記接着剤に付着させる、請求項8に記載のMEMSアクチュエータ付きカメラモジュールの駆動方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100059735A KR101063047B1 (ko) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | 멤즈 엑츄에이터가 구비된 카메라 모듈 및 그의 구동 방법 |
KR10-2010-0059735 | 2010-06-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012008569A JP2012008569A (ja) | 2012-01-12 |
JP5816903B2 true JP5816903B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=44957049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011139760A Active JP5816903B2 (ja) | 2010-06-23 | 2011-06-23 | Memsアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8553342B2 (ja) |
JP (1) | JP5816903B2 (ja) |
KR (1) | KR101063047B1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8188755B2 (en) * | 2010-01-12 | 2012-05-29 | Maxim Integrated Products, Inc. | Electrostatic MEMS driver with on-chip capacitance measurement for autofocus applications |
US8521017B2 (en) * | 2010-11-15 | 2013-08-27 | DigitalOptics Corporation MEMS | MEMS actuator alignment |
US9258473B2 (en) * | 2012-04-10 | 2016-02-09 | Digitaloptics Corporation | Camera orientation sensing using camera module with MEMS AF actuator |
US9029759B2 (en) | 2012-04-12 | 2015-05-12 | Nan Chang O-Film Optoelectronics Technology Ltd | Compact camera modules with features for reducing Z-height and facilitating lens alignment and methods for manufacturing the same |
US9001268B2 (en) | 2012-08-10 | 2015-04-07 | Nan Chang O-Film Optoelectronics Technology Ltd | Auto-focus camera module with flexible printed circuit extension |
WO2014026202A2 (en) * | 2012-08-10 | 2014-02-13 | Digitaloptics Corporation | Auto-focus camera module with flexible printed circuit extension |
JP2014123092A (ja) | 2012-11-26 | 2014-07-03 | Digitaloptics Corp | 撮像光学系及びそれを有する撮像装置 |
US10730744B2 (en) | 2018-12-28 | 2020-08-04 | Industrial Technology Research Institute | MEMS device with movable stage |
JP7313469B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2023-07-24 | ウォード,マシュー,イー. | マイクロledアレイを搭載したmems駆動光学パッケージ |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6567715B1 (en) * | 2000-04-19 | 2003-05-20 | Sandia Corporation | Method and system for automated on-chip material and structural certification of MEMS devices |
JP3898438B2 (ja) * | 2000-11-22 | 2007-03-28 | 株式会社リコー | レンズのあおり装置 |
US6636653B2 (en) * | 2001-02-02 | 2003-10-21 | Teravicta Technologies, Inc. | Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same |
JP2005195639A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナ型アクチュエータ |
US7061660B1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-06-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | MEMs device with feedback control |
US8203702B1 (en) * | 2005-06-13 | 2012-06-19 | ARETé ASSOCIATES | Optical system |
JP4859216B2 (ja) * | 2006-07-28 | 2012-01-25 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び加振装置 |
JP2008030182A (ja) | 2006-08-01 | 2008-02-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 定振幅機構及びこれを用いた電位センサ |
JP5018449B2 (ja) | 2007-01-09 | 2012-09-05 | 株式会社ニコン | カメラ |
JP4952289B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2012-06-13 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置、撮像ユニットおよび撮像装置 |
JP2008211864A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Konica Minolta Opto Inc | 駆動装置、撮像ユニットおよび撮像装置 |
JP5164397B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 振動アクチュエータ及び該振動アクチュエータを備えた光学機器 |
JP5295875B2 (ja) * | 2008-11-06 | 2013-09-18 | シャープ株式会社 | カメラモジュールおよびそれを備えた電子機器、並びにカメラモジュールのレンズ位置決め方法 |
JP2010127986A (ja) | 2008-11-25 | 2010-06-10 | Canon Inc | 撮像装置 |
-
2010
- 2010-06-23 KR KR1020100059735A patent/KR101063047B1/ko active IP Right Grant
-
2011
- 2011-06-23 JP JP2011139760A patent/JP5816903B2/ja active Active
- 2011-06-23 US US13/167,434 patent/US8553342B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101063047B1 (ko) | 2011-09-07 |
US20110317291A1 (en) | 2011-12-29 |
JP2012008569A (ja) | 2012-01-12 |
US8553342B2 (en) | 2013-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5816903B2 (ja) | Memsアクチュエータ付きカメラモジュール及びその駆動方法 | |
JP5230110B2 (ja) | 可変空隙距離を有するエネルギ変換システム及びエネルギ回生システム | |
USRE42923E1 (en) | Piezoelectric vibration angular velocity meter and camera using the same | |
US9575284B2 (en) | Driving member, linear driving device, camera device, and electronic device | |
US9897802B2 (en) | Image pickup apparatus and image pickup unit having device for removing foreign substance deposited on surface of optical member | |
CN101266392A (zh) | 成像装置及光学装置 | |
US20110096397A1 (en) | Vibrating device, and drive device, dust removing device, and optical device which include the vibrating device | |
JP2018533315A (ja) | 閉鎖制御システムを有するmems音響変換器 | |
CN103309129A (zh) | 振动装置及使用该振动装置的图像设备 | |
US20050110873A1 (en) | Image pickup apparatus | |
JP2011221138A (ja) | 撮像素子ユニット、自動焦点調節装置および撮像装置 | |
JP5105345B2 (ja) | 発振器 | |
US9665108B2 (en) | Vibration reduction apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article | |
KR101124871B1 (ko) | 렌즈의 압전기적 이동을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 매체 | |
JP5998688B2 (ja) | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、移動体 | |
JP2007147843A (ja) | 撮像装置および携帯電子機器 | |
JP6588077B2 (ja) | マイクロ電気機械的トランスデューサ、エネルギーハーベスター、およびマイクロ電気機械的変換方法 | |
JP2010169401A (ja) | 検出素子、微小電気機械装置および電子機器 | |
JP2008158233A (ja) | ブレ補正装置、及び光学装置 | |
JP2008224229A (ja) | 慣性センサおよびその製造方法および電気・電子機器 | |
JP2019033631A (ja) | Mems振動素子、mems振動素子の製造方法および振動発電素子 | |
JP6041309B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP2007010377A (ja) | 加速度センサ | |
Khbeis et al. | Development of a simplified hybrid ambient low frequency, low intensity vibration energy scavenger system | |
JP3783708B2 (ja) | 角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140620 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20140710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140710 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150728 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5816903 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |