CN103309129A - 振动装置及使用该振动装置的图像设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供振动装置及使用该振动装置的图像设备。为了使其小型、能获得较大振动振幅、尘埃去除能力高且抗外力能力强以使得施加外力也不会破损，振动装置具有：板状的防尘部件(119)；振子(170)，由沿着防尘部件的端部侧外周部配置且使防尘部件振动的施振部件(120)构成；支架(145)，与防尘部件隔开预定间隔地配置；密封部件(156)，对防尘部件与支架之间的预定空间密封；按压支撑部件(151)，形成有朝向密封部件弹性地按压防尘部件的按压部(151b)、用于在与利用按压部的弹力按压的方向相反的方向上对防尘部件施加外力时维持防尘部件或施振部件的支撑的支撑部(151c)、将自身固定到支架的固定部(151d)，夹着通过振子的重心的假想轴分别在彼此对称的位置配置按压部，支撑部的刚性比按压部的高。

Description

振动装置及使用该振动装置的图像设备

技术领域

本发明涉及具有获得与照射在自身的光电转换面上的光对应的图像信号的摄像元件的摄像装置、或具有显示投影到屏幕上的图像的显示元件的图像投影装置等具有光学元件的图像设备，以及使在这种图像设备中配置在光学元件的前面的防尘部件振动的振动装置。

背景技术

近年来，在使用了摄像元件的摄像装置、或使用了液晶等显示元件的图像投影装置等那样形式的图像设备，即使用了摄像元件、显示元件等光学元件的图像设备中，生成的图像或显示的图像的画质提高显著。因此，在配置于摄像元件或显示元件附近的光学元件上附着有尘埃等的情况下，在生成的图像或显示的图像上显现尘埃等的影子，这成为了大问题。

例如，在构成为相对于装置主体（照相机主体）自由装卸摄影光学系统（镜头镜筒）的所谓“可更换镜头”形式的数字照相机等摄像装置中，能够在用户需要的时候，任意地装卸更换所需要的摄影光学系统（镜头镜筒），由此构成为能够相对于单一的装置主体（照相机主体）选择性地使用多种摄影光学系统（镜头镜筒）的摄像装置已经普遍被实际应用。

在这种形式的可更换镜头的数字照相机等摄像装置中，在从装置主体（照相机主体）上卸下摄影光学系统（镜头镜筒）时，在放置摄像装置的周围环境中浮游的尘埃等侵入装置主体（照相机主体）的内部，有时这些尘埃等会附着在摄像元件的表面（受光面）上。或者，由于设置在装置主体（照相机主体）内部并进行机械式动作的各种机构部、例如快门机构或光圈机构等各种机构部等在动作中产生的尘埃等有时也会附着在摄像元件的表面上。

另外，在构成为使用光源和投影光学系统将显示于CRT、液晶等显示元件上的图像放大投影在屏幕上来欣赏该所投影的图像的投影仪等投影型图像显示装置中，有时也会产生尘埃等附着在显示元件的表面上、从而该尘埃等的影子被放大投影在屏幕上的情况。

因此，提出了各种机构，用于在上述形式的图像设备中，去除附着在内部设置的光学元件表面上的尘埃等。

例如，在日本特开2004-64555号公报中公开了具有尘埃去除机构的电子摄像装置，在该尘埃去除机构中，在圆盘玻璃板（防尘部件）的外周部固定安装有圆环板状的压电元件（施振部件），通过对压电元件施加预定频率的频率电压，在圆盘玻璃板的中心产生同心圆状的驻波弯曲振动，由此去除附着在圆盘玻璃板上的尘埃等。其中，按照预定的施振频率产生的振动是具有同心圆状的波节的驻波。

此外，防尘部件的支撑以及防尘部件与摄像元件之间的防尘由呈同心圆状地和防尘部件接触的防尘部件承受部件进行。该情况下，防尘部件承受部件相对于防尘部件的接触部位被设定为同心圆状的驻波的波节。

另一方面，日本特开2007-267189号公报所公开的方法在矩形板状的防尘部件的相对的边分别设置压电元件，并且设为了使这些压电元件产生预定频率的振动、使防尘部件共振、产生与边平行的波节的驻波振动模式。并且，为了去除附着在振动的波节上的尘埃等，使防尘部件以不同的频率共振来产生多个驻波的振动模式，由此变更波节的位置。这些振动模式都产生具有与防尘部件的边平行的波节的弯曲振动。关于防尘部件的支撑，以使振动的波节大致一致的方式产生不同频率的驻波，而且利用支撑部件支撑该振动的波节附近，由此减小振动损失。并且，设置有画框形状的、剖面呈唇状的密封件，以防止尘埃等侵入到摄像面侧与防尘部件之间。

并且，在日本特开2010-239606号公报所公开的方法中，在矩形的防尘部件的相对的边上分别设置压电元件，使压电元件产生预定频率的振动，使防尘部件共振而产生具有包围防尘部件的中心那样的振动波峰的峰线的振动。通过将此时的防尘部件的按压力设为2N（牛顿）以下，成为使防尘部件的振动损失极小的防尘部件的按压支撑结构。在同时在按压方向上施加外力的情况下，在与防尘部件相对的部件上设置了支撑防尘部件的振动波节的支撑部。

此外，在日本特开2008-228074号公报中，公开了构成为通过导电性粘接剂将作为防尘部件的四角的光学元件的四角附近固定安装到保持部件上的形式的摄像装置。

其中，在上述日本特开2004-64555号公报所公开的尘埃去除机构中，通过产生同心圆状的振动，能够获得非常大的振动振幅，因此去除尘埃等的能力非常高。但是，同心圆状的波节位置的振动振幅非常小，当将波节位置设定在需要去除尘埃等的范围之外时，防尘部件变得非常大。并且，如果支撑波节位置之外的位置，则存在如下的问题：明显阻碍防尘部件的振动，振动速度变小且尘埃等的去除效果几乎消失。

另一方面，在上述日本特开2007-267189号公报所公开的尘埃去除机构中，通过形成为矩形板状，防尘部件相对于上述日本特开2004-64555号公报公开的尘埃去除机构是圆形的内接四边形，所以能够更小型地形成。但是，由于是具有与矩形的边平行的波节的振动模式，所以不能增大振动的振幅，不能产生上述日本特开2004-64555号公报公开的尘埃去除机构所能够产生的那样大的振动振幅。因此，防尘部件去除尘埃等的能力低。此外，振动振幅小是因为不能将来自与波节正交的边的反射波合成为驻波（由于合成来自一条边的反射波，所以成为具有与边平行的振动的波峰、波谷的驻波），尤其在防尘部件的矩形的短边与长边之比较小时更加明显。并且，通过使振动的波节移动，能够使得在尘埃去除范围内具有振动的波节，因而实现小型化没有问题，但由于不同的振动模式的波节不完全一致，所以存在如下问题：由于支撑波节附近而阻碍振动，从而振动速度减小。

并且，在上述日本特开2004-64555号公报公开的尘埃去除机构中，与上述日本特开2007-267189号公报公开的方法相同，能够通过使振动的波节移动来实现小型化，但如果根据波节位置的移动，而把防尘部件的支撑设置为预定的位置，则如上所述有在任一模式下振动速度都减小的问题。

此外，在日本特开2010-239606号公报中，通过将被振动部件的按压力设为2N（牛顿）以下的力量，即使按压被振动部件的振动波腹，也不会阻碍振动。此外，示出了如下的振动装置：在与被振动部件相对配置的相对部件上配置在施加外力的情况下也支撑被振动部件的支撑部。但是，在上述日本特开2010-239606号公报所公开的结构中，外力处于按压方向，在施加与按压方向相反的外力的情况下，按压力较小，为2N以下，因此按压部的刚性极低，按压部变形，并且在极端的情况下产生按压部破损的情况。并且，由于按压部较大程度变形，因此存在被振动部件与支撑部件的接触被破坏，从而尘埃等进入到被振动部件的摄像元件侧的空间内的问题。

上述日本特开2008-228074号公报所公开的方法由于在保持部件的四角固定安装防尘部件的四角附近，因此阻碍防尘部件的振动，由此存在附着在光学元件上的尘埃等的去除效果差的问题。

以往，由于在防尘部件的端部侧，将配置于防尘部件与按压部件之间的弹性部件的按压力设定为预定的较高的值，因此例如即使施加100N左右的由冲击或振动引起的外力，防尘部件也不会发生偏离。但是，存在将固定部设定于振动波节等处的组装上的制约。

并且，为了增大防尘部件的振动加速度，越减小按压防尘部件的按压力越有利。另一方面，当减小了按压防尘部件的按压力时，例如在施加了100N左右的较大外力时，防尘部件有时会偏离，存在抗外力能力变弱的问题。例如，在防尘部件由于外力而偏离的情况下，防尘部件与和防尘部件相对设置的快门接触，从而还产生损坏该快门的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供尘埃去除能力高、小型且抗外力能力强的振动装置、及使用该振动装置的图像设备。

本发明的一个方式的振动装置具有：板状的防尘部件；振子，其由沿着上述防尘部件的端部侧外周部配置且使该防尘部件振动的施振部件构成；支架，其与上述防尘部件隔开预定间隔地配置；密封部件，其对上述防尘部件与上述支架的防尘部件承受部之间的空间进行密封；以及按压支撑部件，其形成有如下部件：朝向上述密封部件弹性地按压上述防尘部件的按压部、用于在与利用该按压部的弹力按压的方向相反的方向上对上述防尘部件施加了外力时维持该防尘部件或上述施振部件的支撑的支撑部、和将自身固定到上述支架的固定部，夹着通过上述振子的重心的假想轴分别在其两侧配置上述按压部，上述支撑部的刚性形成得比上述按压部的刚性高。

根据如下的详细说明，本发明的目的和优点将变得更清楚。

根据本发明，能够提供尘埃去除能力高、小型且抗外力能力强的振动装置、及使用该振动装置的图像设备。

附图说明

图1是概略示出本发明的第1实施方式的图像设备（数字照相机）的主要电气结构的结构框图。

图2A是示出图1所示的图像设备（数字照相机）中的包含振动装置的摄像元件单元的剖面的（沿着图3的[2]-[2]线的剖面）的剖面图。

图2B是包含图2A的振动装置的摄像元件单元的主视图。

图3是图2A的包含振动装置的摄像元件单元的主视图。

图4是取出示出图1的图像设备（数字照相机）中的振动装置（尘埃去除机构）的主要结构部（振子）的主要部分放大分解立体图。

图5是示出图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的尘埃吸附部件的配置的主要部分放大剖面图（沿着图3的[5]-[5]线的剖面图）。

图6是放大示出图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘部件按压机构的主要部分的主要部分放大剖面图。

图7A是说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的振动的情形（振动模式1）的图、且是防尘过滤器的主视图。

图7B是说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的振动的情形（振动模式1）的图、且是防尘过滤器的纵剖面图。

图7C说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的振动的情形（振动模式1）的图、且是防尘过滤器的横剖面图。

图8A是说明图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器的振动的产生概念的图、且是防尘过滤器的主视图。

图8B是说明图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器的振动的产生概念的图、且是防尘过滤器的纵剖面图。

图8C是说明图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器的振动的产生概念的图、且是防尘过滤器的横剖面图。

图9A是说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的不同振动的情形（振动模式3）的图、且是防尘过滤器的主视图。

图9B是说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的不同振动的情形（振动模式3）的图、且是防尘过滤器的纵剖面图。

图9C是说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的不同振动的情形（振动模式3）的图、且是防尘过滤器的横剖面图。

图10是示出图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器的不同形式及其防尘部件按压机构的图。

图11是示出图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器的另一不同形式的图。

图12是用于说明在图1的图像设备（数字照相机）的振动装置中的防尘过滤器中产生的驻波的示意图（与图7B的纵剖面图相当的图）。

图13是概略示出图1的图像设备（数字照相机）的机身单元中的防尘过滤器控制电路的结构的电路图。

图14A是示出从图13的防尘过滤器控制电路的各个结构部件输出的Sig1的信号形式的时序图。

图14B是示出从图13的防尘过滤器控制电路的各个结构部件输出的Sig2的信号形式的时序图。

图14C是示出从图13的防尘过滤器控制电路的各个结构部件输出的Sig3的信号形式的时序图。

图14D是示出从图13的防尘过滤器控制电路的各个结构部件输出的Sig4的信号形式的时序图。

图15是示出图1的图像设备（数字照相机）的动作控制、且例示Bucom进行的照相机程序（主例程）的步骤的流程图。

图16是表示图15的照相机程序中的子例程“施振动作”的动作步骤的流程图。

图17是表示在图16的“施振动作”子例程中连续提供给施振部件的共振频率的波形的曲线图。

图18是示出本发明的第1实施方式的变形例的动作、且表示在数字照相机的Bucom进行的照相机程序（主例程）中调用的子例程“施振动作”的不同动作步骤的流程图。

图19示出本发明的第2实施方式的振动装置的主要结构，是该振动装置的主视图。

图20是图19的振动装置的左侧视图。

图21是图19的振动装置的右侧视图。

图22是说明在向图19的振动装置的按压部件施加了外力的情况下的支撑部的作用的部分剖面图。

图23是示出本发明的振动装置中的对防尘过滤器的按压力和防尘过滤器的中央部的振动速度比的曲线图。

具体实施方式

以下，通过图示的实施方式说明本发明。

[第1实施方式]

本发明的第1实施方式是具备通过光电转换来获得图像信号的摄像元件单元、且具有进行该摄像元件单元的尘埃去除的振动装置的图像设备，且为应用于可更换镜头的数字照相机的例示。

图1～图18是说明本发明的第1实施方式的图像设备的结构的图。其中，图1是概略示出本实施方式的图像设备（数字照相机）中的主要电气结构的结构框图。图2A是示出图1所示的图像设备（数字照相机）中的包含振动装置的摄像元件单元的剖面图。另外，图2A示出了沿着图3的[2]-[2]线的剖面。图2B是图2A的“2B”所示的部分的放大图。图3是图2A的包含振动装置的摄像元件单元的主视图。首先，将使用图1～图3在以下说明作为本实施方式的图像设备的数字照相机的概略结构。

另外，在本实施方式中，用标号O表示镜头镜筒中的摄影光学系统的光轴。并且，在沿着该光轴O的方向上，将与照相机的前面相对的存在被摄体的一侧称作前方，配置于照相机的背面侧的摄像元件的受光面（成像面）存在的一侧称作后方。

另外，在以下说明所使用的各图中，设各结构要素为附图上能够识别的程度的大小，所以，有时按照每个结构要素而使用了不同的比例尺来示出。因此，本发明中的这些附图所记载的结构要素的数量、结构要素的形状、结构要素的大小的比率和各结构要素的相对位置关系不仅仅限于图示的形式。

首先，参照图1说明本实施方式的数字照相机整体的概略结构。

如图1所示，数字照相机10由作为照相机主体的机身单元100、和作为附件装置之一的更换镜头镜筒的镜头单元200构成。

镜头单元200是构成为通过设于机身单元100前面的未图示的镜头安装部件在机身单元100上自由装卸的镜头镜筒。镜头单元200的控制由自身具有的镜头控制用微型计算机（以下称为“Lucom”）201进行。另外，机身单元100的控制由机身控制用微型计算机（以下称为“Bucom”）101进行。在将镜头单元200安装在机身单元100上的状态下，这些Lucom201和Bucom101经由通信连接器102电气连接成能够互相通信。并且，构成为使Lucom201从属于Bucom101协作动作并作为照相机系统进行工作。

镜头单元200具有构成摄影光学系统的摄影镜头202和光圈203。摄影镜头202由设于镜头驱动机构204内的未图示的步进电机驱动。光圈203由设于光圈驱动机构205内的未图示的步进电机驱动。Lucom201根据Bucom101的指令来控制这些各个电机。

在主体单元100内，例如按照图示配置有以下的结构部件。例如，在光轴O上设置有焦面式的快门108。还设置有对用于驱动快门108的前帘和后帘的弹簧进行上势的快门上势机构112和控制这些前帘和后帘的动作的快门控制电路113。

在光轴O上设有用于对通过上述摄影镜头202的被摄体像进行光电转换的摄像单元116。摄像单元116是将作为图像形成元件的摄像元件即CCD117、设于该CCD117的前面的光学低通滤波器（LPF）118和作为板状的防尘部件的防尘过滤器119一体化成单元而成的。在防尘过滤器119的周缘部的单侧，例如沿着端部外周缘安装配置有作为使防尘部件振动的施振部件的压电元件120。压电元件120构成为分别具有两个电极（171、172；参照图4），作为驱动单元的防尘过滤器控制电路121使压电元件120按照根据防尘过滤器119的尺寸和材质所确定的预定频率振动，使防尘过滤器119产生预定的振动，从而能够去除附着在过滤器表面上的尘埃。

并且，针对摄像单元116附加有校正抖动用的防振单元。另外，防尘过滤器119整体由为多边形状的透明薄板状部件形成。例示了本实施方式中的防尘过滤器119形成为大致四边形。

校正抖动用的防抖单元构成为包含X轴陀螺仪160、Y轴陀螺仪161、防振控制电路162、X轴致动器163、Y轴致动器164、X框165、Y框166（与后述的支架145对应）、框架167、位置检测传感器168和致动器驱动电路169等。另外，之后将说明校正抖动用防振单元的详细结构。

另外，本实施方式的数字照相机10中的机身单元100构成为具有与上述CCD117连接的CCD接口电路122、作为显示装置的液晶监视器123、作为存储区域发挥作用的SDRAM124和闪存ROM125、以及利用上述液晶监视器123、SDRAM124、闪存ROM125、记录介质127等进行图像处理的图像处理控制器126，由此能够提供电子摄像功能和电子记录显示功能。

作为上述电子摄像功能，包括记录动态图像的动态图像记录功能和所谓的实时取景显示功能，该实时取景显示功能是指将由CCD117拍摄的图像作为动态图像同时显示在液晶监视器123上，并将该显示用作被摄体观察用的图像取景器。另外，作为实现取景器功能的方法，除此以外还可以设置光学式的取景器单元等。

记录介质127是各种存储卡或外置的HDD等外部记录介质，被安装成能够通过图像处理控制器126与主体单元100的Bucom101之间进行通信，并且能够相对于机身单元100进行装卸。并且，对该记录介质127记录通过摄影动作得到的图像数据。作为其他存储区域，例如由EEPROM构成的非易失性存储器128被设置成为能够从Bucom101进行存取，该非易失性存储器128构成为存储进行照相机控制所需要的预定的控制参数。

在Bucom101上连接有用于通过显示输出将数字照相机10的动作状态通知给用户的动作显示用LCD129和动作显示用LED130、照相机操作开关131、闪光灯132、驱动闪光灯132的闪光灯控制电路132、电源电路135。

在动作显示用LCD129或动作显示用LED130设有显示部，其在防尘过滤器控制电路121动作的期间显示防尘过滤器119的振动动作。

照相机操作开关131例如由释放开关、模式变更开关、电源开关等用于操作数字照相机10所需要的多个操作部件以及与这些操作部件联动的多个开关组构成。

在电源电路135上连接有作为电源的电池134。并且，电源电路135是将电池134的电压转换为构成数字照相机10的各个电路单元所需要的电压并提供给它们的电路。并且，电源电路135具有电压检测电路（未图示），用于检测从外部电源通过未图示的连接端子（插座）提供电流时的电压变化。

如上所述构成的数字照相机10的各个结构部大致按照下面所述工作。首先，图像处理控制器126按照Bucom101的指令，控制CCD接口电路122，从CCD117获取图像数据。该图像数据由图像处理控制器126转换为视频信号，并输出到液晶监视器123进行显示。用户能够根据该液晶监视器123所显示的图像确认取景器图像或摄影图像。

SDRAM124是图像数据的临时保存用存储器，被用作转换图像数据时的工作区域等。并且，临时存储在SDRAM124中的图像数据在Bucom101的控制下由图像处理控制器126转换为JPEG数据等（静态图像数据的情况）或MPEG数据等（动态图像数据的情况）后，被保存在记录介质127中。

如下进行摄影镜头202的对焦，在依次变更摄影镜头202在光轴O上的位置的同时，每次都通过CCD117进行摄像，用图像处理控制器126、Bucom101运算所取得的摄像图像中的对比度最高的位置，并通过通信连接器102传递至Lucom201，Lucom201对摄影镜头202进行位置控制。对于测光，还根据从摄影图像检测到的光量进行公知的测光处理。

下面，参照图2A、图2B和图3在以下说明包含CCD117的摄像单元116的结构。

主要如图2A所示，摄像单元116具有：CCD117，其是获得与透射过摄影光学系统（摄影镜头202；参照图1）并照射在自身的光电转换面上的光对应的图像信号的摄像元件；光学LPF118，其配置于CCD117的光电转换面侧的前面，用于从透射过摄影光学系统后照射的被摄体光束中去除高频成分；作为防尘部件的防尘过滤器119，其在该光学LPF118的前面侧隔开预定间隔与该光学LPF118相对配置；以及作为施振部件的压电元件120，其配置于该防尘过滤器119的周缘部，用于对防尘过滤器119施加预定的振动。

在本实施方式的数字照相机10中，例示了沿着防尘过滤器119的一个边安装了一个压电元件120的结构，但不限于该形式，例如也可以构成为沿着防尘过滤器119的相对的各个边、或垂直的各个边配置多个压电元件。

CCD117由以下部件等构成：CCD芯片136；固定板137；配置在固定板137上且安装了CCD芯片136的挠性基板138；从该挠性基板138的两端延伸出的连接部件139a、139b；安装连接有该连接部件139a、139b的连接器141a、141b的主电路基板140；在CCD芯片117的前面侧隔开预定间隔与该CCD芯片117相对配置的防护玻璃142；以及固定安装在挠性基板138上且支撑防护玻璃142的周缘部的垫片143。此外，虽然在图2A中未示出，但在主电路基板140上设置有接口电路122等电路。

并且，在CCD117和光学LPF118之间，配置有由弹性部件等构成的过滤器承受部件144。该过滤器承受部件144被配置在CCD117的前面侧周缘部的避开光电转换面的有效范围的位置上，并且与光学LPF118的背面侧周缘部的附近抵接配置。由此过滤器承受部件144发挥保持CCD117与光学LPF118之间的气密性的作用。

并且，由支架145覆盖CCD117和光学LPF118的前面侧和周缘部。由此，CCD117和光学LPF118成为被支架145对外表面气密地覆盖的形式。

支架145构成为在围绕光轴O的大致中央部分具有矩形的开口146（参照图2A）。在该开口146的靠近防尘过滤器119的内周缘部形成有剖面形成为大致L字形状并朝向后方扩展的第1台阶部147a（参照图2A）、和剖面形成为大致L字形状并从该第1台阶部147a起进一步256230朝向后方扩展的第2台阶部147b。第1台阶部147a形成用于配置光学LPF118的空间，第2台阶部147b形成用于配置CCD117的空间。

即，构成为通过相对于支架145从其后方侧朝向开口146侧插入光学LPF118和CCD117，将光学LPF118和CCD117分别配置于预定的部位。并且，通过将光学LPF118的前面侧周缘部与第1台阶部147a抵接配置，两者之间成为大致气密的状态。而且，将光学LPF118配置成在由第1台阶部147a进行朝光轴O方向的位置限制的同时，使得其不会从支架145的内部向前面侧脱出。

另一方面，在支架145的开口146的周缘部，沿着整周形成有一个防尘过滤器承受部148，该防尘过滤器承受部148用于将防尘过滤器119隔开预定间隔保持在光学LPF118的前面侧。该防尘过滤器承受部148形成为在光轴O上，在比第1台阶部147a更靠前面侧的部位，形成与光轴O垂直的平面。并且，形成于防尘过滤器承受部148的内周侧的开口部分成为透射过摄影光学系统后的光束、即成像光线的通过区域149（参照图3）。

在防尘过滤器承受部148的前面侧的内周缘部，在整周上形成有第3台阶部147c。在该第3台阶部147c的外周部上嵌合着由橡胶等软质材料形成的环状的密封件156的内周部而进行了定位。在密封件156上设置有唇部，该唇部朝向外侧扩展成方锥状且前端朝前方延伸，并形成为环状。防尘过滤器119的背面侧的预定部位与该唇部前端按压接触。由此，将光学LPF118的前面与防尘过滤器119的背面之间的空间维持成大致密闭状态。即，上述密封件156作为对上述防尘部件（防尘过滤器119）与上述支架145之间的预定空间进行密封的密封部件发挥作用。此外，上述防尘部件（防尘过滤器119）与上述支架145之间配置成隔着预定间隔。

在防尘过滤器119的前面侧，具有用于使摄影光通过的开口部119b，沿着开口部119b的缘形成为环状的由板状的弹性部件构成的按压支撑部件（以下简单称作按压部件）151配置成覆盖防尘过滤器119的外周缘部。在本实施方式中形成为大致四边形的画框状环状，但该由板状的弹性部件构成的板状的弹性部件只要具有用于使摄影光通过的开口部119b和沿着开口部119b的缘形成为环状的部分即可，可以是任何形状。即，可以是圆弧状，也可以是后述的图10所示那样的形成有一部分直线部的圆弧状。此外，按压部件151例如是对不锈钢、磷青铜、铍铜等金属制的薄板实施金属板弯折加工而形成的部件。

该按压部件151形成为具有：与防尘过滤器119的外周缘部中的相对的两边相对配置的支撑部151c；在与该支撑部151c的支撑面垂直的方向上朝向后方弯折形成的第1立起弯曲部151e；形成于该第1立起弯曲部151e的一部分上的多个固定部151d（在本实施方式中为四个部位；参照图3）；与防尘过滤器119的外周缘部中的相对的其他两边相对配置且从前面侧朝向后方的密封件156（密封部件）（即在光轴O方向（Z方向）上）弹性地按压该防尘过滤器119的按压部即臂151b；弹性到支撑该臂151b的臂支撑部151a；以及在与该臂支撑部151a的支撑面垂直的方向上朝向后方弯折形成的第2立起弯曲部151f。

支撑部151c形成于大致四边形画框状的四边中的相对的两边上，与防尘过滤器119的外周缘部中的相对的两边隔开预定间隔而与该两边相对配置，形成了与防尘过滤器119平行的面。并且，支撑部151c形成为在沿着防尘过滤器119的外周缘部的方向上具有长边的大致长方形。

多个固定部151d是为了将按压部件151固定到支架145的防尘过滤器承受部148的面上而形成的部位。因此，多个固定部151d配置于按压部件151的大致四角部附近，以将上述第1立起弯曲部151e的一部分朝向外侧弯折的形式，形成为沿着支架145的防尘过滤器承受部148的面朝向外侧延伸。并且，在多个固定部151d中穿设有螺钉孔151h。由此，按压部件151使用通过固定部151d的螺钉孔151h而配置的螺钉150而被固定支撑于防尘过滤器承受部148上。另外，在多个固定部151d中的一部分（在本实施方式中为两个固定部）上，形成有孔部151x，该孔部151x供从防尘过滤器承受部148朝向外部突出设置的两根定位销145a嵌合。这两个孔部151x中的一个是圆孔，另一个是长孔。即，在按压部件151被固定支撑于防尘过滤器承受部148上时，通过将防尘过滤器承受部148的两根定位销145a分别嵌合到两个孔部151x，进行按压部件151的定位。该情况下，将一个孔部151x设为了长孔是用于吸收部件制作上的尺寸误差（销位置或孔位置等）的措施。

臂151b形成于大致四边形画框状的四边中的、彼此相对的两组边中的一组上。并且，臂151b配置于夹着通过上述防尘部件的重心和上述施振部件的重心的假想轴而相互对称的位置上，且配置于防尘过滤器119的外周缘部。其位置是使通过上述防尘部件的重心的假想轴的转矩保持平衡的位置。此外，各臂151b由形成与防尘过滤器119平行的面的中央部分、和弹性地按压防尘过滤器119的外周缘的板簧状的按压部分构成，中央部分和按压部分形成为在沿着防尘过滤器119的外周缘的方向上具有长边的大致长方形。板簧状的按压部分通过将前端侧朝向防尘过滤器119一侧弯折来弹性地按压防尘过滤器119的外周缘。并且，以如下方式形成有臂支撑部151a：该臂支撑部151a从该臂151b的大致中央部分起沿着通过上述防尘过滤器119的重心并垂直于上述假想线的假想线朝向该防尘过滤器119的外侧延伸。因此，从正面侧观察按压部件151时（参照图3）的臂支撑部151a和臂151b形成的形状的为大致T字形状。并且，在从图3所示的正面侧观察时，通过第2立起弯曲部151f进行单侧支撑成该大致T字形状部与防尘过滤器119平行。即，成为在臂支撑部151a的前端部位一体地连接设置有臂151b、在臂支撑部151a的基端部位一体地连接设置有第2立起弯曲部151f的形式。利用该结构，将臂151b形成为从前面侧朝向后方、即在沿着光轴O的方向（Z方向）上按压防尘过滤器119的周缘部的彼此相对的两边。

另一方面，防尘过滤器119的背面侧、即与光学LPF118相对一侧的面隔着上述密封件156由防尘过滤器承受部148支撑。该密封件156由具有弹性的原料形成。

另外，在按压部件151的臂151b的两前端部位，设置有例如由橡胶或树脂等具有振动衰减性的有弹性的板状材料、即振动吸收材料构成的弹性的承受部件152。由此，承受部件152介于在按压部件151与防尘过滤器119之间。若将防尘过滤器119的振动直接传递至按压部件151，则有时会在按压部件151中产生不需要的振动从而妨碍防尘过滤器119的振动，或者产生可听音。通过在防尘过滤器119与按压部件115之间夹入具有振动吸收性的树脂材料或橡胶材料的密封件，阻碍振动传递到按压部件115。

此外，在按压部件151的第1立起弯曲部151e的内壁面上，配置有由与上述承受部件152相同的材料构成的支撑部件154。在该支撑部件154上，抵接配置防尘过滤器119的外周端面中的两个端面。由此，进行防尘过滤器119的Y方向的定位。

另一方面，如图3所示，在支架145上，设置有形成为从防尘过滤器承受部148起朝向前面突出的支撑部155。该支撑部155以夹着按压部件151的各臂支撑部151a的方式，在其两侧分别形成有一对。并且，在该支撑部155的内壁面也设置有支撑部件154，对该支撑部件154抵接配置防尘过滤器119的外周端面中的其他两个端面。由此，进行防尘过滤器119的X方向的定位。该支撑部件154也利用橡胶或树脂等具有振动衰减性的材料形成，从而不会阻碍防尘过滤器119的振动。

在本实施方式的结构中，不需要将承受部件152的配置位置（即防尘过滤器119的按压位置）设定成在防尘过滤器119中产生的振动的波节位置（将后述）。但是，如果将承受部件152的配置设定为振动的波节位置，则即使增大按压力也不会阻碍防尘过滤器119的振动，因此能够构成振动振幅大、高效率的尘埃去除机构。

此外，如上所述，在防尘过滤器119的周缘部与防尘过滤器承受部148之间，介入有具有环状的唇部的密封件156，唇部与防尘过滤器119接触配置。由此，密封件156从背面侧支撑防尘过滤器119，并且将包括开口146在内的空间设为了气密状态。

另外，当将上述环状唇部支撑防尘过滤器119的位置设定为在防尘过滤器119中产生的振动的波节位置（将后述）时，即使增大按压力也基本不会阻碍防尘过滤器119的振动，因此当然能够构成振动振幅大、高效率的尘埃去除机构。

此外，能够通过将防尘过滤器119的按压力设定为2N（牛顿）以下，构成为即使不通过按压部件151或密封件156按压支撑振动的波节位置，也基本不会阻碍防尘过滤器119的振动

通过以上那样的结构，本实施方式的数字照相机10中的摄像单元116具有形成为期望的大小的支架145，并使CCD117周围成为气密结构。

另一方面，在上述防尘过滤器承受部148上，在与上述各个承受部件152相对的部位，配置有由与承受部件152相同的原料构成的承受部件153。该承受部件153被配置为如下部件：在对防尘过滤器119施加按压部件151的按压方向的外力（光轴O方向（Z方向）且从前面朝向后方的外力）使得防尘过滤器119的平面位置发生了移位时，支承该防尘过滤器119的背面侧。

并且，按压部件151的支撑部151c成为如下部件：在对防尘过滤器119施加反按压方向的外力从而使得防尘过滤器119的平面位置发生了移位时，支承该防尘过滤器119。

支撑部151c形成于固定部151d的附近，因此反按压力方向的力到第1立起弯曲部151e的内壁与防尘过滤器119的外形相接触的位置为止的距离非常短，支撑防尘过滤器119的支撑部151c的弯曲方向的弹簧常数非常大。因此，即使在防尘过滤器119受到较大的反按压方向的力的情况下也能够将其位移抑制得非常小。此外，臂151b的最大位移量成为和防尘过滤器119的前面与支撑部151c之间的间隔大体一致的预定的位移量。即，臂151b的刚性小、弹簧常数也小且容易变形，但将位移抑制为了预定的较小的值，因此不会由于外力而较大移位并破损，或者防尘过滤器119的保持不会脱开。而且，支撑部151c与按压部件151形成为一体，并且形成为板状，因此按压部件151所需的空间与以往的防尘部件按压机构相比基本没有变化。

此处，将图3的按压部件151设为弹簧用磷青铜板、弹簧用铍铜板、弹簧用不锈钢板等金属板或具有较高的弯曲强度的树脂材料，在设其臂151b的板厚为t、杨氏模量为E、宽度为Wb、长度为Lb（展开长度）时，臂151b的弹簧常数kb用下式表示：

kb=1/4·(E·Wb·t³)/Lb³。

另一方面，在将支撑部151c假定为单纯的悬臂梁，设悬臂梁的宽度为Wc、长度为Lc、板厚为t、杨氏模量为E时，同样弹簧常数kc如下式：

kc=L/4·(E·Wc·t³)/Lc³。

此处，图3所示的支撑部151c不是单纯的悬臂梁，而具有比上述式子的值大的弹簧常数，但为了简单说明假定为悬臂梁，计算kc作为最小的弹簧常数。

在上述两个式子中，假如Wb≒Wc，则各个弹簧常数kb，kc的比kc/kb为

kc/kb=I/(Lc/Lb)³，

与各个梁的长度Lb、Lc之比的立方成反比。

并且，具体而言，如果设为Lb=5mm、Lc=0.5mm，则弹簧常数的比kc/kb=1000，支撑部151c具有臂151b的弹簧常数的1000倍的弹簧常数。如果相对于预定的力的变形较小，则刚性变高，可以认为刚性的比与弹簧常数成正比，因此支撑部151c的刚性是臂151b的刚性的1000倍。

并且，具有导电性图案的挠性印刷基板157与作为施振部件的压电元件120的端部电气连接。设置该挠性印刷基板157是为了将来自防尘过滤器控制电路121的预定的电气信号（后面叙述）输入给压电元件120。由此，压电元件120接收防尘过滤器控制电路121的控制信号而产生预定的振动。挠性印刷基板157由树脂和铜箔等形成，具有柔软性，所以使压电元件120的振动衰减的情况较少，而通过将压电元件120设置在振动振幅小的部位（后面叙述的振动的波节位置），能够进一步抑制振动的衰减。

另一方面，在本实施方式的数字照相机10中，具有下面叙述那样结构的抖动校正用的防抖单元（以下称作抖动校正机构）。该情况下，压电元件120相对于主体单元100进行相对移动。因此，在将防尘过滤器控制电路121与主体单元100设置成一体的情况下，对防尘过滤器控制电路121与压电元件120之间进行电气连接的挠性印刷基板157根据抖动校正机构的动作而变形且其位置发生移位。该情况下，由于挠性印刷基板157由具有柔软性且较薄的原料形成，因此对于减少抖动校正机构动作时的负荷和进行小型化是有效的。并且，在本实施方式中，将挠性印刷基板157设为了从其端部的一个部位拉出的简单结构。这种结构是最适合于具有抖动校正机构的图像设备（数字照相机10）的结构。

另外，从防尘过滤器119的表面脱离的尘埃如后面所述，由于其振动的惯性力和重力的作用，落到机身单元100的底面侧（下方）。因此，如图5所示，在本实施方式的数字照相机10中，在防尘过滤器119的下缘端119a附近配置了尘埃吸附部件159。该尘埃吸附部件159例如由粘接材料、粘接带等具有粘接性部件的部件形成，用于通过可靠地吸附并保持防尘过滤器119振动而从其表面脱离落下的尘埃，使这些尘埃不会再次附着到防尘过滤器119的表面。因此，如图5所示，在按压部件151中，在其外周缘部中的下端侧的支撑部151c的一部分、且被下端侧的两个固定部151d夹着的区域中，形成有使支撑部151c的外周缘部在沿着光轴O的方向上（Z方向）且朝向后方的弯折部151g。并且，以图5所示的形式将尘埃吸附部件159粘贴到该弯折部151g的内侧面且防尘过滤器119的下缘端119a附近的部位。

接着，对本实施方式的数字照相机10中的抖动校正机构进行简单说明。

如以上在图1的说明中叙述那样，本实施方式的数字照相机10中的抖动校正机构由X轴陀螺仪160、Y轴陀螺仪161、防振控制电路162、X轴致动器163、Y轴致动器164、X框165、Y框166（与上述支架145对应）、框架167、位置检测传感器168和致动器驱动电路169等构成。

X轴陀螺仪160检测数字照相机10绕X轴的抖动的角速度。Y轴陀螺仪161检测数字照相机10绕Y轴的抖动的角速度。

防振控制电路162根据来自X轴陀螺仪160和Y轴陀螺仪161的角速度信号，运算抖动补偿量。此处，在将沿着光轴O的方向设为Z轴方向时，将在与光轴O垂直的XY平面内分别与Z轴垂直的两个轴设为X轴方向（第1方向）、Y轴方向（第2方向）。防振控制电路162根据计算出的抖动补偿量数据，使CCD117在XY平面内分别沿X轴方向和Y轴方向移动预定量，以补偿像抖动。

X轴致动器163是接收来自致动器驱动电路169的驱动信号从而沿X轴方向驱动CCD117的驱动源。Y轴致动器164是接收来自致动器驱动电路169的驱动信号从而沿Y轴方向驱动CCD117的驱动源。X轴致动器163和Y轴致动器164采用组合了电磁旋转电机和丝杠进给机构等的机构、或使用了音圈电机的直进电磁电机、或直进压电电机等。

并且，将X框165和搭载了CCD117的Y框166（支架145）构成为相对于框架167移动的移动对象物。

位置检测传感器168是检测X框165和Y框166（支架145）的位置的传感器部件。

防振控制电路162使用位置检测传感器168的位置信息、或对位置信息进行微分后的速度信息，控制致动器驱动电路169，以对搭载了CCD117的Y框166进行用于抖动校正的移动控制，并且在超过可移位移动的范围后不驱动X轴致动器163和Y轴致动器164。

接着，参照图4～图12更具体地说明本实施方式的数字照相机10中的振动装置（尘埃去除机构）。图4是取出示出本实施方式的数字照相机中的振动装置（尘埃去除机构）的主要结构部（振子）的主要部分放大分解立体图。图5是示出本实施方式的数字照相机的振动装置中的尘埃吸附部件的配置的主要部分放大剖面图。另外，图5示出了沿着图3的[5]-[5]线的剖面。图6是放大示出本实施方式的数字照相机的振动装置中的防尘部件按压机构的主要部分的主要部分放大剖面图。另外，图6示出朝反按压方向对防尘过滤器施加了外力的状态，放大示出了图2A的一部分（图2a的箭头[6]所示的附近）。

图7A、图7B、图7C是说明在防尘过滤器中产生的振动的情形（振动模式1）的图，图7A示出防尘过滤器的主视图，图7B示出沿着[B]-[B]线的纵剖面图，图7C示出沿着[C]-[C]线的横剖面图。图8A、图8B、图8C是说明振动装置中的防尘过滤器的振动的产生概念的图，图8A示出防尘过滤器的主视图，图8B示出沿着[B]-[B]线的纵剖面图，图8C示出沿着[C]-[C]线的横剖面图。图9A、图9B、图9C是用于说明在振动装置中的防尘过滤器中产生的振动的情形（振动模式3）的图，示出了与图8A、图8B、图8C示出的振动不同的振动的情况。图10是示出振动装置中的防尘过滤器的不同形式、及此时的防尘部件按压机构的图。图11是示出振动装置中的防尘过滤器的另一不同形式的图。图12是用于说明在振动装置中的防尘过滤器中产生的驻波的示意图、且与图7B的纵剖面图对应。

防尘过滤器119形成为具有至少一条关于某个对称轴对称的边，整体形成多边形的板状（在本实施方式中为四边形），至少从能够获得最大的振动振幅的位置起沿放射方向具有预定扩展度的区域构成透明部。此外，防尘过滤器119也可以是整体形成圆形，并将该圆的一部分剪切成直线状而成为具有一条边的D形状，还可以使四边形的两边形成为圆弧状，形成具有上下两条边的形状。并且，利用上述安装机构（支架145、按压部件151等）在光学LPF118的前面侧隔开预定间隔地相对配置该防尘过滤器119的透明部。

并且，在防尘过滤器119的一个面（在本实施方式中为背面侧）的上侧外周缘部附近，通过例如粘接剂的粘接等方法，固定设置了用于对防尘过滤器119施加振动的施振部件即压电元件120。通过在防尘过滤器119上配置压电元件120，形成振子170（参照图4）。在对压电元件120施加了预定的频率电压时，该振子170共振振动，并以较大的振幅产生图7A、图7B、图7C所示的弯曲振动。

如图4所示，在压电元件120上形成有信号电极171和信号电极172，信号电极172设在与该信号电极171相对的背面，并通过侧面绕到具有上述信号电极171的一侧的面。并且，上述挠性印刷基板157分别与信号电极171和信号电极172电气连接。该挠性印刷基板157与防尘过滤器控制电路121连接。利用该结构，防尘过滤器控制电路121通过挠性印刷基板157对上述信号电极171、172施加具有预定周期的驱动电压，能够使防尘过滤器119产生图7A、图7B、图7C所示的二维驻波弯曲振动（设为振动模式1）。

图7A、图7B、图7C所示的弯曲振动表示驻波振动，图7A所示的网眼状的区域173表示振动的波节区域（振动振幅小的区域）。该网眼状的区域173关于通过防尘过滤器119的重心的假想线大致对称。

另外，在图7A、图7B、图7C中，标号119a表示防尘过滤器119的重心。标号120a表示压电元件120的重心。标号149表示成像光线的通过区域。标号173表示波节区域（振动振幅小的区域）。标号174表示振动振幅的波峰的峰线。标号175表示中心振动区域。标号175a表示中心振动区域的重心。标号180表示支撑区域。用标号181示出的双点划线表示密封件156的接触部。

在振动速度大的情况下，如图7A所示，在波节区域173的间隔小时，在波节区域173产生大的面内振动，使处于波节区域173的尘埃沿面内振动方向产生大的惯性力（参照后面叙述的图12的质点Y2的运动。以波节为中心，在Y2和Y2’之间进行圆弧振动）。如果使防尘过滤器119面朝与重力平行的方向倾斜，以使沿着尘埃的附着面的力发挥作用，则惯性力和重力发挥作用，也能够去除附着在波节区域173中的尘埃。

另外，图7A中的白色区域表示振动振幅大的区域，附着在该白色区域中的尘埃可以利用通过振动而赋予的惯性力来去除。也可以通过在波节区域173具有振幅的其他振动模式来施振而去除附着在振动的波节区域173中的尘埃。

图7A、图7B、图7C所示的弯曲的振动模式1通过对X方向的弯曲振动和Y方向的弯曲振动进行合成而形成。图8A、图8B、图8C示出该合成的基本状态的情形。如图8A、图8B、图8C所示，在该例中，将关于防尘过滤器119的中心轴X对称地配置两个压电元件120、121而成的部件设为振子170。将该振子170放置在海绵等几乎没有振动衰减的部件上并使其自由振动。该情况下，能够容易地获得产生图8A、图8B、图8C所示的网格状的波节区域173的振动（参照上述日本特开2007-267189号公报）。该情况下，在X方向产生波长λx的驻波弯曲振动，而且在Y方向产生波长λy的驻波弯曲振动。图8A、图8B、图8C示出了将两种驻波（λx、λy）合成后的状态。

此处，在图8A中，如果将用标号O示出的点设为坐标x＝0、y＝0的原点，在将振幅设为A（此处是设为固定值，但实际上根据振动模式和输入到压电元件的功率而变化），将对应于振动模式的固有振动的次数设为m、n（包含0的正整数），将任意的相位角设为γ时，该图中的任意的点P（x，y）的Z方向（与XY平面垂直的方向）的振动Z（x，y）利用下式（1）表示。即，

Z(x,y)=A·Wmn(X，y)·cos(γ)

+A·Wnm(x，Y)·sin(γ)…(1)

其中，

Wmn(x，y)=sin(nπ·x+π/2)·sin(mπ·y+π/2)

Wnm(x，y)=sin(mπ·x+π/2)·sin(nπ·y+π/2)

其中，例如在假设相位角γ＝0时，上述式（1）成为下式，

Z(X，y)=A·Wmn(x，y)

=A·sin(n·π·x/λx+π/2)

·sin(m·π·y/λy+π/2)

其中，在假设λx＝λy＝λ＝1时（将弯曲的波长设为单位长度来表述x，y）成为下式，

Z(K，y)＝A·Wmn(X，y)

＝A·sin(n·π·x+π/2)

·sin(m·π·y+π/2)

图8A、图8B、图8C表示m＝n时的振动模式（X方向、Y方向的振动的次数和波长相同，所以防尘过滤器119的形状为正方形），在X方向、Y方向以相等间隔出现振动的波峰、波节、波谷，振动的波节区域173以棋盘状出现（以往的振动模式）。并且，在m＝0、n＝1的情况下的振动模式时，形成为出现与平行于Y方向的边（边LB）平行的波峰、波节、波谷的振动。在上述的棋盘状或与边平行的振动模式时，X方向、Y方向的振动只独立出现，在棋盘状的振动的X方向和Y方向的交点处也合成振动且振动振幅不会变大。

其中，当使防尘过滤器119的形状成为略微偏长方形时，即使如本实施方式的结构那样沿一条边配置压电元件，也成为振动振幅非常大的振动模式（最大振幅与以往的圆形防尘过滤器为相同的水平）。此时，成为图7A、图7B、图7C所示的振动模式1，尽管防尘过滤器119是矩形，但振动振幅的波峰的峰线174相对于光轴中心构成闭合曲线，将来自X方向的边的反射波和来自Y方向的边的反射波高效地合成而形成驻波。

此外，图9A、图9B、图9C表示通过改变图7A、图7B、图7C的防尘过滤器119的施振用频率而产生的另一振动模式（设为振动模式3），该振动模式是形成包围边的中心的振动振幅的波峰的峰线174的振动模式。

在图7A、图7B、图7C中，振子170的防尘过滤器119是30.5mm（X方向：LA）×31.5mm（Y方向：LB）×0.65mm（厚度）的玻璃板。此外，压电元件120利用21mm（X方向）×3mm（Y方向）×0.8mm（厚度）的锆钛酸铅陶瓷制成。并且，在该防尘过滤器119的背面侧的预定位置、即防尘过滤器119的上侧外周缘部附近，利用环氧树脂类的粘接剂将压电元件120粘接固定在关于防尘过滤器119的Y轴中心左右对称的位置处。此时，图7A、图7B、图7C所示的振动模式的共振频率为78kHz左右，在防尘过滤器119的中央位置，能够获得与在该四边形的防尘过滤器119所内接的大小的圆形中形成防尘过滤器时大致匹敌的最大振动速度、振动振幅。

图10示出了振子170和按压部件151的变形例。该变形例的防尘过滤器119切去圆板状的一部分而形成一条边D。

即，形成了具有关于Y方向的对称轴对称的一边D、整体大致D形状的防尘过滤器119。压电元件120以与该一边D平行而且关于包含该一边D的中点Y1的轴线（即Y方向的对称轴Y）对称的方式固定配置在防尘过滤器119的面上。

如果以图10所示的形状来形成防尘过滤器119的形状，则关于防尘过滤器119的中心（也可以认为是重心）的形状对称性提高，更容易形成图7A、图7B、图7C所示的振动状态。另外，当然相比圆形，防尘过滤器的形状变得更小。

另外，对于由于与一边D平行地配置压电元件120，而因产生缺口而产生的关于振动的非对称性，能够通过提高刚性形成更对称的形式，使得更容易形成所要求的振动状态。另外此处，图10中的长边、短边如图所示，一边沿着防尘过滤器119的上述一边，与其相对的边与上述一边平行，并成为面积与防尘过滤器119相同的假想矩形176（图10的用双点划线示出的矩形）的一边，与该一边垂直的边同样地成为面积与防尘过滤器119相同的假想矩形176的边。

另一方面，在按压部件151中，主体部151i以沿着防尘过滤器119的外形的方式形成为筒状，臂151b从在主体部151i的内周侧延伸的多个臂支撑部151a的端部起沿着防尘过滤器119的外周延伸，在臂151b的端部经由承受部件152对防尘过滤器119进行按压支撑。此外，在按压部件151的主体部151i的外周侧，多个固定部151d延伸，并用螺钉等固定到支架145。并且，在臂151b由于外力而移位预定量时，被在主体部151i的内周侧延伸出的多个支撑部151c支撑。

支撑部151c的弹簧常数比由弹性材料形成的按压部件151的臂151b的弹簧常数大，从而支撑部151c当然具有防止臂151b的过度变形和永久变形的功能，支撑部151c相对于假定的外力也具有充分的刚性。

为了将防尘过滤器119的按压力设定为2N（牛顿）以下，将一个臂15lb采用了更小的刚性。此外，防尘过滤器119的X方向、Y方向的定位由多个支撑部件154进行，该多个支撑部件154配置于防尘过滤器119与按压部件151的支撑部151c之间，并设置于支撑部151c上。

并且，在防尘过滤器119与支架145之间，介入有密封件156。由此，密封件156从背面侧支撑防尘过滤器119，并且使防尘过滤器119与支架145之间的空间成为尘埃不会进入到该空间内的水平的气密状态。

图11示出了振子170的另一变形例。在该另一变形例中，防尘过滤器119通过关于圆板状对称地设置缺口来形成平行的两条边。即，形成为具有两条关于Y方向的对称轴Y对称的边的防尘过滤器119。该情况时，压电元件120不配置在边附近，而是在形成圆周的部分配置圆弧状的元件。

当形成这种形式时，高效地配置压电元件120，因而能够形成更小型的振子170。另外这里，图11中的短边、长边如图所示，成为假想矩形176的长边、短边，该假想矩形176的一边以及与其相对的边沿着防尘过滤器119的两条边，面积与防尘过滤器119相等。即使是该防尘过滤器119的形式，也能够应用与图10所示形式的按压部件151相同的按压部件，能够实现本发明的防尘过滤器119的防尘部件按压机构。

下面，使用图12具体说明尘埃的去除。

在对沿图12的箭头177所示的方向被实施极化的压电元件120施加了预定的频率电压时，在某个时间点t0，振子170成为图12的实线所示的状态。

在将振动的角速度设为ω、将Z方向的振幅设为A、并且设为Y＝2πy/λ（λ：弯曲振动的波长）时，位于振子170表面的任意位置y处的质点Y1在任意时刻t的Z方向的振动z利用下面的式（2）表示如下：

Z=Asin(Y)·cos(ωC)…（2)

该式（2）表示图7A、图7B、图7C所示的驻波振动。即，在y＝s·λ/2时（其中，s为整数），Y＝sπ，sin（Y）为零。因此，与时间无关，每个λ/2都具有Z方向的振动振幅为零的波节178，这是驻波振动。在图12中虚线所示的状态表示相对于时间t0的状态振动为反相的状态、即t＝kπ/ω的状态（其中，k为奇数）。

防尘过滤器119上的点Y1的振动成为弯曲驻波的振动的波腹179的位置，所以振动振幅为A，Z方向的点Y1的位置z（Y1）成为：

z(Y1)＝Acos(ωt)…(3)。

在将振动的频率设为f时，由于ω＝2πf，所以Y1的振动速度Vz（Y1）为，将上述式（3）按照时间进行微分后，成为：

Vz(Y1)=d(z(Y1))/dt

＝-2πf·Asin(ωt)…(4)。

再将上述式（3）按照时间进行微分后，Y1的振动加速度αz（Y1）成为：

αz(Y1)=d(Vz(Y1))/dt

＝-4π²f²·Acos(ωt)…(5)，

附着在Y1上的尘埃79受到上述式（5）的加速度。此时，将尘埃79的质量设为M，尘埃79受到的惯性力Fk成为：

Fk=αz(Y1)·M

＝-4π²f²·Acos(ψt)·M…(6)。

根据上式（6），当提高频率f时，惯性力Fk变大，所以可知是有效的，但如果此时的振动振幅A比较小，则无论如何提高频率，都不能提高惯性力。一般，当使产生施振的振动能量的压电元件120的大小一定时，只能产生预定的振动能量。因此，当在相同形式的振动模式下提高频率时，振动振幅A与频率f的平方成反比，在提高共振频率以成为高次的共振模式时，振动振幅降低，振动速度不能提高，振动加速度也不能提高。反之，当频率提高时，难以实现理想的共振，振动能量损失增大，振动加速度下降。

即，如果单纯地以共振模式来产生振动，将不能成为具有大的振幅的模式，导致尘埃去除的效果明显恶化。此外，在图12的防尘过滤器119的保持中，支撑振动的波节即可，但如果支撑振动的波腹，则会阻碍所产生的振动，从而显著降低振动加速度，结果降低尘埃的去除性能。在本实施方式中，通过以沿着防尘过滤器119的外周部的方式形成悬臂梁状的臂151b来将按压力设为2N以下，构成为即使支撑例如振动的波腹部分，也基本不会阻碍振动。

具体而言，构成为通过例如后述的图19、图20、图21（将后述的第2实施方式）所示的由画框状的橡胶材料构成的密封件156承受防尘过滤器119的背面，改变施加到压电元件120的电压的频率，分别产生图7A、图7B、图7C所示的振动模式1，图9A、图9B、图9C所示的振动模式3以及具有与防尘过滤器119的一条边平行的波节的振动模式2，用预定的力量按压防尘过滤器119外周部的不是振动波节的位置。并且，测量此时的防尘过滤器119的中央部的最大振动速度V，最大振动速度V与在将对防尘过滤器119的按压力设为了零的情况下（其中施加防尘过滤器119的重量）的防尘过滤器119的中央部的最大振动速度Vmax1之比V/Vmax1如图23所示。

在将按压力设为2N以下时，在振动模式1和振动模式3中，V/Vmax1为70%以上，相对于将按压力设为了零的情况振动速度的降低为30%以下。该按压造成的振动速度的降低率小于等于按压圆板状的防尘过滤器的圆环状的振动波节的情况的降低率。振动的波节不进行振幅方向（图12的Z方向）的振动，但如图12所示那样绕波节进行圆弧振动，如果是本发明的防尘部件按压机构，则能够将按压力减小到极限，能够将绕振动波节的振动阻碍设为最小，能够得到较大的振动速度。并且，如果将按压力设为1N左右，则根据图23，能够实现与按压力为零的情况相比基本不发生变化的振动速度，能够实现具有最大的尘埃去除效果的振动装置。

在设振子170的质量为m、重力加速度为g（其中重力加速度为1G=9.8m/s²）的情况下，为了防止振子170仅由于改变振动装置的姿势就移位，按压力的最低设定值Fmin为Fmin＞g·m，更具体而言，Fmin=2·g·m，之前叙述的形状、材质的防尘过滤器119由于m=2g左右以下，因此为0.04N左右以上。在考虑到部件和组装的偏差时，优选乘以10倍左右的安全系数，将按压力的最低设定值Fmin设定为0.4N左右。另一方面，关于外力F，假定在装置下落时施加几百G左右的加速度的情况，具体而言在设为了500G的情况下，外力F=9.8N。在将按压力设为了0.4N的情况下，外力为按压力的24.5倍，在以往的按压部件时，发生较大移位且简单地进行塑性变形。但是，本发明的按压部件151具有支撑部151c，其刚性为产生按压力的臂151b的刚性的1000倍以上（弹簧常数也为1000倍以上）左右，因此在臂151b变形了预定量后，支撑部151c受到减去臂151b的预定量变形所需的力△f后的外力F′=F-△f，仅移位了移位量Z1。此处，在设支撑部151c的弹簧常数为k1、预定的按压力F1时的臂151b的移位量为Z2、臂151b的弹簧常数为k2时，F’=Zl·kl、Fl=Z2·k2，Zl/Z2=F′/Fl·k2/kl。在设为kl/k2=1000，假如F’=9.8N、F1=0.4N时，Zl/Z2=1/41，支撑部151c的移位量是臂151b的移位量的1/41，不会受到较大的应力，并且按压部件151所需的空间与以往的防尘部件按压机构所需的空间相比基本没有变化。在实用上设定为Z1/Z2=1/10左右即可，该情况下将支撑部151c的刚性（弹簧常数）设定为臂151b的250倍左右（或者其以上）即可。

另一方面，尽管防尘过滤器119是矩形，但在图7A、图7B、图7C所示的振动模式1中，振动振幅的波峰的峰线174相对于光轴中心构成闭合曲线。并且，在图9A、图9B、图9C所示的振动模式3中，振动振幅的波峰的峰线174构成包围边的中心的曲线，将来自X方向的边的反射波和来自Y方向的边的反射波高效地合成而形成驻波。

其中，在所有的振动模式中，图7A、图7B、图7C的振动模式1的中央部的最大振动速度最大，为Vmax1。此外，图9A、图9B、图9C的振动模式3相比振动模式1，中央部的最大振动速度降低至超过70%的程度。并且，在振动模式2中，中央部的最大振动速度为振动模式1的中央部的最大振动速度的40%以下程度，振动速度最低，但在将按压力设为1N左右时，基本能够得到与将按压力设为了零时相同的振动速度，从而本发明的防尘部件按压机构发挥充分的效果。

另一方面，在振动模式1的情况下，在按压力2N左右时，相对于按压力，振动速度的变化较大，但在将按压力设为1N左右时，能够大致确保Vmax1的振动速度，相对于按压力的偏差，振动速度没有变化，能够实现稳定的防尘部件按压机构。此外，在振动模式1中，即使将按压力设为2N左右，在本发明的防尘部件按压机构中，也能够沿着防尘过滤器119的外周形成较长的悬臂梁状的臂151b，能够减小臂151b的弹簧常数，相对于臂151b的移位，按压力的变化较小，能够相对于部件和组装的偏差减小按压力的变动。

为了高效地形成该合成驻波，防尘过滤器119的形状尺寸起到很大作用，相比将防尘过滤器119的短边的长度与长边的长度之比即纵横比（短边/长边）设为1即设为正方形的方法，在将纵横比设定为小于1时，尽管仅配置了一个压电元件120，但成为防尘过滤器119的中央位置的Z方向的振动速度最大的区域。实际上，优选防尘过滤器119的纵横比（短边/长边）为0.9以上且小于1。

这样，在振动振幅的波峰的峰线174相对于光轴中心构成闭合曲线的振动、和构成包围边中心的曲线的振动中，能够产生与防尘过滤器119是圆板状的形状时产生的同心圆状的振动的振幅同等的振动速度。在单纯地产生与边平行的振动振幅的振动模式中，只能获得图7A、图7B、图7C的振动模式1的十分之一到几分之一左右的振动加速度。

并且，在振动振幅的波峰的峰线174构成闭合曲线的振动、和构成包围边中心的曲线的振动中，振子170的中心的振动速度最大，越是周边的闭合曲线或包围曲线，振动振幅越小。因此，越是图像的中心，尘埃去除的能力越高，通过将振子170的中心与光轴O对准，还具有越是中心的画质高的地方、越不容易摄入尘埃79的优点。

另外，对于成像光线通过区域149内的振动振幅小的区域即波节区域173，当然可以通过改变提供给压电元件120的驱动频率而以不同的振动模式（具体而言为图23的振动模式1和振动模式3等）共振，由此改变波节177的位置，能够去除尘埃79。

另外，位于图7A、图7B、图7C、图9A、图9B、图9C的四角的支撑区域180是几乎没有振动振幅的区域，因此在向Z方向按压该部分时，如果通过橡胶等具有振动衰减性的承受部件153来支撑防尘过滤器119，则基本不产生振动的衰减，能够进行可靠的按压。即，橡胶等的承受部件153允许防尘过滤器119的面内方向的振动，所以几乎不会使面内方向的振动衰减。当然，即使在施加了100G左右的外力的情况下，也能够支承防尘过滤器119。在此处示出的承受部件153的结构中，容易制成受到几十N外力的结构。

另一方面，承受防尘过滤器119的密封件156还必须设在具有振动振幅的区域，但在本实施方式的振动模式中，越到周边的振动振幅的波峰位置处，振动振幅越小，因此，通过利用唇形状来承受防尘过滤器119的周边部，在弯曲振动振幅方向上不会较强地作用力，由于原先的振动振幅较小，因此能够极大程度地减小密封件156引起的振动的衰减。在本实施方式中，如图5、图8A、图8B、图8C所示，构成为了密封件接触部181较多地接触振动振幅小的区域即波节区域173，所以振动衰减更小。并且，密封件156的唇形状在Z方向上具有弹簧性，能够减小其弹簧常数，能够相对于Z方向的移位减小按压力的变动，从而能够确保稳定的按压力。此外，即使在施加了外力的情况下，防尘过滤器119与支撑部151c的间隔也较小，由于唇部的弹簧性，密封件156在Z方向上移位，从而保证防尘过滤器119与光学LPF118之间的空间的密闭性。

另外，使压电元件120振动的上述预定的频率根据构成振子170的防尘过滤器119的形状尺寸、材质、支撑的状态而确定，但通常温度成为影响振子170的弹性系数并使其固有振动数变化的一个主要原因。因此，在应用时，优选测量其温度并考虑其固有振动频率的变化。该情况时，在数字照相机10内设置与温度测定电路（未图示）连接的温度传感器（未图示），将根据温度传感器的测量温度预先确定的振子170的振动频率的校正值存储在非易失性存储器128中，将测量温度和校正值读入到Bucom101中，并运算驱动频率作为防尘过滤器控制电路121的驱动频率，由此能够相对于温度变化产生效率良好的振动。

下面，说明本实施方式的数字照相机10的防尘过滤器控制电路121。图13是概略示出数字照相机10的机身单元100中的防尘过滤器控制电路121的结构的电路图。图14A、图14B、图14C、图14D是从图13的防尘过滤器控制电路121的各个结构部件输出的Sig1、Sig2、Sig3、Sig4的各个信号形式的时序图。

防尘过滤器控制电路121具有图13所示的电路结构，在其各个部分中生成利用图14A、图14B、图14C、图14D的时序图表示的波形的信号（Sig1～Sig4），根据这些信号如下进行控制。

防尘过滤器控制电路121如图13所示，由N进位计数器182，1/2分频电路183，反相器184，多个MOS晶体管Q00、Q01、Q02，变压器185和电阻R00构成。

通过与所述变压器185的一次侧连接的MOS晶体管Q01和MOS晶体管Q02的导通/截止切换动作，在该变压器185的二次侧产生预定周期的信号（Sig4），根据该预定周期的信号来驱动压电元件120，使固定安装有防尘过滤器119的振子170产生共振驻波。

Bucom101通过作为控制端口而设置的两个IO端口P_PwCont和IO端口D_NCnt、以及位于该Bucom101内部的时钟产生器186，如下控制防尘过滤器控制电路121。

时钟产生器186以与施加给压电元件120的信号频率相比充分快的频率将脉冲信号（基本时钟信号）输出到N进位计数器182。该输出信号是图14A的时序图表示的波形的信号Sig1。并且，该基本时钟信号被输入到N进位计数器182。

N进位计数器182对该脉冲信号进行计数，每当达到预定的值“N”时，输出计数结束脉冲信号。即，将基本时钟信号分频为1/N。该输出信号是图14B的时序图表示的波形的信号Sig2。

该分频后的脉冲信号的高电平与低电平的占空比不会成为1：1。因此，通过1/2分频电路183将占空比转换为1：1。另外，该转换后的脉冲信号对应于图14C的时序图表示的波形的信号Sig3。

在该转换后的脉冲信号的高电平的状态时，被输入了该信号的MOS晶体管Q01导通。另一方面，经由反相器184向MOS晶体管Q02施加该脉冲信号。因此，在脉冲信号的低电平的状态时，被输入了该信号的MOS晶体管Q02导通。当与变压器185的一次侧连接的MOS晶体管Q01和MOS晶体管Q02交替导通时，在二次侧产生图14D的信号Sig4那样的周期信号。

根据电源电路135的单元的输出电压和驱动压电元件120所需要的电压来确定变压器185的绕组比。另外，电阻R00是为了限制过大的电流流过变压器185而设置的。

在驱动压电元件120时，MOS晶体管Q00处于导通状态，而且必须从电源电路135向变压器185的中心抽头施加电压。并且，在该情况下，MOS晶体管Q00的导通/截止控制通过Bucom101的IO端口P_PwCont来进行。N进位计数器182的设定值“N”能够根据Bucom101的IO端口D_NCnt来设定，因此Bucom101能够通过适当控制设定值“N”，任意变更压电元件120的驱动频率。

此时，能够利用下面的式（7）计算频率。即，

fdrv=fpls/2N…（7）

其中，N表示对N进位计数器182的设定值，fpls表示时钟产生器186的输出脉冲的频率，fdrv表示施加给压电元件120的信号的频率。

另外，由Bucom101的CPU（控制单元）进行基于该式（7）的运算。

接着，参照图15和图16在下面说明Bucom101进行的控制。图15是示出本实施方式的数字照相机10的动作控制的流程图，且例示了Bucom101进行的照相机程序（主例程）的步骤。

在数字照相机10的机身单元100的电源开关（未图示）被进行了接通（ON）操作后，图15所示的流程图涉及的、能通过Bucom101进行工作的控制程序开始其工作。

首先，执行用于起动该数字照相机10的处理（步骤S101）。即，控制电源电路135，向构成该数字照相机10的各个电路单元提供电力。并且，进行各个电路的初始设定。

然后，通过调用后面叙述的子例程“施振动作”，使防尘过滤器119振动（步骤S102）。

接下来的步骤S103～步骤S124是周期性地执行的步骤组。即，首先检测附件在该数字照相机10上的装卸（步骤S103）。关于该检测，例如检测作为附件之一的镜头单元200被安装在机身单元100上的情况。该装卸检测动作通过与Lucom201进行通信，来调查镜头单元200的装卸状态。

如果检测到预定的附件被安装在机身单元100上（步骤S104），则通过调用子例程“施振动作”，使防尘过滤器119振动（步骤S105）。

由此，在附件尤其是镜头单元200没有被安装在作为照相机主体的机身单元100上的期间，尘埃附着在各个镜头和防尘过滤器119等上的可能性特别大，因此按照上面所述，在检测到镜头单元200的安装的时刻执行去除尘埃的动作比较有效。并且，在更换镜头时，外部空气在机身单元100内部循环，尘埃进入并附着的可能性比较大，因此，在更换镜头时去除尘埃是有意义的。并且，视为是在即将摄影之前，转入步骤S106。

另一方面，在上述步骤S104，在检测到是镜头单元200被从机身单元100卸下的状态时，直接转入后面的步骤S106。

并且，在步骤S106，进行该数字照相机10具有的预定的操作开关的状态检测。

在步骤S106之后通常在液晶监视器123上显示所拍摄的图像，进行作为取景器功能的所谓的实时取景显示，但在该流程图中进行了省略。当然，此时快门108是完全打开的状态，拍摄图像，并根据该摄像图像进行后述的曝光控制。

此处，根据构成释放开关的第一释放开关（未图示）的接通/断开状态，判定该开关是否被操作（步骤S107）。读出该状态，如果第一释放开关没有被进行接通（ON）操作达到预定时间以上，则判定电源开关的状态（步骤S108）。并且，如果电源开关被接通（ON），则返回上述步骤S103，如果被断开（OFF），则结束处理（休眠等）。

另一方面，当在上述步骤S107判定为第一释放开关被进行了接通（ON）操作时，从来自图像处理控制器126的摄像图像获取被摄体的亮度信息，根据该信息计算摄像单元116的曝光时间（Tv值）和镜头单元200的光圈设定值（Av值），并进行曝光控制以成为适当的曝光量（步骤S109）。

然后，同样检测摄像图像的对比度（步骤S110）。并且，判定该所检测出的对比度是否在允许范围内（步骤S111），在否的情况下进行摄影镜头202的驱动控制（步骤S112），并返回上述步骤S103。

另一方面，在对比度在允许范围内的情况下，调用子例程“施振动作”，使防尘过滤器119开始振动（步骤S113）。

并且，判定构成释放开关的第二释放开关（未图示）是否被进行了接通（ON）操作（步骤S114）。在该第二释放开关是接通（ON）状态时，转入接下来的步骤S115并开始预定的摄影动作（具体情况将在后面叙述），但在断开（OFF）状态时转入上述步骤S108。

另外，在摄像动作中，按照以往那样控制与为了曝光而预先设定的秒时（曝光速度）对应的时间的电子摄像动作。

关于上述摄影动作，从步骤S115到步骤S121，按照预定的顺序进行被摄体的摄像。首先，向Lucom201发送Av值，并发出驱动光圈203的指令（步骤S115）。然后，在快门108将前帘设为了关闭（CLOSE）状态后，使快门108的前帘开始行进而控制打开（OPEN）（步骤S117），并对图像处理控制器126发出执行“摄像动作”的指令（步骤S118）。在对CCD117结束了利用Tv值所示的时间的曝光（摄像）后，使快门108的后帘开始行进而控制关闭（CLOSE）（步骤S119）。并且，如果曝光结束则进行快门108的上势动作（步骤S120）。在对快门108进行了上势的状态下，快门108被设置成全开状态的状态。

然后，命令Lucom201将光圈203控制到在实时取景显示中成为适当曝光的预定位置（步骤S121），结束一系列的摄像动作。

然后，检测记录介质127是否被安装在机身单元100上（步骤S122），在否的情况下，进行警告显示（步骤S123）。并且，再次转入上述步骤S103，反复进行相同的一系列处理。

另一方面，如果安装了记录介质127，则命令图像处理控制器126将所拍摄到的图像数据记录在记录介质127中（步骤S124）。在该图像数据的记录动作结束后，再次转入上述步骤S103，反复进行相同的一系列处理。以上说明了静态图像摄影的动作，而关于动态图像摄影的动作也成为相同的动作，因此此处省略说明。

下面，关于具体的振动形式的产生，根据图16说明在上述3个步骤（S102、S105、S113）调用的“施振动作”子例程的控制步骤。另外，该所谓的“振动形式”指由作为施振部件的压电元件120产生的振动的形式。

图16是示出表示上述子例程“施振动作”的动作步骤的流程图的图。在该施振动作中，表示连续提供给施振部件的共振频率的波形的曲线图如图17所示。

图16的子例程“施振动作”是只以用于去除防尘过滤器119的尘埃的施振动作为目的的例程，因此振动频率f0被设定为该防尘过滤器119的共振频率附近的预定频率。在例如图7的振动模式的情况下，为78kHz。

首先，从非易失性存储器128的预定存储区域中，读出与用于使防尘过滤器119振动的驱动时间（Toscf0）和驱动频率（共振频率：Noscf0）相关的数据（步骤S200）。

然后，从Bucom101的IO端口D_NCnt向防尘过滤器控制电路121的N进位计数器182输出驱动频率Noscf0（步骤S201）。

在接下来的步骤S202～步骤S204中如下所述进行尘埃去除动作。在为了去除尘埃而将控制标记P_PwCont设定为高电平时（步骤S202），压电元件120按照预定的驱动频率（Noscf0）对防尘过滤器119施振，掸掉附着在防尘过滤器119面上的尘埃79。在该尘埃去除动作中，掸掉附着在防尘过滤器119面上的尘埃79。

在使防尘过滤器119振动的状态下待机预定驱动时间（Toscf0）（步骤S203），在经过该预定驱动时间（Toscf0）后，通过将控制标记P_PwCont设定为低电平，停止尘埃去除动作（步骤S204）。并且，返回到被调用的步骤的下一个步骤。

在该子例程中应用的振动频率f0（共振频率（Noscf0））和驱动时间（Toscf0）呈现出图17中利用曲线图示出的波形。即，一定的振动（f0＝78kHz）成为只持续足以去除尘埃的时间（Toscf0）的连续波形。即，调整并控制提供给施振部件的驱动频率以产生该振动形式。

图18是示出本发明的第1实施方式的变形例的动作、且表示在数字照相机的Bucom进行的照相机程序（主例程）中调用的子例程“施振动作”的不同动作步骤的流程图的图。

该图变更了上述第1实施方式中的图16所示的子程序“施振动作”的一部分动作，防尘过滤器119的动作与上述第1实施方式（图16）不同。

即，在上述第1实施方式中，采取使防尘过滤器119的驱动频率为f0这样的固定值来产生驻波的形式，但在本变形例中，通过依次变更并施加驱动频率，使得即使不严格控制驱动频率，也产生包含共振频率的振动振幅大的振动。

并且，在防尘过滤器119的形状尺寸和材质因制造偏差而变化的情况下，共振频率变化较大，因此需要对每个产品准确地设定共振频率来驱动压电元件120（在非共振频率的频率下进行驱动时，振动速度进一步下降）。如果应用本变形例那样的频率控制方法，则能够利用非常简单的控制电路进行共振频率下的驱动，即使存在因制造偏差造成的共振频率的偏差也能够进行适当的控制。

下面，根据图18说明该变形例的频率控制方法。

首先，从非易失性存储器128的预定存储区域中，读出与用于使防尘过滤器119振动的驱动时间（Toscf0）、驱动开始频率（Noscfs）、频率位移量（△f）和驱动结束频率（Noscfe）相关的数据（步骤S211）。

然后，将驱动开始频率（Noscfs）设定为驱动频率（Noscf）（步骤S212）。并且，从Bucom101的IO端口D_NCnt向防尘过滤器控制电路121的N进位计数器182输出驱动频率Noscf（步骤S213）。

从接下来的步骤S214开始，如下进行尘埃去除动作。即，开始执行尘埃去除动作。

首先，在为了去除尘埃而将控制标记P_PwCont设定为高电平时（步骤S214），压电元件120按照预定的驱动频率（Noscf）对防尘过滤器119施振，使防尘过滤器119产生振动振幅小的驻波振动。如果振动振幅小，则不能去除附着在防尘过滤器119面上的尘埃79（参照图12）。在驱动时间（Toscf0）期间持续进行该振动（步骤S215）。

接着，比较判定驱动频率（Noscf）是否是驱动结束频率（Noscfe）（步骤S216），如果不一致（判定为否），则对驱动频率（Noscf）加上频率位移量（△f），再次设定为驱动频率（Noscf）（步骤S217），反复进行从上述步骤S213的动作到上述步骤S215的动作。

另一方面，在上述步骤S216中驱动频率（Noscf）与驱动结束频率（Noscfe）一致时（是的情况），将P_PwCont设定为低电平（步骤S218），结束压电元件120的施振动作，并结束一系列的“施振动作”。

在如上述那样变更频率的情况下，驻波振动的振幅增大。因此，如果将驱动开始频率（Noscfs）、频率位移量（△f）和驱动结束频率（Noscfe）设定成使得通过驻波的共振频率，则能够进行以下控制，即，在防尘过滤器119中首先产生振动振幅小的驻波振动，然后驻波振动的振幅逐渐增大，在成为共振振动后，驻波振动振幅减小。并且，只要是预定以上的振动振幅（振动速度），就能够去除尘埃79，所以能够在某个预定的频率范围内去除尘埃79，由于共振时的振动振幅大，所以其频率范围当然也增大。

并且，如果将驱动开始频率（Noscfs）和驱动结束频率（Noscfe）之间的间隔扩大到某种程度，则能够吸收因振子170的温度和制造偏差而引起的共振频率的变化，能够利用极其简单的电路结构可靠地掸掉附着在防尘过滤器119上的尘埃79。并且，在存在共振频率接近的多个振动模式的情况下，能够通过设定包含这多个振动模式的驱动频率范围，实现控制时间的缩短和控制的简化。

如以上所说明那样，根据上述第1实施方式，将按压板状的防尘过滤器119的按压部件151构成为设置了如下部件：按压力低且刚性低的部件，即具有使得产生可减少振动损失的程度的按压力的弹性的按压部即臂151b；以及刚性比该臂151b高的支撑部151c。根据该结构，在通过按压部件151按压支撑防尘过滤器119时，在通常的低负荷状态的情况下，能够极大程度地减小产生于防尘过滤器119中的振动的损失。此外，在施加外力从而由防尘过滤器119对按压部件151施加强负荷的情况下，在设置于按压部件151的刚性高的支撑部151c处支撑防尘过滤器119，停止受到外力，因此能够构成尘埃去除能力始终较高、且抗外力能力强的小型的尘埃去除机构。

与弹性的臂151b的刚性相比，将支撑部151c的刚性设定为至少高大致250倍左右，因此弹性的臂151b的力较小，即使支撑部151c附近成为振动波腹的部分，也能够按压防尘过滤器119。

此外，用弹性的臂151b按压防尘过滤器119，因此能够提供具有结构简单且组装性优良的小型尘埃去除机构的振动装置。

[第2实施方式]

接着，以下使用图19～图22说明本发明的第2实施方式的振动装置。

本实施方式的振动装置的结构基本上与上述第1实施方式的振动装置大致相同，在该第2实施方式中，防尘过滤器119的防尘部件按压机构的结构不同。因此，在以下的说明中，仅说明与上述第1实施方式不同的结构，对于与第1实施方式相同的结构标注相同标号并省略其说明。

图19、图20、图21、图22是示出本发明的第2实施方式的振动装置的主要部分的图。其中，图19是振动装置的主要部分的主视图。图20是图19的左侧视图。图21是图19的右侧视图。图22是说明在对按压部件151施加了外力的情况下施加到按压部件151的力的示意图，且是说明支撑部的作用的部分剖面图。

在第2实施方式的振动装置中，主要是按压部件151A在支架145A上的安装结构与上述第1实施方式不同。在上述第1实施方式中，如使用图3说明那样，使用螺钉150将在按压部件151的外周侧延伸出的多个固定部151d固定到支架145。

与此相对，在本实施方式中，按压部件151A在沿光轴O方向（Z方向）延伸的固定部151Ad中设置了多个切口151Aj，该切口151Aj与设置于对应于切口151Aj的位置处的支架145A的突起145Ab卡合。另外，关于臂支撑部151a、臂151b、支撑部151c，是与上述第1实施方式大致相同的形式，因此此次省略说明。

在将按压部件151A安装到了支架145A的状态下，如图22所示，按压部件151A仅通过在Z方向上受到臂151b产生的按压力Fb就被保持，因此在Y方向上容易偏离。因此，在安装按压部件151A后，可以对卡合的切口151Aj与突起145Ab的部分进行粘接固定。当然也可以用螺钉等将固定部151Ad固定到支架145A。

在对第2实施方式的振动装置施加了外力F的情况下，如图22所示，产生由外力F引起的力矩M。其中，力矩M=XL·F，XL是外力F到按压部件151A的固定部151Ad的距离。即，XL是外力F到支撑部151c与防尘过滤器119的接触点的距离，构成为能够支撑较大的外力F。更具体而言，如在上述第1实施方式中说明那样，在设XL=0.5mm、外力为49N时，力矩M=24.5mm·N。在施加该力矩M时，在第2实施方式的情况下，切口151Aj产生由突起145Ab较深地卡住的方向的力，从而防止切口151Aj从突起145Ab脱落。此外，当然也可以在支架145A上设置切口，在按压部件151A上设置突起。

在这样构成的上述第2实施方式中，也能够得到与上述第1实施方式同样的效果。

根据以上实施方式说明了本发明，但本发明不限于上述实施方式，当然能够在不脱离发明主旨的范围内实施各种变形和应用。

例如，除了上述的采用施振部件的尘埃去除机构以外，也可以组合利用空气流来去除防尘过滤器119的尘埃79的方式、或者利用刷子来去除防尘过滤器119的尘埃79的机构进行使用。

此外，在上述实施方式中，取景器利用了液晶监视器，但是当然也可以是具有单反式光学取景器的照相机。

并且，在上述实施方式中，摄像元件是CCD，但当然也可以是CMOS等其他的摄像元件。

此外，施振的对象不限于例示的防尘过滤器119，也可以是处于光路上并具有透光性的部件等（例如盖玻璃或半透半反镜等）。其中，该部件通过振动掸掉附着在其表面的尘埃79。此外，要将与振动相关的频率、驱动时间、施振部件的设置位置等设定为与该部件对应的值。

并且，上述实施方式包含了各种阶段的发明，可以通过所公开的多个结构要素的适当组合提取各种发明。例如，即使从上述一个实施方式所示的全部结构要素中删除几个结构要素，也能够解决发明要解决的课题，并且，在能够得到发明的效果的情况下，删除了该结构要素的结构也可以作为发明而被提取。

另外，在上述各实施方式中说明的各处理程序只要不违反其性质，则能够容许步骤的变更。因此，相对于上述处理程序，例如可以变更各处理步骤的执行顺序、或者同时执行多个处理步骤，使得每执行一系列的处理程序时，各处理步骤的顺序不同。

另外，关于应用本发明的图像设备，不限于所例示的摄像装置（数字照相机），只要是需要尘埃去除功能的装置，都能够根据需要进行变形实施并得到实际应用。更具体地讲，例如也可以在使用液晶等显示元件的图像投影装置的显示元件与光源之间、或者显示元件与投影镜头之间，设置本发明的尘埃去除机构。

此外，同样能够适用于具有使用摄像元件取得图像、并在显示装置上显示该取得图像的功能的电子设备，例如望远镜、双筒镜、显微镜等观察用设备。

本发明不限于上述实施方式，当然能够在不脱离发明主旨的范围内实施各种变形和应用。并且，上述实施方式包含了各种阶段的发明，可以通过所公开的多个结构要素的适当组合提取各种发明。例如，即使从上述一个实施方式所示的全部结构要素中删除几个结构要素，也能够解决发明要解决的课题，并且，在能够得到发明的效果的情况下，删除了该结构要素的结构也可以作为发明而被提取。本发明除了被附件权利要求限定以外，不被特定的实施方式制约。

Claims (9)

1.一种振动装置，其特征在于，该振动装置具有：

板状的防尘部件；

振子，其由沿着上述防尘部件的端部侧外周部配置且使该防尘部件振动的施振部件构成；

支架，其与上述防尘部件隔开预定间隔地配置；

密封部件，其对上述防尘部件与上述支架的防尘部件承受部之间的空间进行密封；以及

按压支撑部件，其形成有如下部件：朝向上述密封部件弹性地按压上述防尘部件的按压部、用于在与利用该按压部的弹力按压的方向相反的方向上对上述防尘部件施加了外力时维持该防尘部件或上述施振部件的支撑的支撑部、和将自身固定到上述支架的固定部，

夹着通过上述振子的重心的假想轴分别在其两侧配置上述按压部，上述支撑部的刚性形成得比上述按压部的刚性高。

2.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

夹着上述假想轴配置在其两侧的上述按压部位于夹着该假想轴相互对称的位置。

3.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

上述防尘部件至少具有一条被任意的对称轴二等分的边，

上述施振部件在上述防尘部件上配置于被上述任意的对称轴二等分的位置处。

4.根据权利要求1或2中的任意一项所述的振动装置，其特征在于，

形成于上述按压支撑部件上的上述按压部的位置是通过上述振子的重心的假想轴的转矩平衡的位置。

5.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

上述支撑部具有上述按压部的弹簧常数的250倍以上的弹簧常数。

6.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

上述按压部和上述支撑部作为总体形成为画框状的形状，上述固定部具有从该画框状的形状的一端部以预定角度倾斜延伸的立起弯曲部，并从该立起弯曲部延伸而被螺钉固定或弹性固定到上述支架上。

7.根据权利要求5所述的振动装置，其特征在于，

上述固定部与上述支架的弹性固定通过设置于该固定部或上述支架中的一方上的凸状部和设置于另一方上的凹状部来进行。

8.根据权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

在上述防尘部件与上述按压部之间，配置有由振动吸收性材料构成并承受着该按压部的前端部的弹性的承受部件。

9.一种图像设备，其特征在于，该图像设备具有：

防尘部件，其形成有从自身的中心沿放射方向具有预定扩展度的透明区域；以及

支架，其设置有将入射到透明区域的被摄体光束转换为图像数据的摄像元件、或将图像数据转换为被摄体光束并入射到上述透明区域的摄像元件，

所述图像设备具有上述权利要求1所述的振动装置。

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