CN111386156B - 振动装置、振动方法、丝网印刷装置、振动撒入装置及物料处理装置 - Google Patents

Abstract

振动装置(100)具备将板(20)和前述板(20)的周围固定的基座(10)、使前述板(20)的多个侧面振动的振动单元(40)、控制前述振动单元(40)的振动的控制器(80)。前述振动单元(40)使前述板(20)的侧面(23)上下振动，在前述板(20)的侧面(23)使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生，使前述板(20)以驻波振动。

Description

振动装置、振动方法、丝网印刷装置、振动撒入装置及物料处 理装置

技术领域

本发明涉及使板振动的振动装置、丝网印刷装置、振动撒入装置及物料处理装置。

背景技术

以往，存在使板振动来加工工件的加工装置。

此外，存在使浆料或者刮刀振动来在工件上印刷的丝网印刷装置。

专利文献1：日本特开2017-94264号公报。

专利文献2：日本特开平08-197709号公报。

专利文献3：日本特开平09-283910号公报。

专利文献4：日本特开平10-058647号公报。

专利文献5：日本特开2010-149301号公报。

专利文献6：日本特开2003-220530号公报。

专利文献7：日本特开2007-216372号公报。

专利文献8：日本特许第5746637号公报。

发明内容

以往的加工装置中也有使板沿上下方向振动的，但有随着该上下方向的振动也产生向前后左右方向的振动的可能性。

此外，在丝网印刷装置中填孔印刷时有进入孔的浆料的量不均、浆料未以恒定量填充于孔的可能性。

本发明的技术方案的目的为，提供使板沿上下方向振动而不向前后左右方向振动的振动装置。

此外，本发明的技术方案的目的为，提供使板沿上下前后左右的任意的方向振动的振动装置。

本发明的振动装置的结构的特征为，具备

・板

・固定前述板的周围的基座

・使前述板的多个侧面振动的振动单元

・控制前述振动单元的振动的控制器

上述4个部件。

发明效果

根据本发明，在板的周围固定于基座的状态下，振动单元从板的多个侧面将相同的频率的行波向板施加，由此板由于驻波而振动。板由于驻波的振动作用，沿上下方向振动但不沿前后左右方向振动。

附图说明

图1是实施方式1的振动装置100的立体图。

图2是实施方式1的图1的振动装置100的A-A剖视图。

图3是实施方式1的振动方法的说明图。

图4是表示振动测定的结构的图。

图5是0.2MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图6是0.3MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图7是0.4MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图8是0.5MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图9是水平方向的振动的分布图。

图10是表示单侧振动的比较例的图。

图11是单侧振动的分布图。

图12是表示横向两侧振动的比较例的图。

图13是横向两侧振动的上下振动的分布图。

图14是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图15是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图16是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图17是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图18是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图19是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图20是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图21是表示实施方式2的丝网印刷装置200的图。

图22是表示实施方式3的剪切装置300的图。

图23是表示实施方式4的开孔装置400的图。

图24是表示实施方式5的振动撒入装置500的图。

图25是实施方式5的振动撒入装置500的振动的说明图。

图26是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图27是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图28是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图29是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图30是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图31是表示实施方式6的分配器47的图。

图32是表示实施方式7的板20和振动单元40的图。

图33是表示实施方式7的板20的平面形状的图。

图34是表示实施方式7的板20的图1的A-A截面形状的图。

具体实施方式

实施方式1.

图1是实施方式1的振动装置100的立体图。

图2是实施方式1的图1的振动装置100的A-A剖视图。

图1中X表示前后方向。

图1和图2中，Y表示左右方向，Z表示上下方向。

＜＜＜振动装置100的结构＞＞＞

振动装置100具有基座10、板20、振动单元40、控制器80。

＜＜＜基座10的说明＞＞＞

基座10为上部开口的箱型形状。

基座10具有上表面11、底面12、壁13。

基座10在中央具有空间14。

上表面11由壁13的顶面构成，为中央具有开口的矩形形状。

底面12为矩形形状。

壁13为从底面12的周围立起设置的基座10的侧壁。

空间14为被底面12和壁13包围的六面体的空间。

＜＜＜板20的说明＞＞＞

板20优选为容易通过声波的坯料，金属较适合。

板20的材质优选为铝、钛、不锈钢。

进而，铝、钛较适合，铝最佳。

板20优选为矩形，正方形较适合。

板20具有正面21、背面22、四个侧面23。

正面21和背面22是相同形状的平行的矩形平面。

侧面23是处于板20的正面21与背面22之间的面。

侧面23是相对于板20的正面21和背面22正交的平面。

板20在周围具有多个螺纹孔24。

螺纹孔24在板20的角与各边的中央共计设置有8个。

板20被插入螺纹孔24的螺纹件25牢固地固定于基座10。

以下，将螺纹孔24的位置称作固定部位。

板20在设置于板20的周围的固定部位固定于基座10。

＜＜＜振动单元40的说明＞＞＞

振动单元40具有多个振动器，使板20的多个侧面23以相同频率振动。

振动单元40使板20的相向的侧面上下振动。

振动单元40具有振动器41、振动器42这两个振动器。

振动单元40使具有螺纹孔24的固定部位的外侧上下振动。

振动器41与振动器42这两个振动器是规格相同的振动器。

振动器41与振动器42这两个振动器是由气压驱动的振动器。

作为由气压驱动的振动器，能够使用以下的振动器。

(1)涡轮振动器

(2)辊振动器

(3)球振动器

(4)活塞振动器

前述(1)、(2)、(3)的振动器噪音少，能够高速动作。

特别是，动作稳定的涡轮振动器最佳。

活塞振动器有噪音大、动作慢的问题。

振动单元40具有分配器47。

分配器47将振动器41以及振动器42的振动向板20的侧面23传递。

分配器47将振动器41以及振动器42固定于板20的侧面23。

分配器47是弯折成L字型的金属件。

分配器47具有水平部48与垂直部49。

水平部48将振动器41或振动器42的顶面固定。

水平部48以振动器41振动器42的旋转互相颠倒的方式将振动器41或振动器42固定。

图2中，振动器41逆时针旋转，振动器42顺时针旋转。

垂直部49具有侧面23的上下宽度以下的上下宽度，固定于侧面23。

分配器47具有比振动器41以及振动器42的顶面的前后方向的宽度大的前后宽度。

分配器47的前后方向的宽度超过振动器41以及振动器42的顶面的前后方向的宽度的2倍超且不足10倍较好，优选为5倍。

分配器47具有比板20的前后方向的宽度的二分之一小比八分之一大的前后宽度，优选为五分之一。

分配器47将振动器41以及振动器42的振动向板20的侧面23的较宽的范围传递。

＜＜＜控制器80的说明＞＞＞

控制器80控制振动单元40的振动。

控制器80使振动器以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

控制器80使多个振动器以相同频率振动。

控制器80具有空气压缩机81、空气管路82、调节器83、处理器84。

空气压缩机81生成压缩空气。

空气管路82与空气压缩机81连接，流过压缩空气。

空气管路82在途中分岔成Y字形，与振动器41和振动器42连接。

调节器83是控制压缩空气的压力的控制设备。

调节器83通过控制压缩空气的压力来确定振动器41与振动器42的振动频率。

处理器84具有中央处理装置和程序。

处理器84能够由集成电路、电路板等实现。

处理器84控制振动装置100的动作。

处理器84与空气压缩机81连接，控制空气压缩机81的开启关闭动作及动作时间。

＜＜＜振动方法的说明＞＞＞

对振动装置100的振动方法进行说明。

＜初期设定步骤＞

板20的周围借助螺纹件25固定于基座10的状态下，作业员接通振动装置100的电源开关。

作业员具有压缩空气的压力与振动器41以及振动器42的振动频率的对应表。

作业员参照对应表，借助调节器83，设定与振动器41以及振动器42的振动频率对应的压缩空气的压力。

作业员设定成与10Hz以上800Hz以下的某个的可听频带频率对应的压力。

＜行波产生步骤＞

空气管路82分岔成Y字形而与振动器41和振动器42连接，所以向振动器41与振动器42供给相同压力的空气。结果，振动器41和振动器42以相同频率上下振动。

振动器41与振动器42的振动频率为，可听频带频率较适合。

振动器41与振动器42固定于板20的左右的侧面23，对板20的左右的侧面23施加正弦波的行波60。

振动器41与振动器42同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生行波60。

＜驻波产生步骤＞

同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率反向产生行波60时，在板20来自左右的行波60重合而产生驻波70。

驻波是指即使时间经过位置也不移动的波。

板20由于驻波70以与振动器41和振动器42相同的振动频率上下振动。

＜同步化步骤＞

即使以振动器41与振动器42的相位偏离的非同步状态开始振动，也由于同步现象而振动器41与振动器42的相位短时间一致，振动器41与振动器42的振动呈同步状态，立即向驻波的振动过渡。

＜上下振动步骤＞

以下，利用图3说明基于振动方法的上下振动。

图3是从板20的左右方向的中心的前后方向观察的上下振动的示意图。

图3中，支点26称作板20的上下方向的中心且为螺纹孔24的中心的点。

(a)若由于振动器41与振动器42对板20的侧面23施加向下的力，则经由支点26，在板20的中央产生向上的力。

(b)若由于振动器41与振动器42向板20的侧面23进一步施加较大的向下的力，则板20的中央上升。

(c)若基于振动器41与振动器42的板20的侧面23的向下的力变弱，则板20的中央下降。

(d)若由于振动器41与振动器42向板20的侧面23施加向上的力，则经由支点26，板20的中央产生向下的力。

(e)若由于振动器41与振动器42对板20的侧面23进一步施加较大的向上的力，则板20的中央下降。

(f)若基于振动器41与振动器42的板20的侧面23的向上的力变弱，则板20的中央上升。

＜振翅现象＞

将(a)至(f)设为一个周期，通过重复(a)至(f)的动作，板20以与振动器41和振动器42的振动频率相同的频率上下振动。

板20在支点26间的左右以振翅的方式振动，所以以下将该现象称作振翅现象。

振翅现象是指，通过向固定于板20的左右的侧面的振动器供给空气而板20以支点26间为中心上下振动的现象。

为了容易产生振翅现象，希望振动器41及振动器42的固定位置与两个螺纹孔24的位置处于直线上。即，希望多个振动器存在于连结板20的分别相向的边的相向的固定部位的线的延长线。

即使振动器41及振动器42的固定位置与两个螺纹孔24的位置不在直线上而处于偏离的位置，只要板20切实地固定于基座10，也会产生振翅现象。

若壁13的厚度增加，则有妨碍振翅现象可能性，所以壁13的厚度较薄的话较好，空间14的开口较宽的话较好。壁13的厚度优选为比螺纹孔24的直径大且不足螺纹孔24的直径的2倍。

＜＜＜具体例＞＞＞

以下，对具体例进行说明。

作为板20，使用一边约0.5m的正方形的铝板。

将铝的音速V设为6320[m/s]。其中，铝的温度恒定，不考虑由温度引起的音速的变化。

作为振动器41以及振动器42，使用以下的规格的爱科升株式会社制的空气振动器。

优选为，空气压力为0.2以上0.6MPa以下时振动频率f为119Hz以上414Hz以下的空气振动器。或者，优选为，空气压力为0.3以上0.6MPa以下时振动频率f为110Hz以上290Hz以下的空气振动器。

这里，空气压力为以下时使用振动频率f为以下的值的空气振动器。

空气压力为0.5MPa时的振动频率f：216.5Hz

空气压力为0.4MPa时的振动频率f：206.6Hz

空气压力为0.3MPa时的振动频率f：177.3Hz

空气压力为0.2MPa时的振动频率f：133.0Hz

波长能够根据以下式子计算。

波长λ[m]＝音速V[m/s]/振动频率f[Hz]

计算行波60的波长时如下所述。

空气压力为0.5MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/216.5[Hz]＝29.19m

空气压力为0.4MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/206.6[Hz]＝30.59m

空气压力为0.3MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/177.3[Hz]＝35.65m

空气压力为0.2MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/133.0[Hz]＝47.52m

从振动器41和振动器42产生的行波60能够由以下的式子表示。

R(y，t)＝A＊sin2π((t/T)-(y/λ))

L(y，t)＝A＊sin2π((t/T)＋(y/λ))

y[m]：板的Y方向的场所

t[s]：时刻

R(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的Z方向的行波60的位移[m]

L(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的Z方向的行波60的位移[m]

A：行波60的振幅[m]

T：行波60的周期[s]

λ：行波60的波长[m]

由于从振动器41和振动器42产生的行波60的重叠生成的驻波70能够用以下的表示正弦驻波的式子表示。

z(y，t)

＝R(y，t)＋L(y，t)

＝2A＊sin(2π(t/T))＊cos(2π(y/λ))

y[m]：板的Y方向的场所

t[s]：时刻

z(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的驻波70的Z方向的位移[m]

A：行波60的振幅[m]

T：行波60的周期[s]

λ：行波60的波长[m]

cos(2π(y/λ))表示驻波70的振幅。

将驻波70的振幅为0的场所，即cos(2π(y/λ))为0的场所y称作“节”。

将驻波70的振幅最大的场所，即cos(2π(y/λ))的绝对值为1的场所y称作“腹”。

为使板20上下振动，使得在支点26之间在左右方向的某个场所y均不产生驻波的节即可。

驻波的节每半波长产生，所以若使支点26间的距离不足驻波的半波长，则能够在板20的左右方向的任意场所y，均不存在驻波的节。

将驻波70的“节”的位置设为固定部位，若将该固定部位保持(螺纹固定)，则“节”为振翅的支点。

如果支点26间的距离比驻波的半波长大，则在板20产生节。

因此，板20的左右方向的固定部位的距离不得不为不足以下的长度。

空气压力为0.5MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝14.56m

空气压力为0.4MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝15.29m

空气压力为0.3MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝17.82m

空气压力为0.2MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝23.766m

如上所述，根据振动器41与振动器42的空气压力确定驻波的频率和波长，确定板20的最大长度。

＜＜＜振动测定结果＞＞＞

作为板20使用一边为约0.5m的正方形的铝板，测定板20的振动。

如图4所示，从图1的振动装置100卸下基座10，将板20载置于气垫，使板20的周围自由，使板20振动，测定振动的振幅。

图5至图8是表示板20的下半的区域的49点的上下方向的振动的测定结果的图。

图5至图8将板20为平面的情况的Z方向的位移设为0，表示图3的(b)的情况的Z方向的位移(向上的位移)。

能够认为图5至图8所示的板20的上半的区域的振动与板20的下半的区域对称地振动所以不测定。

图5是0.2MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图6是0.3MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图7是0.4MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图8是0.5MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

观察图5的第一行，上下振动的振幅为14.8μm＞12.6μm＞9.60μm＞7.68μm＜8.00μm＜10.5μm＜15.0μm，比板20的中央部分靠端部的一方振动的振幅较大。即，在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

作为其理由，考虑可能会是0.2MPa的空气压下压力较弱，不能使振动器41和振动器42稳定地振动。

观察图6的第一行，上下振动的振幅为5.28μm＜9.53μm＜12.2μm＜13.2μm＞13.1μm＞11.0μm＞8.40μm，板20的中央部分的一方与端部相比振动的振幅较大。即，认为在板20的中央部分产生腹。

图7与图8的情况下，板20的中央部分的一方与端部相比振动的振幅均较大。即，认为在板20的中央部分产生腹。

因此，0.2MPa的空气压下，不能使板20准确地沿上下方向振动。

另一方面，0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，能够使板20准确地沿上下方向振动。

利用图9对前后左右方向的振动的测定结果进行说明。

图9是表示图5至图8中的、板20的两个边的测定点1~12的水平方向的振动的测定结果的表。

0.2MPa的空气压下，在测定点1、测定点2表示超过两微米的值。

0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，在全部点表示不足两微米的值。

0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，前后左右方向的振动的振幅为不足向上下方向的振动的振幅约10%或者不足15%，能够看作，没有向水平方向的振动。

以上的测定结果为使板20的周围自由来使板20振动的情况的测定结果。

如图1所示，振动装置100的板20为周围借助螺纹件25固定于基座10，所以实际上，板20的周围(特别是螺纹孔24的部分)的上下的振动被限制。

使板20的周围自由来使板20振动的情况下，板20以中央为腹上下振动。因此，即使在将板20的周围在固定部位固定来使板20振动的情况下，板20也欲以中央为腹上下振动。结果，如图3所示，能够认为在支点26间作为振翅的中心产生振翅现象。

并且，在将板20的周围固定于基座10来使板20振动的情况下，与使板20的周围自由来使板20振动的情况相比，能够认为向横向的振动进一步减少。

进而，若观察以上的测定结果，则若板20的左右方向的固定部位的距离比半波长小，即使不使驻波70的“节”的位置为固定部位，也能够认为固定部位为振翅的支点。

例如，空气压力为0.4MPa时半波长为15m，但即使在板20的左右方向的固定部位的距离为0.5m左右的情况下，“节”也不出现。

结果，固定部位的距离为10m、5m或1m等情况下，都能够认为固定部位为振翅的支点。

＜＜＜比较例的说明＞＞＞

＜单侧振动＞

图10是从图4的结构将振动器42和分配器47卸下的。

板20仅借助处于单侧的振动器41振动。

从处于板20的一方的侧面23的振动器41产生的行波60在另一方的侧面23反射而生成反射波。

行波60与反射波重合而成为驻波。

图10的结构中，如图11所示，确认在板20的中央右侧产生节那样的振动不均。

此外，如图11所示，产生前述12点处水平方向的振动的振幅超过9微米的部位。其理由认为是在板20产生椭圆振动。

因此，使板20从单侧振动的情况下不能使板20准确地振动。

＜横向两侧振动＞

图12是从图4的结构使振动器41和振动器42的固定方向90度旋转而以振动器41与振动器42的旋转方向相反的方式固定的。

图12的结构中，如图13所示，确认在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

因此，使振动器41与振动器42的旋转方向保持相反地设为横向的情况下，不能使板20准确地振动。

同样地，在使振动器41与振动器42的旋转方向相同地朝向横向的情况下，也认为不能使板20准确地振动。

＜横向单侧振动＞

虽无图示，但从图12的结构将振动器42和分配器47卸下也确认在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

因此，横向单侧振动的情况下不能使板20准确地振动。

＜＜＜总结＞＞＞

本实施方式的振动装置100借助可听频带频率振动源即振动器41及振动器42从板20的左右使行波60同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生。结果，板20中，通过逆向的行波的重叠生成驻波。

本实施方式的振动装置100的上下方向的振动生成过程为，从可听频带频率振动源向板20从左右使行波60同时以相同的频率在板20产生。板20由于驻波振动，但由于驻波的振动作用，仅上下方向振动。并且，在前后左右方向不振动。振动装置100利用该仅上下方向的振动。

振动装置100能够借助控制器80在施振时改变可听频带频率。可听频带频率是指10Hz以上20000Hz以下的范围，但本实施方式中使用的可听频带频率设为10Hz以上800Hz以下的范围。

振动单元40作为振动源也可以具有音圈马达式振动源、电磁式振动源或压电式振动源。

振动单元40能够根据必要的频率的范围，将振动器41以及振动器42等振动源适当地更换成其他声波振动源即音圈马达式振动源、电磁式振动源或压电式振动源等。

控制器80也可以具有任意波形产生器或双极电源作为控制零件。控制器80为了以任意的频率使振动源振动，能够更换成任意波形产生器或双极电源等作为与声波振动源对应的控制零件。

振动单元40使在板20的面对的两边的中央外侧安装的振动器成对地使板20上下振动。

振动单元40借助在板20的面对的两边的中央外侧安装的成对的振动器使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生，使板20以驻波振动。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42固定于板20的外侧。

即，俯视时振动器41和振动器42不与板20重叠。

因此，振动器41和振动器42不妨碍板20的上下振动。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42固定于板20的侧面23。

振动器41和振动器42不固定于板20的正面21以及背面22。

因此，行波60从板20的左右方向的两端产生，板20的左右方向的全部区域上下振动。

本实施方式的振动装置100不使板20的整体均匀地上下振动。

板20的中央部分振幅最大，从板20的中央部分向左右方向的周边振幅减少。

向左右方向的周边振幅减少的理由是由于将板20的左右两端固定及使板20产生驻波。

此外，板20的中央部分振幅最大，从板20的中央部分向前后方向的周边振幅减少。

向前后方向的周边振幅减少的理由是由于将板20的前后两端固定。

也可以将板20的前后两端设为上下振动能够自由的自由端。

若板20的前后两端为自由端，则板20的前后方向的振幅均匀。或者，板20的前后方向的振幅接近均匀。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42及两个固定部位(螺纹孔24)配置于直线上。

振动器41和振动器42处于两个固定部位(螺纹孔24)的外侧。

振动器41和振动器42不处于两个固定部位(螺纹孔24)的内侧。

板20由于以两个固定部位(支点26)之间为中心的振翅现象而上下震动。

＜＜＜实施方式1的效果＞＞＞

根据本实施方式，借助振动器41及振动器42从板20的左右使行波60同时以相同的频率产生，由此生成驻波，板20仅在上下方向振动。

即使在前后左右方向上振动的情况下，与上下方向的振动相比较也能够无视。

通过在振动装置100的板20上载置工件能够使工件仅在上下方向上振动。

＜＜＜改变例＞＞＞

改变例1.

图14所示的振动装置100从图1的结构拆除分配器47，将振动单元40的振动器41和振动器42直接固定于板20的侧面23。

改变例2.

图15所示的振动装置100为，俯视时板20具有比基座10大的尺寸，将振动单元40的振动器41和振动器42直接固定于板20的背面22的外边缘。

改变例3.

图16所示的振动装置100在基座10与板20之间夹着分配器47地将振动器41与振动器42固定。

分配器47也可以是平板。

改变例4.

图2中，也可以以使振动器41顺时针旋转而使振动器42逆时针旋转的方式安装。

图2中，与振动器41和振动器42向相同方向旋转相比，更希望使振动器41和振动器42的旋转方向颠倒。

使振动器41和振动器42的旋转方向颠倒的情况下，也希望如图2所示地使振动器41逆时针旋转而使振动器42顺时针旋转。

改变例5.

振动单元40也可以具有比两个多的偶数个可听频带频率振动源。

如图17所示，也可以在板20安装振动器41、振动器42、振动器43以及振动器44。

(a)为振动器41与振动器42相向，振动器43与振动器44相向。

振动器41和振动器43固定于相同的侧面23，振动器42和振动器44固定于另外的侧面23。

驻波被平行地生成。

(b)为振动器41与振动器42相向，振动器43与振动器44相向。

振动器41、振动器42、振动器43、振动器44分别固定于各个侧面23。

驻波被正交地生成。

(c)为振动器41与振动器44相向，振动器42与振动器43相向。

振动器41、振动器42、振动器43、振动器44分别固定于板20的各角。

驻波被正交地生成。

虽无图示，但板20的形状俯视也可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例6.

板20的形状俯视时为多边形即可。

振动单元40也可以具有奇数个可听频带频率振动源。

如图18所示，板20也可以是三角形或六边形的板20。

(a)表示三角形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别固定于各个侧面23。

(b)表示六边形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别隔着一个地固定于各个侧面23。

虽无图示，但也可以在六边形的板20的全部侧面23固定振动器。

虽无图示，但板20的形状俯视时也可以为圆形、椭圆形、其他形状。

振动单元40具有固定于板20的一边或多个边的外侧的一个或多个空气振动器即可。

具体地，振动单元40也可以以下那样地配置空气振动器。

仅在板20的一边在边的外侧有一个空气振动器

仅在板20的一边在边的外侧有多个空气振动器

在板20的多个边的一部分的边的各边的外侧有一个空气振动器(图18的(b))

在板20的多个边的一部分的边的各边的外侧有多个空气振动器(图17的(a))

在板20的全部的边的各边的外侧有一个空气振动器(图17的(b)和图18的(a))

在板20的全部的边的各边的外侧有多个空气振动器

控制器80使所有的空气振动器以相同频率振动。

也可以取代空气振动器而为其他形式的振动器。

改变例7.

振动单元40也可以具有一个可听频率振动源。

图19的振动装置100具有一个振动器45和框46。

框46是U字形状的金属零件。

框46将振动器45固定于底部的中央，两末端的上部固定于分配器47。

振动器45上下振动。

振动器45的振动被向两个分配器47传递，使两个分配器47上下振动。

这样，并非必须在板20的两侧安装多个振动器，在振动单元40有从板20的多个侧面使行波60同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生的机构即可。

改变例8.

图20的振动装置100在板20与分配器47之间具有间隔件50。

间隔件50是被板20的侧面23和分配器47的垂直部49夹着固定的四棱柱的金属棒。

间隔件50是使行波60的产生位置从振翅现象的支点26远离的零件。

通过改变间隔件50的左右方向的长度，能够改变可听频率振动源与固定部位的距离。

行波60即使为相同的振幅、相同的波长且相同的频率，间隔件50的左右方向的长度越大，振翅现象越强地表现。

借助间隔件50，能够调整板20的上下振动的振幅。

改变例9.

为了固定基座10和板20，也可以取代螺纹孔24和螺纹件25而使用其他固定金属件或其他固定机构。

实施方式2.

对实施方式2中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜结构的说明＞＞＞

图21是实施方式2的丝网印刷装置200的结构图。

丝网印刷装置200具有实施方式1中说明的振动装置100。

丝网印刷装置200是对工件900印刷的装置。

工件900是电子设备的基板或回路的基板。

丝网印刷装置200具有将丝网202绷在框上的丝网版201。

丝网202为网筛丝网、金属丝网或其他丝网。

丝网202具有电极端子、电极、配线等印刷图案。

丝网202的正面存在浆料204。

丝网印刷装置200具有刮刀203。

刮刀203在丝网202的正面移动，借助浆料204在工件900印刷电极端子、电极、配线等。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

板20作为吸附工件900的吸附板发挥功能。

板20具有上下贯通的多个通孔205。

基座10作为抽吸空气的抽吸箱发挥功能。

丝网印刷装置200具有抽吸管206和真空泵207。

抽吸管206连接于基座10和真空泵207，从空间14抽吸空气。

如图21所示，振动器41和振动器42优选地在与刮刀203的印刷方向相同的方向配置。即，希望使刮刀203的印刷方向与驻波的产生方向一致。

＜＜＜动作的说明＞＞＞

丝网印刷装置200的处理器84在印刷中使振动装置100动作，使板20振动。

板20的振动传向工件900和丝网版201，使浆料204振动。

通过浆料204振动，浆料204容易通过丝网202的印刷图案。

进行对工件900的孔或槽填充浆料的填孔印刷的情况下，工件900振动，所以浆料204容易填充于工件900的孔或槽。

填孔印刷的情况下，处理器84印刷后也使振动装置100动作，使板20振动。印刷后也使板20振动，由此能够将浆料204填充至孔或槽的底。

＜＜＜实施方式2的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于丝网印刷装置200。

根据本实施方式，丝网印刷的填孔时，能够使进入孔的浆料的填充量的不均变小。

特别是，使用硬质浆料进行填孔印刷的情况下，填充量提高。

根据本实施方式，板20仅上下方向振动而前后左右方向不振动，所以工件900与丝网版201不沿前后左右方向偏离。因此，工件900的印刷图案不会模糊。

实施方式3.

对实施方式3中不同于实施方式1的方面进行说明。

图22是实施方式3的剪切装置300的立体图。

剪切装置300具有实施方式1中说明的振动装置100。

剪切装置300是切削工件900的装置。

剪切装置300具有切削工件900的刀片301。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

剪切装置300的处理器84在动作中使振动装置100动作，使板20沿上下方向振动。

板20的振动传向工件900，使工件900振动。

工件900沿上下方向振动，由此，从刀片301向工件900的压力为间断的。

＜＜＜实施方式3的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于剪切装置300。

根据本实施方式，从刀片301向工件900的压力为间断的，所以刀片301的耐久时间延长。

实施方式4.

对实施方式4中不同于实施方式1的方面进行说明。

图23为实施方式4的开孔装置400的立体图。

开孔装置400具有实施方式1中说明的振动装置100。

开孔装置400是在工件900形成孔的装置。

开孔装置400具有在工件900形成孔的钻头401。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

开孔装置400的处理器84在动作中使振动装置100动作，使板20沿上下方向振动。

板20的振动传向工件900，使工件900振动。

工件900沿上下方向振动，由此，从钻头401向工件900的压力为间断的。

＜＜＜实施方式4的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于开孔装置400。

根据本实施方式，从钻头401向工件900的压力为间断的，所以钻头401的耐久时间延长。

实施方式5.

对实施方式5中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜振动撒入装置500的结构＞＞＞

图24是实施方式5的振动撒入装置500的立体图。

振动撒入装置500是通过振动将多个零件插入多个凹陷的装置。

板20为正方形的平板。

在板20排列有多个凹陷29。

多个零件901被随机向板20投入。

虽未图示，但在板20的外周围有框，使得零件901不会从板20溢出而掉落。

振动撒入装置500具有平板的基座10、板20、振动单元40。

板20经由四个振动器固定于基座10。

板20的侧面23未被固定而是自由端。

振动单元40具有固定于板20的4角的外侧的多个振动器。

图24的振动单元40具有四个振动器和四张分配器47。

四个振动器相对于前后方向和左右方向45度倾斜，固定于平板的基座10。

四个振动器分别固定于板20的4个角27的外侧。

振动器配置于板20的对角线的延长线。

振动器41和振动器44被相向地固定于处于板20的一根对角线的端部的两个角。

振动器43和振动器42被相向地固定于处于板20的其他对角线的端部的两个角。

分配器47是矩形板。

分配器47在上表面固定板20的角27。

分配器47在下表面固定振动器的上表面。

板20的四个角27借助插入螺纹孔24的螺纹件固定于分配器47。

板20的四个角27为板20的四个固定部位。

俯视时振动器固定于板20的角27的外侧。即，俯视时四个振动器不与板20重叠。

用于振动撒入装置500的四个振动器优选为电磁振动器等电磁式振动源。电磁式振动源与空气振动器相比能够将频率更精细地控制。

＜＜＜振动撒入装置500的动作＞＞＞

控制器80使固定于处于板20的对角线的端部的两个角的两个振动器以相同频率振动。

四个振动器连接于处理器84，借助处理器84控制四个振动器的振动。

来自四个振动器的行波从板20的4角向板20的中央进行。

振动器41和振动器44使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率在一根对角线方向上产生，行波重叠。

振动器43和振动器42使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率在另外的对角线方向产生，正交的四个行波重合，在前述板上驻波重叠而上下振动。

处理器84通过改变四个行波的相位、振幅、波长、频率，能够使在板20产生的振动变化。

特别是，处理器84在相同的振幅、相同的波长且相同的频率的行波中，使仅改变相位的四个行波重合的驻波在板上产生，通过驻波的上下振动，能够在板20上使零件901旋转，或使其沿左右前后移动，或使其跳跃。

处理器84能够使四个行波的相位以90度、180度、270度或者任意的角度错开地生成。

以下，利用图25说明振动撒入装置500的上下振动。

图25表示相位、振幅、波长及频率相同的行波重叠而驻波重叠的情况的板20的上下振动状态。

图25的(a)是板20的左右方向的中心的前后方向的上下振动的示意图。

图25的(b)是连结板20的角27的一根对角线的上下振动的示意图。

侧面23是自由端，所以如图25的(a)所示，侧面23上下移动的同时板20振动。

另一方面，角27固定，角27为支点26，所以如图25的(b)所示，在角27不上下移动的状态下，板20振动。

处理器84使板20上下振动。板20的振动传向零件901，使零件901振动。

零件901上下振动，由此在板20的正面移动，嵌入凹陷29。

改变例1.

图26的振动撒入装置500将板20的角27切削，将振动器固定于切削面。

图26的振动撒入装置500无需分配器47。

俯视时振动器固定于板20的角27的外侧。即，俯视时四个振动器不与板20重叠。

改变例2.

也可以将前述实施方式的振动装置100用于振动撒入装置500。

振动撒入装置500优选地使用能够使四个行波正交或者使多个行波交叉而产生驻波的振动装置。此外，优选地，振动装置使行波交叉的情况下，行波的交叉角度全部相等，由此使行波重叠而产生稳定的驻波。

改变例3.

图27的振动撒入装置500在板20的角27设置支柱51，将板20借助四个支柱51固定于基座10。

支柱51借助插入螺纹孔24的螺纹件将板20固定。

振动器仅固定于板20的角27的切削面，振动器以悬空状态安装于板20。

图27的情况下，将处于螺纹孔24的固定部位作为支点，由于前述振翅现象，板20振动。

图27的情况下，板20借助四个支柱51固定，但支柱51为细柱，所以板20能够不仅上下而且也前后左右地振动。

改变例4.

板20的形状俯视时为多边形即可。

如图28所示，板20也可以是三角形或六边形的板20。

(a)表示三角形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别固定于各个角27。

(b)表示六边形的板20。

振动器分别固定于各个角27。

虽无图示，但板20的形状俯视时也可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例5.

如图29所示，振动器也可以不在所有的角。

(a)表示在四边形的板20的一个对角线上配置振动器的情况。

振动器41和振动器42固定于隔着一个的角27。

(b)表示在六边形的板20的两个对角线上配置振动器的情况。

虽无图示，但板20的形状俯视时可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例6.

如图30所示，振动器也可以是在角处有多个。

(a)表示在四边形的板20的四个角的各角分别配置两个振动器的情况。

(b)表示在四边形的板20的四个角的各角各配置两个振动器、进而在相向的侧面的中央外侧配置振动器的情况。

虽无图示，但板20的形状俯视时可以是八边形、十边形、其他多边形。

振动单元40具有固定于板20的一个角或多个角的外侧的一个或多个空气振动器即可。

具体地，振动单元40将空气振动器以下那样地配置。

仅在板20的一个角的外侧有一个空气振动器

在板20的多个角的一部分的角的各角的外侧有一个空气振动器(图29的(a)和(b))

在板20的多个角的全部的角的各角的外侧有一个空气振动器(图28的(a)和(b))

在板20的多个角的全部的角的各角的外侧有两个空气振动器(图30的(a)和(b))

控制器80使全部空气振动器以相同频率振动。

也可以取代空气振动器而使其他的形式的振动器。

实施方式6.

对实施方式6中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜分配器47的结构＞＞＞

图31是表示分配器47的图。

图31的分配器47隔着板20的正面21和背面22固定于板20。

(a)表示在四边形的板20的一边的中央外侧配置有振动器的情况。

分配器47在侧面具有从前后方向观察U字形状的槽52，将板20的中央外边缘嵌入槽52。

板20在固定有振动器的两边具有作为固定部位的三个螺纹孔24。

板20将分配器47借助中央的螺纹孔的螺纹件固定。

板20在未固定有振动器的边不具有螺纹孔24。

也可以像(a)那样，无需将固定部位设置于全部边，而仅设置于相向的两边。

(b)表示在四边形的板20的四个角配置振动器的情况。

分配器47在侧面具有从上下方向观察V字形状的槽53，将板20的角嵌入槽53。

V字形状的槽53的直行的底部与两个侧面的正交的两个端部面接触。

V字形状的槽53的三角形的侧表面与角27的正面和背面面接触。

板20在角的外边缘具有螺纹孔24。

板20将分配器47借助螺纹孔的螺纹件固定。

＜＜＜分配器47的效果＞＞＞

分配器47夹着板20固定于板20，所以在板20较薄而侧面的上下方向的高度较小的情况下，也能够从板20的侧面传递振动器的振动。

变形例1.

分配器47的形状为能够将振动器的振动向板20的侧面传递的形状即可。

分配器47可以仅固定于板20的侧面或角，但也可以将分配器47固定于以下的部位。

板20的侧面和正面

板20的侧面和背面

板20的侧面、正面和背面

仅板20的侧面的正面

仅板20的侧面的背面

板20的侧面的正面和背面

板20的角和正面

板20的角和背面

板20的角、正面和背面

仅板20的角的正面

仅板20的角的背面

板20的角的正面和背面

上述任意情况均能够得到与将分配器47仅固定于板20的侧面或角的情况相同的效果，在上述任意情况下均能够实现使前述板的侧面振动的结构。

实施方式7.

对实施方式7中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜板20和振动单元40的结构＞＞＞

图32是表示板20和振动单元40的图。

图32表示使板20的外周的多处从板20的外侧振动的振动单元40。

板20的外周是指俯视板20的情况下的轮廓。

板20的外侧是指板20的轮廓的外侧。

振动单元40从板20的外周向板的中央使行波同时以相同的波长产生。

(a)表示在三角形的板20的角27配置振动器41而在与角27相向的侧面23的中央外侧配置振动器42的情况。

(b)表示在五边形的板20的角27配置振动器41而在与角27相向的侧面23的中央外侧配置振动器42的情况。

振动单元40使板20的多处振动。

多处也可以如实施方式1中说明那样是指仅由板20的多个侧面23构成的多处。

多处也可以如实施方式5中说明那样是指仅由板20的多个角27构成的多处。

多处也可以如图32的(a)和(b)说明那样是指由板20的侧面23和角27构成的多处。

由侧面23和角27构成的多处的情况下为以下的某个即可。

一个侧面23和一个角

多个侧面23和一个角

一个侧面23和多个角

多个侧面23和多个角

多个侧面23和多个角的典型例为全部侧面23和全部角。

多处优选地在板20的对角线或直径等穿过板20的中央或重心的直线上被成对配置。

侧面23并非必须是平面。

(c)表示在圆形的板20的直径方向上配置振动器41和振动器42、在正交的直径方向上配置振动器43和振动器44的情况。

(c)的情况表示侧面23为圆筒的外周曲面的情况。

侧面23可以是其他曲面，也可以是曲面和平面的组合。

(c)中也可以没有振动器43和振动器44。

(c)中也可以增加振动器的数量。

＜＜＜板20的平面形状＞＞＞

图33是表示板20的平面形状的图。

板20的平面形状不限于正多边形或圆形。

(a)表示板20的平面形状为十字形的情况。

(b)表示板20的平面形状为星形的情况。

(c)表示板20的平面形状为圆角的长条四边形的情况。

(d)表示板20的平面形状为椭圆形的情况。

虽无图示，但板20的平面形状也可以是梯形、云形、山形、不规则形状或其他形状。

＜＜＜板20的截面形状＞＞＞

图34是表示板20的图1的A-A截面形状的图。

板20的截面形状不限于矩形。

(a)、(c)及(e)表示板20的中央下部向上侧凹陷的情况。

(a)表示凹陷成凹形的情况。

(b)表示凹陷成V形的情况。

(c)表示凹陷成弧状的情况。

(b)、(d)及(f)表示板20的中央上部向下侧膨出的情况。

(b)表示膨出成凸形的情况。

(d)表示膨出成V形的情况。

(f)表示膨出成弧状的情况。

(g)表示板20的中央部向上侧和下侧凹陷的凹形的情况。

(h)表示板20的中央部向上侧和下侧膨出的凸形的情况。

虽无图示，但板20的截面形状也可以是凹凸形状、波形或其他形状。

(i)表示侧面23倾斜的情况。

侧面23倾斜的情况下，设置分配器47的斜面，安装振动器41和振动器42即可。

分配器47的截面为三角形。

分配器47的斜面与侧面23具有相同的倾斜角度。

振动器41和振动器42能够经由分配器47使板20的外周上下振动。

实施方式8.

振动装置100能够用于不适合水平方向的振动的装置。

振动装置100能够用于工件的加工装置。

振动装置100能够用于加工装置、搬运装置、挑选装置、组装装置、制造装置、振动撒入装置或其他物料处理装置。

物料是指物质、材料、原料、质地、坯料、用具、器具或工具等。

物料的形状、材质、性质、个数不限。

物料可以是块，可以是板，或者可以是粒或粉。

物料可以是固体，可以是液体，可以是弹性体。

＊＊＊实施方式的补充说明＊＊＊

前述实施方式是优选的方式的例示，不意欲限制本发明的技术的范围。

实施方式可以部分地实施，也可以与其他方式组合实施。

此外，也可以将前述实施方式组合。

附图标记说明

100振动装置、10基座、11上表面、12底面、13壁、14空间、20板、21正面、22背面、23侧面、24螺纹孔、25螺纹件、26支点、27角、29凹陷、40振动单元、41、42、43、44、45振动器、46框、47分配器、48水平部、49垂直部、50间隔件、51支柱、52槽、53槽、60行波、70驻波、80控制器、81空气压缩机、82空气管路、83调节器、84处理器、200丝网印刷装置、201丝网版、202丝网、203刮刀、204浆料、205通孔、206抽吸管、207真空泵、300剪切装置、301刀片、400开孔装置、401钻头、500振动撒入装置、900工件、901零件。

Claims (15)

1.一种振动装置，其特征在于，

具备板、基座、振动单元、控制器，

前述基座固定前述板的周围，

前述振动单元在前述板的周围固定于前述基座的状态下使前述板的外周的多处从前述板的比固定部位更外侧的多个位置上下地振动，利用借助多个行波的重合而生成的驻波令前述板振动，

前述控制器控制前述振动单元的振动。

2.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元借助来自前述板的外侧的行波使前述板的外周以相同的频率上下振动。

3.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元在前述板的外周使行波同时以相同的波长产生。

4.如权利要求3所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元使前述行波以相同的振幅产生，使前述板以驻波振动。

5.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元使前述板振动的前述多处为，仅由前述板的多个侧面构成的多处、仅由前述板的多个角构成的多处及由前述板的侧面和角构成的多处的某个。

6.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元具有振动器，

前述控制器使前述振动器以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

7.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元具有由气压驱动的空气振动器或由音圈马达驱动的振动器。

8.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

具备固定于前述板的外周的多个部位的多个分配器，

前述振动单元经由前述多个分配器令前述板的外周的多个部位从前述板的外侧振动。

9.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元以前述板的固定部位作为支点令前述板振动。

10.一种丝网印刷装置，其特征在于，

具备权利要求1或2所述的振动装置。

11.一种振动撒入装置，其特征在于，

具备权利要求1或2所述的振动装置。

12.一种物料处理装置，其特征在于，

具备权利要求1或2所述的振动装置。

13.一种振动方法，其特征在于，

将板的周围固定于基座，借助振动单元，在前述板的周围固定于前述基座的状态下，使前述板的外周的多处从前述板的比固定部位更外侧的多个位置以相同频率上下振动，使前述板以借助多个行波的重合而生成的驻波振动。

14.如权利要求13所述的振动方法，其特征在于，

前述振动单元经由固定于前述板的外周的多个部位的多个分配器令前述板的外周的多个部位振动。

15.如权利要求13所述的振动方法，其特征在于，

前述振动单元以前述板的固定部位作为支点令前述板振动。

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