JP2005079527A - 電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 - Google Patents
電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005079527A JP2005079527A JP2003311593A JP2003311593A JP2005079527A JP 2005079527 A JP2005079527 A JP 2005079527A JP 2003311593 A JP2003311593 A JP 2003311593A JP 2003311593 A JP2003311593 A JP 2003311593A JP 2005079527 A JP2005079527 A JP 2005079527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- bonded
- bonding
- vibrator
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/10—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating making use of vibrations, e.g. ultrasonic welding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
- B23K20/10—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating making use of vibrations, e.g. ultrasonic welding
- B23K20/106—Features related to sonotrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/42—Printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
- H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/13144—Gold [Au] as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/757—Means for aligning
- H01L2224/75743—Suction holding means
- H01L2224/75745—Suction holding means in the upper part of the bonding apparatus, e.g. in the bonding head
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/759—Means for monitoring the connection process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/8112—Aligning
- H01L2224/81121—Active alignment, i.e. by apparatus steering, e.g. optical alignment using marks or sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/812—Applying energy for connecting
- H01L2224/81201—Compression bonding
- H01L2224/81205—Ultrasonic bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
- H01L2224/818—Bonding techniques
- H01L2224/81801—Soldering or alloying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01051—Antimony [Sb]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01079—Gold [Au]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
Abstract
【課題】本発明は、実装条件、実装部品等に左右されることなく、常に安定した信頼性の高い部品接合強度で電子部品を実装できる電子部品実装装置および電子部品実装方法と、常に安定した信頼性の高い回路動作が期待できる電子回路基板および電子回路装置を提供することを課題とする。
【解決手段】回路基板10の被接合面10aに実装する電子部品20の接合面20aに対して、その接合面内で、少なくとも2方向にホーン53,54を超音波振動させて、電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合し電子部品20を回路基板10に実装する。
【選択図】 図1
【解決手段】回路基板10の被接合面10aに実装する電子部品20の接合面20aに対して、その接合面内で、少なくとも2方向にホーン53,54を超音波振動させて、電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合し電子部品20を回路基板10に実装する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、超音波振動を用いて半導体チップ等の電子部品を基板面に実装する技術を適用した電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置に関する。
従来、超音波振動を用いて半導体チップ等の電子部品を基板面に実装する技術としては、電子部品の接合面に対し、その面方向に、即ち、接合面の面内で、一方向にホーンを超音波振動させて電子部品を基板面に接合し実装する技術と、電子部品の接合面に対し、垂直(縦)方向にホーンを超音波振動させて電子部品を基板面に接合し実装する技術があった(例えば特許文献1参照)。
しかしながら接合面の面内で、一方向にホーンを超音波振動させて電子部品を基板面に接合し実装する技術は、振動方向と基板の被接合面に於ける接合部のパターン配列方向とにより、接合強度に大きな差が生じるという問題があった。また、電子部品の接合面に対し、垂直(縦)方向にホーンを超音波振動させて電子部品を基板面に接合し実装する技術は、特に扁平状の薄型(チップ状)電子部品に於いて、その面と直交する方向に超音波振動が加わることから、実装時若しくは実装後に於ける部品の損傷頻度が高く回路動作上の信頼性が低いという問題があった。
特開2002−210409号公報
上述したように、超音波振動を用いて半導体チップ等の電子部品を基板面に実装する従来の技術に於いては、接合強度にばらつきが生じる、実装部品の損傷頻度が高く回路動作上の信頼性が低い等の問題があった。
本発明は、実装条件、実装部品等に左右されることなく、常に安定した信頼性の高い部品接合強度で電子部品を実装できる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。また本発明は、常に安定した信頼性の高い回路動作が期待できる電子回路装置を提供することを目的とする。
本発明は、基板に実装する電子部品の接合面に対して、その接合面内で、少なくとも2方向にホーンを超音波振動させて、電子部品を基板面に接合し実装するボンディング技術を特徴とする。このボンディング技術によれば、電子部品の接合面に対し、垂直(縦)方向に超音波振動が加わることによるチップ状電子部品の損傷を回避して、歩留まりがよく、しかも信頼性の高い安定した回路動作が期待できる。また、振動の方向が電子部品の接合面の面内に於いて一様化されないことから、すべての向きのパターン配置に対して安定した信頼性の高い均一な部品接合強度で電子部品を実装できる。
歩留まりがよく信頼性の高い安定した回路動作が期待できる。
以下図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
本発明の実施形態に係る電子部品実装装置の構成を図1に示す。この本発明に係る電子部品実装装置として、例えば超音波フリップチップボンディング装置を挙げることができる。
本発明の実施形態に係る電子部品実装装置は、図1に示すように、加圧制御部30と、超音波ボンディングツール50と、発振器を含んだ超音波振動制御回路60とを具備して構成される。
加圧制御部30は、電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合させて電子部品20を回路基板10に実装する際に、実装回路基板10の被接合面10aに対して、超音波ボンディングツール50のノズル55に吸着して保持された電子部品20の接合面20aを所定圧で加圧する。
超音波ボンディングツール50は、図1(b)に斜視図で示すように、十字状に組まれた第1のホーン53および第2のホーン54と、第1のホーン53の長手方向一端に設けた第1の超音波振動子51と、第2のホーン54の長手方向一端に設けた第2の超音波振動子52と、第1のホーン53と第2のホーン54の交差部下面に設けたノズル55とを具備して構成される。第1のホーン53と第2のホーン54の交差部下面に設けたノズル55の先端には、回路基板10の被接合面10aに実装される電子部品20を真空吸着して当該電子部品20をノズル面の定位置に保持するための真空吸着口(吸引孔)55aが設けられる。
超音波振動制御回路60は、発振器を有し、超音波ボンディングツール50の第1のホーン53に設けた第1の超音波振動子51、および第2のホーン54に設けた第2の超音波振動子52に、それぞれ所定周波数の(例えば60KHZ 程度の)超音波駆動信号を供給して、第1の超音波振動子51および第2の超音波振動子52を駆動制御する。例えば図2に実線で示す駆動信号(Sa)を第1の超音波振動子51に供給し、図2に破線で示す駆動信号(Sb)を第2の超音波振動子52に供給して、第1の超音波振動子51と、第2の超音波振動子52を所定の時間単位で交互に駆動制御する。この駆動制御により、第1の超音波振動子51は上記駆動信号(Sa)に従い第1のホーン53に電子部品20の接合面20aに図示矢印a方向の超音波振動を付与し、第2の超音波振動子52は上記駆動信号(Sb)に従い第2のホーン54に図示矢印b方向の超音波振動を付与する。尚、この際の矢印a,bで示す各振動方向は、それぞれ電子部品20の接合面20aに沿う方向(接合面20aの面内方向)である。尚、ここでは、回路基板10の被接合面10aに設けたバンプ(例えば金めっきを施したバンプ)と電子部品20の接合面20aに設けたバンプとを纏めて符号15で示している。
上記構成の電子部品実装装置に於いて、回路基板10の被接合面10aに電子部品20を実装する際は、超音波ボンディングツール50のノズル55に真空吸着され超音波ボンディングツール50の定位置に保持された電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに対し所定圧で加圧する。
これと並行して発振器を含んだ超音波振動制御回路60は、超音波ボンディングツール50の第1の超音波振動子51および第2の超音波振動子52に超音波駆動信号を供給して、第1の超音波振動子51により第1のホーン53に矢印a方向の超音波振動を付与し、第2の超音波振動子52により第2のホーン54に矢印b方向の超音波振動を付与する。
例えば図2に実線で示す超音波駆動信号(Sa)を第1の超音波振動子51に供給し、図2に破線で示す超音波駆動信号(Sb)を第2の超音波振動子52に供給して、第1の超音波振動子51と第2の超音波振動子52を所定の時間単位で交互に駆動制御する。
これにより、第1の超音波振動子51は上記駆動信号(Sa)に従い第1のホーン53に電子部品20の接合面20aに図示矢印a方向の超音波振動を付与し、第2の超音波振動子52は上記駆動信号(Sb)に従い第2のホーン54に図示矢印b方向の超音波振動を付与する。
この第1のホーン53および第2のホーン54の超音波振動に伴い、超音波ボンディングツール50のノズル55に保持された電子部品20の接合面20aが、当該電子部品20の接合面20aに沿う矢印a方向および矢印b方向の各超音波振動を交互に受け、その各面方向の超音波振動で電子部品20の接合面20aが回路基板10の被接合面10aに接合されて、電子部品20が回路基板10に実装される。
この際、電子部品20の接合面20aは、当該接合面20aに直交する垂直(縦)方向の振動が付与されることなく回路基板10の被接合面10aに接合されることから、電子部品20の上面および下面に対して過度の振動が加わらず、電子部品20の損傷を回避して、歩留まりのよい超音波ボンディングが行える、しかも電子部品20に過度の振動が加わらないことから、部品実装後に於いても信頼性の高い安定した回路動作が維持できる。
さらに、電子部品20の接合面20aは、当該接合面20aに沿う矢印a方向および矢印b方向の各超音波振動を交互に受けて、回路基板10の被接合面10aに接合されることから、回路基板10の被接合面10aに設けたすべての向きのパターン配置に対して均一な部品接合強度を確保できる。
この際のパターン配置に対する部品接合強度の違いを図3に示している。回路基板10上の電子部品20が実装される被接合面10aの各辺(四辺)に設けられた配線パターン11,12について、矢印a方向のみの超音波振動で電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合した際は、振動方向(矢印a方向)に沿って延びる配線パターン11に対しては必要とされる接合強度に十分なバンプの接合面が形成される(j1参照)が、振動がパターンの幅方向に沿う配線パターン12に関しては、必要とされる接合強度に十分なバンプの接合面を形成できず(j2参照)、従って、接合部Paに対して接合部Pbは十分な接合強度を確保できない。これに対して、矢印a方向と、矢印b方向との超音波振動で電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合した際は、配線パターン11,12のそれぞれについて必要とされる接合強度に十分なバンプの接合面(ja,jb)が形成でき、すべての配線パターン11,12に対して接合強度にムラのない接合が可能となる。尚、電子部品20を実装する回路基板10は、リジット基板に限るものではなく、フレキシブル基板であってもよい。
上記した実施形態では、第1の超音波振動子51と第2の超音波振動子52とを図2に示す駆動信号(Sa,Sb)に従って交互に間歇駆動したが、例えば図4に示すように、第1の超音波振動子51を図示実線で示す駆動信号により駆動し、第2の超音波振動子52を図示破線で示す駆動信号により駆動して、電子部品20の接合面20aに対し、その面内で回転する方向に超音波振動を付与してもよい。
または図5に示すように、第1の超音波振動子51を図示実線で示す駆動信号により駆動し、第2の超音波振動子52を図示一点鎖線で示す駆動信号により駆動して、電子部品20の接合面20aに対し、その面内で楕円状に回転するような超音波振動を付与してもよい。
または図6に示すように、第1の超音波振動子51を図示実線で示す駆動信号により駆動し、第2の超音波振動子52を図示一点鎖線で示す駆動信号により駆動して、電子部品20の接合面20aに対し、その面内で一定しないベクトル方向の超音波振動を付与してもよい。
上記したいずれの駆動信号による超音波振動に於いても、回路基板10の被接合面10aに実装する電子部品20の接合面20aに対して、その接合面内で、少なくとも2方向にホーン53,54を超音波振動させて、電子部品20の接合面20aを回路基板10の被接合面10aに接合し電子部品20を回路基板10に実装するボンディング装置を実現できる。このような同一面内で少なくとも2方向に超音波振動を付与するボンディング技術を用いるにより、電子部品の接合面に対し、垂直(縦)方向に超音波振動が加わることによるチップ状電子部品の損傷を回避できることから、歩留まりがよく、しかも部品実装後に於いて信頼性の高い安定した回路動作を維持することができる。また、振動の方向が電子部品の接合面の面内に於いて一様化されないことから、すべての向きのパターン配置に対して安定した信頼性の高い均一な部品接合強度で電子部品を実装できる。
尚、上記した実施形態では、第1のホーン53と第2のホーン54を十字状に組んで超音波ボンディングツール50を構成したが、例えばY状の各頂点に超音波振動子を設けた構成として同一面内で3方向に超音波振動を付与する構成等、同一面内で複数の方向に超音波振動を付与する構成であれば種々の変形が可能である。
10…回路基板、10a…被接合面、11,12…配線パターン、20…電子部品、20a…接合面、30…加圧制御部、50…超音波ボンディングツール、51…第1の超音波振動子、52…第2の超音波振動子、53…第1のホーン、54…第2のホーン、55…ノズル、60…超音波振動制御回路。
Claims (12)
- 基板に実装される電子部品を保持した状態で前記基板の被接合面に対して前記電子部品の接合面を加圧する加圧手段と、
前記電子部品を保持した状態で、該電子部品の接合面の面内で少なくとも2方向の振動を付与する振動付与手段とを備え、
前記加圧手段と振動付与手段によって前記電子部品の接合面を前記基板の被接合面に接合し、前記電子部品を前記基板に実装することを特徴とする電子部品実装装置。 - 前記加圧手段は、
十字状に組まれた一対のホーンの交差部に、前記電子部品を吸着し保持するノズルを設けたボンディングツールと、
前記ボンディングツールのノズルで保持した電子部品の接合面を前記基板の被接合面に加圧する加圧制御手段とを具備する請求項1記載の電子部品実装装置。 - 前記振動付与手段は、
長手方向の一端に第1の振動子を設けた第1のホーンと長手方向の一端に第2の振動子を設けた第2のホーンとを互いに交差させ、その交差部に被接合電子部品を吸着し保持するノズルを設けたボンディングツールと、
前記ノズルに固定した電子部品の接合面を前記第1の振動子により前記基板の被接合面内で第1の方向に振動させ、前記第2の振動子により前記基板の被接合面内で第2の方向に振動させる振動制御手段とを具備する請求項1記載の電子部品実装装置。 - 前記振動付与手段は、前記第1の振動子と、前記第2の振動子とを交互に駆動制御する制御手段を具備する請求項3記載の電子部品実装装置。
- 前記振動付与手段は、前記第1の振動子と、前記第2の振動子とを互いに異なる振動数で駆動制御する制御手段を具備する請求項3記載の電子部品実装装置。
- 前記振動付与手段は、前記第1の振動子と、前記第2の振動子とを互いに所定の位相差をもたせて駆動制御する制御手段を具備する請求項3記載の電子部品実装装置。
- 基板に実装される電子部品を保持した状態で、前記電子部品の接合面を前記基板の被接合面に対して加圧しつつ、前記電子部品の接合面の面内で少なくとも2方向の超音波振動を付与して、前記電子部品の接合面を前記基板の被接合面に接合し、前記電子部品を前記基板に実装することを特徴とする電子部品実装方法。
- 前記超音波振動は、十字状に組まれた一対のホーンと、当該一対のホーンの各一端に設けた振動子とを備えたボンディングツールにより付与される請求項7記載の電子部品実装方法。
- 前記各振動子を所定の時間単位で交互に駆動して、前記電子部品の接合面の面内で2方向に超音波振動を付与する請求項8記載の電子部品実装方法。
- 電子部品の実装位置に前記電子部品の接合面が接合する被接合面を有する回路基板と、
前記回路基板の被接合面に接合する接合面を有し、当該接合面の面内で少なくとも2方向の超音波振動を受けて前記接合面が前記回路基板の被接合面に接合し前記回路基板の実装位置に実装された電子部品と
を具備したことを特徴とする電子回路装置。 - 前記電子部品は、前記接合面に複数のめっき電極を行列方向に配列した半導体装置である請求項10記載の電子回路装置。
- 前記回路基板は、フレキシブル基板若しくはリジット基板である請求項10記載の電子回路装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003311593A JP2005079527A (ja) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | 電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 |
EP04018953A EP1512485A1 (en) | 2003-09-03 | 2004-08-10 | Method and apparatus for mounting electronic part applying ultrasonic vibrating in a plurality of directions, and electronic circuit apparatus |
TW093126729A TW200511913A (en) | 2003-09-03 | 2004-09-03 | Electronic part mounting apparatus, electronic part mounting method and electronic circuit apparatus |
CNA2004100686188A CN1592551A (zh) | 2003-09-03 | 2004-09-03 | 电子零件安装装置、电子零件安装方法及电子电路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003311593A JP2005079527A (ja) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | 電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005079527A true JP2005079527A (ja) | 2005-03-24 |
Family
ID=34131842
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003311593A Pending JP2005079527A (ja) | 2003-09-03 | 2003-09-03 | 電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1512485A1 (ja) |
JP (1) | JP2005079527A (ja) |
CN (1) | CN1592551A (ja) |
TW (1) | TW200511913A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101091652B1 (ko) | 2009-10-23 | 2011-12-08 | 한국과학기술원 | 전자 부품 접합에 사용되는 진동 에너지 인가 장치 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104923906B (zh) * | 2015-07-05 | 2017-03-08 | 浙江正统钢业有限公司 | 一种用于金属薄片的超声波焊接装置及其焊接方法 |
CN106944738A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-07-14 | 广州市科普超声电子技术有限公司 | 一种超声波焊头以及超声波焊接设备 |
CN108668464B (zh) * | 2018-04-08 | 2020-01-03 | 深圳市比亚迪电子部品件有限公司 | 一种超薄软板与金属端子超声波焊接的方法及制品结构 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1197493A (ja) * | 1997-09-19 | 1999-04-09 | Toshiba Corp | ボンディング方法および装置 |
JP2001308141A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-11-02 | Sony Corp | 電子回路装置の製造方法 |
JP3487264B2 (ja) * | 2000-07-06 | 2004-01-13 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品のボンディング装置 |
JP2002158257A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-05-31 | Mitsubishi Electric Corp | フリップチップボンディング方法 |
JP2002210409A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-07-30 | Sony Corp | 超音波振動方法および超音波振動装置 |
-
2003
- 2003-09-03 JP JP2003311593A patent/JP2005079527A/ja active Pending
-
2004
- 2004-08-10 EP EP04018953A patent/EP1512485A1/en not_active Withdrawn
- 2004-09-03 TW TW093126729A patent/TW200511913A/zh unknown
- 2004-09-03 CN CNA2004100686188A patent/CN1592551A/zh active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101091652B1 (ko) | 2009-10-23 | 2011-12-08 | 한국과학기술원 | 전자 부품 접합에 사용되는 진동 에너지 인가 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1592551A (zh) | 2005-03-09 |
TW200511913A (en) | 2005-03-16 |
EP1512485A1 (en) | 2005-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6811630B2 (en) | Ultrasonic vibration method and ultrasonic vibration apparatus | |
US7523775B2 (en) | Bonding apparatus and method of bonding for a semiconductor chip | |
CN100446206C (zh) | 超声波安装方法及采用该方法的超声波安装设备 | |
JP2012505083A5 (ja) | ||
JP2005079527A (ja) | 電子部品実装装置、電子部品実装方法および電子回路装置 | |
US7150388B2 (en) | Method of bonding and bonding apparatus for a semiconductor chip | |
JP4078444B1 (ja) | 超音波ホーンおよび超音波接合装置 | |
US7208059B2 (en) | Method of ultrasonic-mounting electronic component and ultrasonic mounting machine | |
JP2006239749A (ja) | 超音波接合方法および超音波接合装置 | |
JP3487162B2 (ja) | ボンディングツールおよびボンディング装置 | |
JP4893814B2 (ja) | 半導体チップの接合方法および接合装置 | |
JP4491321B2 (ja) | 超音波実装方法およびこれに用いる超音波実装装置 | |
JP2003059972A (ja) | ボンディングヘッド及びこれを備えたボンディング装置 | |
JP2007173362A (ja) | フライングリードの接合方法 | |
JP4305270B2 (ja) | 部品接合装置および部品接合ツールならびに部品接合方法 | |
JP2006128486A (ja) | 電子部品の超音波実装方法 | |
JPH1154540A (ja) | ボンディング装置 | |
JP4815309B2 (ja) | 超音波実装ツール及び電子部品の実装装置 | |
JP4395043B2 (ja) | 半導体チップの接合方法、半導体チップおよび基板 | |
JP4109074B2 (ja) | 超音波ホーンとそのツール保持方法及びそれを用いたバンプボンディング装置 | |
JP2006156813A (ja) | 超音波実装ツール及び電子部品の実装装置 | |
JP2002343831A (ja) | ボンディングヘッド及びこれを備えたボンディング装置 | |
JP2003045916A (ja) | ボンディングヘッド及びこれを備えたボンディング装置 | |
JP2003170116A (ja) | 超音波振動発振器、及び部品接合方法 | |
JP2000208560A (ja) | 超音波複合振動を用いた半導体チップの基板への実装方法 |