JP5341500B2 - スクリーン印刷方法及びその装置 - Google Patents

Description

本発明は、被印刷体へ印刷パターンを印刷するためのスクリーン印刷方法に関し、特に微細な印刷パターンを印刷するためのスクリーン印刷方法に関する。

スクリーン印刷とは孔版印刷の一種であり、スクリーンにパターン開口部を設け、パターン開口部を通してインクなどのペーストを被印刷体に転写する印刷方法である。導電性のペーストをクリーン印刷するスクリーン印刷方法は、例えば、エレクトロニクス分野において、太陽電池の電極形成、チップインダクタ、チップコンデンサ及びチップ抵抗などのチップ部品の内部電極形成、コイル形成並びに抵抗体形成などに、多岐にわたって用いられている。また、絶縁性のペーストをスクリーン印刷するスクリーン印刷方法は、例えば、ＰＤＰ及び電子ペーパーなどの隔壁形成にも用いられている。これらのペーストを印刷したパターンは、電子機器の高度化、高性能化に伴い、次第に精細になってきている。近年、必要とされる印刷パターン（印刷したペーストの形状）のライン幅は１００μ以下と細くなり、膜厚はできるだけ厚い印刷形状、すなわち高アスペクト比の印刷形状が必要になってきている。

スクリーン印刷方法において、ペーストのパターン開口部の通過を容易にするために、スクリーンを加振して、ペーストの粘度を低下させるスクリーン印刷方法が提案されている。例えば、スクリーンを加振するスクリーン印刷方法のための装置として、特許文献１には、スクリーン上にペーストを供給しつつ被印刷媒体に印刷をなすスクリーン印刷装置であって、スクリーン枠内に組み込まれた振動素子を含み、前記振動素子の振動を前記スクリーン枠を介して前記スクリーンへ伝達するようにしたことを特徴とするスクリーン印刷装置が開示されている。

また、特許文献２には、所定パターンの貫通孔が形成されたスクリーンを被印刷体に重ね合わせ、前記スクリーン上にペーストを供給し、前記ペーストをスキージを用いて前記貫通孔に充填し、前記貫通孔への前記ペーストの充填後、前記スクリーンに超音波振動を与えた後に又は超音波振動を与えながら前記被印刷体と前記スクリーンとを離し、前記貫通孔内のペーストを前記貫通孔の内面から離脱させ前記被印刷体に残すようにしたスクリーン印刷方法において、前記スキージを介して前記スクリーンに超音波振動を与えることを特徴とするスクリーン印刷方法が開示されている。

また、特許文献３には、スクリーンを用いて印刷材を被印刷物に印刷するスクリーン印刷機において、前記スクリーンに振動を与える振動発生手段を設けたことを特徴とするスクリーン印刷機が開示されている。

また、特許文献４には、クリーム半田が塗布されるプリント基板と、そのプリント基板の所定面に密接されるスクリーンとを備え、そのクリーム半田がそのスクリーンを介してそのプリント基板に印刷されるクリーム半田の印刷装置であって、前記クリーム半田の印刷時、及び、そのクリーム半田の印刷終了時に駆動される振動ヘッドが前記スクリーンに当接されることで設けられることを特徴とするクリーム半田の印刷装置が開示されている。

また、特許文献５には、スクリーン上面に沿ってスキージを移動させることにより、被印刷板に印刷剤を印刷した後、スクリーンと被印刷板とを離間させるスクリーン印刷方法であって、少なくとも印刷の終了からスクリーンと被印刷板との離間開始までの間に、スクリーンと被印刷板との少なくとも一方を振動させることを特徴とするスクリーン印刷方法が開示されている。
特開２００５−２９７２２６号公報 特開２００２−１９１３号公報 特開平０５−１４７１９２号公報 特開平０６−９１８４５号公報 特開平０６−１０６７０５号公報

電子機器の高度化等に伴い、スクリーン印刷方法による印刷パターンのライン幅の精細化している。ライン幅の精細化に伴い、スクリーン印刷の際にペーストがマスクのパターン開口部の壁にペーストが付着したまま残り、いわゆる版抜け性が悪くなって印刷パターンの膜厚が減少するという問題が生じることがある。この問題により、電気抵抗の値が高くなるばかりでなく、かすれ等の印刷不良による断線も発生することがある。また、高いアスペクト比を有する印刷パターンを印刷するためには、高粘度のペーストを用いることが有効であるが、高粘度のペーストを用いた場合には、特に版抜け性が悪くなるという問題がある。

以上の問題に鑑み、本発明は、高いアスペクト比を有する優れた印刷パターンを形成するためのスクリーン印刷方法を得ることを目的とする。

本発明者らは、スクリーン印刷の際に、所定のタイミングで超音波振動をペーストへ印加することにより、高いアスペクト比を有する優れた印刷パターンを得るために有効であることを見出し、本発明を完成した。

本発明は、超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加しながら、パターン開口部を有するスクリーン上をスクレーパーが移動することによって、スクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペーストを供給する工程と、スキージがスクリーン上を接触し加圧しながら移動することによって、スクリーンのパターン開口部を通して被印刷体にペーストを印刷する工程とを含む、スクリーン印刷方法である。

本発明のスクリーン印刷方法の好ましい態様を以下に示す。本発明では、これらの態様を適宜組み合わせることができる。
（１）超音波振動を、ペーストを供給する工程でのスクレーパーの移動方向の前方に配置された共振体を介してペーストに印加する。
（２）超音波振動を、スクレーパーを介してペーストに印加する。
（３）超音波振動を、スキージを介してペーストに印加する。
（４）被印刷体にペーストを印刷する工程において、スキージが印刷方向に移動し、ペーストを供給する工程において、スクレーパーが印刷方向とは反対の方向に移動する。
（５）超音波振動の周波数が、１０ＫＨｚ〜３ＭＨｚである。
（６）超音波振動源が、ランジュバン型振動子である。
（７）ランジュバン型振動子が、チタン酸ジルコン酸鉛を含む振動子である。
（８）ペーストが、２５℃において１０ｒｐｍで測定したときに３００〜１０００Ｐａ・ｓの粘度である。
（９）ペーストが、無機粒子８５〜９５重量％、バインダ１〜５重量％及び溶剤１〜７重量％を含む。

また、本発明は、スクリーン上を接触し加圧しながら移動することによって被印刷体にペーストを印刷するためのスキージと、スクリーン上を移動することによってスクリーンの上面及びパターン開口部にペーストを供給するスクレーパーと、超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加するための超音波振動印加機構とを含むスクリーン印刷装置であって、超音波振動印加機構が超音波振動源を含み、超音波振動源がスクレーパーに接続する構造、スキージに接続する構造又はペーストを供給する際のスクレーパーの移動方向の前方に配置された共振体に接続する構造を有するスクリーン印刷装置である。

また、本発明は、上述のスクリーン印刷方法に用いるスクリーン印刷装置である。

また、本発明は、上述のスクリーン印刷方法により形成された電極、電極端子、配線及び／又は隔壁を有する電子デバイス又は回路基板である。なお、電子デバイスは、太陽電池、チップインダクタ、電子ペーパー又はプラズマディスプレーパネルであり、回路基板が、プリント基板又はセラミック基板であることが好ましい。

本発明のスクリーン印刷方法を用いるならば、高いアスペクト比を有する優れた印刷パターンを形成することができる。

本発明のスクリーン印刷方法は、被印刷体にペーストを印刷する工程（印刷工程）の前に行われるスクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一つにペーストを供給する工程（ペースト供給工程）において、スクレーパーによりスクリーン上にペーストを塗布する際に、超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加することに特徴がある。

本発明において、「高粘度のペースト」とは、別途の記載がない限り、２５℃において１０ｒｐｍで測定したときに粘度が３００Ｐａ・ｓ以上のペーストをいう。また、本発明において、「チクソ性」とは、ペーストを攪拌した場合に、攪拌前より粘度が低下する性質をいう。

以下、本発明のスクリーン印刷方法を詳しく説明する。

まず、本発明のスクリーン印刷方法に用いることができるスクリーン印刷装置について説明する。図１に、本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図を示す。図１に示すように、本発明のスクリーン印刷方法に用いるスクリーン印刷装置は、スキージ１０及びスクレーパー１５を有する。スキージ１０は、印刷工程の際に、スクリーン２０に対して印圧しながらスクリーン２０上を移動することにより、被印刷体３０に印刷パターン３２を印刷するための部品である。また、本発明のスクリーン印刷方法に用いるスクリーン印刷装置は、ペースト供給工程の際に、スクリーン２０上にペースト３１を塗布するためのスクレーパー１５を有する。

本発明に用いるスクリーン印刷装置は、スキージ１０及びスクレーパー１５を保持するための保持部（図示せず）をさらに有する。保持部は、スクレーパー１５やスキージ１０などを保持するのみならず、スクリーン２０の上面へのスクレーパー１５やスキージ１０などの接触及び圧力の印加をするための、所定の上下動を行うことができる構造を有する。本発明に用いるスクリーン印刷装置は、スキージ１０及びスクレーパー１５の両方を保持するための一つの保持部を有することができる。また、本発明に用いるスクリーン印刷装置は、スキージ１０及びスクレーパー１５が、それぞれ独立に移動できるように、スキージ１０及びスクレーパー１５に対して、それぞれ一つの保持部を有してもよい。なお、後述する共振体１２を有する場合には、共振体１２の保持部は、スクレーパー１５と共通する保持部とすることができる。本発明に用いるスクリーン印刷装置は、いずれの場合もスキージ１０及びスクレーパー１５の上下動は、それぞれ独立に行うことができる機構を有する。また、共振体１２は、独立に上下動を行うことができる機構を有することができるが、スクレーパー１５の上下動と連動して上下する構造としてもよく、また、スクリーン２０の上面から所定の距離となるように共振体１２を固定しておく構造であることもできる。なお、本発明において、スクレーパー１５やスキージ１０などが、スクリーン２０の上面に接している状態（又は僅かな間隙を有して近接している状態）を「下位置」、スクリーン２０の上面から離れている状態を「上位置」という。

本発明に用いるスクリーン印刷装置は、少なくともペースト供給工程の際に、超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して印加するための超音波振動印加機構をさらに有する。超音波振動印加機構は、超音波振動源１１を含む。

本発明において、超音波振動源１１で発生した超音波振動のペースト３１への印加方法は特に限定されない。具体的には、超音波振動源１１は、スクレーパー１５及びスキージ１０等の、スクリーン印刷装置の部品の少なくとも一つ及び／又は別途の部品である共振体１２に、超音波振動を伝達するように接続され、これらの部品を介して超音波振動をペースト３１に対して印加することができる。図１及び図２に、超音波振動源１１がスクレーパー１５に接続する例の断面模式図を示す。また、図３及び図４に、超音波振動源１１がスキージ１０に接続する例の断面模式図を示す。また、図５及び図６に、超音波振動源１１が別途の部品である共振体１２に接続する例の断面模式図を示す。

本発明は、本発明のスクリーン印刷方法に用いることのできるスクリーン印刷装置を含む。具体的には、本発明のスクリーン印刷装置は、スクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって被印刷体３０にペースト３１を印刷するためのスキージ１０と、スクリーン２０上を移動することによってスクリーン２０の上面及びパターン開口部２３にペースト３１を供給するスクレーパー１５と、超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して印加するための超音波振動印加機構とを含むスクリーン印刷装置である。本発明のスクリーン印刷装置は、超音波振動印加機構が超音波振動源１１を含み、超音波振動源１１がスクレーパー１５に接続する構造、超音波振動源１１がスキージ１０に接続する構造又は超音波振動源１１がペースト３１を供給する際のスクレーパー１５の移動方向の前方に配置された共振体１２に接続する構造のうちの少なくとも一つの構造を有するスクリーン印刷装置であることが好ましい。特に、共振体１２の形状は、スキージ１０及びスクレーパー１５と比べて設計に自由度があるので、超音波振動をペースト３１に対して印加するための最適な形状にすることが容易である。そのため、本発明のスクリーン印刷装置は、超音波振動源１１が共振体１２に接続する構造を有することが好ましい。

スクリーン印刷装置の超音波振動源１１がスクレーパー１５に接続する構造を有する場合、超音波振動は、スクレーパー１５を介してペースト３１に印加することができる。この場合には、ペースト供給工程において、スクレーパー１５がペースト３１に接しているため、別途の部品（共振体１２）を必要としない。また、スクレーパー１５の形状は、スキージ１０と比べて設計に自由度があるので、スクレーパー１５の形状を超音波振動の伝達にとって好ましい形状にすることができる。

次に、本発明のスクリーン印刷方法について説明する。本発明のスクリーン印刷方法は、ペースト供給工程及び印刷工程を含む。

ペースト供給工程は、超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して印加しながら、パターン開口部２３を有するスクリーン２０上をスクレーパー１５が移動することによって、スクリーン２０の上面及びパターン開口部２３の少なくとも一つにペースト３１を供給する工程である。本発明のスクリーン印刷方法は、ペースト供給工程において、超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して印加することに特徴がある。ペースト３１はチクソ性を有する。そのため、ペースト供給工程において、超音波振動の印加によってペースト３１の粘度を一時的に低下させることができる。この結果、高粘度のペースト３１を用いた場合でも、スクリーン２０上にペースト３１をより均一に塗布することができ、その次の印刷工程に先立ってペースト３１をスクリーン２０のパターン開口部２３に充填することができる。すなわち、超音波振動のペースト３１への印加により、パターン開口部２３が微細なパターンである場合にも、チクソ性により粘度の低下したペースト３１はパターン開口部２３に容易に入り込むことができ、ペースト３１によってパターン開口部２３を充填することができる。

超音波振動のペースト３１への印加は、上述の超音波振動印加機構を用いて行うことができる。図１に示すペースト供給工程では、超音波振動源１１がスクレーパー１５に接続する超音波振動印加機構を用いる例を示す。図１に示すペースト供給工程では、スキージ１０が上位置にあり、スクレーパー１５が下位置にある。このとき、スクレーパー１５とスクリーン２０とは接している状態であることができ、又は僅かな間隙を有して近接している状態であることができる。

図１に示すペースト供給工程では、スクレーパー１５が符号５１で示される方向にペースト３１と接しながら移動する。このときに、スクリーン２０の上面と、スクレーパー１５の下端との間に隙間を設けた場合には、スクレーパー１５により押されて運ばれるペースト３１の一部がその隙間からスクリーン２０上に残ることで、スクリーン２０の上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペースト３１を供給することができる。また、スクレーパー１５とスクリーン２０とは接している状態である場合にも、スクリーン２０の上面はメッシュになっていることから、スクリーン２０の上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペースト３１を供給することができる。

また、ペースト供給工程では、超音波振動源１１で発生した超音波振動を、ペースト３１の少なくとも一部に対して印加するために、ペースト３１のチクソ性により、ペースト３１の粘度が低下する。図１の例では、超音波振動源１１がスクレーパー１５に接続する構造となっているので、超音波振動源１１で発生した超音波振動を、スクレーパー１５を介してペースト３１に印加することができる。そのため、印刷工程に先立って、スクリーン２０上にペースト３１をより均一に塗布することができ、ペースト３１をスクリーン２０のパターン開口部２３に充填することができる。

本発明のスクリーン印刷方法は、ペースト供給工程の後に印刷工程を含む。印刷工程は、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、スクリーン２０のパターン開口部２３を通して被印刷体３０にペースト３１を印刷する工程である。印刷工程によって、被印刷体３０の表面に印刷パターン３２（印刷されたペースト）を形成することができる。

図２に、印刷工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図を示す。図２に示す印刷工程は、図１に示したペースト供給工程の後の印刷工程である。図２に示す印刷工程では、スキージ１０が下位置にあり、スクレーパー１５が上位置にある。印刷工程では、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら、図２の符号５０の矢印方向に移動することによって、スクリーン２０のパターン開口部２３を通して被印刷体３０にペースト３１を印刷することができる。上述のように、ペースト供給工程において超音波振動をペースト３１に印加したために、スクリーン２０の上面のペースト３１は均一であり、またペースト３１によるパターン開口部２３の充填は良好である。そのため、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、パターン開口部２３内のペースト３３は、被印刷体３０の表面に付着し、パターン開口部２３から容易に離脱することができ、被印刷体３０に対してアスペクト比の高い優れた形状の印刷パターン３２を形成することができる。なお、スキージ１０によるスクリーン２０の加圧の圧力は、ペースト粘度やスキージ速度などの印刷条件によって適宜選択されが、具体的には、少なくともスクリーン２０の裏面が被印刷体３０の表面に接触するような圧力であれば良い。

図２に示す印刷工程では、スクレーパー１５が上位置にあるので、超音波振動の印加をペースト３１に対して行わない場合を示している。しかしながら、必要に応じて、印刷工程の際に、スクレーパー１５を、スクリーン２０には接しないがペースト３１には接するような位置に配置し、超音波振動をペースト３１に対して印加することもできる。同様に、後述する図４及び図６に示す印刷工程においても、必要に応じて、印刷工程の際に超音波振動をペースト３１に対して印加することができる。

図３及び図４に超音波振動のペースト３１への印加を、スキージ１０を介して行う本発明のスクリーン印刷方法を説明するための断面模式図を示す。

図３に、この本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程を示す。図３に示すペースト供給工程では、超音波振動源１１がスキージ１０に接続する超音波振動印加機構を用いる。図３に示すペースト供給工程では、スクレーパー１５が下位置にある。また、スキージ１０は上位置にあるが、ペースト供給工程の際に、スキージ１０がペースト３１中にあるような位置になるようにする。また、図３に示すペースト供給工程では、スクレーパー１５が符号５１で示される方向に移動する。ペースト供給工程の際に、超音波振動源１１から超音波振動を発生させることにより、超音波振動を、スキージ１０を介してペースト３１に印加することができる。

図４に、印刷工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図を示す。図４に示す印刷工程は、図３に示したペースト供給工程の後の印刷工程である。図４に示す印刷工程では、スキージ１０が下位置にあり、スクレーパー１５が上位置にある。印刷工程では、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、スクリーン２０のパターン開口部２３を通して被印刷体３０にペースト３１を印刷することができる。上述のように、ペースト供給工程において超音波振動をペースト３１に印加したために、スクリーン２０の上面のペースト３１は均一であり、またペースト３１によるパターン開口部２３の充填は良好である。そのため、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、パターン開口部２３内のペースト３３は、被印刷体３０の表面に付着し、パターン開口部２３から容易に離脱することができ、被印刷体３０に対してアスペクト比の高い優れた形状の印刷パターン３２を形成することができる。

図５及び図６に超音波振動のペースト３１への印加を共振体１２を介して行う本発明のスクリーン印刷方法を説明するための断面模式図を示す。

図５に、この本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程を示す。図５に示すペースト供給工程では、超音波振動源１１がさらなる部品である共振体１２に接続する超音波振動印加機構を用いる。共振体１２は、ペースト供給工程でのスクレーパー１５の移動方向の前方に配置することができる。図５に示すペースト供給工程では、スクレーパー１５が下位置にあり、スキージ１０が上位置にある。また、ペースト供給工程の際に共振体１２の少なくとも一部がペースト３１中にあるような位置に、共振体１２を配置する。また、図５に示すペースト供給工程では、スクレーパー１５が符号５１で示される方向に移動する。そのため、ペースト供給工程の際に、超音波振動源１１から超音波振動を発生させることにより、超音波振動を、共振体１２を介してペースト３１に印加することができる。

図６に、印刷工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図を示す。図６に示す印刷工程は、図５に示したペースト供給工程の後の印刷工程である。図６に示す印刷工程では、スキージ１０が下位置にあり、スクレーパー１５が上位置にある。印刷工程では、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、スクリーン２０のパターン開口部２３を通して被印刷体３０にペースト３１を印刷することができる。上述のように、ペースト供給工程において超音波振動をペースト３１に印加したために、スクリーン２０の上面のペースト３１は均一であり、またペースト３１によるパターン開口部２３の充填は良好である。そのため、スキージ１０がスクリーン２０上を接触し加圧しながら移動することによって、パターン開口部２３内のペースト３３は、被印刷体３０の表面に付着し、パターン開口部２３から容易に離脱することができ、被印刷体３０に対してアスペクト比の高い優れた形状の印刷パターン３２を形成することができる。

図５及び図６に示す例では、共振体１２がスクレーパー１５と同期して上下する例を示している。しかしながら、共振体１２の保持部は、必ずしも上下動を行うことができる機構を有する必要はない。すなわち、共振体１２の保持部は、ペースト供給工程の際に共振体１２の少なくとも一部がペースト３１中にあるように、スクリーン２０の上面から所定の距離で共振体１２を固定しておく構造を有することができる。また、共振体１２の保持部は、共振体１２がスクレーパー１５とは独立に上下動をする構造を有し、印刷工程において共振体１２がスクリーン２０に接触し、超音波振動をスクリーン２０に印加することのできる構造であることもできる。

図１〜図６では、印刷工程においてスキージ１０が印刷方向に移動し、ペースト供給工程において、スクレーパー１５が印刷方向とは反対の方向に移動する例を示す。しかしながら、スキージ１０及びスクレーパー１５の移動方向は、ペースト供給工程において、超音波振動のペースト３１への印加を行うという本発明の特徴を満足するのであれば、どのような方向への移動であってもよい。また、スキージ１０及びスクレーパー１５の移動方向は、同一であることもできるし、別々であることもできる。また、スキージ１０及びスクレーパー１５は同時に移動する必要は必ずしもなく、別々のタイミングで移動してもよい。共振体１２についても同様である。

本発明のスクリーン印刷方法において、スクリーン２０は、公知のものを用いることができる。一般に、スクリーン２０は、金属等のメッシュの上に乳剤（エマルジョン）が付着した構造であり、印刷パターン３２の形状に相当する部分のエマルジョンが除去され、パターン開口部２３となる。このパターン開口部２３をペースト３１が通過することにより、被印刷体３０に所定の印刷パターン３２を印刷することができる。本発明のスクリーン印刷方法において、スクリーン印刷する際に、スクリーン２０のエマルジョンと、被印刷体３０とが対向するようにスクリーン２０を配置する。

本発明のスクリーン印刷方法において、スキージ１０は公知のものを用いることができる。スキージ１０の材料としては、ウレタンゴム及びシリコーンゴムなどのゴム組成物や金属材料などを用いることができる。スキージ１０がスクリーン２０と接する角度（スキージ角度）は、スクリーン印刷の性能に影響するため、最適なスキージ角度を選択することが好ましい。

また、スキージ１０がスクリーン２０上を移動する速度（スキージ速度）もスクリーン印刷の性能に影響する。オフコンタクト方式のスクリーン印刷方法では、ペースト３１の印刷とほぼ同時に版離れ（スクリーン２０が被印刷体３０から離れること）をすることができるので、スキージ速度１００〜３００ｍｍ／秒程度という速い速度での印刷を行うことが可能である。

本発明のスクリーン印刷方法に用いる超音波振動源１１は、公知のものを用いることができる。本発明のスクリーン印刷方法では、超音波振動源１１の取り付け位置が限られることから、比較的コンパクトであるランジュバン型振動子を用いることが好ましい。ランジュバン型振動子とは、チタン酸バリウムやＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）などの圧電セラミックスに共振周波数の交流電圧を加えることにより超音波振動を発生する素子であり、複数の素子を積層した積層型のものが多く用いられている。安定して高いエネルギーの超音波振動を発生するために、本発明のスクリーン印刷方法に用いる超音波振動源１１に用いられるランジュバン型振動子は、圧電セラミックスとしてチタン酸ジルコン酸鉛を含む振動子であることが好ましい。

また、本発明のスクリーン印刷方法に用いる超音波振動源１１は、発生する超音波振動の周波数が、１０ＫＨｚ〜３ＭＨｚであることが好ましく、１５ＫＨｚ〜１００ＭＨｚであることがより好ましい。超音波振動の周波数がこのような範囲であると、ペースト３１の粘度変化が効果的に生じるためである。

また、本発明のスクリーン印刷方法においては、超音波振動源１１で発生した超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して印加する際に、超音波振動源１１において発生した超音波振動を、超音波振動と共振する共振体１２に伝達し、共振体１２において共振した超音波振動をペースト３１の少なくとも一部に対して伝達することによってなされることが好ましい。共振体１２を用いることにより、スクリーン２０上及びスクリーン２０のパターン開口部２３のペースト３１に対して、超音波振動源１１で発生した超音波振動を、より効果的に印加することができる。その結果、より効果的にペースト３１の粘度を低下させることができる。

共振体１２は、ホーンともいわれ、適切な共振周波数の共振体１２により、超音波振動源１１において発生した超音波振動の振幅を大きくすることができる。図７に、共振体１２の斜視模式図を示す。共振体１２に超音波振動源１１が接続するために、共振体１２には、少なくとも一つの超音波振動源接続孔１４を有する。共振体１２に複数の超音波振動源１１を接続することにより、十分な超音波振動を供給することができる。図８に、共振体１２に超音波振動源１１を接続した断面模式図を示す。

また、本発明のスクリーン印刷方法においては、超音波振動を、スクレーパー１５を介してペースト３１に印加する場合には、スクレーパー１５として共振体１２を用いることが好ましい。

また、本発明のスクリーン印刷方法においては、超音波振動を、スキージ１０を介してペースト３１に印加する場合には、スキージ１０が共振体１２に取り付けられた構造のものを用いることが好ましい。この場合、図９に断面模式図を示すように、スキージ１０としては、超音波振動源１１を接続した共振体１２にスキージ１０を取り付けた構造のものを用いることができる。また、スキージ１０は、図１０に断面模式図を示すように、印刷工程の際に、スクリーン２０に接触する角のみにスキージ１０を取り付けた構造のものを用いることもできる。

本発明のスクリーン印刷方法によると、被印刷体３０に印刷したペースト３２の形状（印刷形状）として、アスペクト比０．３以上のものを得ることができる。アスペクト比とは、印刷形状の高さをライン幅で除した値のことである。

本発明のスクリーン印刷方法においては、ペースト３１が、２５℃において１０ｒｐｍで測定したときに３００〜１０００Ｐａ・ｓの粘度であることが好ましい。ペースト３１の粘度がこのような範囲であると、本発明の印刷方法を用いた場合には、良好な版抜け性と、高アスペクト比の印刷形状とを、共に得ることができる。

次に、本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましいペースト３１について説明する。

また、本発明のスクリーン印刷方法においては、ペースト３１は、無機粒子８５〜９５重量％、バインダ１〜５重量％及び溶剤１〜７重量％を含むことが好ましい。ペースト３１がこのような組成であると、本発明の印刷方法を用いた場合には、良好な版抜け性と、高アスペクト比の印刷形状とを、共に得ることを確実にできる。以下、具体的なペースト３１の組成について、太陽電池の表面電極形成用ペーストを例にして説明する。なお、図１１に、太陽電池の電極付近の構造の断面模式図を例示する。図１１に示す例では、太陽電池は、表面電極１、反射防止膜２、ｎ型拡散層３及びｐ型シリコン４を有する基板６並びに裏面電極５を有する構造である。

太陽電池の表面電極形成用ペーストには、無機粒子として、導電性粒子及びガラスフリットを含むことができる。

太陽電池の表面電極形成用ペーストに含まれる導電性粒子は、その金属の種類、粒径、粒子形状及び粒子表面状態（表面処理の有無）を適正なものとする必要がある。銀を主要な材料とする太陽電池の表面電極を形成するために、導電性ペーストに含まれる導電性粒子は、銀を主要な材料とする粒子、具体的には銀を５０重量％以上含む粒子であることが好ましい。また、導電性ペーストには、表面電極の性能が損なわれない範囲で、銀粒子以外の他の金属粒子を含むことができる。ただし、銀は電気抵抗が低く、太陽電池電極材料として優れているため、導電性粒子は銀からなることが好ましい。

導電性粒子の粒子形状及び粒径は、所定のものにすることが好ましい。すなわち、本発明の太陽電池の電極では、導電性粒子の形状は鱗片状あるいは球状、さらにはこれらの混合体を用いることができる。また粒径は数μｍ以下の微粒子を用いることができる。

具体的には、導電性粒子として、鱗片状の銀粒子であって、長粒径５〜１０μ及び短粒径２〜５μｍのものを用いることができる。長粒径とは、粒子の形状を平面に投影した投影図のうち、最大面積となるような投影図において、任意の２点を結ぶ直線のうち最も長い直線の長さをいう。また、短粒径とは、粒子の上記投影図の輪郭の任意の２点を結びかつ長粒径を示す直線に直交する直線のうち、最も長い直線の長さをいう。例えば、粒子の形状が、楕円形の薄い平板の場合、最大面積となるような投影図は楕円形となるので、長粒径とは楕円の長軸の長さ（長径）を意味し、短粒径とは楕円の短軸の長さ（短径）を意味することとなる。

また、導電性粒子は、平均粒径０．１μｍの球状の銀粒子を、鱗片状の銀粒子と混合して用いることができる。なお、平均粒径は、全粒子の積算値５０％の粒子寸法（Ｄ５０）の値として求める。本明細書において、銀粒子以外の粒子においても、「平均粒径」は同様である。

太陽電池の表面電極形成用ペーストの無機粒子として、さらにガラスフリットを含むことができる。所定の太陽電池特性を得るためには、ガラスフリットの組成、軟化温度、粒径及び粒子形状を適正なものとする必要がある。

導電性ペーストに含まれるガラスフリットは、電極を構成するガラスフリットに対応した組成のものを用いることができる。すなわち、導電性ペーストに含まれるガラスフリットは、ＰｂＯ−ＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系、Ｂｉ_２Ｏ_３−ＰｂＯ−ＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系及びＺｎＯ−ＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系から選ばれた少なくとも１種であることができる。また、ガラスフリットは、Ｐｂフリー系ガラスフリット（例えばＢｉ_２Ｏ_３−Ｂ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２−ＣｅＯ_２−ＬｉＯ_２−ＮａＯ_２系及びＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３−Ｌｉ_２Ｏ系等）であることができる。また、ガラスフリットは、酸化亜鉛及び酸化ホウ素を含み、さらにＳｉＯ_２、ＣｅＯ_２、ＬｉＯ_２及びＮａＯ_２等から選択したものを含むものを用いることができる。

ガラスフリット粒子の粒子形状及び粒径は、導電性粒子の場合と同様、所定のものにすることが必要である。ただし、一般に、導電性粒子の添加量は、ガラスフリット粒子の添加量と比較してはるかに多いため、良好な性能の太陽電池を得るためには、導電性粒子の寸法及び形状等を所定のものとすることが重要である。ガラスフリット粒子は、具体的には、粒子形状としては、例えば、無定形のものを用いることができる。粒径は、作業性の点等から、０．０１〜５０μｍであることが好ましく、０．０５〜２０μｍであることがさらに好ましく、０．１〜５μｍであることが特に好ましい

太陽電池の表面電極形成用ペーストには、バインダとして有機バインダを含むことができる。有機バインダとしては、セルロース系樹脂（例えばエチルセルロース及びニトロセルロース等）及び（メタ）アクリル系樹脂（例えばポリメチルアクリレート及びポリメチルメタクリレート等）から選択したものを用いることができる。有機バインダの添加量は、導電性粒子１００重量部に対し、通常０．５〜３０重量部であり、好ましくは１〜７重量部である。

太陽電池の表面電極形成用ペーストに含まれる溶剤としては、アルコール類（例えばターピネオール、α−ターピネオール、β−ターピネオール等）、エステル類（例えばヒドロキシ基含有エステル類、２，２，４―トリメチル−１，３−ペンタンジオールモノイソブチラート及びブチルカルビトールアセテート等）から選択したものを使用することができる。溶剤の添加量は、導電性粒子１００重量部に対し、通常０．５〜３０重量部であり、好ましくは１〜２５重量部である。

さらに、太陽電池の表面電極形成用ペーストには、添加剤として、可塑剤、消泡剤、分散剤、レベリング剤、安定剤及び密着促進剤などから選択したものを必要に応じて配合することができる。これらのうち、可塑剤としては、フタル酸エステル類、グリコール酸エステル類、リン酸エステル類、セバチン酸エステル類、アジピン酸エステル類及びクエン酸エステル類などから選択して用いることができる。

次に、本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストについて述べる。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストに含まれる導電性粒子としては、平均粒径０．１μｍの球状の銀粒子を用いることができる。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストに含まれるバインダとしては、エチルセルロースを用いることができる。また、溶剤としてはブチルカルビトールアセテートを用いることができる。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストに含まれるガラスフリットは、ＰｂＯ−ＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系ガラスを用いることができる。ガラスフリットの粒子形状は無定形のものを用いることができる。また、平均粒径は、０．１〜５μｍのものを用いることができる。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストの組成は、導電性粒子やガラスフリットからなる無機粒子８５〜９５重量％、バインダ１〜３重量％及び溶剤１〜７重量％の割合であることが好ましい。また、好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストの粘度範囲は、２５℃において１０ｒｐｍで測定したときに３００〜１０００Ｐａ・ｓであることが好ましい。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストは、上記の材料をプラネタリーミキサー及び３本ロールによって攪拌及び分散し、ペースト化することができる。このようにして得られるペーストは、一般的なペーストの粘度（上述と同条件で３００Ｐａ・ｓ以下）より高いが、本発明の高アスペクト比の印刷パターンを形成するためには適している。

本発明のスクリーン印刷方法に用いることが好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストは、Ｅ型粘度計において３度コーンを使用し、温度２５℃、回転数１０ｒｐｍで測定した粘度が３００〜５００Ｐａ・ｓであり、好ましい太陽電池の表面電極形成用ペーストは、１ｒｐｍ／１０ｒｐｍのチクソ指数（ＴＩ値）が２．０〜１０．０程度のものを用いることができる。ここで、チクソ指数（ＴＩ値）は、チクソ性の大きさを示す指数である。チクソ指数（ＴＩ値）は、異なった回転数で測定した粘度の比である。粘度の測定は、ブルックフィールド粘度計（Ｅ型粘度計）を用い、３度コーンを用い２５℃で測定を行う。本明細書において、例えば、チクソ指数（ＴＩ値）は、０．５ｒｐｍ／２．５ｒｐｍ、１ｒｐｍ／１０ｒｐｍ、５ｒｐｍ／５０ｒｐｍなどの選択した二つの回転数で測定した粘度の比として求めることができる。なお、上記の「０．５ｒｐｍ／２．５ｒｐｍ」とは、回転数０．５ｒｐｍでの粘度測定値を、回転数２．５ｒｐｍでの粘度測定値で除した値（チクソ指数）を意味する。

本発明のスクリーン印刷方法により、電子デバイス又は回路基板上に、電極、電極端子、配線及び／又は隔壁を、アスペクト比の高い形状で形成することができる。すなわち、電子デバイス又は回路基板上の電極、電極端子、配線及び／又は隔壁などは、本発明のスクリーン印刷方法により形成されたものであることが好ましい。

また、本発明のスクリーン印刷方法により電極等が形成される電子デバイスは、太陽電池、チップインダクタ、電子ペーパー又はプラズマディスプレーパネルであることが好ましい。また、本発明のスクリーン印刷方法により電極等が形成される回路基板は、プリント基板又はセラミック基板である電子デバイス又は回路基板であることが好ましい。

太陽電池の変換効率向上のために、太陽電池の表面電極は、微細でアスペクト比の高い形状のものが必要である。そのため、本発明のスクリーン印刷方法は、太陽電池の表面電極形成のために好ましく用いることができる。

＜実施例１＞
振動子付きのホーン（共振体）を、スクリーン印刷装置のスクレーパーの位置より前方に取り付け、本発明のスクリーン印刷方法でスクリーン印刷をした。

アルミニウムブロックを、図７の形状に切削加工し、高さ（Ｈ）５０ｍｍ、幅（Ｌ）５０ｍｍ、上部の厚み（Ｄ１）１０ｍｍ、ホーン先端部厚み（Ｄ２）６ｍｍのホーン（共振体）を作製した。ホーンの上部の厚み１０ｍｍの部分に、５０ＫＨｚで振動するランジュバン型振動子を１個取り付けた。この振動子付きホーンを、図５及び６に示すように、スクレーパーの位置より前方に、スクリーンに近接するように設置した。スクレーパーは、ペースト供給工程において、スクリーンに接触させるようにした。

ペースト供給工程における超音波振動印加の効果を確認するために、振動周波数５０ＫＨｚ及び振幅２０μｍ程度の超音波振動を、ホーンを介してペーストに振動を印加しながらスクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にスクレーパーでペーストを供給した。その後、鏡面研磨したｐ型シリコン基板上に、太陽電池用ペースト（ナミックス社製）を印刷した。また、比較のために、超音波振動をまったく印加せずにペーストを供給し、印刷した。

用いたスクリーンのパターン開口部の形状は、長さ５０ｍｍで幅１２０μｍ、１００μｍ、８０μｍ、５０μｍ及び３０μｍの５種類とした。ペーストを基板に印刷後、１５０℃で１分乾燥した後、印刷形状のアスペクト比を測定した。

スクリーン印刷は、下記の印刷条件により行った。
スクリーンの乳剤の厚さ： ２０〜３０μｍ
（幅１２０μｍ、１００μｍ及び８０μｍのパターン開口部の形状の場合、スクリーンの乳剤厚を３０μｍとした。また、幅５０μｍ及び３０μｍのパターン開口部の形状の場合、スクリーンの乳剤厚を２０μｍとした。）
スクリーンメッシュ： ３２５メッシュ
スクリーンメッシュの線径： φ２３μｍ
印刷速度： １００ｍｍ／秒
スキージ角度： ７０度
基板とスクリーンとの間隔： １．５ｍｍ
ペースト粘度： ４００Ｐａ・ｓ（回転数１０ｒｐｍで測定）、１７０Ｐａ・ｓ（回転数５０ｒｐｍで測定）

上記の条件によりスクリーン印刷した結果、基板上の印刷パターンの印刷形状を表１に示す。

この結果から、超音波振動を与えながらペーストを供給し、パターン開口部に充填した方が、若干の印刷幅の拡大は見られるものの、版抜け性とレベリング性が改善される効果によって、高アスペクト比で表面凹凸の少ない細線を得ることができることが確認された。

＜実施例２＞
次に、太陽電池の表面電極を形成するために、本発明のスクリーン印刷方法を用いた実施例を示す。図１１に、試作した太陽電池の構造の断面模式図を示す。この断面模式図は、電極付近の構造を示す。

なお、表面電極形成のためのスクリーン印刷の際の超音波振動の印加は、実施例１と同様に行った。超音波振動の印加条件は、実施例１と同じである。

太陽電池用基板は、一辺１５６ｍｍの正方形で、厚さ２２０μｍのｐ型多結晶基板を用いた。アルカリエッチングにより、この基板の片側（表面）にテクスチャ構造（凹凸構造）を設け、リンを拡散源とするためにＰＯＣl_３を表面に塗布し、１０００℃で３０分間、リンを熱拡散させ、ｎ型拡散層を形成した。その後、プラズマＣＶＤ法によって、反射防止膜である７０ｎｍ程度の窒化珪素（ＳｉＮ）膜を表面に形成した。

次に、上述の実施例１と同様に、図５に示すように、超音波振動を、スクレーパーより前方に設置したホーンを介してペーストに印加しながらスクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペーストを供給した後、図６に示すように、太陽電池用ペーストを、超音波振動を印加せずに太陽電池の表面電極パターンを基板の反射防止膜上に印刷した。なお、表面電極用スクリーンのフィンガー幅（パターン開口部の幅）は、８０μｍのものを用いた。スキージは、幅１９０ｍｍのものを用いた。スクレーパー前方に用いるホーン（共振体）は、幅（Ｌ）が１９０ｍｍである以外は実施例１で用いたホーンと同じ寸法のものを用いた。表面電極形成用のペーストは、ナミックス社製、太陽電池用銀ペースト（粘度４００Ｐａ・ｓ）を用いた。

表面電極パターンの印刷後、遠赤外固定炉を用いて、１５０℃の温度で１分間、乾燥した。次に、裏面電極としてナミックス社製アルミニウムペーストを基板の裏面全体に印刷し、１５０℃の温度で１分間乾燥した。なお、裏面電極パターンは、超音波振動を印加せずに従来のスクリーン印刷方法を用いて印刷した。これは、裏面電極パターンには微細なパターンを設ける必要がないためである。

次に、基板を、ハロゲンランプを熱源とする近赤外炉を用いて８００℃で約１分間焼成することにより、表面電極及び裏面電極を同時焼成し、両電極を形成した。

比較例２として、太陽電池の表面電極パターンを基板の反射防止膜上に印刷する際に、通常の太陽電池電極形成で用いられているペースト粘度１８０Ｐａ・ｓのものを用いたこと、及びペースト供給工程の際に超音波振動を印加しなかったこと以外は上記の実施例２と同様に太陽電池を製作した。

太陽電池特性は、１００ｍＷ／ｃｍ^２のソーラーシミュレータ光（ＡＭ１．５）を照射して測定した。実施例及び比較例共に、それぞれ太陽電池１０セルを作製した。太陽電池特性は、太陽電池の電流−電圧特性の測定から求めることのできる曲線因子（FF、［Fill Factor］）と変換効率の平均値によって比較した。その結果を、表２に示す。

表２に示す結果から、本発明のスクリーン印刷方法を用いた場合には、通常の印刷条件の場合と比較し、フィンガーの断線やレベリング性の悪さから起こる膜厚の不均一性を減少させることができるため、曲線因子（FF）の低下を抑えることができ、高い変換効率が実現できることが明らかとなった。

＜実施例３＞
一辺１５０ｍｍの正方形で厚み２００μｍのフェライトシートの上に線幅６０μｍのライン及びライン間のスペース６０μｍの４角形状のコイル状のパターン（４ターン、外形約１．５ｍｍ角）をスクリーン印刷した。印刷には、チップインダクタ用銀ペースト（ナミックス社製、粘度３００Ｐａ・ｓ）を用い、このコイル状のパターンを印刷した。スクリーン印刷後、乾燥は１５０℃で１分間行った。

なお、スクリーン印刷の際の超音波振動の印加は、実施例１と同様、図５に示すように、超音波振動を、スクレーパーより前方に設置したホーンを介してペーストに印加しながらスクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペーストを供給した後、図６に示すように、超音波振動を印加せずにスクリーン印刷した（実施例３）。超音波振動の印加条件は、実施例１と同様である。また、比較のため、ペースト供給工程の際に超音波振動を印加しなかったこと以外は上記の実施例３と同様にコイル状のパターンを印刷した（比較例３）。

スクリーン印刷回数は、１、５、１０、１５、２５及び３０回とし、印刷回数ごとに乾燥後の印刷パターンの印刷形状を観察した。

結果を表３に示す。表３中の「×」及び「○」は、印刷方向（スキージの移動方向）に対して直角の方向（スキージと平行の方向）のラインが導通した場合を「×」、導通しなかった場合を「○」と判定した。本発明の実施例では、スクリーン印刷回数が１５回を越しても、なお良好なコイルパターンをスクリーン印刷することができた。また、本発明の方法では超音波振動印加の効果によって、印刷したコイル表面の平滑性も改善することができた。

以上の結果から、本発明のスクリーン印刷方法によって、微細なコイル形状を安定して得ることが可能であることが確認された。

＜実施例４＞
銅張りプリント基板上に、メタルマスク（ＳＵＳ３０４、厚み５０μｍ、開口０．１×０．１ｍｍ １００個）を用いて、クリームはんだをスクリーン印刷し、版抜け性の比較を行った。

クリームはんだに含まれるはんだ粉にはＰｂ：Ｓｎ＝３７：６３の共晶はんだ粉を用いた。はんだ粉の平均粒径は、版抜け性があえてよくない、やや大きめの３０μｍを用いた。スクリーン印刷後に印刷パターンを乾燥した。印刷パターンの形状を、光学顕微鏡によって観察した。評価は、印刷パターン１００個あたりの版抜け不良数を比較することにより行った。

なお、スクリーン印刷の際の超音波振動の印加は実施例１と同様、図５に示すように、超音波振動を、ホーンを介してペーストに印加しながらメタルマスクの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にスクレーパーでペーストを供給した。その後、超音波振動を印加せずにスクリーン印刷した（実施例４）。超音波振動の印加条件は、実施例１と同様である。また、比較のため、ペースト供給工程の際に超音波振動を印加しなかったこと以外は上記の実施例４と同様に印刷パターンを印刷した（比較例４）。

表４に、実施例４の結果を示す。この結果から、本発明のスクリーン印刷方法によって、版抜け性が向上し、微細な印刷パターンの印刷が可能となることがわかった。

本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法の印刷工程の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程の別の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法の印刷工程の別の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法のペースト供給工程のさらに別の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法の印刷工程のさらに別の一例を説明するための、スクリーン印刷装置の一部の断面模式図である。 本発明のスクリーン印刷方法に用いる共振体（ホーン）の斜視模式図である。 共振体に超音波振動源を接続した断面模式図である。 超音波振動源を接続した共振体にスキージを取り付けた構造のスキージの断面模式図である。 超音波振動源を接続した共振体にスキージを取り付けた構造のスキージの断面模式図である。 太陽電池の電極付近の断面模式図である。

符号の説明

１ 表面電極
２ 反射防止膜
３ ｎ型拡散層
４ ｐ型シリコン
５ 裏面電極
６ 基板
１０ スキージ
１１ 超音波振動源
１２ 共振体（ホーン）
１４ 超音波振動源接続孔
１５ スクレーパー
２０ スクリーン
２３ パターン開口部
３０ 被印刷体
３１ ペースト
３２ 印刷パターン（印刷されたペースト）
３３ パターン開口部内のペースト
４０ 印刷台
５０ 印刷工程でのスキージの移動方向
５１ ペースト供給工程でのスクレーパーの移動方向

Claims (14)

1. スクリーン印刷装置を用いたオフコンタクト方式のスクリーン印刷方法であって、
   超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加しながら、パターン開口部を有するスクリーン上をスクレーパーが移動することによって、スクリーンの上面及びパターン開口部の少なくとも一部にペーストを供給する工程と、
   ペーストを供給する工程の後に、スキージがスクリーン上を接触し加圧しながら移動することによって、スクリーンのパターン開口部を通して被印刷体にペーストを印刷する工程とを含み、
   スクリーン印刷装置が、スクリーン上を接触し加圧しながら移動することによって被印刷体にペーストを印刷するためのスキージと、スクリーン上を移動することによってスクリーンの上面及びパターン開口部にペーストを供給するスクレーパーと、超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加するための超音波振動印加機構とを含むスクリーン印刷装置であって、
   超音波振動印加機構が超音波振動源を含み、超音波振動源がペーストを供給する際のスクレーパーの移動方向の前方に配置された共振体に接続する構造を有するスクリーン印刷装置である、スクリーン印刷方法。
2. 超音波振動を、ペーストを供給する工程でのスクレーパーの移動方向の前方に配置された共振体を介してペーストに印加する、請求項１記載のスクリーン印刷方法。
3. 超音波振動を、スクレーパーを介してペーストに印加する、請求項１記載のスクリーン印刷方法。
4. 超音波振動を、スキージを介してペーストに印加する、請求項１記載のスクリーン印刷方法。
5. 被印刷体にペーストを印刷する工程において、スキージが印刷方向に移動し、ペーストを供給する工程において、スクレーパーが印刷方向とは反対の方向に移動する、請求項１〜４のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
6. 超音波振動の周波数が、１０ＫＨｚ〜３ＭＨｚである、請求項１〜５のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
7. 超音波振動源が、ランジュバン型振動子である、請求項１〜６のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
8. ランジュバン型振動子が、チタン酸ジルコン酸鉛を含む振動子である、請求項７記載のスクリーン印刷方法。
9. ペーストが、２５℃において１０ｒｐｍで測定したときに３００〜１０００Ｐａ・ｓの粘度である、請求項１〜８のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
10. ペーストが、無機粒子８５〜９５重量％、バインダ１〜５重量％及び溶剤１〜７重量％を含む、請求項１〜９のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法。
11. スクリーン上を接触し加圧しながら移動することによって被印刷体にペーストを印刷するためのスキージと、スクリーン上を移動することによってスクリーンの上面及びパターン開口部にペーストを供給するスクレーパーと、超音波振動をペーストの少なくとも一部に対して印加するための超音波振動印加機構とを含むスクリーン印刷装置であって、
    超音波振動印加機構が超音波振動源を含み、超音波振動源がペーストを供給する際のスクレーパーの移動方向の前方に配置された共振体に接続する構造を有するスクリーン印刷装置。
12. 請求項１〜１０のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法に用いるスクリーン印刷装置。
13. 請求項１〜１０のいずれか１項記載のスクリーン印刷方法により形成された電極、電極端子、配線及び／又は隔壁を有する電子デバイス又は回路基板。
14. 電子デバイスが、太陽電池、チップインダクタ、電子ペーパー又はプラズマディスプレーパネルであり、回路基板が、プリント基板又はセラミック基板である、請求項１３記載の電子デバイス又は回路基板。

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