TWI708686B - 振動裝置、振動方法、網版印刷裝置、振動壓送裝置及物料搬運裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之振動裝置(100)具備：平板(20)；基底(10)，其固定上述平板(20)之周圍；振動單元(40)，其使上述平板(20)之複數個側面振動；及控制器(80)，其控制上述振動單元(40)之振動。上述振動單元(40)使上述平板(20)之側面(23)上下振動，於上述平板(20)之側面(23)同時以相同振幅、相同波長、且相同頻率產生行進波，利用駐波使上述平板(20)振動。

Description

振動裝置、振動方法、網版印刷裝置、振動壓送裝置及物料搬運裝置

本發明係關於一種使平板振動之振動裝置、網版印刷裝置、振動壓送裝置及物料搬運裝置。

習知存在一種使平板振動而對工件進行加工之加工裝置。又，存在一種使漿料或刮漿板振動而印刷至工件之網版印刷裝置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2017-94264號公報

專利文獻2：日本專利特開平08-197709號公報

專利文獻3：日本專利特開平09-283910號公報

專利文獻4：日本專利特開平10-058647號公報

專利文獻5：日本專利特開2010-149301號公報

專利文獻6：日本專利特開2003-220530號公報

專利文獻7：日本專利特開2007-216372號公報

專利文獻8：日本專利第5746637號公報

習知之加工裝置中亦包括使平板於上下方向振動者，但亦可能伴隨其上下方向之振動而產生向前後左右方向之振動。又，於網版印刷裝置中，進行填孔印刷時，存在進入孔之漿料之量不均，未於孔中填充固定量漿料之可能性。

本發明之實施形態之目的在於提供一種使平板於上下方向振動而不向前後左右方向振動之振動裝置。又，本發明之實施形態之目的在於提供一種使平板於上下前後左右之任意方向振動之振動裝置。

本發明之振動裝置之構成之特徵在於具備下述4個構件，即：‧平板；‧基底，其固定上述平板之周圍；‧振動單元，其使上述平板之複數個側面振動；及‧控制器，其控制上述振動單元之振動。

根據本發明，於平板之周圍固定於基底之狀態下，振動單元自平板之複數個側對平板施加相同頻率之行進波，藉此，平板藉由駐波而振動。平板由於駐波之振動作用而於上下方向振動但不於前後左右方向振動。

10‧‧‧基底

11‧‧‧上表面

12‧‧‧底面

13‧‧‧壁

14‧‧‧空間

20‧‧‧平板

21‧‧‧表面

22‧‧‧背面

23‧‧‧側面

24‧‧‧螺絲孔

25‧‧‧螺絲

26‧‧‧支點

27‧‧‧角隅

29‧‧‧凹處

40‧‧‧振動單元

41、42、43、44、45‧‧‧振動器

46‧‧‧框架

47‧‧‧分配器

48‧‧‧水平部

49‧‧‧垂直部

50‧‧‧間隔片

51‧‧‧支柱

52‧‧‧槽

53‧‧‧槽

60‧‧‧行進波

70‧‧‧駐波

80‧‧‧控制器

81‧‧‧空氣壓縮機

82‧‧‧通氣管

83‧‧‧調節器

84‧‧‧處理器

100‧‧‧振動裝置

200‧‧‧網版印刷裝置

201‧‧‧網版

202‧‧‧絲網

203‧‧‧刮漿板

204‧‧‧漿料

205‧‧‧通孔

206‧‧‧抽吸管

207‧‧‧真空泵

300‧‧‧剪切裝置

301‧‧‧刀片

400‧‧‧開孔裝置

401‧‧‧鑽孔器

500‧‧‧振動壓送裝置

900‧‧‧工件

901‧‧‧零件

X‧‧‧前後方向

Y‧‧‧左右方向

Z‧‧‧上下方向

圖1為實施形態1之振動裝置100之立體圖。

圖2為實施形態1之圖1之振動裝置100之A-A剖視圖。

圖3(a)至(f)為實施形態1之振動方法之說明圖。

圖4為表示振動測定之構成之圖。

圖5為由0.2MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。

圖6為由0.3MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。

圖7為由0.4MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。

圖8為由0.5MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。

圖9為水平方向之振動之分佈圖。

圖10為表示單側振動之比較例之圖。

圖11為單側振動之分佈圖。

圖12為表示橫向兩側振動之比較例之圖。

圖13為橫向兩側振動之上下振動之分佈圖。

圖14為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖15為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖16為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖17(a)至(c)為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖18(a)及(b)為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖19為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖20為表示實施形態1之振動裝置100之變形例之圖。

圖21為表示實施形態2之網版印刷裝置200之圖。

圖22為表示實施形態3之剪切裝置300之圖。

圖23為表示實施形態4之開孔裝置400之圖。

圖24為表示實施形態5之振動壓送裝置500之圖。

圖25(a)及(b)為實施形態5之振動壓送裝置500之振動之說明 圖。

圖26為表示實施形態5之振動壓送裝置500之變形例之圖。

圖27為表示實施形態5之振動壓送裝置500之變形例之圖。

圖28(a)及(b)為表示實施形態5之振動壓送裝置500之變形例之圖。

圖29(a)及(b)為表示實施形態5之振動壓送裝置500之變形例之圖。

圖30(a)及(b)為表示實施形態5之振動壓送裝置500之變形例之圖。

圖31(a)及(b)為表示實施形態6之分配器47之圖。

圖32(a)至(c)為表示實施形態7之平板20與振動單元40之圖。

圖33(a)至(d)為表示實施形態7之平板20之平面形狀之圖。

圖34(a)至(i)為表示實施形態7之平板20之圖1之A-A剖面形狀之圖。

實施形態1.

圖1為實施形態1之振動裝置100之立體圖。圖2為實施形態1之圖1之振動裝置100之A-A剖視圖。於圖1中，X表示前後方向。於圖1與圖2中，Y表示左右方向，Z表示上下方向。

<<<振動裝置100之構成>>>

振動裝置100具有基底10、平板20、振動單元40、及控制器80。

<<<基底10之說明>>>

基底10呈上部開口之箱型形狀。基底10具有上表面11、底面12、及壁13。基底10於中央具有空間14。上表面11由壁13之頂面構成，呈中央具有開口之矩形形狀。底面12呈矩形形狀。壁13係自底面12之周圍豎立設置之基底10之側壁。空間14係由底面12與壁13包圍之六面體之空間。

<<<平板20之說明>>>

平板20較理想為易於通過音波之素材，較佳為金屬。平板20之材質較理想為鋁、鈦、不鏽鋼。更佳為鋁、鈦，最佳為鋁。平板20較理想為矩形，較佳為正方形。平板20具有表面21、背面22及4個側面23。表面21與背面22係相同形狀之平行之矩形平面。側面23係位於平板20之表面21與背面22之間之面。側面23係相對於平板20之表面21與背面22正交之平面。平板20於周圍具有複數個螺絲孔24。螺絲孔24於平板20之角隅與各邊之中央共設置有8個。平板20藉由插入螺絲孔24之螺絲25而牢固地固定於基底10。以下，將螺絲孔24之位置稱為固定部位。

平板20於設置於平板20之周圍之固定部位固定在基底10上。

<<<振動單元40之說明>>>

振動單元40具有複數個振動器，使平板20之複數個側面23以相同頻率振動。振動單元40使平板20之對向之側面上下振動。振動單元40具有振動器41與振動器42之兩個振動器。振動單元40使具有螺絲孔24之固定部位之外側上下振動。振動器41與振動器42之兩個振 動器係相同規格之振動器。振動器41與振動器42之2個振動器係藉由氣壓驅動之振動器。

作為藉由氣壓驅動之振動器，可使用以下振動器。(1)渦輪振動器(2)滾輪式振動器(3)球形振動器(4)活塞振動器

上述(1)、(2)、(3)之振動器噪音較少，可高速動作。尤其，動作穩定之渦輪振動器最佳。活塞振動器存在噪音較大、動作較慢之問題。

振動單元40具有分配器47。分配器47將振動器41及振動器42之振動傳遞至平板20之側面23。分配器47將振動器41及振動器42固定於平板20之側面23。分配器47係被彎折成L字型之金屬件。分配器47具有水平部48與垂直部49。水平部48固定振動器41或振動器42之頂面。水平部48以使振動器41與振動器42之旋轉相互反轉之方式固定振動器41或振動器42。於圖2中，振動器41逆時針旋轉，振動器42順時針旋轉。垂直部49具有側面23之上下寬度以下之上下寬度，固定於側面23。

分配器47具有大於振動器41及振動器42之頂面之前後方向之寬度的前後寬度。分配器47之前後方向之寬度可為超過振動器41及振動器42之頂面之前後方向之寬度的2倍且未滿10倍，較理想為5倍。分配器47具有小於平板20之前後方向之寬度的2分之1且大於8分之1之前後寬度，較理想為5分之1。分配器47將振動器41及振動器42之振動傳遞至平板20之側面23之較廣範圍。

<<<控制器80之說明>>>

控制器80控制振動單元40之振動。控制器80使振動器以10Hz 以上且800Hz以下之頻率振動。控制器80使複數個振動器以相同頻率振動。控制器80具有空氣壓縮機81、氣管82、調節器83、及處理器84。

空氣壓縮機81產生壓縮空氣。氣管82連接於空氣壓縮機81，供壓縮空氣流動。氣管82於中途呈Y字狀分支，而連接於振動器41及振動器42。

調節器83係控制壓縮空氣之壓力之控制裝置。調節器83藉由控制壓縮空氣之壓力，決定振動器41與振動器42之振動頻率。

處理器84具有中央處理裝置與程式。處理器84可藉由積體電路、電路板等實現。處理器84控制振動裝置100之動作。處理器84連接於空氣壓縮機81，控制空氣壓縮機81之開閉動作及動作時間。

<<<振動方法之說明>>>

對振動裝置100之振動方法進行說明。

<初始設定步驟>

於平板20之周圍藉由螺絲25固定於基底10之狀態下，作業人員接通振動裝置100之電源開關。作業人員有壓縮空氣之壓力與振動器41及振動器42之振動頻率之對應表。作業人員參照對應表，藉由調節器83設定與振動器41及振動器42之振動頻率對應之壓縮空氣之壓力。作業人員設定與10Hz以上且800Hz以下中之任一可聽區域頻率對應之壓力。

<行進波產生步驟>

氣管82呈Y字狀分支，連接於振動器41及振動器42，因此對振動器41與振動器42供給相同壓力之空氣。其結果，振動器41與振動器42以相同頻率上下振動。振動器41與振動器42之振動頻率較佳為可聽區域頻率。振動器41與振動器42固定於平板20之左右之側面23，對平板20之左右之側面23施加正弦波之行進波60。振動器41與振動器42同時產生相同振幅、相同波長、且相同頻率之行進波60。

<駐波產生步驟>

若使行進波60同時以相同振幅、相同波長、且相同頻率反向地產生，則於平板20中來自左右之行進波60重疊而產生駐波70。駐波係指即便時間經過，位置亦不會移動之波。平板20藉由駐波70以與振動器41及振動器42相同之振動頻率上下振動。

<同步化步驟>

即便於振動器41與振動器42之相位錯開之非同步狀態下開始振動，由於同步現象，振動器41與振動器42之相位於短時間內一致，振動器41與振動器42之振動成為同步狀態，立即向駐波之振動轉移。

<上下振動步驟>

以下，使用圖3對利用振動方法所進行之上下振動進行說明。圖3為自平板20之左右方向之中心之前後方向觀察之上下振動之示 意圖。於圖3中，支點26係指平板20之上下方向之中心之點且係指螺絲孔24之中心之點。(a)當藉由振動器41與振動器42對平板20之側面23施加向下之力時，經由支點26，於平板20之中央產生向上之力。(b)當藉由振動器41與振動器42對平板20之側面23施加更大之向下之力時，平板20之中央上升。(c)當由振動器41與振動器42所致之平板20之側面23之向下之力變弱時，平板20之中央下降。(d)當藉由振動器41與振動器42對平板20之側面23施加向上之力時，經由支點26，於平板20之中央產生向下之力。(e)當藉由振動器41與振動器42對平板20之側面23施加更大之向上之力時，平板20之中央下降。(f)當由振動器41與振動器42所致之平板20之側面23之向上之力變弱時，平板20之中央上升。

<振翅現象>

以(a)至(f)為1週期，藉由重複(a)至(f)之動作，平板20以與振動器41及振動器42之振動頻率相同之頻率上下振動。平板20於支點26間之左右如拍打翅膀般振動，因此，以下將該現象稱為振翅現象。振翅現象係藉由對固定於平板20之左右之側面之振動器供給空氣而使平板20以支點26間為中心上下振動之現象。為易於引起振翅現象，較理想為振動器41及振動器42之固定位置與2個螺絲孔24之位置位於直線上。即，較理想為複數個振動器存在於連結平板20之各對向之邊之對向之固定部位之線的延長線上。即便振動器41及振動器42之固定位置與2個螺絲孔24之位置不在直線上而位於錯開之位置，若平板20確實地固定於基底10，亦會產生振翅現象。若壁13之厚度增加，則可能妨礙振翅現象，因此，壁13之厚度較薄為佳，空 間14之開口較大為佳。壁13之厚度較理想為大於螺絲孔24之直徑且未滿螺絲孔24之直徑之2倍。

<<<具體例>>>

以下，對具體例進行說明。作為平板20，使用1邊約為0.5m之正方形鋁板。將鋁之音速V設為6320[m/s]。其中，鋁之溫度固定，不考慮因溫度所引起之音速之變化。作為振動器41及振動器42，使用以下規格之愛科升股份有限公司(EXEN Corporation)製造之氣動振動器。較理想為於空氣壓力為0.2以上且0.6MPa以下時，振動頻率f為119Hz以上且414Hz以下之氣動振動器。或者，較理想為於空氣壓力為0.3以上且0.6MPa以下時，振動頻率f為110Hz以上且290Hz以下之氣動振動器。

此處，使用空氣壓力為以下情形時振動頻率f為以下值之氣動振動器。

空氣壓力為0.5MPa時之振動頻率f：216.5Hz

空氣壓力為0.4MPa時之振動頻率f：206.6Hz

空氣壓力為0.3MPa時之振動頻率f：177.3Hz

空氣壓力為0.2MPa時之振動頻率f：133.0Hz

波長可藉由以下公式計算。

波長λ[m]=音速V[m/s]/振動頻率f[Hz]

計算行進波60之波長則如下述。

空氣壓力為0.5MPa時：波長λ[m]=6320[m/s]/216.5[Hz]=29.19m

空氣壓力為0.4MPa時： 波長λ[m]=6320[m/s]/206.6[Hz]=30.59m

空氣壓力為0.3MPa時：波長λ[m]=6320[m/s]/177.3[Hz]=35.65m

空氣壓力為0.2MPa時：波長λ[m]=6320[m/s]/133.0[Hz]=47.52m

自振動器41與振動器42產生之行進波60可藉由以下公式表示。

R(y,t)=A*sin2π((t/T)-(y/λ))

L(y,t)=A*sin2π((t/T)+(y/λ))

y[m]：平板之Y方向之位置

t[s]：時刻

R(y,t)：於位置y[m]、時刻t[s]中之Z方向之行進波60之位移[m]

L(y,t)：於位置y[m]、時刻t[s]中之Z方向之行進波60之位移[m]

A：行進波60之振幅[m]

T：行進波60之週期[s]

λ：行進波60之波長[m]

藉由自振動器41與振動器42產生之行進波60之重疊而產生之駐波70可藉由以下表示正弦駐波之公式表示。

z(y,t) =R(y,t)+L(y,t) =2A*sin(2π(t/T))*cos(2π(y/λ))

y[m]：平板之Y方向之位置

t[s]：時刻

z(y,t)：於位置y[m]、時刻t[s]中之駐波70之Z方向之位移[m]

A：行進波60之振幅[m]

T：行進波60之週期[s]

λ：行進波60之波長[m]

cos(2π(y/λ))表示駐波70之振幅。將駐波70之振幅為0之位置、即cos(2 π(y/λ))為0之位置y稱為「節」。將駐波70之振幅為最大之位置、即cos(2 π(y/λ))之絕對值為1之位置y稱為「腹」。

為使平板20上下振動，只要於支點26之間在左右方向之任一位置y都不產生駐波之節即可。由於駐波之節於每半個波長產生，故若將支點26間之距離設為未滿駐波之半個波長，則可使之成為於平板20之左右方向之任一位置y均不存在駐波之節。若將駐波70之「節」之位置作為固定部位，保持(螺固)其固定部位，則「節」成為振翅之支點。

若支點26間之距離大於駐波之半個波長，則於平板20產生節。因此，平板20之左右方向之固定部位之距離須未滿以下長度。

空氣壓力為0.5MPa時之半個波長：波長λ[m]/2=14.56m

空氣壓力為0.4MPa時之半個波長：波長λ[m]/2=15.29m

空氣壓力為0.3MPa時之半個波長：波長λ[m]/2=17.82m

空氣壓力為0.2MPa時之半個波長：波長λ[m]/2=23.766m

如上所述般，藉由振動器41與振動器42之空氣壓力決定駐波之頻率及波長，決定平板20之最大長度。

<<<振動測定結果>>>

使用1邊約為0.5m之正方形鋁板作為平板20，測定平板20之振動。如圖4所示，自圖1之振動裝置100卸除基底10，將平板20放置於氣墊上，使平板20之周圍自由而使平板20振動，測定振動之振幅。

圖5至圖8為表示平板20之下半部分區域之49點之上下方向之振動之測定結果之圖。圖5至圖8表示將平板20為平面時之Z方向之位移設為0而於圖3(b)之情形時之Z方向之位移(朝上方向之位移)。圖5至圖8所示之平板20之上半部分區域之振動由於可認為係與平板20之下半部分區域對稱地振動者，故不進行測定。圖5為由0.2MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。圖6為由0.3MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。圖7為由0.4MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。圖8為由0.5MPa之氣壓引起之平板20之上下振動之分佈圖。

觀察圖5之第1行，上下振動之振幅成為14.8μm>12.6μm>9.60μm>7.68μm<8.00μm<10.5μm<15.0μm，相較於平板20之中央部分，端部之振動振幅更大。即，於平板20之中央部分產生如節般之振動不均。認為其理由係於0.2MPa之氣壓下之壓力較弱而無法使振動器41與振動器42穩定地振動。觀察圖6之第1行，上下振動之振幅成為5.28μm<9.53μm<12.2μm<13.2μm>13.1μm>11.0μm>8.40μm，相較於端部，平板20之中央部分之振動振幅更大。即，可認為於平板20之中央部分產生腹。於圖7與圖8之情形亦是如此，相較於端部，平板20之中央部分之振動振幅更大。即，可認為於平板20之中央部分產生腹。因此，於0.2MPa之氣壓下，無法使平板20確實地於上下方向振動。另一方面，於0.3MPa以上且0.5MPa以下之氣壓下，可使平板20確實地於上下方向振動。

使用圖9，對前後左右方向之振動之測定結果進行說明。圖9為表示圖5至圖8中之平板20之2個邊的測定點1~12之水平方向之振動之測定結果之表。於0.2MPa之氣壓下，顯示於測定點1、測定點2中超過2微米之值。於0.3MPa以上且0.5MPa以下之氣壓下，顯示於全部點中未滿2微米之值。於0.3MPa以上且0.5MPa以下之氣壓下，前後左右方向之振動之振幅為未滿朝上下方向之振動之振幅的約10%或未滿15%，而可視為無朝水平方向之振動者。

以上之測定結果係於使平板20之周圍自由而使平板20振動之情形之測定結果。如圖1所示，由於振動裝置100之平板20之周圍藉由螺絲25而固定於基底10，故實際上，平板20之周圍(尤其是螺絲孔24之部分)被限制上下振動。於使平板20之周圍自由而使平板20振動之情形時，平板20以中央為腹上下振動。因此，即便於將平板20之周圍於固定部位固定而使平板20振動之情形時，平板20亦欲以中央為腹上下振動。其結果，如圖3所示，可認為以支點26間為振翅之中心而產生振翅現象。繼而，可認為於將平板20之周圍固定於基底10而使平板20振動之情形與於使平板20之周圍自由而使平板20振動之情形相比，朝橫向方向之振動進一步減少。進而，觀察以上之測定結果，可認為若平板20之左右方向之固定部位之距離小於半個波長，則即便不將駐波70之「節」之位置設為固定部位，固定部位亦會成為振翅之支點。例如，空氣壓力為0.4MPa時，半個波長為15m，但即便於平板20之左右方向之固定部位之距離為0.5m左右之情形時，「節」亦不會出現。其結果，可認為即便於固定部位之距離為10m、5m、或1m等之情形時，固定部位亦會成為振翅之支點。

<<<比較例之說明>>> <單側振動>

圖10為自圖4之構成將振動器42與分配器47卸除者。平板20僅藉由位於單側之振動器41振動。自位於平板20之一側面23之振動器41產生之行進波60於另一側面23反射而產生反射波。行進波60與反射波重疊而成為駐波。於圖10之構成中，如圖11所示，確認到於平板20之中央右側產生如節般之振動不均。又，如圖11所示，上述12點中產生了水平方向之振動之振幅超過9微米之部位。認為其理由係於平板20產生了橢圓振動。因此，於使平板20自單側振動之情形時，無法確實地使平板20振動。

<橫向兩側振動>

圖12為自圖4之構成以將振動器41與振動器42之固定方向旋轉90度而使振動器41與振動器42之旋轉方向相反之方式固定者。於圖12之構成中，如圖13所示，確認到於平板20之中央部分產生如節般之振動不均。因此，於使振動器41與振動器42之旋轉方向保持相反地而設為橫向之情形時，無法使平板20確實地振動。同樣地，可認為於使振動器41與振動器42之旋轉方向相同地而設為橫向之情形時，無法使平板20確實地振動。

<橫向單側振動>

雖未圖示，但確認自圖12之構成將振動器42與分配器47卸除者亦於平板20之中央部分產生如節般之振動不均。因此，於橫向單側 振動之情形時，無法使平板20確實地振動。

<<<總結>>>

本實施形態之振動裝置100藉由可聽區域頻率振動源、即振動器41及振動器42自平板20之左右同時以相同振幅、相同波長且相同頻率產生行進波60。其結果，於平板20中，藉由反向之行進波之重疊產生駐波。

本實施形態之振動裝置100之上下方向之振動產生過程係自可聽區域頻率振動源向平板20，從左右同時以相同頻率使平板20產生行進波60。平板20藉由駐波振動，但由於駐波之振動作用，僅於上下方向振動。並且，不於前後左右方向振動。振動裝置100使用該僅朝上下方向之振動。

振動裝置100可藉由控制器80於加振時變更可聽區域頻率。可聽區域頻率係指10Hz以上且20000Hz以下之範圍，但本實施形態中所使用之可聽區域頻率設定為10Hz以上且800Hz以下之範圍。振動單元40亦可具有音圈馬達式振動源、電磁式振動源、或壓電式振動源而作為振動源。振動單元40可根據所需頻率之範圍將振動器41及振動器42等振動源適當更換為其他音波振動源即音圈馬達式振動源、電磁式振動源、或壓電式振動源等。控制器80亦可具有任意波形產生器、或雙極性電源而作為控制零件。由於控制器80以任意頻率使振動源振動，故可更換為任意波形產生器、或雙極性電源等而作為與音波振動源對應之控制零件。

振動單元40使安裝於平板20之相對之2邊之中央外側之振動器成對地使平板20上下振動。振動單元40藉由安裝於平板20 之相對之2邊之中央外側之一對振動器，同時產生相同振幅、相同波長、且相同頻率之行進波，而利用駐波使平板20振動。本實施形態之振動裝置100將振動器41與振動器42固定於平板20之外側。即，於俯視下，振動器41與振動器42不與平板20重疊。因此，振動器41與振動器42不會妨礙平板20之上下振動。

本實施形態之振動裝置100將振動器41與振動器42固定於平板20之側面23。振動器41與振動器42不固定於平板20之表面21及背面22。因此，行進波60自平板20之左右方向之兩端產生，平板20之左右方向之全部區域上下振動。

本實施形態之振動裝置100並非為使平板20整體均勻地上下振動者。平板20之中央部分之振幅最大，且振幅自平板20之中央部分向左右方向之周邊減少。振幅向左右方向之周邊減少之理由係將平板20之左右兩端固定、及於平板20產生駐波所導致。又，平板20之中央部分之振幅最大，且振幅自平板20之中央部分向前後方向之周邊減少。振幅向前後方向之周邊減少之理由係將平板20之前後兩端固定所導致。亦可使平板20之前後兩端成為能夠自由上下振動之自由端。若平板20之前後兩端為自由端，則平板20之前後方向之振幅變得均勻。或者，平板20之前後方向之振幅接近均勻。

本實施形態之振動裝置100將振動器41與振動器42及2個固定部位(螺絲孔24)配置於直線上。振動器41與振動器42位於2個固定部位(螺絲孔24)之外側。振動器41與振動器42不位於2個固定部位(螺絲孔24)之內側。平板20藉由以2個固定部位(支點26)之間為中心之振翅現象上下振動。

<<<實施形態1之效果>>>

根據本實施形態，藉由振動器41及振動器42自平板20之左右同時以相同頻率產生行進波60，從而產生駐波，平板20僅於上下方向振動。假使即便於向前後左右方向振動之情形時，與上下方向之振動相比較，亦可忽視。藉由於振動裝置100之平板20上放置工件可使工件僅於上下方向振動。

<<<變更例>>> 變更例1.

圖14所示之振動裝置100係自圖1之構成卸除分配器47，並將振動單元40之振動器41與振動器42直接固定於平板20之側面23者。

變更例2.

圖15所示之振動裝置100係具有於俯視下平板20大於基底10之尺寸，並將振動單元40之振動器41與振動器42直接固定於平板20之背面22之外緣者。

變更例3.

圖16所示之振動裝置100係於基底10與平板20之間夾著分配器47而固定振動器41與振動器42者。分配器47亦可為平板。

變更例4.

於圖2中，亦可以使振動器41順時針旋轉，使振動器42逆時針旋轉之方式安裝。於圖2中，相較於使振動器41與振動器42向相同 方向旋轉，更理想為使振動器41與振動器42之旋轉方向相反。即便於使振動器41與振動器42之旋轉方向相反之情形時，較理想為如圖2所示般，使振動器41逆時針旋轉，使振動器42順時針旋轉。

變更例5.

振動單元40亦可具有多於2個之偶複數個可聽區域頻率振動源。亦可如圖17所示般於平板20上安裝振動器41、振動器42、振動器43及振動器44。於(a)中，振動器41與振動器42對向，振動器43與振動器44對向。振動器41與振動器43固定於同一側面23，振動器42與振動器44固定於另一側面23。駐波平行地產生。於(b)中，振動器41與振動器42對向，振動器43與振動器44對向。振動器41、振動器42、振動器43及振動器44分別固定於各個側面23。駐波正交產生。於(c)中，振動器41與振動器44對向，振動器42與振動器43對向。振動器41、振動器42、振動器43及振動器44分別固定於平板20之各角隅。駐波正交產生。雖未圖示，但平板20之形狀亦可為於俯視下呈圓形、橢圓形及其他形狀。

變更例6.

平板20之形狀只要係於俯視下為多邊形即可。振動單元40亦可具有奇複數個可聽區域頻率振動源。如圖18所示，平板20亦可為三角形或六邊形平板20。(a)表示三角形平板20。振動器41、振動器42及振動器43分別固定於各個側面23。(b)表示六邊形平板20。振動器41、振動器42及振動器43分別隔一個地固定於各個側面23。雖未圖示，但亦可於六邊形平板20之所有側面23固定振動器。雖未圖示， 但平板20之形狀亦可為於俯視下呈圓形、橢圓形及其他形狀。振動單元40只要具有固定於平板20之1邊或複數條邊之外側之1個或複數個氣動振動器即可。具體而言，振動單元40亦可以如下之方式配置氣動振動器。

僅於平板20之1邊之外側配置1個氣動振動器

僅於平板20之1邊之外側配置複數個氣動振動器

於平板20之複數條邊之一部分邊之各邊之外側配置1個氣動振動器(圖18之(b))

於平板20之複數條邊之一部分邊之各邊之外側配置複數個氣動振動器(圖17之(a))

於平板20之全部邊之各邊之外側配置1個氣動振動器(圖17之(b)與圖18之(a))

於平板20之全部邊之各邊之外側配置複數個氣動振動器

控制器80使全部氣動振動器以相同頻率振動。亦可使用其他形式之振動器而取代氣動振動器。

變更例7.

振動單元40亦可具有1個可聽區域頻率振動源。圖19之振動裝置100具有1個振動器45與框架46。框架46係U字形狀之金屬零件。框架46將振動器45固定於底部之中央，兩前端之上部固定於分配器47。振動器45上下振動。振動器45之振動傳遞至2個分配器47，使2個分配器47上下振動。以此方式，無須於平板20之兩側安裝複數個振動器，只要於振動單元40中具有自平板20之複數個側面同時產生相同振幅、相同波長、且相同頻率之行進波60之機構即可。

變更例8.

圖20之振動裝置100於平板20與分配器47之間具有間隔片50。間隔片50係被夾於平板20之側面23與分配器47之垂直部49而固定之四角柱之金屬棒。間隔片50係使行進波60之產生位置遠離振翅現象之支點26之零件。藉由變更間隔片50之左右方向之長度，可變更可聽區域頻率振動源與固定部位之距離。即便行進波60為相同振幅、相同波長、且相同頻率，間隔片50之左右方向之長度越大，振翅現象越強烈地顯現。藉由間隔片50可調整平板20之上下振動之振幅。

變更例9.

為固定基底10與平板20，亦可代替螺絲孔24與螺絲25而使用其他固定金屬件或其他固定機構。

實施形態2.

於實施形態2中，對與實施形態1不同之點進行說明。

<<<構成之說明>>>

圖21為實施形態2之網版印刷裝置200之構成圖。網版印刷裝置200具有於實施形態1所說明之振動裝置100。網版印刷裝置200係印刷於工件900之裝置。工件900係電子裝置之基板或電路之基板。

網版印刷裝置200具有將絲網202張拉於框架上而成之網版201。絲網202為孔篩、金屬網或其他絲網。絲網202具有電 極端子、電極、配線等印刷圖案。絲網202之表面存在漿料204。

網版印刷裝置200具有刮漿板203。

刮漿板203於絲網202之表面移動而藉由漿料204對工件900印刷電極端子、電極、配線等。

振動裝置100之平板20係放置工件900之平台。平板20作為吸附工件900之吸附板發揮功能。平板20具有貫通上下之複數個通孔205。基底10作為抽吸空氣之抽吸箱發揮功能。

網版印刷裝置200具有抽吸管206與真空泵207。

抽吸管206與基底10及真空泵207連接，自空間14抽吸空氣。如圖21所示，較理想為振動器41與振動器42配置於與刮漿板203之印刷方向相同之方向。即，較理想為刮漿板203之印刷方向與駐波之產生方向一致。

<<<動作之說明>>>

網版印刷裝置200之處理器84於印刷中使振動裝置100運作而使平板20振動。平板20之振動傳遞至工件900與網版201而使漿料204振動。藉由使漿料204振動，漿料204容易通過絲網202之印刷圖案。於進行將漿料填充於工件900之孔或槽之填孔印刷之情形時，由於工件900振動，漿料204容易填充於工件900之孔或槽中。於填孔印刷之情形時，處理器84於印刷後亦使振動裝置100運作而使平板20振動。於印刷後亦使平板20振動，藉此，可將漿料204填充至孔或槽之底部。

<<<實施形態2之效果>>>

根據本實施形態，可將振動裝置100用於網版印刷裝置200。根據本實施形態，於進行網版印刷之填孔時，可減小進入孔中之漿料之填充量之不均。尤其是於使用硬質漿料進行填孔印刷之情形時，填充量提高。根據本實施形態，由於平板20僅於上下方向振動且不於前後左右方向振動，故工件900與網版201不會於前後左右方向錯開。因此，工件900之印刷圖案不會模糊。

實施形態3.

於實施形態3中，對與實施形態1不同之點進行說明。圖22為實施形態3之剪切裝置300之立體圖。剪切裝置300具有於實施形態1所說明之振動裝置100。剪切裝置300係剪切工件900之裝置。剪切裝置300具有剪切工件900之刀片301。振動裝置100之平板20係放置工件900之平台。

剪切裝置300之處理器84於動作中使振動裝置100運作而使平板20於上下方向振動。平板20之振動傳遞至工件900而使工件900振動。藉由工件900於上下方向振動，使自刀片301向工件900之壓力變得斷斷續續。

<<<實施形態3之效果>>>

根據本實施形態，可將振動裝置100用於剪切裝置300。根據本實施形態，由於自刀片301向工件900之壓力變得斷斷續續，故刀片301之耐久時間延長。

實施形態4.

於實施形態4中，對與實施形態1不同之點進行說明。圖23為實施形態4之開孔裝置400之立體圖。開孔裝置400具有於實施形態1所說明之振動裝置100。開孔裝置400係於工件900形成孔之裝置。開孔裝置400具有於工件900形成孔之鑽孔器401。振動裝置100之平板20係放置工件900之平台。

開孔裝置400之處理器84於運作中使振動裝置100運作而使平板20於上下方向振動。平板20之振動傳遞至工件900而使工件900振動。藉由工件900於上下方向振動，使自鑽孔器401向工件900之壓力變得斷斷續續。

<<<實施形態4之效果>>>

根據本實施形態，可將振動裝置100用於開孔裝置400。根據本實施形態，由於自鑽孔器401向工件900之壓力變得斷斷續續，故鑽孔器401之耐久時間延長。

實施形態5.

於實施形態5中，對與實施形態1不同之點進行說明。

<<<振動壓送裝置500之構成>>>

圖24為實施形態5之振動壓送裝置500之立體圖。振動壓送裝置500係藉由振動將複數個零件插入複數個凹處之裝置。平板20係正方形平板。於平板20排列有複數個凹處29。於平板20隨機投入複數個零件901。雖未圖示，但於平板20之外周圍有不會使零件901自平板20散落之框架。

振動壓送裝置500具有平板之基底10、平板20及振動單元40。平板20經由4個振動器固定於基底10。平板20之側面23不被固定而成為自由端。振動單元40具有固定於平板20之4隅之外側之複數個振動器。圖24之振動單元40具有4個振動器及4片分配器47。4個振動器相對於前後方向與左右方向傾斜45度而固定於平板之基底10。4個振動器分別固定於平板20之4個角隅27之外側。振動器配置於平板20之對角線之延長線上。振動器41與振動器44對向固定於位於平板20之1條對角線之端部之2個角隅。振動器43與振動器42對向固定於位於平板20之另一條對角線之端部之2個角隅。

分配器47係矩形板。分配器47將平板20之角隅27固定於上表面。分配器47將振動器之上表面固定於下表面。

平板20之4個角隅27藉由插入螺絲孔24之螺絲而固定於分配器47。平板20之4個角隅27成為平板20之4個固定部位。於俯視下，振動器固定於平板20之角隅27之外側。即，於俯視下，4個振動器不與平板20重疊。

振動壓送裝置500中所使用之4個振動器較佳為電磁振動器等電磁式振動源。電磁式振動源可較氣動振動器更精細地控制頻率。

<<<振動壓送裝置500之動作>>>

控制器80使固定在位於平板20之對角線之端部之2個角隅之2個振動器以相同頻率振動。4個振動器連接於處理器84，藉由處理器84控制4個振動器之振動。來自4個振動器之行進波自平板20之4隅向平板20之中央行進。振動器41與振動器44使行進波同時以相同 振幅、相同波長、且相同頻率於1條對角線方向上產生，從而行進波重疊。振動器43與振動器42使行進波同時以相同振幅、相同波長、且相同頻率於另一條對角線方向上產生，正交之4條行進波重疊，從而駐波重疊而於上述平板上上下振動。

處理器84藉由改變4條行進波之相位、振幅、波長及頻率，可使於平板20產生之振動變化。尤其是處理器84利用相同振幅、相同波長、且相同頻率之行進波，於平板上產生僅改變相位之4條行進波重疊而成之駐波，並藉由駐波之上下振動，可使零件901於平板20上旋轉、或向左右前後移動或跳躍。處理器84可將相位僅錯開90度、180度、270度、或任意角度來產生4條行進波。

以下，使用圖25對振動壓送裝置500之上下振動進行說明。圖25表示於相位、振幅、波長、及頻率相同之行進波重疊而駐波重疊之情形時之平板20之上下振動狀態。圖25之(a)為平板20之左右方向之中心之前後方向之上下振動之示意圖。圖25之(b)為連結平板20之角隅27之1條對角線之上下振動之示意圖。由於側面23為自由端，故如圖25之(a)所示般，一面使側面23上下移動，一面使平板20振動。另一方面，由於角隅27被固定且角隅27成為支點26，故如圖25(b)所示般保持角隅27不上下移動地使平板20振動。

處理器84使平板20上下振動。平板20之振動傳遞至零件901而使零件901振動。零件901藉由上下振動而於平板20之表面移動，並嵌入凹處29。

變更例1.

圖26之振動壓送裝置500係切割平板20之角隅27並將振動器固 定於切割面者。圖26之振動壓送裝置500不需要分配器47。於俯視下，振動器固定於平板20之角隅27之外側。即，於俯視下，4個振動器不與平板20重疊。

變更例2.

亦可將上述實施形態之振動裝置100用於振動壓送裝置500。較理想為振動壓送裝置500中使用使4條行進波正交、或使數條行進波交叉而可產生駐波之振動裝置。又，於振動裝置使行進波交叉之情形時，較理想為藉由使行進波之交叉角度全部均等，使行進波重疊而產生穩定之駐波。

變更例3.

圖27之振動壓送裝置500係於平板20之角隅27設置支柱51，並藉由4根支柱51將平板20固定於基底10者。支柱51藉由插入螺絲孔24之螺絲而固定平板20。振動器僅固定於平板20之角隅27之切割面，且振動器以懸吊之狀態安裝於平板20。於圖27之情形時，以位於螺絲孔24之固定部位為支點，藉由上述振翅現象使平板20振動。於圖27之情形時，平板20由4根支柱51固定，但由於支柱51係較細之柱，故平板20不僅能夠上下而且能夠前後左右振動。

變更例4.

平板20之形狀只要係於俯視下為多邊形即可。如圖28所示，平板20亦可為三角形或六邊形平板20。(a)表示三角形平板20。振動器41、振動器42及振動器43分別固定於各個角隅27。(b)表示六邊形平 板20。振動器分別固定於各個角隅27。雖未圖示，但平板20之形狀亦可於俯視下為圓形、橢圓形及其他形狀。

變更例5.

如圖29所示，振動器亦可不位於所有角隅。(a)表示於四邊形平板20之1條對角線上配置振動器之情形。振動器41與振動器42隔一個地固定於角隅27。(b)表示於六邊形平板20之2條對角線上配置振動器之情形。雖未圖示，但平板20之形狀亦可於俯視下為圓形、橢圓形及其他形狀。

變更例6.

如圖30所示，振動器亦可於角隅具有複數個。(a)表示於四邊形平板20之4個角隅之各角隅各配置2個振動器之情形。(b)表示於四邊形平板20之4個角隅之各角隅各配置2個振動器，進而，於對向之側面之中央外側配置振動器之情形。雖未圖示，但平板20之形狀亦可於俯視下為八邊形、十邊形及其他多邊形。

振動單元40只要具有固定於平板20之1個角隅或複數個角隅之外側之1個或複數個氣動振動器即可。具體而言，振動單元40亦可以如下之方式配置氣動振動器。於僅平板20之1個角隅之外側配置1個氣動振動器

於平板20之複數個角隅之一部分角隅之各角隅之外側配置1個氣動振動器(圖29之(a)與(b))

於平板20之複數個角隅之全部角隅之各角隅之外側配置1個氣動振動器(圖28之(a)與(b))

於平板20之複數個角隅之全部角隅之各角隅之外側配置2個氣 動振動器(圖30之(a)與(b))

控制器80使所有氣動振動器以相同頻率振動。亦可代替氣動振動器而使用其他形式之振動器。

實施形態6.

於實施形態6中，對與實施形態1不同之點進行說明。

<<<分配器47之構成>>>

圖31為表示分配器47之圖。圖31之分配器47夾著平板20之表面21與背面22而固定於平板20。(a)表示於四邊形平板20之一邊之中央外側配置振動器之情形。分配器47於側面具有自前後方向觀察呈U字形狀之槽52，且將平板20之中央外緣嵌入槽52中。平板20於固定有振動器之2條邊上具有成為固定部位之3個螺絲孔24。平板20藉由中央之螺絲孔之螺絲固定分配器47。平板20於未固定有振動器之邊上不具有螺絲孔24。如(a)所示，無須將固定部位設置於所有邊，亦可僅設置於對向之2條邊上。

(b)表示於四邊形平板20之4個角隅配置振動器之情形。分配器47於側面具有自上下方向觀察呈V字形之槽53，並將平板20之角隅嵌入槽53中。V字形之槽53之直行之底部與2個側面之正交之2個端部面接觸。V字形之槽53之三角形側面與角隅27之表面及背面面接觸。平板20於角隅之外緣具有螺絲孔24。平板20藉由螺絲孔之螺絲固定分配器47。

<<<分配器47之效果>>>

由於分配器47夾著平板20而固定於平板20上，故即便於平板20較薄而使側面之上下方向之高度較小之情形時，亦可自平板20之側面傳遞振動器之振動。

變形例1.

分配器47之形狀只要為能夠將振動器之振動傳遞至平板20之側面之形狀即可。分配器47可僅固定於平板20之側面或角隅，但亦可將分配器47固定於以下之部位。

平板20之側面與表面

平板20之側面與背面

平板20之側面、表面及背面

僅平板20之側面之表面

僅平板20之側面之背面

平板20之側面之表面與背面

平板20之角隅與表面

平板20之角隅與背面

平板20之角隅、表面及背面

僅平板20之角隅之表面

僅平板20之角隅之背面

平板20之角隅之表面與背面

於上述任一情形，亦可獲得與將分配器47僅固定於平板20之側面或角隅之情形相同之效果，於上述任一情形時，亦可謂使上述平板之側面振動之構成。

實施形態7.

於實施形態7中，對與實施形態1不同之點進行說明。

<<<平板20與振動單元40之構成>>>

圖32為表示平板20與振動單元40之圖。圖32表示使平板20之外周之複數個部位自平板20之外側振動之振動單元40。平板20之外周係指於俯視平板20之情形時之輪廓。平板20之外側係指平板20之輪廓之外側。振動單元40自平板20之外周向平板之中央同時產生相同波長之行進波。(a)表示於三角形之平板20之角隅27配置振動器41，並於與角隅27對向之側面23之中央外側配置振動器42之情形。(b)表示於五邊形平板20之角隅27配置振動器41，並於與角隅27對向之側面23之中央外側配置振動器42之情形。

振動單元40使平板20之複數個部位振動。複數個部位如實施形態1所說明般，亦可為僅包括平板20之複數個側面23之複數個部位。複數個部位如實施形態5所說明般，亦可為僅包括平板20之複數個角隅27之複數個部位。複數個部位如圖32之(a)與(b)所說明般，亦可為包括平板20之側面23與角隅27之複數個部位。於包括側面23與角隅27之複數個部位之情形時，只要為以下任一者即可。

1個側面23與1個角隅

複數個側面23與1個角隅

1個側面23與複數個角隅

複數個側面23與複數個角隅

複數個側面23與複數個角隅之典型例為所有側面23與所有角 隅。較理想為複數個部位成對配置於平板20之對角線或直徑等通過平板20之中央或重心之直線上。

側面23無須為平面。(c)表示於圓形平板20之直徑方向配置振動器41與振動器42，並於正交之直徑方向配置振動器43與振動器44之情形。(c)之情形表示側面23為圓筒之外周曲面之情形。側面23可為其他曲面，亦可為曲面與平面之組合。於(c)中，亦可不存在振動器43與振動器44。於(c)中，亦可增加振動器之數量。

<<<平板20之平面形狀>>>

圖33為表示平板20之平面形狀之圖。平板20之平面形狀不限於正多邊形或圓形。(a)表示平板20之平面形狀為十字形之情形。(b)表示平板20之平面形狀為星形之情形。(c)表示平板20之平面形狀為圓角之長條四邊形之情形。(d)表示平板20之平面形狀為橢圓形之情形。雖未圖示，但平板20之平面形狀亦可為梯形、雲形、山形、不規則形狀或其他形狀。

<<<平板20之截面形狀>>>

圖34為表示平板20之圖1之A-A截面形狀之圖。平板20之截面形狀不限於矩形。(a)、(c)及(e)表示平板20之中央下部向上側凹陷之情形。(a)表示呈凹形凹陷之情形。(b)表示呈V形凹陷之情形。(c)表示呈弧狀凹陷之情形。(b)、(d)及(f)表示平板20之中央上部向下側膨起之情形。(b)表示呈凸形膨起之情形。(d)表示呈V形膨起之情形。(f)表示呈弧狀膨起之情形。

(g)表示平板20之中央部向上側與下側凹陷之凹形狀 之情形。(h)表示平板20之中央部向上側與下側膨起之凸形狀之情形。雖未圖示，但平板20之截面形狀亦可為凹凸形、波形、或其他形狀。(i)表示側面23傾斜之情形。於側面23傾斜之情形時，只要設置分配器47之斜面以安裝振動器41與振動器42即可。分配器47之截面呈三角形。分配器47之斜面與側面23具有相同之傾斜角度。振動器41與振動器42可經由分配器47使平板20之外周上下振動。

實施形態8.

振動裝置100可用於不適合水平方向之振動之裝置。振動裝置100可用於工件之加工裝置。振動裝置100可用於加工裝置、搬送裝置、篩選裝置、組裝裝置、製造裝置、振動壓送裝置、或其他物料搬運裝置。物料係指物質、材料、原料、質料、素材、用具、器具、或工具等。物料之形狀、材質、性質、個數不限。物料可為塊，可為板，或者，亦可為顆粒或粉末。物料可為固體，可為液體，亦可為彈性體。

***實施形態之補充說明***

上述實施形態為期望之形態之例示，並非意圖限制本發明之技術範圍。實施形態可部分實施，亦可與其他形態組合實施。又，亦可組合上述實施形態。

10‧‧‧基底

20‧‧‧平板

24‧‧‧螺絲孔

26‧‧‧支點

40‧‧‧振動單元

41‧‧‧振動器

42‧‧‧振動器

47‧‧‧分配器

80‧‧‧控制器

81‧‧‧空氣壓縮機

82‧‧‧通氣管

83‧‧‧調節器

84‧‧‧處理器

100‧‧‧振動裝置

X‧‧‧前後方向

Y‧‧‧左右方向

Z‧‧‧上下方向

Claims (15)

1. 一種振動裝置，其具備：平板；基底，其固定上述平板之周圍；振動單元，其在上述平板之周圍被固定於上述基底之狀態下，使上述平板之外周之複數個部位自上述平板之外側振動；及控制器，其控制上述振動單元之振動。
2. 如請求項1之振動裝置，其中，上述振動單元藉由來自上述平板之外側之行進波使上述平板之外周以相同頻率上下振動。
3. 如請求項1之振動裝置，其中，上述振動單元於上述平板之外周同時以相同波長產生行進波。
4. 如請求項2之振動裝置，其中，上述振動單元於上述平板之外周同時以相同波長產生行進波。
5. 如請求項3之振動裝置，其中，上述振動單元以相同振幅產生上述行進波，利用駐波使上述平板振動。
6. 如請求項4之振動裝置，其中，上述振動單元以相同振幅產生上述行進波，利用駐波使上述平板振動。
7. 如請求項1至6中任一項之振動裝置，其中，上述振動單元使上述平板振動之上述複數個部位係如下部位之任一者，即：僅包括上述平板之複數個側面之複數個部位；僅包括上述平板之複數個角隅之複數個部位；及包括上述平板之側面與角隅之複數個部位。
8. 如請求項1至6中任一項之振動裝置，其中，上述振動單元具有振動器， 上述控制器使上述振動器以10Hz以上且800Hz以下之頻率振動。
9. 如請求項7之振動裝置，其中，上述振動單元具有振動器，上述控制器使上述振動器以10Hz以上且800Hz以下之頻率振動。
10. 如請求項1至6中任一項之振動裝置，其中，上述振動單元具有藉由氣壓驅動之氣動振動器、或藉由音圈馬達驅動之振動器。
11. 如請求項7之振動裝置，其中，上述振動單元具有藉由氣壓驅動之氣動振動器、或藉由音圈馬達驅動之振動器。
12. 一種網版印刷裝置，其具備請求項1至11中任一項之振動裝置。
13. 一種振動壓送裝置，其具備請求項1至11中任一項之振動裝置。
14. 一種物料搬運裝置，其具備請求項1至11中任一項之振動裝置。
15. 一種振動方法，其將平板之周圍固定於基底，藉由振動單元，在上述平板之周圍被固定於上述基底之狀態下，使上述平板之外周之複數個部位自上述平板之外側以相同頻率上下振動，利用駐波使上述平板振動。

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